一种清洗半导体晶片的石英缸

摘要

本申请涉及一种清洗半导体晶片的石英缸，包括底座，设置在底座上的石英缸体，所述石英缸体上部开口，开口处设置有盖板，石英缸体的底部设有倾斜板，处于倾斜板底端的石英缸体侧壁上设有排液口，所述石英缸体的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件，所述石英缸体内还设有清洗毛刷，所述的底座上设有驱动晶片夹持组件动作的驱动组件。本申请的有益效果为：可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件上，之后再将晶片夹持组件安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时清洗多个晶片，提高了清洗效率以及操作的安全性。

权利要求

1.一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：包括底座（100），设置在底座（100）上的石英缸体（200），所述石英缸体（200）上部开口，开口处设置有盖板（210），石英缸体（200）的底部设有倾斜板（220），处于倾斜板（220）底端的石英缸体（200）侧壁上设有排液口（230），所述石英缸体（200）的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件（300），所述石英缸体（200）内还设有清洗毛刷（400），所述的底座（100）上设有驱动晶片夹持组件（300）动作的驱动组件（500）； 所述晶片夹持组件（300）包括一侧铰接的上夹持件（310）和下夹持件（320），上夹持件（310）和下夹持件（320）的另一侧可通过锁紧件（330）固定；

所述下夹持件（320）包括两个边侧板（321），设置在两个边侧板（321）之间的主夹紧杆（322）和分设在主夹紧杆（322）两侧的辅助夹紧杆（323），所述主夹紧杆（322）上设有若干对主夹体（3221），所述辅助夹紧杆（323）上设有若干对与主夹体（3221）对应的辅助夹体（3231），所述一边侧板（321）的外侧设有传动杆（340），另一边侧板（321）的外侧设有导杆（350），导杆（350）内部中空；

所述主夹体（3221）间隔固定连接在主夹紧杆（322）上，所述主夹紧杆（322）内部设有导流腔，相邻两个主夹体（3221）之间设有两组背向倾斜的喷洗管（360），所述喷洗管（360）连通至导流腔，所述导流腔通过导杆（350）连通循环组件（600）。

2.根据权利要求1所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述驱动组件（500）包括安装在底座（100）上的驱动电机（510），驱动电机（510）的输出轴（520）与石英缸体（200）转动密封连接并延伸至石英缸体（200）内部，处于石英缸体（200）内的输出轴（520）设有与传动杆（340）连接的连接件（530）。

3.根据权利要求1所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述循环组件（600）包括设置在底座（100）上的循环泵（610），所述循环泵（610）通过第一管道（620）连通至石英缸体（200）内部，所述循环泵（610）通过第二管道（630）转动密封连通导杆（350），导杆（350）与导流腔连通，导杆（350）与石英缸体（200）转动密封连接。

4.根据权利要求2所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述连接件（530）包括滑动连接在输出轴（520）上的滑动传动套（531），所述滑动传动套（531）与传动杆（340）键合。

5.根据权利要求4所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述连接件（530）还包括驱动滑动传动套（531）复位的弹性组件。

6.根据权利要求5所述的一种清洗半导体晶片的石英缸，其特征在于：所述弹性组件包括固定在输出轴（520）上的固定块（540），两端分别固定在固定块（540）和滑动传动套（531）之间的弹簧（550）。

