一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法

摘要

本发明提出一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法，包括：棱镜单元；传感单元，位于棱镜单元的一端，用于监测所述棱镜单元的位置，并发送电压信号；测量单元，连接所述传感单元，用于接收所述电压信号，并形成电压值；接收单元，连接所述测量单元，用于接收所述电压值，并形成反馈信号；分析单元，连接所述接收单元，用于接收所述反馈信号，并形成脉冲信号；驱动单元，所述驱动单元包括驱动器和驱动电机，所述驱动器连接所述分析单元，所述驱动电机的一端连接所述驱动器，另一端连接所述棱镜单元，所述驱动器用于接收所述脉冲信号，所述驱动电机用于调整所述棱镜单元的位置。本发明提出的自动调整半导体设备平衡性的装置可以提高工作效率。

权利要求

1.一种自动调整半导体设备平衡性的装置，其特征在于，包括：

棱镜单元；

传感单元，位于棱镜单元的一端，用于监测所述棱镜单元的位置，并发送电压信号；

测量单元，连接所述传感单元，用于接收所述电压信号，并形成电压值；

接收单元，连接所述测量单元，用于接收所述电压值，并形成反馈信号；

分析单元，连接所述接收单元，用于接收所述反馈信号，并形成脉冲信号；

驱动单元，包括驱动器和驱动电机，所述驱动器连接所述分析单元，所述驱动电机的一端连接所述驱动器，另一端连接所述棱镜单元，所述驱动器用于接收所述脉冲信号，所述驱动电机用于根据所述脉冲信号，调整所述棱镜单元的位置。

2.根据权利要求1所述自动调整半导体设备平衡性的装置，其特征在于，所述传感单元和所述驱动电机位于所述棱镜单元的两端。

3.根据权利要求1所述自动调整半导体设备平衡性的装置，其特征在于，所述驱动电机还连接所述分析单元，用于向所述分析单元发送所述驱动电机的位置。

4.一种利用权利要求1-3任一所述的装置进行自动调整半导体设备平衡性的方法，其特征在于，包括：分别将传感单元和驱动电机设置在棱镜单元的第一端和第二端上，并调整所述传感单元的位置，以通过所述传感单元形成第一电压信号；

通过测量单元接收所述第一电压信号，并形成第一电压值，当调整所述传感单元的位置使得所述第一电压值为预设值时，则固定所述传感单元的位置；

通过所述传感单元获取所述驱动电机的位置，以形成第二电压信号；

通过所述测量单元接收所述第二电压信号，并形成第二电压值；

通过接收单元接收所述第二电压值，并形成反馈信号；

通过分析单元接收所述反馈信号，并形成脉冲信号；

通过驱动器接收所述脉冲信号，并驱动所述驱动电机固定或移动；其中，当所述第二电压值为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机固定，以固定所述棱镜单元的位置；当所述第二电压值不为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机移动。

5.根据权利要求4所述自动调整半导体设备平衡性的方法，其特征在于，当所述驱动器驱动所述驱动电机移动时，若所述第一端向所述传感单元的方向移动，所述第一端挤压所述传感单元时，则所述第二电压信号为高电压信号，所述接收单元接收到所述高电压信号后形成负反馈信号，所述分析单元接收所述负反馈信号形成负脉冲信号。

6.根据权利要求5所述自动调整半导体设备平衡性的方法，其特征在于，所述驱动器根据所述负脉冲信号驱动所述驱动电机以带动所述第二端向远离所述第一端的方向移动。

7.根据权利要求6所述自动调整半导体设备平衡性的方法，其特征在于，在所述第二端向远离所述第一端移动的过程中，所述第一端向远离所述传感单元的方向移动，所述测量单元形成所述第二电压值，当所述第二电压值为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机固定，以固定所述棱镜单元的位置；当所述第二电压值不为所述预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述第二电压值为所述预设值。

8.根据权利要求4所述自动调整半导体设备平衡性的方法，其特征在于，当所述驱动器驱动所述驱动电机移动时，若所述第一端向远离所述传感单元的方向移动时，则所述第二电压信号为低电压信号，所述接收单元接收到所述低电压信号后形成正反馈信号，所述分析单元接收所述正反馈信号形成正脉冲信号。

