一种用于法布里-珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置

摘要

本发明公开了一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其包括机体、回收槽、扶正台以及夹持座，其中，所述回收槽固定于所述机体的一侧，所述回收槽中固定有水平放置的扶正台，所述扶正台中转动设置有轴体，所述轴体的顶部固定有能够夹持玻璃镜板的夹持座；位于所述回收槽中的轴体外表面布设有搅拌叶，且所述轴体的转动由固定在回收槽底部的旋转电机驱动；位于所述夹持座的上方设置有带体抛光组件，所述带体抛光组件能够以收放抛光带的方式打磨玻璃镜板，且所述抛光带的宽度小于玻璃镜板的直径；所述机体上设置有辅助抛光组件，所述辅助抛光组件能够以旋转抛光的方式辅助抛光玻璃镜板的边沿部分。

权利要求

1.一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其包括机体(1)、回收槽(2)、扶正台(4)以及夹持座(5)，其中，所述回收槽(2)固定于所述机体(1)的一侧，所述回收槽(2)中固定有水平放置的扶正台(4)，所述扶正台(4)中转动设置有轴体，所述轴体的顶部固定有能够夹持玻璃镜板的夹持座(5)；

其特征在于：位于所述回收槽(2)中的轴体外表面布设有搅拌叶，且所述轴体的转动由固定在回收槽(2)底部的旋转电机(3)驱动；

位于所述夹持座(5)的上方设置有带体抛光组件(6)，所述带体抛光组件(6)能够以收放抛光带的方式打磨玻璃镜板，且所述抛光带的宽度小于玻璃镜板的直径；

所述机体(1)上设置有辅助抛光组件(7)，所述辅助抛光组件(7)能够以旋转抛光的方式辅助抛光玻璃镜板的边沿部分；

所述带体抛光组件(6)包括安装座(61)、安装臂(62)、驱动辊一(63)以及驱动辊二(65)，其中，所述驱动辊一(63)转动设置于安装臂(62)上，所述驱动辊一(63)能够提供抛光带，所述抛光带被两组支撑辊(67)所支撑后由驱动辊二(65)进行收集；

两组所述支撑辊(67)均转动设置于安装杆(610)的下方，其中一个安装杆(610)固定于调节座(66)的下方，另一个安装杆(610)采用滑动座(69)滑动设置在调节座(66)中开设的限位滑槽中，所述滑动座(69)的滑动动作由固定在调节座(66)中的伸缩杆(68)进行控制，从而调节两组所述支撑辊(67)之间的距离；

两组所述支撑辊(67)之间的距离与玻璃镜板的直径相同；

所述辅助抛光组件(7)包括［型座(71)、旋转抛光组件以及压力调节组件，其中，所述［型座(71)固定于机体(1)上，所述［型座的一侧固定有安装板(79)，所述安装板(79)中转动设置有基轴(78)，所述基轴(78)由固定在［型座顶部的抛光电机(710)采用带轮组件所驱动转动，所述基轴(78)为空腔结构，空腔中可滑动且不可转动设置有调节轴(77)，所述调节轴(77)的另一端同轴固定有抛光座(713)，所述抛光座(713)上设置有抛光皮。

2.根据权利要求1所述的一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其特征在于：所述回收槽(2)中采用管体与循环泵(8)的进液端相连通，所述循环泵(8)的出液端采用另一管体与收集罐(9)相连通，所述收集罐(9)能够为玻璃镜板的抛光持续提供抛光液，且，所述收集罐(9)的顶部设有补料口，用于定时补充新抛光液。

3.根据权利要求1所述的一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其特征在于：还包括连接臂(64)和排液辊(611)，其中两组所述排液辊(611)对称转动设置于所述安装座(61)的两侧，用于在支撑调节抛光带的同时，以挤压的方式排掉附着在其上的抛光液；

所述连接臂(64)与安装臂(62)固定相连，且所述连接臂(64)的另一端连接至线性加压装置的输出端，用于调节抛光带与玻璃镜板之间的抛光压力。

4.根据权利要求1所述的一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其特征在于：所述压力调节组件包括导向杆(72)、丝杠(73)、调节电机(74)、导向套(75)以及随动板(76)，其中，所述导向杆(72)和丝杠(73)平行设置且均转动设置于［型座(71)与机体(1)之间，所述丝杠(73)由固定在［型座(71)下方的调节电机(74)采用另一带轮组件所驱动转动，所述丝杠(73)上传动连接有丝母座，所述丝母座与导向套(75)固定相连，所述导向套(75)滑动套设在导向杆(72)的外部，且所述导向套(75)采用随动板(76)与调节轴(77)通过轴承相连，从而通过所述导向套(75)的上下位移调节抛光座(713)对于玻璃镜板的抛光压力。

