高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器转让专利
申请号 : CN202011222819.4
文献号 : CN112577659B
文献日 : 2021-11-02
发明人 : 李德才 , 任思杰 , 李钲皓 , 李英松 , 韩鹏栋
申请人 : 清华大学
摘要 :
权利要求 :
1.一种高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,包括:第一管组和第二管组,所述第一管组内设有第一腔和第一毛细腔,所述第一毛细腔的一端与所述第一腔连通,所述第二管组内设有第二腔和第二毛细腔,所述第二毛细腔的一端与所述第二腔连通,所述第一腔内和所述第二腔内均填充有磁性液体,所述第一毛细腔和所述第二毛细腔均用于产生吸入所述磁性液体的毛细力;
连通管,所述连通管内设有连通腔,所述连通腔的一端与所述第一毛细腔的另一端连通,所述连通腔的另一端与所述第二毛细腔的另一端连通,所述连通腔内填充有非磁性流体,所述非磁性流体用于分隔第一毛细腔内的磁性液体和第二毛细腔内的磁性液体;
第一弹性膜,所述第一弹性膜设于所述第一管组内并位于所述第一腔的一侧,所述第一弹性膜用于将所述磁性液体弹性封堵在所述第一腔内;
第二弹性膜,所述第二弹性膜设于所述第二管组内并位于所述第二腔的一侧,所述第二弹性膜用于将所述磁性液体弹性封堵在所述第二腔内;
第一线圈和第二线圈,所述第一线圈缠绕在所述第一管组的外周,且与所述第一毛细腔对应,所述第二线圈缠绕在所述第二管组的外周,且与所述第二毛细腔对应,所述第一线圈用于在第一线圈内的磁性液体长度变化时输出电压信号,所述第二线圈用于在第二线圈内的磁性液体长度变化时输出电压信号。
2.根据权利要求1所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一管组包括第一管和第一毛细管,所述第一腔形成在所述第一管内,所述第一弹性膜设在所述第一管内,所述第一毛细腔形成在所述第一毛细管内,所述第二管组包括第二管和第二毛细管,所述第二腔形成在所述第二管内,所述第二弹性膜设在所述第二管内,所述第二毛细腔形成在所述第二毛细管内,所述第一线圈缠绕在所述第一毛细管的外周,所述第二线圈缠绕在所述第二毛细管的外周,所述连通管的一端与所述第一毛细管密封连接,所述连通管的另一端与所述第二毛细管密封连接。
3.根据权利要求2所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一管和所述第二管相对布置,所述第一管的中心线的延长线和所述第二管的中心线的延长线共线。
4.根据权利要求3所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一毛细管设在所述第一管的外周侧,所述第二毛细管设在所述第二管的外周侧,所述第一毛细管和所述第二毛细管在所述第一管的延伸方向上相对且间隔布置。
5.根据权利要求4所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一毛细管的延伸方向和所述第一管的延伸方向垂直,所述第二毛细管的延伸方向和所述第二管的延伸方向垂直。
6.根据权利要求4所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一管的一端与所述第二管的一端连接,所述第一管和所述第二管的连接处设有隔板,所述第一弹性膜和所述隔板之间形成所述第一腔,所述第二弹性膜和所述隔板之间形成所述第二腔。
7.根据权利要求6所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一毛细管和所述第一管的连接处与所述隔板的间距为5mm‑10mm,所述第二毛细管和所述第二管的连接处与所述隔板的间距为5mm‑10mm。
8.根据权利要求6所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一弹性膜和所述隔板的间距为12mm‑18mm,所述第二弹性膜和所述隔板的间距为12mm‑
18mm。
9.根据权利要求1所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述连通管为软管。
10.根据权利要求1所述的高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器,其特征在于,所述第一弹性膜和所述第二弹性膜的材质为橡胶。
说明书 :
高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器
技术领域
背景技术