说明书

一种清洗半导体晶片的石英缸

技术领域

[0001] 本申请涉及晶片清洗设备技术领域，尤其是涉及一种清洗半导体晶片的石英缸。

背景技术

[0002] 半导体晶片：在半导体片材上进行浸蚀，布线，製成的能实现某种功能的半导体器件，在半导体晶片加工的过程中需要进行清洗工作。

[0003] 相关技术中，半导体晶片的清洗方式为将盛有溶液的普通玻璃烧杯在通电加热板上进行加热。

[0004] 针对上述相关技术，发明人认为存在以下缺陷：玻璃烧杯的容积制约晶片清洗数量；且存在一定危险性，清洗效率低。

发明内容

[0005] 为了提高清洗效率以及操作的安全性，本申请提供了一种清洗半导体晶片的石英缸。

[0006] 本申请提供一种清洗半导体晶片的石英缸，采用如下的技术方案：

[0007] 一种清洗半导体晶片的石英缸，包括底座，设置在底座上的石英缸体，所述石英缸体上部开口，开口处设置有盖板，石英缸体的底部设有倾斜板，处于倾斜板底端的石英缸体
侧壁上设有排液口，所述石英缸体的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件，所述石英缸体内
还设有清洗毛刷，所述的底座上设有驱动晶片夹持组件动作的驱动组件。

[0008] 通过采用上述技术方案：通过设置晶片夹持组件可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件上，之后再将晶片夹持组件安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时
清洗多个晶片，提高了清洗效率以及操作的安全性。

[0009] 可选的，所述晶片夹持组件包括一侧铰接的上夹持件和下夹持件，上夹持件和下夹持件的另一侧可通过锁紧件固定。

[0010] 通过采用上述技术方案：下夹持件用于夹持多个晶片，晶片安装在下夹持上，然后转动上夹持件将上夹持件扣合在下夹持件上并通过锁紧件进行固定，进一步提高了晶片的
夹持牢固度。

[0011] 可选的，所述下夹持件包括两个边侧板，设置在两个边侧板之间的主夹紧杆和分设在主夹紧杆两侧的辅助夹紧杆，所述主夹紧杆上设有若干对主夹体，所述辅助夹紧杆上
设有若干对与主夹体对应的辅助夹体，所述一边侧板的外侧设有传动杆，另一边侧板的外
侧设有导杆，导杆内部中空。

[0012] 通过采用上述技术方案：主夹紧杆和辅助夹紧杆形成三点支撑，对晶片进行支撑，主夹体和辅助夹体对晶片进行夹持，传动杆用于传动带动晶片夹持组件转动，导杆用于连
接晶片夹持组件的另一端。

[0013] 可选的，所述主夹体间隔固定连接在主夹紧杆上，所述主夹紧杆内部设有导流腔，相邻两个主夹体之间设有两组背向倾斜的喷洗管，所述喷洗管连通至导流腔，所述导流腔
通过导杆连通循环组件。

[0014] 通过采用上述技术方案：在进行清洗时，晶片可以在晶片夹持组件带动的作用下在石英缸体内转动，同时通过导流腔和喷洗管的配合可以向晶片侧面喷淋清洗液，通过转
动加喷淋的方式可以进一步扰动清洗液，提高了清洗效率。

[0015] 可选的，所述驱动组件包括安装在底座上的驱动电机，驱动电机的输出轴与石英缸体转动密封连接并延伸至石英缸体内部，处于石英缸体内的输出轴设有与传动杆连接的
连接件。

[0016] 通过采用上述技术方案：通过启动驱动电机，输出轴转动，输出轴通过连接件带动传动杆转动，传动杆带动晶片夹持组件转动，实现晶片在石英缸内的转动清洗，提高了清洗
效率。

[0017] 可选的，所述循环组件包括设置在底座上的循环泵，所述循环泵通过第一管道连通至石英缸体内部，所述循环泵通过第二管道转动密封连通导杆，导杆与导流腔连通，导杆
与石英缸体转动密封连接。

[0018] 通过采用上述技术方案：循环泵将石英缸体内的清洗液抽送至导流腔内，由喷洗管喷向至晶片侧面实现喷淋清洗，清洗液可多次循环使用。

[0019] 可选的，所述连接件包括滑动连接在输出轴上的滑动传动套，所述滑动传动套与传动杆键合。

[0020] 通过采用上述技术方案：滑动传动套便于安装晶片夹持组件，在安装晶片夹持组件时，向外侧推动滑动传动套，待传动杆与输出轴同轴时，复位滑动传动套并与传动杆键合
实现传动连接。