9.根据权利要求8所述自动调整半导体设备平衡性的方法，其特征在于，所述驱动器根据所述正脉冲信号驱动所述驱动电机以带动所述第二端向所述第一端的方向移动。

10.根据权利要求9所述自动调整半导体设备平衡性的方法，其特征在于，在所述第二端向所述第一端移动的过程中，所述第一端向所述传感单元的方向移动，所述测量单元形成所述第二电压值，当所述第二电压值为所述预设值时，所述第二电压值驱动所述驱动电机固定，以固定所述棱镜单元的位置；当所述第二电压值不为所述预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述第二电压值为所述预设值。

说明书

一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法。

背景技术

[0002] 先进的集成电路制造工艺一般都包含几百步的工序，任何环节的微小错误都会导致整个芯片的失效，特别是随着电路关键尺寸的不断缩小，其对工艺控制的要求越来越严格，所以在生产过程中为能及时的发现和解决问题，一般需要对产品进行在线缺陷检测。业界普遍通过扫描机台在一定的扫描程式下对晶圆进行缺陷扫描，并将扫描得到的缺陷数量与控制限进行对比，来判断晶圆上的缺陷是否超出控制标准，以及时进行相应处理。缺陷扫描的机理主要是以光/电子入射到晶圆表面，收集反射/散射光/电子，得到一个灰度图像，将邻近单元或标准单元与之对比，得到灰度差异值，再根据设定的阈值进行判断，当超过阈值时即认为是缺陷。现有一般通过调整棱镜的角度，来对晶圆表面进行全面扫描，当棱镜的位置出现偏差时，通常需要通过人工进行修正，因此导致机台停机，由此浪费时间。

发明内容

[0003] 鉴于上述现有技术的缺陷，本发明提出一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法，以自动调整半导体设备的平衡位置，提高工作效率。

[0004] 为实现上述目的，本发明提出一种自动调整半导体设备平衡性的装置，包括：

[0005] 棱镜单元；

[0006] 传感单元，位于棱镜单元的一端，用于监测所述棱镜单元的位置，并发送电压信号；

[0007] 测量单元，连接所述传感单元，用于接收所述电压信号，并形成电压值；

[0008] 接收单元，连接所述测量单元，用于接收所述电压值，并形成反馈信号；

[0009] 分析单元，连接所述接收单元，用于接收所述反馈信号，并形成脉冲信号；

[0010] 驱动单元，包括驱动器和驱动电机，所述驱动器连接所述分析单元，所述驱动电机的一端连接所述驱动器，另一端连接所述棱镜单元，所述驱动器用于接收所述脉冲信号，所述驱动电机用于根据所述脉冲信号，调整所述棱镜单元的位置。

[0011] 进一步地，所述传感单元和所述驱动电机位于所述棱镜单元的两端。

[0012] 进一步地，所述驱动电机还连接所述分析单元，用于向所述分析单元发送所述驱动电机的位置。

[0013] 进一步地，本发明提出一种自动调整半导体设备平衡性的方法，包括：

[0014] 分别将传感单元和驱动电机设置在棱镜单元的第一端和第二端上，并调整所述传感单元的位置，以通过所述传感单元形成第一电压信号；

[0015] 通过测量单元接收所述第一电压信号，并形成第一电压值，当调整所述传感单元的位置使得所述第一电压值为预设值时，则固定所述传感单元的位置；

[0016] 通过所述传感单元获取所述驱动电机的位置，以形成第二电压信号；

[0017] 通过所述测量单元接收所述第二电压信号，并形成第二电压值；

[0018] 通过接收单元接收所述第二电压值，并形成反馈信号；

[0019] 通过分析单元接收所述反馈信号，并形成脉冲信号；

[0020] 通过驱动器接收所述脉冲信号，并驱动所述驱动电机固定或移动；其中，当所述第二电压值为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机固定，以固定所述棱镜单元的位置；当所述第二电压值不为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机移动。

