气体传感器元件的制造方法

摘要

本发明提供气体传感器元件的制造方法，能够基于根据特定离子的浓度差在第一电极(13)与第二电极(14)之间流动的电流亦即极限电流来检测特定离子的浓度的气体传感器元件(10)的制造方法具备：升温工序(S102)、电流测定工序(S103、S107、S109、S111)、以及调整工序(S106、S108、S110)。在升温工序中，对加热器(15)通电，使固体电解质层(12)升温。在电流测定工序中，对第一电极(13)以及第二电极(14)施加电压，测定极限电流。在调整工序中，通过使用超短脉冲激光除去扩散阻抗层来调整导入路径的距离亦即扩散距离，以使极限电流成为最终标准范围内。

权利要求

1.一种气体传感器元件的制造方法，该气体传感器元件具有：固体电解质层，能够传导测定气体中的特定离子；第一电极，设置于上述固体电解质层的被导入测定气体的一侧的面亦即第一主面；第二电极，设置于上述固体电解质层的与上述第一主面相反侧的面亦即第二主面；加热器，设置于上述第二主面侧且使上述固体电解质层升温；以及扩散阻抗层，测定气体能够穿过，并且设置于向设置上述第一电极的位置导入测定气体的导入路径，上述气体传感器元件能够基于根据上述特定离子的浓度差在上述第一电极与上述第二电极之间流动的电流亦即极限电流来检测上述特定离子的浓度，上述气体传感器元件的制造方法具备：

升温工序，对上述加热器通电，使上述固体电解质层升温；

电流测定工序，对上述第一电极以及上述第二电极施加电压，测定上述极限电流；以及调整工序，通过使用超短脉冲激光除去上述扩散阻抗层来调整上述导入路径的距离亦即扩散距离，以使上述极限电流成为规定范围内，在进行上述调整工序之前的上述气体传感器元件中，上述扩散阻抗层在端面露出，若将上述扩散阻抗层露出并且照射超短脉冲激光的面作为照射面，则在上述调整工序中，变更超短脉冲激光的输出以使上述极限电流的变化率随时间推移而减小，并将上述照射面的至少一部分除去为面状。

2.根据权利要求1所述的气体传感器元件的制造方法，其中，在与上述调整工序相同的制造装置内，在进行上述调整工序时持续地进行上述电流测定工序。

3.根据权利要求1所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述调整工序包含：

整体除去工序，当上述极限电流相对较小时，除去上述照射面的整体；以及部分除去工序，当上述极限电流相对较大时，照射与上述整体除去工序相比输出较小的超短脉冲激光，部分除去上述照射面。

4.根据权利要求2所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述调整工序包含：

整体除去工序，当上述极限电流相对较小时，除去上述照射面的整体；以及部分除去工序，当上述极限电流相对较大时，照射与上述整体除去工序相比输出较小的超短脉冲激光，部分除去上述照射面。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述气体传感器元件具有保护上述第一电极的屏蔽层，形成检测气体室，该检测气体室由上述固体电解质层、上述屏蔽层以及上述扩散阻抗层区划，并且配置上述第一电极。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述气体传感器元件具有设置于上述第二电极与上述加热器之间的绝缘层，形成基准气体室，该基准气体室由上述固体电解质层以及上述绝缘层区划，并且配置上述第二电极。

7.根据权利要求5所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述气体传感器元件具有设置于上述第二电极与上述加热器之间的绝缘层，形成基准气体室，该基准气体室由上述固体电解质层以及上述绝缘层区划，并且配置上述第二电极。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的长边方向的前端。

9.根据权利要求5所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的长边方向的前端。

10.根据权利要求6所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的长边方向的前端。

11.根据权利要求7所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的长边方向的前端。

12.根据权利要求1～4中任一项所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的侧面。

13.根据权利要求5所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的侧面。

14.根据权利要求6所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的侧面。

15.根据权利要求7所述的气体传感器元件的制造方法，其中，上述扩散阻抗层设置于形成为棒状的上述气体传感器元件的侧面。

说明书

气体传感器元件的制造方法

[0001] 相关申请的交叉引用

[0002] 本申请基于2018年4月12日申请的专利申请号2018－076926号，在此引用其记载内容。

技术领域

[0003] 本公开涉及气体传感器元件的制造方法。

背景技术

[0004] 以往，已知有利用激光束的工件的处理方法。例如在专利文献1中，使用超短脉冲激光进行所希望的除去几何形状的激光穿孔。

[0005] 专利文献1：日本专利第6022038号公报

[0006] 然而，例如在制造气体传感器元件的情况下，希望加工为检测的电流等物理量成为所希望的值。然而在专利文献1中，并未提及除几何形状以外的任何物理性质。本公开的目的在于提供一种能够减少传感器元件的检测偏差的气体传感器元件的制造方法。