[0021] 可选的，所述连接件还包括驱动滑动传动套复位的弹性组件。

[0022] 通过采用上述技术方案：通过弹性组件可以实现滑动传动套的自动复位，提高了安装的便捷性。

[0023] 可选的，所述弹性组件包括固定在输出轴上的固定块，两端分别固定在固定块和滑动传动套之间的弹簧。

[0024] 通过采用上述技术方案：弹簧可以使得滑动传动套复位，便于实现连接。

[0025] 综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

[0026] 1.可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件上，之后再将晶片夹持组件安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时清洗多个晶片，提高了清洗效率以及操作的安
全性。

[0027] 2.可以实现晶片在石英缸内边转动边清洗，提高了清洗效率，可以实现喷淋清洗，清洗液可多次循环使用。

[0028] 3.通过设置连接件，便于实现晶片夹持组件与驱动组件的连接，提高了安装的便利性。

附图说明

[0029] 图1是本申请实施例的部分外部结构示意图。

[0030] 图2是本申请实施例的晶片夹持组件与石英缸体的连接结构示意图。

[0031] 图3是本申请实施例的晶片夹持组件的侧面结构示意图。

[0032] 图4是本申请实施例的图2中A处放大结构示意图。

[0033] 图5是本申请实施例的驱动组件的结构示意图。

[0034] 附图标记说明，100、底座；200、石英缸体；210、盖板；220、倾斜板；230、排液口；300、晶片夹持组件；310、上夹持件；320、下夹持件；321、边侧板；322、主夹紧杆；3221、主夹
体；323、辅助夹紧杆；3231、辅助夹体；330、锁紧件；340、传动杆；350、导杆；360、喷洗管；
400、清洗毛刷；500、驱动组件；510、驱动电机；520、输出轴；530、连接件；531、滑动传动套；
540、固定块；550、弹簧；600、循环组件；610、循环泵；620、第一管道；630、第二管道。

具体实施方式

[0035] 以下结合附图1‑5对本申请作进一步详细说明。

[0036] 本申请实施例提供了一种清洗半导体晶片的石英缸，采用如下的技术方案：

[0037] 参照图1和图2，一种清洗半导体晶片的石英缸，包括底座100，设置在底座100上的石英缸体200，石英缸体200可以通过连接腿支撑固定在底座100上，石英缸体200上部开口，
开口处设置有盖板210，开口便于放置晶片，同时也便于向石英缸体200内注入清洗液，盖板
210可以防止在进行清洗时清洗液洒出石英缸体200，石英缸体200的底部设有倾斜板220，
倾斜板220便于清洗液排出石英缸体200，处于倾斜板220底端的石英缸体200侧壁上设有排
液口230，排液口230处设有阀门，排液口230便于更换清洗液，石英缸体200的内部可拆卸的
连接有晶片夹持组件300，晶片夹持组件300可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件
300上，之后再将晶片夹持组件300安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时清洗多
个晶片，提高了清洗效率以及操作的安全性。石英缸体200内还设有清洗毛刷400，清洗毛刷
400环设在石英缸体200的内侧壁上，清洗毛刷400也可以对晶片的边侧进行清洗，进一步提
高了清洗效率。底座100上设有驱动晶片夹持组件300动作的驱动组件500，可以实现晶片的
转动清洗。

[0038] 参照图2和图3，为了实现晶片的夹持，晶片夹持组件300包括一侧铰接的上夹持件310和下夹持件320，上夹持件310和下夹持件320的另一侧可通过锁紧件330固定，上夹持件
310和下夹持件320扣合后呈镂空的圆柱形，下夹持件320用于夹持多个晶片，晶片安装在下
夹持上，然后转动上夹持件310将上夹持件310扣合在下夹持件320上并通过锁紧件330进行
固定，锁紧件330可以采用卡扣的形式，目的在于将上夹持件310和下夹持件320的自由端固
定在一起，实现对晶片的保持，进一步提高晶片的夹持牢固度。