[0021] 进一步地，当所述驱动器驱动所述驱动电机移动时，若所述第一端向所述传感单元的方向移动，所述第一端挤压所述传感单元时，则所述第二电压信号为高电压信号，所述接收单元接收到所述高电压信号后形成负反馈信号，所述分析单元接收所述负反馈信号形成负脉冲信号。

[0022] 进一步地，所述驱动器根据所述负脉冲信号驱动所述驱动电机以带动所述第二端向远离所述第一端的方向移动。

[0023] 进一步地，在所述第二端向远离所述第一端移动的过程中，所述第一端向远离所述传感单元的方向移动，所述测量单元形成调整电压值，当所述调整电压值为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机固定，以固定所述棱镜单元的位置；当所述调整电压值不为所述预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述调整电压值为所述预设值。

[0024] 进一步地，当所述驱动器驱动所述驱动电机移动时，若所述第一端向远离所述传感单元的方向移动时，则所述第二电压信号为低电压信号，所述接收单元接收到所述低电压信号后形成正反馈信号，所述分析单元接收所述正反馈信号形成正脉冲信号。

[0025] 进一步地，所述驱动器根据所述正脉冲信号驱动所述驱动电机以带动所述第二端向所述第一端的方向移动。

[0026] 进一步地，在所述第二端向所述第一端移动的过程中，所述第一端向所述传感单元的方向移动，所述测量单元形成调整电压值，当所述调整电压值为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机固定，以固定所述棱镜单元的位置；当所述调整电压值不为所述预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述调整电压值为所述预设值。

[0027] 综上所述，本发明提出一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法，首先将传感单元和驱动电机分别设置在棱镜单元的第一端和第二端上，然后调整传感单元的位置，当测量单元显示的电压值为预设值时，工作人员则固定传感单元的位置，也就是先固定棱镜单元的第一端的位置，然后再调整驱动电机的位置，在调整驱动电机的位置过程中，当棱镜单元的第一端向传感器的方向移动时，棱镜单元则挤压传感器，形成高电压信号，分析单元则发送负脉冲信号，因此驱动电机负向转动，因此棱镜单元的第二端会向远离第一端的方向移动，且棱镜单元的第一端向远离传感单元的方向移动；当测量单元显示的电压值为预设值时，则驱动电机驱动驱动电机固定，因此可以固定棱镜单元的位置，也就是固定棱镜单元的第二端的位置；当测量单元显示的电压值不是预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述调整电压值为所述预设值。同理，当所述驱动器驱动所述驱动电机移动时，所述第一端向远离所述传感单元的方向移动，则所述第二电压信号为低电压信号，所述接收单元接收到所述低电压信号后形成正反馈信号，所述分析单元接收所述正反馈信号形成正脉冲信号；所述驱动器根据所述正反馈信号驱动所述驱动电机以带动所述第二端向所述第一端的方向移动；在所述第二端向所述第一端移动的过程中，所述第一端向靠近所述传感单元的方向移动，当测量单元显示的电压值为预设值时，则驱动电机驱动驱动电机固定，因此可以固定棱镜单元的位置；当测量单元显示的电压值不是预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述调整电压值为所述预设值。本发明通过先固定棱镜单元第一端的位置，然后再固定棱镜单元第二端的位置，因此可以自动调整棱镜单元的位置，使得棱镜单元处于平衡位置，因此可以提高工作效率。

附图说明

[0028] 图1：本发明一种自动调整半导体设备平衡性的装置的示意图。

[0029] 图2：本发明一种自动调整半导体设备平衡性的方法的流程图。

[0030] 图3：本发明中调整传感单元的位置示意图。

[0031] 图4：本发明中调整棱镜单元位置的示意图。

[0032] 图5：本发明中调整棱镜单元位置的另一示意图。

[0033] 符号说明

[0034] 100：自动调整半导体平衡性的装置，101：棱镜单元，102：传感单元，103：测量单元， 104：接收单元，105：分析单元，106：驱动单元，1061：驱动器，1062：驱动电机，107：电源单元，108：固定部件，109：顶针。