用下,存在线圈的电感变化弱且输出的信号差的问题。
发明内容
使线圈输出较强的电压信号,提高了微压差传感器的灵敏度。
腔连通,所述第二管组内设有第二腔和第二毛细腔,所述第二毛细腔的一端与所述第二腔
连通,所述第一腔内和所述第二腔内均填充有磁性液体,所述第一毛细腔和所述第二毛细
腔均用于产生吸入所述磁性液体的毛细力;连通管,所述连通管内设有连通腔,所述连通腔
的一端与所述第一毛细腔的另一端连通,所述连通腔的另一端与所述第二毛细腔的另一端
连通,所述连通腔内填充有非磁性流体,所述非磁性流体用于分隔第一毛细腔内的磁性液
体和第二毛细腔内的磁性液体;第一弹性膜,所述第一弹性膜设于所述第一管组内并位于
所述第一腔的一侧,所述第一弹性膜用于将所述磁性液体弹性封堵在所述第一腔内;第二
弹性膜,所述第二弹性膜设于所述第二管组内并位于所述第二腔的一侧,所述第二弹性膜
用于将所述磁性液体弹性封堵在所述第二腔内;第一线圈和第二线圈,所述第一线圈缠绕
在所述第一管组的外周,且与所述第一毛细腔对应,所述第二线圈缠绕在所述第二管组的
外周,且与所述第二毛细腔对应,所述第一线圈用于在第一线圈内的磁性液体长度变化时
输出电压信号,所述第二线圈用于在第二线圈内的磁性液体长度变化时输出电压信号。
的长度和第二毛细腔内磁性液体的长度均会变化,毛细腔能够起到放大磁性液体长度变化
的作用,并使得第一线圈和第二线圈能够感知较强的电压信号,提高了微压差传感器的灵
敏度。由于毛细腔能够产生毛细力作用,使得毛细腔内磁性液体的状态更加稳定。
降低了成本。
既可用于两端气体压差的测量,也方便了两端绝对压强的测量。
内,所述第二管组包括第二管和第二毛细管,所述第二腔形成在所述第二管内,所述第二弹
性膜设在所述第二管内,所述第二毛细腔形成在所述第二毛细管内,所述第一线圈缠绕在
所述第一毛细管的外周,所述第二线圈缠绕在所述第二毛细管的外周,所述连通管的一端
与所述第一毛细管密封连接,所述连通管的另一端与所述第二毛细管密封连接。
对且间隔布置。
弹性膜和所述隔板之间形成所述第二腔。
附图说明
具体实施方式
211连通,第一腔111内和第二腔211内均填充有磁性液体,第一毛细腔121和第二毛细腔221
均用于产生吸入磁性液体的毛细力。
腔111内的磁性液体在毛细力的作用下会流入第一毛细腔121内,第二腔211内的磁性液体
在毛细力的作用下会流入第二毛细腔221内。为方便描述,以下将填充在第一腔111内的磁
性液体称为第一磁性液体13,将填充在第二腔211内的磁性液体称为第二磁性液体23。
分隔第一毛细腔121内的磁性液体和第二毛细腔221内的磁性液体。
连通。第二毛细腔221的一端与第二腔211连通,第二毛细腔221的另一端与连通腔的另一端
连通。本实施例中连通腔内填充有非磁性流体31,非磁性流体31和磁性液体不相容,非磁性
流体31在毛细力的作用下也会流入第一毛细腔121和第二毛细腔221内,非磁性流体31能够
分隔流入第一毛细腔121的第一磁性液体13和流入第二毛细腔221的第二磁性液体23。
使得第一磁性液体13仅能够流入第一毛细腔121内。第二弹性膜5设于第二管组2内并位于
第二腔211的一侧,第二弹性膜5用于将磁性液体弹性封堵在第二腔211内。
能,当作用在第一弹性膜4和作用在第二弹性膜5上的压强发生变化时,流入第一毛细腔121
的第一磁性液体13长度和流入第二毛细腔221的第二磁性液体23长度会发生变化。
度变化时输出电压信号。第二线圈7用于在第二线圈7内的磁性液体长度变化时输出电压信
号。
第一磁性液体13和非磁性流体31的分界面位于第一线圈6内,第二磁性液体23和非磁性流
体31的分界面位于第二线圈7内。当第一线圈6内的第一磁性液体13长度发生变化时,第一
线圈6会产生磁感效应并输出电压信号,当第二线圈7内的第一磁性液体13长度发生变化
时,第二线圈7会产生磁感效应并输出电压信号。
提高了微压差传感器的灵敏度。由于毛细腔能够产生毛细力作用,毛细力会对磁性液体造
成一定的阻滞效果,使得毛细腔内磁性液体的状态更加稳定。
况,降低了成本。连通管3的尺寸相对于毛细管的尺寸较大,使得连通管3内压强的调节相对
容易,微压差传感器使用过程中,可以将连通管3的压强调至与大气压相同,从而使得微压
差传感器既可用于两端气体压差的测量,也方便了两端绝对压强的测量。
内。第二管组2包括第二管21和第二毛细管22,第二腔211形成在第二管21内,第二弹性膜5
设在第二管21内,第二毛细腔221形成在第二毛细管22内,第一线圈6缠绕在第一毛细管12
的外周,第二线圈7缠绕在第二毛细管22的外周。连通管3的一端与第一毛细管12密封连接,
连通管3的另一端与第二毛细管22密封连接。
毛细管22。第一腔111和第一弹性膜4均位于第一管11内,第一毛细腔121则位于第一毛细管