发明内容

[0007] 本公开的气体传感器元件的制造方法具备：升温工序、电流测定工序、以及调整工序。气体传感器元件具有：固体电解质层、第一电极、第二电极、加热器、以及扩散阻抗层，能够基于在第一电极与第二电极之间流动的电流亦即极限电流来检测特定离子的浓度。

[0008] 固体电解质层能够传导测定气体中的特定离子。第一电极设置于固体电解质层的被导入测定气体的一侧的面亦即第一主面。第二电极设置于固体电解质层的与第一主面相反侧的面亦即第二主面。加热器设置于第二主面侧，使固体电解质层升温。扩散阻抗层设置于向设置第一电极的位置导入测定气体的导入路径，并且测定气体能够穿过。

[0009] 在升温工序中，对加热器通电，使固体电解质层升温。在电流测定工序中，对第一电极以及第二电极施加电压，测定极限电流。在调整工序中，通过使用超短脉冲激光除去扩散阻抗层来调整导入路径的距离亦即扩散距离，以使极限电流成为规定范围内。在本公开中，由于在电流测定工序中测定极限电流，并除去扩散阻抗层以使极限电流成为规定范围内，所以能够减少每个气体传感器元件的检测偏差。

附图说明

[0010] 通过下述的详细描述并参照附图，本公开的上述目的以及其它目的、特征、优点变得更加明确。该附图为：

[0011] 图1是表示根据一实施方式的气体传感器的剖视图。

[0012] 图2是表示根据一实施方式的气体传感器元件的剖视图。

[0013] 图3是表示根据一实施方式的制造装置的示意图。

[0014] 图4是对根据一实施方式的气体传感器元件的制造方法进行说明的流程图。

[0015] 图5是对根据一实施方式的气体传感器元件的制造方法进行说明的时序图。

[0016] 图6是表示根据一实施方式的粗加工工序中的扩散阻抗层的除去范围的示意图。

[0017] 图7是表示根据一实施方式的精加工工序中的扩散阻抗层的除去范围的示意图。

[0018] 图8是表示根据其它实施方式的气体传感器元件的剖视图。

[0019] 图9是表示根据其它实施方式的气体传感器元件的剖视图。

[0020] 图10是表示根据其它实施方式的气体传感器元件的立体图。

具体实施方式

[0021] (一实施方式)

[0022] 以下，基于附图对气体传感器元件的制造方法进行说明。如图1所示，根据一实施方式的气体传感器1具备：气体传感器元件10、壳体30、第一绝缘子31、第二绝缘子32、盖33、接触端子34、导线35、衬套36、内侧盖37、以及外侧盖38等。在本实施方式中，气体传感器1配置于未图示的车辆的排气管，以大气为基准气体，检测作为检测气体的排出气体中的氧浓度，从而用于检测内燃机的空燃比。在图1中，将纸面上侧设为基端侧，将纸面下侧设为前端侧。

[0023] 壳体30安装于未图示的排气管。第一绝缘子31设置于壳体30的径向内侧，通过绝缘子41以及滑石42保持于壳体30。在第一绝缘子31形成有沿轴向贯通的插入孔311。在插入孔311的基端侧形成凹部312。将气体传感器元件10插入插入孔311。向凹部312填充玻璃313，气体传感器元件10以前端侧以及基端侧从第一绝缘子31突出的状态保持于第一绝缘子31。由此，确保气体传感器元件10与壳体30之间的绝缘。

[0024] 第二绝缘子32设置于第一绝缘子31的基端侧，保持接触端子34。盖33设置于壳体30的基端侧的径向外侧，将绝缘子32、接触端子34以及导线35等收容于内部。