具体实施方式

[0035] 以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

[0036] 需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

[0037] 如图1所示，本实施例提出一种自动调整半导体设备平衡性的装置100，该自动调整半导体设备平衡性的装置100包括棱镜单元101，传感单元102，测量单元103，接收单元104，分析单元105，驱动单元106，电源单元107。自动调整半导体设备平衡性的装置100用于调整半导体设备中棱镜单元101的平衡位置，该半导体设备可以为缺陷扫描机台，用于扫描晶圆上的缺陷。

[0038] 如图1所示，在本实施例中，该棱镜单元101可以设置在半导体设备中，例如倾斜设置在半导体设备中，当调整棱镜单元101的位置时，即可改变光线的路径。在棱镜单元101的第一端上还设置有传感单元102，传感单元102可用于监测棱镜单元101的位置变化，例如当棱镜单元101的第一端向传感单元102移动时，棱镜单元101的第一端则挤压该传感单元102，即可形成电信号，例如形成电压信号或电流信号。又例如，当棱镜单元101虽然与传感单元102有接触，但是棱镜单元101对传感单元102无压力，工作人员则可以固定传感单元
102的位置。在本实施例中，该传感单元102例如为传感器。需要说明的是，传感单元102的顶部接触棱镜单元101，当棱镜单元101对传感单元102无压力时，例如测量单元103显示的电压值或电流值为预设值时，则可以认为棱镜单元101达到平衡位置，工作人员则可以通过顶针固定传感单元102的底部，也就是固定传感单元102的位置。

[0039] 如图1所示，该测量单元103连接传感单元102，当棱镜单元101挤压传感单元102时，传感单元102形成电信号，例如电压信号，测量单元102接收到该电压信号，并形成电压值，并且将该电压值发送至接收单元104，接收单元104根据该电压值形成反馈信号。例如，当电压值为预设值时，则表示棱镜单元101对传感单元102无挤压，也就是棱镜单元101处于平衡状态，因此接收单元104形成平衡反馈信号给分析单元105。又例如，当棱镜单元101挤压传感单元102时，传感单元102可以形成高电压信号，那么测量单元103则会显示出高电压值，接收单元104同时根据该高电压值形成负反馈信号。又例如当棱镜单元101未挤压传感单元102时，传感单元102可以形成低电压信号，那么测量单元103则会显示出低电压值，接收单元104同时根据该低电压值形成正反馈信号。

[0040] 如图1所示，在本实施例中，分析单元105连接驱动单元106和接收单元104。当接收单元104形成反馈信号后，将反馈信号发送至分析单元105，分析单元105根据反馈信号形成脉冲信号，并将脉冲信号发送至驱动单元106。在本实施例中，驱动单元106包括驱动器1061和驱动电机1062。驱动器1061连接分析单元105，驱动电机1062的一端连接驱动器1061，驱动电机1062的另一端连接棱镜单元101。驱动电机1062和传感单元102分别位于棱镜单元101的两端。当分析单元105接收到反馈信号后，分析单元105形成脉冲信号，并将脉冲信号发送至驱动器1061，驱动器1061则根据脉冲信号控制驱动电机1062转动。例如当接收单元
104发送的是负反馈信号，分析单元105接收负反馈信号，形成负脉冲信号，驱动器1061接收到该负脉冲信号后，驱动器1061驱动驱动电机1062向第一方向转动。又例如，当接收单元
104发送的是正反馈信号，分析单元105接收正反馈信号，形成正脉冲信号，驱动器1061接收到该正脉冲信号后，驱动器1061驱动驱动电机1062向第二方向转动。需要说明的是，第一方向和第二方向相反，驱动电机1062向第一方向转动时，棱镜单元102的第一端向远离传感单元102的方向转动，驱动电机1062向第二方向转动时，棱镜单元102的第一端向靠近传感单元102的方向转动。在本实施例中，该分析单元105例如为单片机。在本实施例中，当驱动器
1061驱动驱动电机1062向第一方向或第二方向转动时，传感单元102还会再次形成电压信号，同时测量单元103还可以形成调整电压值，如果调整电压值为预设值时，驱动器1061则驱动驱动电机1062固定，如果调整电压值不是预设值时，分析单元105会形成脉冲信号，驱动器1061根据所述脉冲信号驱动驱动电机1062移动，直至所述调整电压值为所述预设值。

