温度控制系统转让专利
申请号 : CN202011304019.7
文献号 : CN112825000A
文献日 : 2021-05-21
发明人 : 伊藤彰浩 , 国保典男 , 纐缬雅之 , 长谷川功宏 , 中泽敏治 , 高梨圭介 , 福住幸大
申请人 : CKD株式会社 , 株式会社荏原制作所 , 荏原冷热系统株式会社
摘要 :
权利要求 :
1.温度控制系统,将控制对象的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度,具备:调整装置,具有储存热媒的罐,并将所述热媒调整到设定温度进行供给;
循环回路,使所述热媒从所述调整装置流通至能够对所述控制对象进行热供给的流通部,并使所述热媒返回至所述调整装置;
调整部,调整从所述流通部向所述控制对象供给的热量;
存储部,预先存储所述时间经过与所述目标温度的关系;以及控制部,基于存储在所述存储部中的所述关系,在比目标温度发生变化的变化时刻提前预定时间时将所述设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度,并且通过所述调整部调整所述热量,使得在到达所述变化时刻之前将所述控制对象的温度控制为变化前的目标温度。
2.根据权利要求1所述的温度控制系统,还具备温度传感器,所述温度传感器检测从所述调整装置供给的所述热媒的温度,所述控制部基于所述变化后的目标温度、由所述温度传感器检测出的所述温度、从所述调整装置到所述控制对象的热容量、以及所述调整装置的运转状态来设定所述预定时间。
3.根据权利要求2所述的温度控制系统,其中,所述控制部基于最高输出运转作为所述调整装置的所述运转状态来设定所述预定时间,使所述调整装置从所述变化时刻之前的所述预定时间到所述变化时刻为止进行最高输出运转。
4.根据权利要求2所述的温度控制系统,其中,所述控制部基于最高效率运转作为所述调整装置的所述运转状态来设定所述预定时间,使所述调整装置从所述变化时刻之前的所述预定时间到所述变化时刻为止进行最高效率运转。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的温度控制系统,其中,所述调整部包括第一分配阀,所述第一分配阀变更从所述调整装置流通至所述流通部的所述热媒与从所述调整装置不经由所述流通部而返回至所述调整装置的所述热媒的比例。
6.根据权利要求1‑4中任一项所述的温度控制系统,其中,所述调整装置是具有储存第一热媒的第一罐并将所述第一热媒调整到第一设定温度进行供给的第一调整装置,
所述循环回路是使所述第一热媒从所述第一调整装置流通至能够对所述控制对象进行热供给的第一流通部并使所述第一热媒返回至所述第一调整装置的第一循环回路,所述温度控制系统还具备:
第二调整装置,将第二热媒调整到第二设定温度进行供给;以及第二循环回路,使所述第二热媒从所述第二调整装置流通至能够对所述控制对象进行热供给的第二流通部,并使所述第二热媒返回至所述第二调整装置,所述调整部调整从所述第一流通部和所述第二流通部向所述控制对象供给的热量,所述控制部基于存储在所述存储部中的所述关系,在比第一变化时刻提前预定时间时将所述第一设定温度设定为与变化后的目标温度对应的第一设定温度,并且通过所述调整部调整所述热量,以在到达所述第一变化时刻之前将所述控制对象的温度控制为变化前的目标温度,其中,在所述第一变化时刻,所述目标温度变化为使所述第一热媒从所述第一调整装置向所述第一流通部供给的目标温度。
7.根据权利要求5所述的温度控制系统,其中,所述调整装置是具有储存第一热媒的第一罐并将所述第一热媒调整到第一设定温度进行供给的第一调整装置,
所述循环回路是使所述第一热媒从所述第一调整装置流通至能够对所述控制对象进行热供给的第一流通部并使所述第一热媒返回至所述第一调整装置的第一循环回路,所述温度控制系统还具备:
第二调整装置,将第二热媒调整到第二设定温度进行供给;以及第二循环回路,使所述第二热媒从所述第二调整装置流通至能够对所述控制对象进行热供给的第二流通部,并使所述第二热媒返回至所述第二调整装置,所述调整部调整从所述第一流通部和所述第二流通部向所述控制对象供给的热量,所述控制部基于存储在所述存储部中的所述关系,在比第一变化时刻提前预定时间时将所述第一设定温度设定为与变化后的目标温度对应的第一设定温度,并且通过所述调整部调整所述热量,以在到达所述第一变化时刻之前将所述控制对象的温度控制为变化前的目标温度,其中,在所述第一变化时刻,所述目标温度变化为使所述第一热媒从所述第一调整装置向所述第一流通部供给的目标温度。
8.根据权利要求6所述的温度控制系统,其中,所述控制部仅在从所述第一变化时刻起的辅助期间就将所述第二设定温度设定为与变化后的目标温度对应的第二设定温度,并从所述第二调整装置向所述第二流通部供给所述第二热媒。
9.根据权利要求7所述的温度控制系统,其中,所述控制部仅在从所述第一变化时刻起的辅助期间就将所述第二设定温度设定为与变化后的目标温度对应的第二设定温度,并从所述第二调整装置向所述第二流通部供给所述第二热媒。
10.根据权利要求6所述的温度控制系统,其中,所述控制部从提前所述预定时间时到所述第一变化时刻为止,将所述第二设定温度设定为与变化前的目标温度对应的第二设定温度,并从所述第二调整装置向所述第二流通部供给所述第二热媒。
11.根据权利要求7所述的温度控制系统,其中,所述控制部从提前所述预定时间时到所述第一变化时刻为止,将所述第二设定温度设定为与变化前的目标温度对应的第二设定温度,并从所述第二调整装置向所述第二流通部供给所述第二热媒。
12.根据权利要求6所述的温度控制系统,其中,所述第一热媒及所述第二热媒是共同的共同热媒,所述第一流通部和所述第二流通部是共同的共同流通部,所述调整部包括第二分配阀,所述第二分配阀变更从所述共同流通部流通至所述第一调整装置的所述共同热媒与从所述共同流通部流通至所述第二调整装置的所述共同热媒的比例。
13.根据权利要求7所述的温度控制系统,其中,所述第一热媒及所述第二热媒是共同的共同热媒,所述第一流通部和所述第二流通部是共同的共同流通部,所述调整部包括第二分配阀,所述第二分配阀变更从所述共同流通部流通至所述第一调整装置的所述共同热媒与从所述共同流通部流通至所述第二调整装置的所述共同热媒的比例。
14.根据权利要求6所述的温度控制系统,其中,所述第一热媒及所述第二热媒是共同的共同热媒,所述第一流通部和所述第二流通部是共同的共同流通部,所述调整部包括第三分配阀,所述第三分配阀变更从所述共同流通部流通至所述第一调整装置的所述共同热媒、从所述共同流通部不经由所述第一调整装置及所述第二调整装置而返回至所述共同流通部的所述共同热媒、以及从所述共同流通部流通至所述第二调整装置的所述共同热媒的比例。
15.根据权利要求7所述的温度控制系统,其中,所述第一热媒及所述第二热媒是共同的共同热媒,所述第一流通部和所述第二流通部是共同的共同流通部,所述调整部包括第三分配阀,所述第三分配阀变更从所述共同流通部流通至所述第一调整装置的所述共同热媒、从所述共同流通部不经由所述第一调整装置及所述第二调整装置而返回至所述共同流通部的所述共同热媒、与从所述共同流通部流通至所述第二调整装置的所述共同热媒的比例。
16.根据权利要求6所述的温度控制系统,其中,所述第二循环回路独立于所述第一循环回路,温度控制系统还具备第三循环回路,所述第三循环回路独立于所述第一循环回路及所述第二循环回路,并供第三热媒进行循环,其中,所述第三热媒能够使用的温度范围比所述第一热媒及所述第二热媒能够使用的温度范围宽,所述第三循环回路具备第三流通部、第四流通部且不具备储存所述第三热媒的罐,所述第三循环回路使所述第三热媒从所述第三流通部及所述第四流通部流通至与所述控制对象进行热交换的热交换部,并使所述第三热媒返回至所述第三流通部及所述第四流通部,其中,所述第三流通部供所述第三热媒流通,并与所述第一流通部进行热交换,所述第四流通部供所述第三热媒流通,并与所述第二流通部进行热交换,所述调整部包括第四分配阀,所述第四分配阀变更从所述热交换部流通至所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通至所述第四流通部的所述第三热媒的比例。