12内,第二腔211和第二弹性膜5均位于第二管21内,第二毛细腔221则位于第二毛细管22
内。本实施例中第一线圈6缠绕在第一毛细管12的外周侧,第二线圈7缠绕在第二毛细管22
的外周侧。
方面使得第一管11和第二管21能够在一条直线上校准,减小了第一管11和第二管21结构的
差异性,进而减小了第一线圈6输出电压信号和第二线圈7输出电压信号的差异性,有利于
电压信号的稳定输出;另一方面简化了微压差传感器的结构设计和立体造型,方便了微压
差传感器的加工。
间隔布置。具体地,第一毛细管12设在第一管11的外周侧、第二毛细管22设在第二管21的外
周侧的设计避免了第一管11、第一毛细管12、第二毛细管22、第二管21均沿着一条直线设置
时容易造成整体长度较长的问题,使得微压差传感器的整体结构更加紧凑、合理。另外,第
一毛细管12、第一管11、第二毛细管22、第二管21的紧凑布置还能够起到增强微压差传感器
结构强度的效果,避免了轻易折损的情况。
11的垂直布置、第二毛细管22和第二管21的垂直布置简化了第一毛细管12和第二毛细管22
的布置形式,方便了第一毛细管12和第二毛细管22的校准,有利于减小第一毛细管12和第
二毛细管22的差异性,进而有利于减小第一线圈6输出电压信号和第二线圈7输出电压信号
的差异性,实现了电压信号的稳定输出。
隔板8之间形成第二腔211。具体地,第一管11和第二管21的连接布置简化了微压差传感器
的整体结构,使得第一管11和第二管21可以一体加工成型,通过在管体内设置隔板8即可将
管体分隔成第一管11和第二管21。另外,第一管11和第二管21的连接布置还实现了第一管
组1和第二管组2的连接固定,提高了结构强度。
毛细管12和第一管11的连接处与隔板8的间距可以为5mm‑10mm之间的任意数值,例如为
5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mm等,第二毛细管22和第二管21的连接处和隔板8的间距可以为
5mm‑10mm之间的任意数值,例如为5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mm等。由于远离第一弹性膜4的
第一磁性液体13的液态和远离第二弹性膜5的第二磁性液体23的液态相对稳定,第一毛细
管12和第一管11的连接处与隔板8间隔设定间距、第二毛细管22和第二管21的连接处与隔
板8间隔设定间距的布置减弱了第一弹性膜4振动和第二弹性膜5振动的影响。
间的任意数值,例如为12mm、13mm、14mm、15mm、16mm、17mm、18mm等。第二弹性膜5和隔板8的
间距可以为12mm‑18mm之间的任意数值,例如为12mm、13mm、14mm、15mm、16mm、17mm、18mm等。
由于第一腔111位于第一弹性膜4和隔板8之间,第二腔211位于第二弹性膜5和隔板8之间,
第一腔111和第二腔211均具有较大的体积有利于减小第一腔111和第二腔211的差异性,从
而有利于缩减第一线圈6输出电压信号和第二线圈7输出电压信号的差异性,有利于电压信
号的稳定输出。
管12、第二毛细管22的连接。
实施例中,第一弹性膜4和第二弹性膜5也可采用高分子材料、有机合成材料等。
管组1内设有第一腔111和第一毛细腔121,第一毛细腔121与第一腔111连通,第二管组2内
设有第二腔211和第二毛细腔221,第二毛细腔221与第二腔211连通。第一腔111和第二腔
211内均填充有磁性液体,磁性液体具体为煤油基磁性液体。为方便描述,以下将填充在第
一腔111内的磁性液体称为第一磁性液体13,将填充在第二腔211内的磁性液体称为第二磁
性液体23。
固定在第一管11的外周侧,且第一毛细管12的延伸方向与第一管11的延伸方向垂直,具体
地,本实施例中第一毛细管12沿着上下方向延伸,第一管11则沿着左右方向延伸。如图2所
示,本实施例中第一弹性膜4设在第一管11内,第一弹性膜4将第一管11的内腔分隔为第一
腔111和第三腔112,其中第一腔111位于第一弹性膜4的右侧,第三腔112位于第一弹性膜4
的左侧。本实施例中第一毛细腔121位于第一毛细管12内,第一毛细腔121与第一腔111连
通。
施例中第二毛细管22沿着上下方向延伸,第二管21则沿着左右方向延伸。如图2所示,本实
施例中第二弹性膜5设在第二管21内,第二弹性膜5将第二管21的内腔分隔为第二腔211和
第四腔212,其中第二腔211位于第二弹性膜5的左侧,第四腔212位于第二弹性膜5的右侧。
本实施例中第二毛细腔221位于第二毛细管22内,第二毛细腔221与第二腔211连通。
例中第一管11和第二管21一体设置,第一管11和第二管21可视为一个管体两段,例如,管体
可以为直线型的玻璃管,管体的内部中间位置设有隔板8,隔板8可以与管体一体设置,也可