[0041] 如图1所示，在本实施例中，驱动电机1062还连接分析单元105，驱动电机1062可以将反馈信号发送至分析单元105，例如驱动电机1062发送的反馈信号可以为驱动电机1062的位置信号，因此分析单元105可以获知驱动电机1062的位置。

[0042] 如图1所示，在本实施例中，电源单元107连接驱动器1061，接收单元104，测量单元103和分析单元105；用于为驱动器1061，接收单元104，测量单元103和分析单元105提供电力支持。需要说明的是，驱动器1061为驱动电机1062提供电力支持，分析单元105为传感单元102提供电力支持。分析单元105和传感单元102之间的虚线箭头表示电路。

[0043] 如图1所示，在本实施例中，该自动调整半导体设备的平衡性的装置100例如用于调整缺陷扫描机台中棱镜单元101的平衡性。在缺陷扫描机台中还包括光源部件，光源部件用于发射光线。光源部件可以为激光发射器，由于激光具有单色性好、亮度高、方向性好的优点，通过采用激光发射器作为本发明中的光源部件，可以通过激光发射器发射激光线，光线通过棱镜单元101时，可以改变光线的路径。

[0044] 如图1所示，在本实施例中，该自动调整半导体设备的平衡性的装置100可以先调整传感单元102的位置，也就是固定棱镜单元101第一端的位置，当测量单元103显示的电压值为预设值时，工作人员则可以先固定传感单元102的位置，然后再通过调整驱动电机1062的位置，在调整驱动电机1062的过程中，当测量单元103显示的电压值再次为预设值时，则固定驱动电机1062的位置，也就是固定棱镜单元101第二端的位置，从而可以快速固定第一端和第二端的位置，也就是可以快速使得棱镜单元101处于平衡状态。在驱动电机1062移动的过程中，如果测得单元103显示的电压值不是预设值时，那么分析单元105则根据接收单元104形成的反馈信号，形成脉冲信号；驱动器1061根据脉冲信号在驱动驱动电机1062进行转动，从而使得测得单元103显示的电压值为预设值，从而可以实对棱镜单元101的位置自动调整，因而可以快速使得棱镜单元101处于平衡状态，因此该自动调整半导体设备的平衡性的装置100可以提高工作效率。需要说明的是，棱镜单元101的位置调整的范围是非常小的，驱动电机1062的转动范围也是非常小的，例如为微米级别。

[0045] 如图2所示，本实施例还提出一种自动调整半导体设备平衡性的方法，包括：

[0046] S1：分别将传感单元和驱动电机设置在棱镜单元的第一端和第二端上，并调整所述传感单元的位置，以通过所述传感单元形成第一电压信号；

[0047] S2：通过测量单元接收所述第一电压信号，并形成第一电压值，当调整所述传感单元的位置使得所述第一电压值为预设值时，则固定所述传感单元的位置；

[0048] S3：通过所述传感单元获取所述驱动电机的位置，以形成第二电压信号；

[0049] S4：通过所述测量单元接收所述第二电压信号，并形成第二电压值；

[0050] S5：通过接收单元接收所述第二电压值，并形成反馈信号；

[0051] S6：通过分析单元接收所述反馈信号，并形成脉冲信号；

[0052] S7：通过驱动器接收所述脉冲信号，并驱动所述驱动电机固定或移动；其中，当所述第二电压值为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机固定，以固定所述棱镜单元的位置；当所述第二电压值不为所述预设值时，所述驱动器驱动所述驱动电机移动。

[0053] 如图1所示，在步骤S1-S2中，首先将传感单元102和驱动电机1062设置在棱镜单元101的两端，例如将传感单元102设置在棱镜单元101的第一端，将驱动电机1062设置在棱镜单元101的第二端，也就是将传感单元102和驱动电机1062设置在棱镜单元101的相对两端。