17.根据权利要求7所述的温度控制系统,其中,所述第二循环回路独立于所述第一循环回路,所述温度控制系统还具备第三循环回路,所述第三循环回路独立于所述第一循环回路及所述第二循环回路,并供第三热媒进行循环,其中,所述第三热媒能够使用的温度范围比所述第一热媒及所述第二热媒能够使用的温度范围宽,所述第三循环回路具备第三流通部、第四流通部且不具备储存所述第三热媒的罐,所述第三循环回路使所述第三热媒从所述第三流通部及所述第四流通部流通至与所述控制对象进行热交换的热交换部,并使所述第三热媒返回至所述第三流通部及所述第四流通部,其中,所述第三流通部供所述第三热媒流通,并与所述第一流通部进行热交换,所述第四流通部供所述第三热媒流通,并与所述第二流通部进行热交换,所述调整部包括第四分配阀,所述第四分配阀变更从所述热交换部流通至所述第三流通部的所述第三热媒与从所述热交换部流通至所述第四流通部的所述第三热媒的比例。
18.根据权利要求6所述的温度控制系统,其中,所述第二循环回路独立于所述第一循环回路,所述温度控制系统还具备第三循环回路,所述第三循环回路独立于所述第一循环回路及所述第二循环回路,并供第三热媒进行循环,其中,所述第三热媒能够使用的温度范围比所述第一热媒及所述第二热媒能够使用的温度范围宽,所述第三循环回路具备第三流通部、第四流通部且不具备储存所述第三热媒的罐,所述第三循环回路使所述第三热媒从所述第三流通部及所述第四流通部流通至与所述控制对象进行热交换的热交换部,并使所述第三热媒返回至所述第三流通部及所述第四流通部,其中,所述第三流通部供所述第三热媒流通,并与所述第一流通部进行热交换,所述第四流通部供所述第三热媒流通,并与所述第二流通部进行热交换,所述调整部包括第五分配阀,所述第五分配阀变更从所述热交换部流通至所述第三流通部的所述第三热媒、从所述热交换部不经由所述第三流通部及所述第四流通部而返回至所述热交换部的所述第三热媒、以及从所述热交换部流通至所述第四流通部的所述第三热媒的比例。
19.根据权利要求7所述的温度控制系统,其中,所述第二循环回路独立于所述第一循环回路,所述温度控制系统还具备第三循环回路,所述第三循环回路独立于所述第一循环回路及所述第二循环回路,并供第三热媒进行循环,其中,所述第三热媒能够使用的温度范围比所述第一热媒及所述第二热媒能够使用的温度范围宽,所述第三循环回路具备第三流通部、第四流通部且不具备储存所述第三热媒的罐,所述第三循环回路使所述第三热媒从所述第三流通部及所述第四流通部流通至与所述控制对象进行热交换的热交换部,并使所述第三热媒返回至所述第三流通部及所述第四流通部,其中,所述第三流通部供所述第三热媒流通,并与所述第一流通部进行热交换,所述第四流通部供所述第三热媒流通,并与所述第二流通部进行热交换,所述调整部包括第五分配阀,所述第五分配阀变更从所述热交换部流通至所述第三流通部的所述第三热媒、从所述热交换部不经由所述第三流通部及所述第四流通部而返回至所述热交换部的所述第三热媒、以及从所述热交换部流通至所述第四流通部的所述第三热媒的比例。
20.温度控制系统,将控制对象的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度,所述温度控制系统具备:
第一调整装置,具有储存第一热媒的第一罐,并将所述第一热媒调整到第一设定温度进行供给;
第一循环回路,使所述第一热媒从所述第一调整装置流通至第一流通部,并使所述第一热媒返回至所述第一调整装置;