[0025] 接触端子34与气体传感器元件10以及导线35连接。导线35保持于衬套36，并与极限电流测定器52以及升温控制器51。衬套36设置于气体传感器1的基端侧，并插入有导线35。

[0026] 盖37、38设置于壳体30的前端侧。内侧盖37形成为在基端侧开口的大致有底筒状，并嵌合于第一绝缘子31的前端侧。在内侧盖37收容气体传感器元件10的前端侧。外侧盖38形成为在基端侧开口的大致有底筒状，并设置于内侧盖37的外侧。由此，气体传感器元件10的前端侧被盖37、38双重覆盖。外侧盖38的基端侧嵌合在内侧盖37与壳体30之间。在盖37、38上形成多个排出气体导入口371、381。由此，向内侧盖37的内部导入排出气体。

[0027] 如图2所示，气体传感器元件10具备：扩散阻抗层11、固体电解质层12、第一电极13、第二电极14、加热器15、绝缘层16、第一屏蔽层17、以及第二屏蔽层18等，整体形成为细长的平板状。图2是示意性的剖视图，纸面上方为前端侧。虽然在图2中省略了图示，但也可以在屏蔽层17、18的外侧设置由检测气体能够穿过的多孔质体形成的保护层。此外，为了说明，适当地变更了各层的厚度等。对于其它附图也相同。

[0028] 扩散阻抗层11设置在气体传感器元件10的前端侧且固体电解质层12与第一屏蔽层17之间。扩散阻抗层11例如由多孔质的氧化铝(Al2O3)形成为检测气体能够穿过。在扩散阻抗层11的前端面111形成凹部112。通过设置扩散阻抗层11，来律速朝向检测气体室21的检测气体的流入。

[0029] 固体电解质层12由在活化温度下具有氧离子传导性的材料形成为板状。在本实施方式中，氧离子对应于“特定离子”。固体电解质层12以氧化锆(ZrO2)作为主要成分而形成。将固体电解质层12的第一屏蔽层17侧的面设为第一主面121，将与第一主面121相反侧的面设为第二主面122。在第一主面121设置第一电极13，在第二主面122设置第二电极14。电极
13、14为铂电极。电极13、14经由导线35与极限电流测定器52(参照图3)连接。

[0030] 在第一主面121侧形成由固体电解质层12、第一屏蔽层17以及扩散阻抗层11的基端侧区划出的检测气体室21。作为测定气体的排出气体从前端侧经由扩散阻抗层11导入检测气体室21。在第二主面122侧形成由固体电解质层12以及绝缘层16区划出的基准气体室22。基准气体亦即大气从基端侧导入基准气体室22。第一电极13配置于检测气体室21，第二电极14配置于基准气体室22。在本实施方式中，第一屏蔽层17对应于“屏蔽层”。

[0031] 加热器15设置于绝缘层16的与固体电解质层12相反侧的面。在绝缘层16的与固体电解质层12相反侧的面设置保护加热器15的第二屏蔽层18。加热器15例如由铂形成，经由导线35与升温控制器51(参照图3)连接。通过对加热器15通电，来将固体电解质层12加热到活化温度，并保温。在活化温度下，若检测气体与基准气体具有氧浓度差，则电流在电极13、14间流动。通过检测电极13、14间的电流，能够测定检测气体中的氧浓度。以下，将与氧浓度成比例地在电极13、14间流动的电流设为极限电流IL。

[0032] 在本实施方式中，排出气体经由扩散阻抗层11导入检测气体室21。另外，由于扩散阻抗层11由多孔质形成，所以根据扩散阻抗层11的物理性质等，在极限电流IL上产生偏差。另外，极限电流IL也会根据扩散距离Ld而不同。在本实施方式中，从凹部112到第一电极13的路径是导入路径，将导入路径的最短距离设为扩散距离Ld。在图2的例子中，扩散距离Ld为扩散阻抗层11的凹部112的最底部与第一电极13的前端侧的端部之间的距离。

[0033] 在本实施方式中，在同一装置内，一边在活化温度下测定极限电流IL，一边调整扩散距离Ld，以使施加规定的电压时的极限电流IL成为恒定。具体而言，通过一边进行极限电流IL的测定，一边使用超短脉冲激光对扩散阻抗层11进行加工，来调整扩散距离Ld。超短脉冲激光是脉冲宽度为几皮秒～几飞秒的激光。通过使用超短脉冲激光，从而光子能量不会转换为热量，所以能够进行非热加工。