[0054] 如图1所示，在步骤S1-S2中，将传感单元102设置在第一端之后，开始调整传感单元102的位置，因此传感单元102会形成第一电压信号。同时测量单元103还会根据第一电压信号形成第一电压值，当第一电压值为预设值时，则固定传感单元102的位置，由此可以固定棱镜单元101第一端的位置。也就是说将传感单元102设置在第一端之后，并不断调整传感单元102的位置，从而使得测量单元103形成的第一电压值为预设值，由此来固定传感单元102的位置。

[0055] 如图3所示，图3显示为传感单元102的安装示意图。在棱镜单元101的背面设置有固定部件108，固定部件108上具有固定孔，传感单元102的主体部位于固定孔内，传感单元102的顶部与棱镜单元101接触，也就是说传感单元102可以在固定部件108内移动，当传感单元102与棱镜单元101接触，传感单元102会形成第一电压信号，同时传感单元102会将第一电压信号发送至测量单元103中，当测量单元103显示的第一电压值为预设值时，即可将传感单元102固定住，由于传感单元102的位置被固定住，因此可以固定棱镜单元102的第一端的位置。

[0056] 如图1和图4所示，在步骤S3-S7中，在固定传感单元102的位置之后，开始调整驱动电机1061的位置，也就是通过传感单元102来获取驱动电机1062的位置，在调整驱动电机1062的过程中，通过驱动器1061驱动驱动电机1062移动，因此传感单元102会形成第二电压信号。如果棱镜单元101的第一端向靠近传感单元102的方向移动，那么第一端会挤压传感单元102，因此第二电压信号可以为高电压信号，传感单元102将该高电压信号发送至测量单元103，测量单元103显示出高电压值，测量单元103同时将该高电压值发送至接收单元
104，接收单元104会形成负反馈信号，并将负反馈信号发送至分析单元105，该分析单元105会根据该负反馈信号形成负脉冲信号。分析单元105将负脉冲信号发送至驱动器1061，驱动器1061根据该负脉冲信号驱动驱动电机1062，从而带动第二端向远离第一端的方向移动。

[0057] 如图1和图4所示，在棱镜单元101的第二端向远离第一端移动的过程中，棱镜单元101的第一端同时向远离传感单元102的方向移动，因此传感单元102会再次形成电压信号，测量单元103会根据电压信号形成调整电压值，当测量单元103根据电压信号显示的调整电压值为预设值时，则表示可以将该驱动电机1062的位置固定住，也就是驱动器1061驱动驱动电机1062固定。如果测量单元103显示的调整电压值不是预设值，那么分析单元104会再次形成脉冲信号，驱动器1061根据所述脉冲信号来驱动驱动电机1062，从而使得测量单元
103显示的调整电压值为预设值，由此固定驱动电机1062，也就是固定棱镜单元101的第二端的位置。由于先固定传感单元102的位置，然后再固定驱动电机1062的位置，也就是先固定棱镜单元101的第一端的位置，然后再固定棱镜单元101的第二端的位置，因此可以快速固定棱镜单元101，也就是快速地将棱镜单元101调整至平衡位置。需要说明是，本实施例中，棱镜单元101的第一端和第二端的位置调整是非常小的，例如为几个微米。