加热器,对所述控制对象进行加热,并且能够控制发热量;
第三循环回路,独立于所述第一循环回路,供第三热媒进行循环,具有与所述第一流通部进行热交换的第三流通部,不具有储存所述第三热媒的罐,其中,所述第三热媒能够使用的温度范围比所述第一热媒能够使用的温度范围宽;
调整部,对在所述第一流通部和所述第三流通部之间交换的热量以及所述加热器的发热量进行调整;
存储部,预先存储所述时间经过与所述目标温度的关系;
控制部,基于存储在所述存储部中的所述关系,在比第一变化时刻提前预定时间时将所述第一设定温度设定为与变化后的目标温度对应的第一设定温度,并且通过所述调整部调整所述热量及所述发热量,以在到达所述第一变化时刻之前将所述控制对象的温度控制为变化前的目标温度,其中,在所述第一变化时刻,所述目标温度变化为使所述第一热媒从所述第一调整装置向所述第一流通部供给的目标温度。
说明书 :
温度控制系统
技术领域
背景技术
冷却器中,检测从被冷却物返回的冷却液的温度(返回侧检测温度),求出返回侧检测温度
相对于时间的变化程度,并将上述反馈控制的控制条件变更为与变化程度对应的控制条
件。根据上述结构,即使在返回侧检测温度因被冷却物的负荷变动等而剧烈变动的情况下,
也能够确保高精度且稳定的温度控制。
发明内容
变动或目标温度的变化的情况下,使供给侧检测温度追随目标温度是有限度的。另一方面,
如果要提高使供给侧检测温度追随目标温度的追随性,则需要预先始终较高地保持冷却器
的驱动状态,冷却器中的能量消耗增加。
所述热媒调整到设定温度进行供给;循环回路,使所述热媒从所述调整装置流通至能够对
所述控制对象进行热供给的流通部,并使所述热媒返回至所述调整装置;调整部,调整从所
述流通部向所述控制对象供给的热量;存储部,预先存储所述时间经过与所述目标温度的
关系;控制部,基于存储在所述存储部中的所述关系,在比所述目标温度发生变化的变化时
刻提前预定时间时将所述设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度,并且通过
所述调整部调整所述热量,使得在到达所述变化时刻之前将所述控制对象的温度控制为变
化前的目标温度。
热媒从调整装置流通至能够对控制对象进行热供给的流通部,并使热媒返回至调整装置。
因此,通过使热媒从调整装置流通至流通部,从流通部向控制对象供给热,而能够对控制对
象的温度进行控制。另外,向控制对象供给热包括冷却控制对象的情况和加热控制对象的
情况。
系,在比目标温度变化的变化时刻提前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度
对应的设定温度。因此,调整装置能够在变化时刻之前将调整为与变化后的目标温度对应
的设定温度的热媒预先储存在罐中。因此,调整装置能够在目标温度变化后,从罐供给预先
调整了温度的热媒,而能够提高使控制对象的温度追随目标温度的追随性。而且,只要从比
变化时刻提前预定时间时开始设定为与变化后的目标温度对应的设定温度即可,不需要始
终预先高度保持调整装置的驱动状态,因此能够抑制调整装置中的能量消耗。
度变化。关于这一点,控制部通过调整部调整从流通部向控制对象供给的热量,以使得在到
达变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前的目标温度。因此,即使在比变化时刻提
前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度,也能够抑制控制对
象的温度偏离目标温度。
器检测出的所述温度、从所述调整装置到所述控制对象的热容量、以及所述调整装置的运
转状态来设定所述预定时间。
另外,调整装置在容器中储存必要的热量所需的时间与调整装置的运转状态相关。
到控制对象的热容量、以及调整装置的运转状态来设定预定时间。因此,能够适当地设定预