以采用粘接的方式固定在管体内,隔板8的左侧管体部分形成第一管11,隔板8的右侧管体
部分形成第二管21。需要说明的是,本实施例中第一腔111位于第一弹性膜4和隔板8之间,
第二腔211位于隔板8和第二弹性膜5之间。可以理解的是,在其他一些实施例中,第一管11
和第二管21也可分体设置,此时,第一管11和第二管21均为桶状结构,即第一管11的右侧为
封口,第二管21的左侧为封口。
弹性膜5和隔板8的间距为18mm。
的顶端连接。连通管3内设有连通腔,如图2所示,连通腔的一端与第一毛细腔121连通,连通
腔的另一端与第二毛细腔221连通。本实施例中连通腔的横截面尺寸要大于第一毛细腔121
的横截面尺寸,连通腔的横截面尺寸也要大于第二毛细腔221的横截面尺寸。为了方便连通
管3的弯折,本实施例中连通管3为软管。可以理解的是,在其他一些实施例中,连通管3也可
以为硬质管,例如连通管3为玻璃管,此时,为了方便连通管3与第一毛细管12和第二毛细管
22的连接,连通管3的形状为U型。本实施例中连通管3与第一毛细管12和第二毛细管22均采
用粘接或卡套连接的方式连接固定。需要说明的是,本实施例中连通腔内用于填充非磁性
流体31,例如非磁性流体31为空气,非磁性流体31和磁性液体不相容,非磁性流体31能够分
隔流入第一毛细腔121的第一磁性液体13和流入第二毛细腔221的第二磁性液体23。
腔211的右侧,第二弹性膜5用于将第二磁性液体23弹性封堵在第二腔211内。本实施例中第
一弹性膜4和第二弹性膜5的材质均为橡胶。第一弹性膜4和第二弹性膜5均采用粘接的方式
分别固定在第一管11内和第二管21内。
液体13和非磁性流体31的分界面位于第一线圈6内,第二磁性液体23和非磁性流体31的分
界面位于第二线圈7内。
第一弹性膜4上,压强P2会作用在第二弹性膜5上,由于压强大小的不同,位于第一弹性膜4
和第二弹性膜5之间的非磁性流体31和磁性液体会失稳,例如,当压强P1大于压强P2时,此
时,第一弹性膜4会向右侧凹陷,位于第一线圈6内的第一磁性液体13的长度会变长,随着第
一磁性液体13的流入,第二线圈7内的第二磁性液体23长度则会缩减,第二弹性膜5则会向
右侧鼓起。由于第一线圈6内第一磁性液体13长度的变化和第二线圈7内第二磁性液体23长
度的变化,第一线圈6内和第二线圈7内会产生感应电流,从而实现对具有弹性膜的磁性液
体微压差传感器两端压差大小的感知。
管组2、连通管3、第一弹性膜4、第二弹性膜5、第一线圈6和第二线圈7的结构可以与上述实
施例中相同,此处不再赘述。不同的是,本实施例中第一毛细管12和第一管11的连接处与隔
板8的间距为5mm,第二毛细管22和第二管21的连接处与隔板8的间距为5mm,第一弹性膜4和
隔板8的间距为12mm,第二弹性膜5和隔板8的间距为12mm。
管组2、连通管3、第一弹性膜4、第二弹性膜5、第一线圈6和第二线圈7的结构可以与上述实
施例中相同,此处不再赘述。不同的是,本实施例中第一毛细管12和第一管11的连接处与隔
板8的间距为8mm,第二毛细管22和第二管21的连接处与隔板8的间距为8mm,第一弹性膜4和
隔板8的间距为15mm,第二弹性膜5和隔板8的间距为15mm。
针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或
位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必
须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三
个等,除非另有明确具体地限定。
接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以
是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的
普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示
第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第
一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不
必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任
一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技
术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结
合和组合。
实施例进行变化、修改、替换和变型。