[0058] 如图1，图4-图5，在步骤S3-S7中，在固定传感单元102的位置之后，当棱镜单元101的第一端向传感单元102的方向移动时，棱镜单元101的第二端会向远离第一端的方向移动。当棱镜单元101的第二端继续向远离第一端的方向移动时，那么棱镜单元101的第一端会向远离传感单元102的方向移动，因此棱镜单元101的第一端挤压传感单元102的压力变小，因此传感单元102会形成低电压信号，同时测量单元103接收到该低电压信号，测量单元103会形成低电压值，并将该低电压值发送至接收单元104，接收单元104会形成正反馈信号，并将该正反馈信号发送至分析单元105。分析单元105根据该正反馈信号形成正脉冲信号，并将正脉冲信号发送至驱动器1061，驱动器1061根据正脉冲信号驱动驱动电机1062，从而使得第二端向远离第一端的方向移动。在棱镜单元101的第二端向远离第一端的移动过程中，棱镜单元101的第一端同时向靠近传感单元102的方向移动，因此传感单元102会再形成电压信号，同时测量单元103会根据电压信号形成调整电压值。当测量单元103显示的电压值为预设值时，驱动器1061驱动驱动电机1062固定，从而固定驱动电机1062的位置，也就是可以固定棱镜单元101的第二端的位置。如果测量单元103显示的调整电压值不是预设值，那么分析单元104会再次形成脉冲信号，驱动器1061根据所述脉冲信号来驱动驱动电机
1062，从而使得测量单元103显示的调整电压值为预设值，由此固定驱动电机1062，也就是固定棱镜单元101的第二端的位置。由于先固定传感单元102的位置，然后再固定驱动电机
1062的位置，也就是先固定棱镜单元101的第一端的位置，然后再固定棱镜单元101的第二端的位置，因此可以快速固定棱镜单元101的位置，也就是快速地将棱镜单元101调整至平衡位置。在本实施例中，所述预设值例如为0V，1V。

[0059] 如图1和图5所示，在步骤S3-S6中，在固定传感单元102的位置之后，开始调整驱动电机1061的位置，也就是通过传感单元102来获取驱动电机1062的位置，在调整驱动电机1062的过程中，通过驱动器1061驱动驱动电机1062移动，因此传感单元102会形成第二电压信号。如果棱镜单元101的第一端向远离传感单元102的方向移动，那么第一端不挤压传感单元102，因此第二电压信号可以为低电压信号，传感单元102将该低电压信号发送至测量单元103，测量单元103显示出低电压值，测量单元103同时将该低电压值发送至接收单元
104，接收单元104会形成正反馈信号，并将正反馈信号发送至分析单元105，该分析单元105会根据该正反馈信号形成正脉冲信号。分析单元105将正脉冲信号发送至驱动器1061，驱动器1061根据该正脉冲信号驱动驱动电机1062，从而带动第二端向第一端的方向移动。

[0060] 如图1和图5所示，在棱镜单元101的第二端向第一端移动的过程中，棱镜单元101的第一端同时向靠近传感单元102的方向移动，因此传感单元102会再次形成电压信号，测量单元103会根据电压信号形成调整电压值，当测量单元103根据电压信号显示的调整电压值为预设值时，则表示可以将该驱动电机1062的位置固定住，也就是驱动器1061驱动驱动电机1062固定。如果测量单元103显示的调整电压值不是预设值，那么分析单元104会再次形成脉冲信号，驱动器1061根据所述脉冲信号来驱动驱动电机1062，从而使得测量单元103显示的调整电压值为预设值，由此固定驱动电机1062，也就是固定棱镜单元101的第二端的位置。由于先固定传感单元102的位置，然后再固定驱动电机1062的位置，也就是先固定棱镜单元101的第一端的位置，然后再固定棱镜单元101的第二端的位置，因此可以快速固定棱镜单元101，也就是快速地将棱镜单元101调整至平衡位置。

[0061] 综上所述，本发明提出一种自动调整半导体设备平衡性的装置及方法，首先将传感单元和驱动电机分别设置在棱镜单元的第一端和第二端上，然后调整传感单元的位置，当测量单元显示的电压值为预设值时，工作人员则固定传感单元的位置，也就是先固定棱镜单元的第一端的位置，然后再调整驱动电机的位置，在调整驱动电机的位置过程中，当棱镜单元的第一端向传感器的方向移动时，棱镜单元则挤压传感器，形成高电压信号，分析单元则发送负脉冲信号，因此驱动电机负向转动，因此棱镜单元的第二端会向远离第一端的方向移动，且棱镜单元的第一端向远离传感单元的方向移动；当测量单元显示的电压值为预设值时，则驱动电机驱动驱动电机固定，因此可以固定棱镜单元的位置，也就是固定棱镜单元的第二端的位置；当测量单元显示的电压值不是预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述调整电压值为所述预设值。同理，当所述驱动器驱动所述驱动电机移动时，所述第一端向远离所述传感单元的方向移动，则所述第二电压信号为低电压信号，所述接收单元接收到所述低电压信号后形成正反馈信号，所述分析单元接收所述正反馈信号形成正脉冲信号；所述驱动器根据所述正反馈信号驱动所述驱动电机以带动所述第二端向远离所述第一端的方向移动；在所述第二端向远离所述第一端移动的过程中，所述第一端向靠近所述传感单元的方向移动，当测量单元显示的电压值为预设值时，则驱动电机驱动驱动电机固定，因此可以固定棱镜单元的位置；当测量单元显示的电压值不是预设值时，通过所述驱动器接收所述分析单元的脉冲信号，并驱动所述驱动电机移动，直至所述调整电压值为所述预设值。本发明通过先固定棱镜单元第一端的位置，然后再固定棱镜单元第二端的位置，因此可以自动调整棱镜单元的位置，使得棱镜单元处于平衡位置，因此可以提高工作效率。