[0034] 如图3所示，本实施方式的制造装置50具备：升温控制器51、极限电流测定器52、加工条件控制器53、以及激光照射装置55等。升温控制器51通过控制对加热器15的通电，而升温到活化温度范围内的规定温度(例如950℃)，并保温。极限电流测定器52测定对电极13、14施加规定电压时的极限电流IL。

[0035] 加工条件控制器53从极限电流测定器52获取极限电流检测值IL_sns，并基于极限电流检测值IL_sns来决定激光照射条件。在本实施方式中，基于极限电流检测值IL_sns来决定激光通量LF。

[0036] 激光照射装置55的输出是可变的，在由加工条件控制器53决定的加工条件下，将超短脉冲激光照射至气体传感器元件10。气体传感器元件10以前端侧朝向激光照射装置55的状态保持于工件保持部56，前端面被照射超短脉冲激光。在本实施方式中，例如不进行冷却工序、装置的移动，在同一制造装置50内，在气体传感器元件10被保持于工件保持部56的状态下，实施后述的极限电流测定工序、粗加工工序、中加工工序以及精加工工序这一系列处理。

[0037] 基于图4的流程图对本实施方式的气体传感器元件10的制造方法进行说明。图4中进行的处理是扩散距离调整处理，由制造装置50来实施。以下适当地将气体传感器元件10称为“工件”。在S101中，工件被放入制造装置50。

[0038] 在S102中，升温控制器51通过对加热器15通电而控制为工件成为规定温度。在这里，在从通电开始经过规定的升温待机时间的情况下，视为工件达到规定温度，并移至S103。以下，升温控制器51控制对加热器15的通电以使工件保持在规定温度。

[0039] 在S103中，加工条件控制器53测定施加了能够测定极限电流IL的规定电压时的极限电流IL。将在S103中测定出的极限电流IL设为加工前极限电流。在S104中，极限电流测定器52判断加工前极限电流是否在加工前标准范围Rs内。在判断为加工前极限电流处于加工前标准范围Rs外的情况下(S104：否)，移至S105，排出不合格工件。在判断为加工前极限电流处于加工前标准范围Rs内的情况下(S104：是)，移至S106。

[0040] 在S106中，加工条件控制器53对激光照射装置55指示粗加工条件。激光照射装置55对工件照射粗加工条件的超短脉冲激光。将粗加工条件的激光通量LF设为值f1。值f1是能够在气体传感器元件10的前端侧的端面，除去扩散阻抗层11的前端面111的整体的程度的值。

[0041] 在S107中，加工条件控制器53判断粗加工是否完成。在本实施方式中，在极限电流IL为第一标准值I1以上的情况下，判断为粗加工已完成。在判断为粗加工未完成的情况下(S107：否)，返回到S106，继续进行粗加工。在判断为粗加工已完成的情况下(S107：是)，移至S108。此外，在极限电流IL大于第二标准值I2的情况下，省略中加工，实施精加工。

[0042] 在S108中，加工条件控制器53对激光照射装置55指示中加工条件。激光照射装置55对工件照射中加工条件的超短脉冲激光。将中加工条件的激光通量LF设为比值f1小的值f2。

[0043] 在S109中，加工条件控制器53判断中加工是否完成。在本实施方式中，在极限电流IL为比第一标准值I1大的第二标准值I2以上的情况下，判断为中加工已完成。在判断为中加工未完成的情况下(S109：否)，返回到S108，继续进行中加工。在判断为中加工已完成的情况下(S109：是)，移至S110。

[0044] 在S110中，加工条件控制器53对激光照射装置55指示精加工条件。激光照射装置55对工件照射精加工条件的超短脉冲激光。精加工条件的激光通量LF是比值f2小的值f3，能够除去扩散阻抗层11的前端面111的一部分的程度的值。

[0045] 在S111中，加工条件控制器53判断精加工是否完成。在本实施方式中，在极限电流IL为最终标准范围Rl内的情况下，判断为精加工已完成。在判断为精加工未完成的情况下(S111：否)，移至S110，继续进行精加工。在判断为精加工已完成的情况下(S111：是)，移至S112，对工件进行冷却，并结束本处理。在本实施方式中，最终标准范围Rl对应于“规定范围”。

