一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器转让专利
申请号 : CN202011453884.8
文献号 : CN112611484B
文献日 : 2021-12-28
发明人 : 李村 , 赵玉龙 , 葛晓慧 , 张全伟 , 李波 , 韩超
申请人 : 西安交通大学
摘要 :
权利要求 :
1.一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器,其特征在于:包括一体式金属压力差动转换元件(1),一体式金属压力差动转换元件(1)上连接有两个石英双端固支音叉(4),一体式金属压力差动转换元件(1)上侧及两个石英双端固支音叉(4)外侧连接有上盖帽(2),形成真空密封;一体式金属压力差动转换元件(1)下侧连接有下盖板(3),下盖板(3)密封PCB安装腔室(1d),完成普通气密;
所述的一体式金属压力差动转换元件(1)为一体化制造,包括固定外框架(1b),固定外框架(1b)上部内侧连接有柔性框架(1a),柔性框架(1a)和两个石英双端固支音叉(4)连接,固定外框架(1b)下部设有待测压力通道(1c)和PCB安装腔室(1d),待测压力通道(1c)位于中心;通过玻璃烧结金柱(1e)完成PCB安装腔室(1d)和柔性框架(1a)上安装的两个石英双端固支音叉(4)之间的电气连接;
两个石英双端固支音叉(4)垂直交叉平行地安装于柔性框架(1a)的左右两侧,柔性框架(1a)一端与待测压力通道(1c)一体固接,另一端与固定外框架(1b)一体固接;
两个石英双端固支音叉(4)垂直交叉平行地安装于柔性框架(1a)的左右两侧,且柔性框架(1a)两面都有对石英双端固支音叉水平或竖直安装的对准安装槽。
2.根据权利要求1所述的一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器,其特征在于:所述的石英双端固支音叉(4)中部的两个叉臂(4e)表面四周设置有电极,电极之间相互电连接,用以石英双端固支音叉起振,在逆压电效应作用下,通交变电压,石英音叉梁处于预设振动模态;在石英双端固支音叉(4)一端上面(4a)有检测电极,第一下面(4c)为安装面;在石英双端固支音叉(4)另一端上面(4b)有与外部电路连接的焊盘,第二下面(4d)是安装面;通电之后能够按照预定模态振动。
3.根据权利要求1所述的一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器,其特征在于:所述的下盖板(3)且留有第一外接孔(3a)和第二外接孔(3b),分别引出电源正负极线和两个石英双端固支音叉(4)的信号输出线。
说明书 :
一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器
技术领域
背景技术
共轭干扰,又常引入悬臂梁、柔性杠杆等机械信号传递结构,额外的结构需要额外的连接设
计,对准精度和连接强度会影响传感器的整体精度和可靠性,而且若是不同材料的压力转
换结构又会造成热不匹配,进一步干扰压力传感器的性能。
发明内容
差动转换元件1上侧及两个石英双端固支音叉4外侧连接有上盖帽2,形成真空密封;一体式
金属压力差动转换元件1下侧连接有下盖板3,下盖板3密封PCB安装腔室1d,完成普通气密;
架1b下部设有待测压力通道1c和PCB安装腔室1d,待测压力通道1c位于中心;通过玻璃烧结
金柱1e完成PCB安装腔室1d和柔性框架1a上安装的两个石英谐振器4之间的电气连接;
直交叉的安装在柔性框架的1a‑2面,1a‑1面和1a‑2面垂直,且柔性框架1a两面都有对石英
谐振音叉水平或竖直安装的对准安装槽。
动模态;在石英双端固支音叉4一端上面4a有检测电极,下面4c为安装面;在石英双端固支
音叉4另一端上面4b有与外部电路连接的焊盘,下面4d是安装面;通电之后能够按照预定模
态振动。
避免了额外结构的连接、对准和不同材料热不匹配引起的不利干扰;测量过程无需数模转
换,输出为准数字的压力信号。
附图说明
具体实施方式
叉4,一体式金属压力差动转换元件1上侧及两个石英双端固支音叉4外侧连接有上盖帽2,
形成真空密封,保证谐振腔室的真空封装效果;一体式金属压力差动转换元件1下侧连接有
下盖板3,下盖板3密封PCB安装腔室1d,完成普通气密封装;
架1b下部设有待测压力通道1c和PCB安装腔室1d,待测压力通道1c位于中心;通过玻璃烧结
金柱1e完成PCB安装腔室1d和柔性框架1a上安装的两个石英谐振器4之间的电气连接;
支音叉4垂直交叉的安装在柔性框架的1a‑2面,1a‑1面和1a‑2面垂直,且柔性框架1a两面都
有对石英谐振音叉水平或竖直安装的对准安装槽。
于预设振动模态;在石英双端固支音叉4一端上面4a有检测电极,下面4c为安装面;在石英
双端固支音叉4另一端上面4b有与外部电路连接的焊盘,下面4d是安装面;通电之后能够按
照预定模态振动。
线方向的两个石英双端固执音叉4,在水平对角线方向受拉,在竖直对角线方向受压,且受
力大小相等,形成差动输出,进而使得石英音叉梁谐振频率发生变化,通过测量频率变化,
可获得待测压力信息,不仅可以提高敏感度,还可以抑制温漂等共轭干扰;
一体固接的一端沿竖直对角线方向发生位移,柔性框架1a的另一端有固定外框架1b一体固
接,则在柔性框架1a平行垂直交叉安装的两个石英双端固支音叉4受力发生变形,其中在水
平对角方向的石英双端固支音叉4受拉力,在竖直对角方向的石英双端固支音叉4受压力,
两者受力大小相同,其振动频率发生变化,两者的频率差与压力成比例关系,通过测量频率
差,进而获得所测压力的大小。