5.根据权利要求4所述的一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其特征在于：所述随动板(76)的下方还固定有半包仓(711)，所述半包仓(711)套设在抛光座(713)的外部。

6.根据权利要求5所述的一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其特征在于：所述半包仓(711)的底部嵌入有从左至右逐渐降低的倾斜状喷液头(712)，所述喷液头(712)的喷向朝向抛光座(713)的圆心，且所述喷液头(712)由收集罐(9)进行供液。

7.根据权利要求2所述的一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其特征在于：所述夹持座(5)的一侧还设置有钩形多角度喷液座(10)，所述多角度喷液座(10)由收集罐(9)进行供液，且所述多角度喷液座(10)能够朝向玻璃镜板以及抛光带进行同时喷液。

说明书

一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置

技术领域

[0001] 本发明涉及干涉仪镜板加工技术领域，具体是一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置。

背景技术

[0002] 法布里‑珀罗干涉仪是一种较为常见的干涉仪，其结构简单，主要是由两块平行的玻璃板组成，其中两块玻璃板相对的内表面都具有高反射率，为了保证两块玻璃板相对的
内表面的高反射率，往往在其内表面贴附有平整度高的高反射膜层，而为了提高膜层的平
整度，在玻璃镜板制造时，需要先对玻璃镜板进行高精度抛光，使其表面光滑平整，然而现
有的抛光设备，往往采用抛光皮对其进行全面抛光，较为浪费耗材，增加了制造成本。

[0003] 因此，有必要提供一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

[0004] 为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其包括机体、回收槽、扶正台以及夹持座，其中，所述回收槽固定于所述机
体的一侧，所述回收槽中固定有水平放置的扶正台，所述扶正台中转动设置有轴体，所述轴
体的顶部固定有能够夹持玻璃镜板的夹持座；

[0005] 位于所述回收槽中的轴体外表面布设有搅拌叶，且所述轴体的转动由固定在回收槽底部的旋转电机驱动；

[0006] 位于所述夹持座的上方设置有带体抛光组件，所述带体抛光组件能够以收放抛光带的方式打磨玻璃镜板，且所述抛光带的宽度小于玻璃镜板的直径；

[0007] 所述机体上设置有辅助抛光组件，所述辅助抛光组件能够以旋转抛光的方式辅助抛光玻璃镜板的边沿部分。

[0008] 进一步，作为优选，所述回收槽中采用管体与循环泵的进液端相连通，所述循环泵的出液端采用另一管体与收集罐相连通，所述收集罐能够为玻璃镜板的抛光持续提供抛光
液，且，所述收集罐的顶部设有补料口，用于定时补充新抛光液。

[0009] 进一步，作为优选，所述带体抛光组件包括安装座、安装臂、驱动辊一以及驱动辊二，其中，所述驱动辊一转动设置于安装臂上，所述驱动辊一能够提供抛光带，所述抛光带
被两组支撑辊所支撑后由驱动辊二进行收集。

[0010] 进一步，作为优选，两组所述支撑辊均转动设置于安装杆的下方，其中一个安装杆固定于调节座的下方，另一个安装杆采用滑动座滑动设置在调节座中开设的限位滑槽中，
所述滑动座的滑动动作由固定在调节座中的伸缩杆进行控制，从而调节两组所述支撑辊之
间的距离；

[0011] 两组所述支撑辊之间的距离与玻璃镜板的直径相同。

[0012] 进一步，作为优选，还包括连接臂和排液辊，其中两组所述排液辊对称转动设置于所述安装座的两侧，用于在支撑调节抛光带的同时，以挤压的方式排掉附着在其上的抛光
液；

[0013] 所述连接臂与安装臂固定相连，且所述连接臂的另一端连接至线性加压装置的输出端，用于调节抛光带与玻璃镜板之间的抛光压力。

[0014] 进一步，作为优选，所述辅助抛光组件包括[型座、旋转抛光组件以及压力调节组件，其中，所述[型座固定于机体上，所述[型座的一侧固定有安装板，所述安装板中转动设
置有基轴，所述基轴由固定在[型座顶部的抛光电机采用带轮组件所驱动转动，所述基轴为
空腔结构，空腔中可滑动且不可转动设置有调节轴，所述调节轴的另一端同轴固定有抛光
座，所述抛光座上设置有抛光皮。

[0015] 进一步，作为优选，所述压力调节组件包括导向杆、丝杠、调节电机、导向套以及随动板，其中，所述导向杆和丝杠平行设置且均转动设置于[型座与机体之间，所述丝杠由固
定在[型座下方的调节电机采用另一带轮组件所驱动转动，所述丝杠上传动连接有丝母座，
所述丝母座与导向套固定相连，所述导向套滑动套设在导向杆的外部，且所述导向套采用
随动板与调节轴通过轴承相连，从而通过所述导向套的上下位移调节抛光座对于玻璃镜板
的抛光压力。