[0039] 下夹持件320包括两个边侧板321，边侧板321作为安装基体，在两个边侧板321之间安装有主夹紧杆322和分设在主夹紧杆322两侧的辅助夹紧杆323，主夹紧杆322和辅助夹
紧杆323的端部均固定在边侧板321的边缘处且相互平行，主夹紧杆322上设有若干对主夹
体3221，主夹体3221等间距设置，辅助夹紧杆323上设有若干对与主夹体3221对应的辅助夹
体3231，主夹紧杆322和辅助夹紧杆323形成三点支撑，对晶片进行支撑，主夹体3221和辅助
夹体3231对晶片进行夹持，一边侧板321的外侧设有传动杆340，动杆用于传动带动晶片夹
持组件300转动；另一边侧板321的外侧设有导杆350，导杆350内部中空，导杆350用于连接
晶片夹持组件300的另一端。

[0040] 参照图3和图4，主夹体3221间隔固定连接在主夹紧杆322上，主夹紧杆322内部设有导流腔，导流腔处于传动杆340的一端为盲端，相邻两个主夹体3221之间设有两组背向倾
斜的喷洗管360，喷洗管360环设在主夹紧杆322上并连通至导流腔，导流腔通过导杆350连
通循环组件600，循环组件600将清洗液在石英缸体200和导流腔内循环，在进行清洗时，晶
片可以在晶片夹持组件300带动的作用下在石英缸体200内转动，同时通过导流腔和喷洗管
360的配合可以向晶片侧面喷淋清洗液，通过转动加喷淋的方式可以进一步扰动清洗液，提
高了清洗效率。

[0041] 参照图2和图5，为了能够实现晶片夹持组件300的转动，本实施例中的驱动组件500包括安装在底座100上的驱动电机510，驱动电机510的输出轴520与石英缸体200转动密
封连接并延伸至石英缸体200内部，处于石英缸体200内的输出轴520设有与传动杆340连接
的连接件530。通过启动驱动电机510，输出轴520转动，输出轴520通过连接件530带动传动
杆340转动，传动杆340带动晶片夹持组件300转动，实现晶片在石英缸内的转动清洗，提高
了清洗效率。

[0042] 参照图2和图5，为了便于实现传动杆340与输出轴520的传动连接，本实施例的连接件530包括滑动连接在输出轴520上的滑动传动套531，输出轴520上至少设置一条与其轴
线平行的滑动传动槽，滑动传动套531上设置有滑动传动凸条，通过滑动传动凸条与滑动传
动槽的配合实现滑动传动套531在输出轴520上的滑动以及传动，滑动传动套531与传动杆
340键合。滑动传动套531便于安装晶片夹持组件300，在安装晶片夹持组件300时，向外侧推
动滑动传动套531，待传动杆340与输出轴520同轴时，复位滑动传动套531并与传动杆340键
合实现传动连接。

[0043] 为了进一步提高连接的便利性，连接件530还包括驱动滑动传动套531复位的弹性组件。通过弹性组件可以实现滑动传动套531的自动复位，提高了安装的便捷性。

[0044] 参照图2和图5，本实施例中的弹性组件包括固定在输出轴520上的固定块540，两端分别固定在固定块540和滑动传动套531之间的弹簧550。弹簧550可以使得滑动传动套
531复位，便于实现连接。

[0045] 参照图2和图4，为了实现清洗液的循环，本实施例中的循环组件600包括设置在底座100上的循环泵610，循环泵610通过第一管道620连通至石英缸体200内部，循环泵610通
过第二管道630转动密封连通导杆350，导杆350与导流腔连通，导杆350与石英缸体200转动
密封连接。循环泵610将石英缸体200内的清洗液抽送至导流腔内，由喷洗管360喷向至晶片
侧面实现喷淋清洗，清洗液可多次循环使用。

[0046] 以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。