[0046] 基于时序图对根据本实施方式的扩散距离调整处理进行说明。在图5中，将横轴设为时间，并将纵轴设为极限电流以及激光通量。在图5的例子中，将中加工分为2个阶段，但既可以为1个阶段，也可以为3个阶段以上。粗加工工序以及精加工工序也可以分为多个阶段。此外，在变更加工条件时，需要规定的间隔，但为了简化说明，所以省略间隔。

[0047] 在时刻t0，由于加工前极限电流为加工前标准范围Rs内，所以开始扩散距离调整处理。由于时刻t0的极限电流IL比第一标准值I1小，所以将照射的激光通量LF设为值f1，一边测定极限电流IL，一边对扩散阻抗层11照射超短脉冲激光。超短脉冲激光的反复频率能够任意地设定。在中加工工序以及精加工工序中也同样。另外，也可以按工序变更反复频率等激光通量以外的条件。在粗加工工序中，如图6所示，除去扩散阻抗层11的前端面111的整体。此外，在图6以及图7中，以梨皮形式示意性地表示通过超短脉冲激光照射除去的范围。

[0048] 在时刻t1，若极限电流IL为第一标准值I1以上，则移至中加工工序，并将激光通量LF从值f1变更为值f2_1。另外，若极限电流IL为中间标准值I2_m以上，则将激光通量从值f2_1变更为值f2_2。通过中加工工序除去的范围比通过精加工工序除去的范围大，根据照射的超短脉冲激光的能量密度，既可以除去扩散阻抗层11的前端面111的整体，也可以部分除去。

[0049] 在时刻t3，若极限电流IL为第二标准值I2以上，则移至精加工工序，并将激光通量LF变更为值f3。在精加工工序中，如图7所示，扩散阻抗层11的前端面被部分除去。在时刻t4，若极限电流IL为最终标准范围Rl内，则结束超短脉冲激光的照射。

[0050] 在本实施方式中，通过一边监视极限电流IL，一边照射超短脉冲激光除去扩散阻抗层11的“实时修整”，来调整扩散距离Ld。由此，能够减少元件间的检测偏差。另外，极限电流IL越大，越减小照射能量。由此，能够缩短扩散距离Ld的调整所需的加工时间。

[0051] 如以上说明的那样，本实施方式的气体传感器元件10具有：固体电解质层12、第一电极13、第二电极14、加热器15、以及扩散阻抗层11，能够基于在第一电极13与第二电极14之间流动的电流亦即极限电流IL来检测特定离子的浓度。固体电解质层12能够传导测定气体中的特定离子。本实施方式的特定离子为氧离子。第一电极13设置于固体电解质层12的被导入测定气体的一侧的面亦即第一主面121。第二电极14设置于固体电解质层12的与第一主面121相反侧的面亦即第二主面122。加热器15设置于第二主面122侧，使固体电解质层12升温。扩散阻抗层11设置于向设置第一电极13的位置导入测定气体的导入路径，且测定气体能够穿过。

[0052] 本实施方式的气体传感器元件10的制造方法具备：升温工序、电流测定工序、以及调整工序。在升温工序中，对加热器15通电，使固体电解质层12升温。在电流测定工序中，对第一电极13以及第二电极14施加电压，测定极限电流IL。在调整工序中，通过使用超短脉冲激光除去扩散阻抗层11来调整导入路径的距离亦即扩散距离Ld，以使极限电流IL成为最终标准范围Rl内。

[0053] 在本实施方式的制造方法中，在电流测定工序中测定极限电流IL，并除去扩散阻抗层11以使极限电流IL成为最终标准范围Rl内，所以能够减少每个气体传感器元件10的检测偏差。

[0054] 在与调整工序相同的制造装置50内，在进行调整工序时持续地进行电流测定工序。在这里，所谓的“持续地进行”可以连续地监视极限电流IL，也可以以规定的频率间歇地对极限电流IL进行取样。由此，与分开地实施电流测定工序和调整工序的情况相比，通过集成工序，能够减少制造工时。