[0016] 进一步，作为优选，所述随动板的下方还固定有半包仓，所述半包仓套设在抛光座的外部。

[0017] 进一步，作为优选，所述半包仓的底部嵌入有从左至右逐渐降低的倾斜状喷液头，所述喷液头的喷向朝向抛光座的圆心，且所述喷液头由收集管进行供液。

[0018] 进一步，作为优选，所述夹持座的一侧还设置有钩形多角度喷液座，所述多角度喷液座由收集罐进行供液，且所述多角度喷液座能够朝向玻璃镜板以及抛光带进行同时喷
液。

[0019] 与现有技术相比，本发明提供了一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，具备以下有益效果：

[0020] 1.本装置中，在夹持座的上方设置有带体抛光组件，带体抛光组件能够以收放抛光带的方式打磨玻璃镜板，且抛光带的宽度小于玻璃镜板的直径，有利于在不影响主体精
度的前提下减少耗材，进一步讲，用于制作法布里‑珀罗干涉仪的玻璃镜板的边沿所需的精
度较低，因此无需对其进行精细抛光，另外，在玻璃镜板的转动下，其边沿也会被抛光带进
行间隔抛光，从而能够充分利用耗材，减少了制造成本；

[0021] 2.本装置中，在机体上设置有辅助抛光组件，辅助抛光组件能够以旋转抛光的方式辅助抛光玻璃镜板的边沿部分，其可以长期使用，从而配合抛光带，并且对于辅助抛光组
件的耗材更换仅需更换抛光皮即可；

[0022] 3.本装置中，在位于回收槽中的轴体外表面布设有搅拌叶，且轴体的转动由固定在回收槽底部的旋转电机驱动，旋转电机驱动轴体进行转动，一方面能够带动玻璃镜板进
行转动，便于玻璃镜板进行抛光，另一方面，能够通过搅拌叶搅动回收槽中的收集液，防止
抛光液沉降堆积，导致后续抛光不良。

附图说明

[0023] 图1为一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置的整体结构示意图；

[0024] 图2为一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置的部分放大结构示意图；

[0025] 图3为一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置中带体抛光组件的结构示意图；

[0026] 图4为一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置的加工原理示意图；图中：1、机体；2、回收槽；3、旋转电机；4、扶正台；5、夹持座；6、带体抛光组件；7、辅助抛光组
件；8、循环泵；9、收集罐；10、多角度喷液座；61、安装座；62、安装臂；63、驱动辊一；64、连接
臂；65、驱动辊二；66、调节座；67、支撑辊；68、伸缩杆；69、滑动座；610、安装杆；611、排液辊；
71、[型座；72、导向杆；73、丝杠；74、调节电机；75、导向套；76、随动板；77、调节轴；78、基轴；
79、安装板；710、抛光电机；711、半包仓；712、喷液头；713、抛光座。

具体实施方式

[0027] 请参阅图1～4，本发明实施例中，一种用于法布里‑珀罗干涉仪镜板的高精度制造装置，其包括机体1、回收槽2、扶正台4以及夹持座5，其中，所述回收槽2固定于所述机体1的
一侧，所述回收槽2中固定有水平放置的扶正台4，所述扶正台4中转动设置有轴体，所述轴
体的顶部固定有能够夹持玻璃镜板的夹持座5；

[0028] 位于所述回收槽2中的轴体外表面布设有搅拌叶，且所述轴体的转动由固定在回收槽2底部的旋转电机3驱动，旋转电机3驱动轴体进行转动，一方面能够带动玻璃镜板进行
转动，便于玻璃镜板进行抛光，另一方面，能够通过搅拌叶搅动回收槽中的收集液，防止抛
光液沉降堆积，导致后续抛光不良；

[0029] 位于所述夹持座5的上方设置有带体抛光组件6，所述带体抛光组件6能够以收放抛光带的方式打磨玻璃镜板，且所述抛光带的宽度小于玻璃镜板的直径，需要解释的是，如
图4，抛光带的宽度小于玻璃镜板的直径，有利于在不影响主体精度的前提下减少耗材，进
一步讲，用于制作法布里‑珀罗干涉仪的玻璃镜板的边沿所需的精度较低，因此无需对其进
行精细抛光，另外，在玻璃镜板的转动下，其边沿也会被抛光带进行间隔抛光，从而能够充
分利用耗材；

[0030] 所述机体1上设置有辅助抛光组件7，所述辅助抛光组件7能够以旋转抛光的方式辅助抛光玻璃镜板的边沿部分。

[0031] 本实施例中，如图1，所述回收槽2中采用管体与循环泵8的进液端相连通，所述循环泵8的出液端采用另一管体与收集罐9相连通，所述收集罐9能够为玻璃镜板的抛光持续
提供抛光液，且，所述收集罐9的顶部设有补料口，用于定时补充新抛光液。