[0062] 在整篇说明书中提到“一个实施例(one  embodiment)”、“实施例(an embodiment)”或“具体实施例(a specific embodiment)”意指与结合实施例描述的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中，并且不一定在所有实施例中。因而，在整篇说明书中不同地方的短语“在一个实施例中(in one embodiment)”、“在实施例中(in an embodiment)”或“在具体实施例中(in a specific embodiment)”的各个表象不一定是指相同的实施例。此外，本发明的任何具体实施例的特定特征、结构或特性可以按任何合适的方式与一个或多个其他实施例结合。应当理解本文所述和所示的发明实施例的其他变型和修改可能是根据本文教导的，并将被视作本发明精神和范围的一部分。

[0063] 还应当理解还可以以更分离或更整合的方式实施附图所示元件中的一个或多个，或者甚至因为在某些情况下不能操作而被移除或因为可以根据特定应用是有用的而被提供。

[0064] 另外，除非另外明确指明，附图中的任何标志箭头应当仅被视为示例性的，而并非限制。此外，除非另外指明，本文所用的术语“或”一般意在表示“和/或”。在术语因提供分离或组合能力是不清楚的而被预见的情况下，部件或步骤的组合也将视为已被指明。

[0065] 如在本文的描述和在下面整篇权利要求书中所用，除非另外指明，“一个(a)”、“一个(an)”和“该(the)”包括复数参考物。同样，如在本文的描述和在下面整篇权利要求书中所用，除非另外指明，“在…中(in)”的意思包括“在…中(in)”和“在…上(on)”。

[0066] 本发明所示实施例的上述描述(包括在说明书摘要中所述的内容)并非意在详尽列举或将本发明限制到本文所公开的精确形式。尽管在本文仅为说明的目的而描述了本发明的具体实施例和本发明的实例，但是正如本领域技术人员将认识和理解的，各种等效修改是可以在本发明的精神和范围内的。如所指出的，可以按照本发明所述实施例的上述描述来对本发明进行这些修改，并且这些修改将在本发明的精神和范围内。

[0067] 本文已经在总体上将系统和方法描述为有助于理解本发明的细节。此外，已经给出了各种具体细节以提供本发明实施例的总体理解。然而，相关领域的技术人员将会认识到，本发明的实施例可以在没有一个或多个具体细节的情况下进行实践，或者利用其它装置、系统、配件、方法、组件、材料、部分等进行实践。在其它情况下，并未特别示出或详细描述公知结构、材料和/或操作以避免对本发明实施例的各方面造成混淆。

[0068] 因而，尽管本发明在本文已参照其具体实施例进行描述，但是修改自由、各种改变和替换意在上述公开内，并且应当理解，在某些情况下，在未背离所提出发明的范围和精神的前提下，在没有对应使用其他特征的情况下将采用本发明的一些特征。因此，可以进行许多修改，以使特定环境或材料适应本发明的实质范围和精神。本发明并非意在限制到在下面权利要求书中使用的特定术语和/或作为设想用以执行本发明的最佳方式公开的具体实施例，但是本发明将包括落入所附权利要求书范围内的任何和所有实施例及等同物。因而，本发明的范围将只由所附的权利要求书进行确定。