[0055] 在调整工序中，根据极限电流IL，使超短脉冲激光的输出可变。在本实施方式中，调整工序包含整体除去工序和部分除去工序。在这里，将扩散阻抗层11中被照射超短脉冲激光的前端面111设为照射面。在整体除去工序中，当极限电流IL相对较小时，除去照射面的整体。在部分除去工序中，当极限电流IL相对较大时，照射比整体除去工序小的输出的超短脉冲激光，部分除去照射面。由此，能够缩短制造时间。

[0056] 气体传感器元件10具有保护第一电极13的第一屏蔽层17，形成由固体电解质层12、第一屏蔽层17以及扩散阻抗层11区划且配置有第一电极13的检测气体室21。通过形成检测气体室21，从而与未设置检测气体室21的情况相比，能够将排出气体迅速地导入到第一电极13。由此，由于提高了检测速度，所以例如能够检测每个气筒的排出气体中的氧浓度。

[0057] 气体传感器元件10具有设置于第二电极14与加热器15之间的绝缘层16，形成由固体电解质层12以及绝缘层16区划且配置有第二电极14的基准气体室22。通过形成基准气体室22，从而与未设置基准气体室22的情况相比，能够扩宽检测范围。

[0058] 扩散阻抗层11设置于形成为棒状的气体传感器元件10的长边方向的前端。由此，减少了气体传感器1组装于排气管时的组装误差的影响，所以能够减少测定误差。

[0059] 在本实施方式中，S102对应于“升温工序”，S103、S107、S109以及S111对应于“电流测定工序”，S106、S108以及S110对应于“调整工序”。另外，S106对应于“整体除去工序”，S110对应于“部分除去工序”。另外，升温工序由升温控制器51来执行，电流测定工序由极限电流测定器52来执行，调整工序由加工条件控制器53以及激光照射装置55来执行。

[0060] (其它实施方式)

[0061] 在上述实施方式中，扩散阻抗层11设置于气体传感器元件10的前端，通过利用超短激光照射形成凹部112，来调整扩散距离Ld。在其它实施方式中，如图8所示，也可以通过除去扩散阻抗层11的前端面111的整体，来调整扩散距离Ld。即，加工后的扩散阻抗层11的前端面也可以为平面状。另外，如图9所示，也可以通过除去扩散阻抗层11的外周侧，来调整扩散距离Ld。即，加工后的扩散阻抗层11的前端面也可以为凸状。在图8以及图9中，省略了除扩散阻抗层11、固体电解质层12、第一电极13以及第一屏蔽层17以外的记载。另外，如图10所示，也可以将扩散阻抗层11设置于气体传感器元件10的侧面。

[0062] 在上述实施方式中，在第一屏蔽层与固体电解质层之间形成测定气体室。在其它实施方式中，也可以不设置测定气体室，而设置为第一电极与扩散阻抗层接触。另外，在上述实施方式中，在固定电解质层与绝缘层之间形成基准气体室。在其它实施方式中，也可以不设置基准气体室，而设置为第二电极与绝缘层接触。另外，气体传感器元件的形状可以是任意的。另外，在上述实施方式中，将气体传感器元件用作空燃比传感器。在其它实施方式中，也可以应用于空燃比传感器以外的传感器。

[0063] 在上述实施方式中，在同一装置内，连续地实施升温工序、电流测定工序以及调整工序。在其它实施方式中，例如，也可以由其它装置来实施电流测定工序和调整工序，并反复进行电流测定工序和调整工序。以上，本公开并不限定于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内以各种方式来实施。

[0064] 本公开所记载的控制部及其方法可以由通过构成被编程为执行通过计算机程序具体化的一个或多个功能的处理器以及存储器而提供的专用计算机来实现。或者，本公开所记载的控制部及其方法也可以由通过利用一个以上的专用硬件逻辑电路构成处理器而提供的专用计算机来实现。或者，本公开所记载的控制部及其方法也可以通过由被编程为执行一个或多个功能的处理器和存储器与由一个以上的硬件逻辑电路构成的处理器的组合构成的一个以上的专用计算机来实现。另外，计算机程序也可以作为由计算机执行的指令存储于计算机可读取的非过渡有形记录介质。

[0065] 本公开以实施方式为基准进行了描述。然而，本公开并不限于该实施方式以及构造。本公开也包含各种变形例以及等同范围内的变形。另外，各种组合以及方式，进一步仅包含它们中一个要素、一个以上或一个以下的其它组合以及方式也纳入到本公开的范畴以及思想范围。