[0032] 本实施例中，如图1和图3，所述带体抛光组件6包括安装座61、安装臂62、驱动辊一63以及驱动辊二65，其中，所述驱动辊一63转动设置于安装臂62上，所述驱动辊一63能够提
供抛光带，所述抛光带被两组支撑辊67所支撑后由驱动辊二65进行收集。

[0033] 作为较佳的实施例，两组所述支撑辊67均转动设置于安装杆610的下方，其中一个安装杆610固定于调节座66的下方，另一个安装杆610采用滑动座69滑动设置在调节座66中
开设的限位滑槽中，所述滑动座69的滑动动作由固定在调节座66中的伸缩杆68进行控制，
从而调节两组所述支撑辊67之间的距离；

[0034] 两组所述支撑辊67之间的距离与玻璃镜板的直径相同，此时，处于水平状的抛光带的长度略长于玻璃镜板的直径。

[0035] 作为较佳的实施例，还包括连接臂64和排液辊611，其中两组所述排液辊611对称转动设置于所述安装座61的两侧，用于在支撑调节抛光带的同时，以挤压的方式排掉附着
在其上的抛光液，防止抛光液被带出至外部，造成浪费；

[0036] 所述连接臂64与安装臂62固定相连，且所述连接臂64的另一端连接至线性加压装置的输出端，用于调节抛光带与玻璃镜板之间的抛光压力，线性加压装置包括电动伸缩杆
或者液压杆等。

[0037] 本实施例中，如图1‑2，所述辅助抛光组件7包括[型座71、旋转抛光组件以及压力调节组件，其中，所述[型座71固定于机体1上，所述[型座的一侧固定有安装板79，所述安装
板79中转动设置有基轴78，所述基轴78由固定在[型座顶部的抛光电机710采用带轮组件所
驱动转动，带轮组件包括两组带轮以及一连接两组带轮的传动带，其中一组带轮固定在基
轴78的顶部，另一组带轮固定在抛光电机的输出端，以便进行传动，所述基轴78为空腔结
构，空腔中可滑动且不可转动设置有调节轴77，具体的，调节轴77上可设置滑块，基轴78的
空腔中开设有沿着其轴向延伸的滑槽，以便通过滑块与滑槽的配合使得调节轴77可滑动且
不可转动设置在基轴78中，所述调节轴77的另一端同轴固定有抛光座713，所述抛光座713
上设置有抛光皮，需要注意的是，如图1，抛光座713以及抛光皮位于抛光带的后方，不与其
相冲突，利用抛光皮能够实现对于玻璃镜板的边沿辅助抛光。

[0038] 本实施例中，如图2，所述压力调节组件包括导向杆72、丝杠73、调节电机74、导向套75以及随动板76，其中，所述导向杆72和丝杠73平行设置且均转动设置于[型座71与机体
1之间，所述丝杠73由固定在[型座71下方的调节电机74采用另一带轮组件所驱动转动，所
述丝杠73上传动连接有丝母座，所述丝母座与导向套75固定相连，所述导向套75滑动套设
在导向杆72的外部，且所述导向套75采用随动板76与调节轴77通过轴承相连，从而通过所
述导向套75的上下位移调节抛光座713对于玻璃镜板的抛光压力。

[0039] 作为较佳的实施例，所述随动板76的下方还固定有半包仓711，所述半包仓711套设在抛光座713的外部。

[0040] 作为较佳的实施例，所述半包仓711的底部嵌入有从左至右逐渐降低的倾斜状喷液头712，所述喷液头712的喷向朝向抛光座713的圆心，实现对于抛光皮的预湿润，且所述
喷液头712由收集管9进行供液。

[0041] 本实施例中，所述夹持座5的一侧还设置有钩形多角度喷液座10，所述多角度喷液座10由收集罐9进行供液，且所述多角度喷液座10能够朝向玻璃镜板以及抛光带进行同时
喷液。

[0042] 在具体实施时，先将玻璃镜板固定在夹持座5上，利用旋转电机3驱动轴体进行转动，一方面能够带动玻璃镜板进行转动，便于玻璃镜板进行抛光，另一方面，能够通过搅拌
叶搅动回收槽中的收集液，防止抛光液沉降堆积，此时带体抛光组件6能够以收放抛光带的
方式打磨玻璃镜板，并且利用辅助抛光组件7能够以旋转抛光的方式辅助抛光玻璃镜板的
边沿部分，开启循环泵8，将回收槽2中的抛光液进行回收并定期在收集罐9中添加新的抛光
液，提高了抛光液的利用效率。

[0043] 以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案
及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。