定时间,从而能够提高使控制对象的温度追随目标温度的追随性,并且能够抑制调整装置
中的能量消耗。
刻为止进行最高输出运转。根据这样的结构,能够使调整装置预先在罐中储存所需热量的
时间最短,从而能够延长将调整装置的设定温度设定为与目标温度对应的设定温度的通常
控制的时间。因此,能够提高将控制对象的温度控制为目标温度的精度。
刻为止进行最高效率运转。根据这样的结构,在调整装置预先将所需热量储存在罐中时,能
够使调整装置最高效地运转,从而能够抑制调整装置的能量消耗。
装置的所述热媒的比例。
向流通部供给的热量和返回至调整装置的热量的比例。因此,通过利用第一分配阀变更供
给到流通部的热量,而能够将控制对象的温度控制为目标温度。此外,即使在比变化时刻提
前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度相对应的设定温度,也可以通过使用
第一分配阀改变供给到流通部的热量来抑制控制对象的温度偏离目标温度。
调整装置流通至能够对所述控制对象进行热供给的第一流通部并使所述第一热媒返回至
所述第一调整装置的第一循环回路,温度控制系统还具备:第二调整装置,将第二热媒调整
到第二设定温度进行供给;以及第二循环回路,使所述第二热媒从所述第二调整装置流通
至能够对所述控制对象进行热供给的第二流通部,并使所述第二热媒返回至所述第二调整
装置,所述调整部调整从所述第一流通部和所述第二流通部向所述控制对象供给的热量,
所述控制部基于存储在所述存储部中的所述关系,在比第一变化时刻提前预定时间时将所
述第一设定温度设定为与变化后的目标温度对应的第一设定温度,并且通过所述调整部调
整所述热量,使得在到达所述第一变化时刻之前将所述控制对象的温度控制为变化前的目
标温度,其中,在所述第一变化时刻,所述目标温度变化为使所述第一热媒从所述第一调整
装置向所述第一流通部供给的目标温度。
流通至第一流通部及第二流通部,并从第一流通部及第二流通部向控制对象供给热,而能
够对控制对象的温度进行控制。
第一变化时刻,目标温度变化为使第一热媒从第一调整装置向第一流通部供给的目标温
度。因此,第一调整装置能够将调整为与变化后的目标温度对应的第一设定温度的第一热
媒在第一变化时刻之前预先储存在第一罐中。因此,第一调整装置能够在目标温度变化后,
从第一罐供给预先调整了温度的第一热媒,从而能够提高使控制对象的温度追随目标温度
的追随性。而且,只要从比第一变化时刻提前预定时间时开始设定为与变化后的目标温度
对应的第一设定温度即可,不需要始终预先高度保持第一调整装置的驱动状态,因此能够
抑制第一调整装置中的能量消耗。
一设定温度之前的第一热媒的温度变化。关于这一点,控制部通过调整部调整从第一流通
部向控制对象供给的热量,使得在到达第一变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前
的目标温度。而且,控制部还通过调整部调整从第二流通部向控制对象供给的热量。因此,
即使在仅通过调整部调整从第一流通部向控制对象供给的热量而难以将控制对象的温度
控制为目标温度的情况下,也能够抑制控制对象的温度偏离目标温度。
调整装置向所述第二流通部供给。根据这样的结构,在从第一调整装置向第一流通部供给
第一热媒而将控制对象的温度控制为变化后的目标温度时,能够从第二调整装置向第二流
通部供给第二热媒进行辅助,因此能够进一步提高使控制对象的温度追随目标温度的追随
性。
设定温度的情况下,有可能产生以下的问题。即,在将控制对象的温度控制为目标温度的同
时,到将预先调整了温度的第一热媒储存在第一罐储存为止的时间(预定时间)可能变长。
述第二调整装置向所述第二流通部供给所述第二热媒。根据这样的结构,在将第一设定温
度设定为与变化后的目标温度对应的第一设定温度且同时从第一调整装置向第一流通部
供给第一热媒而将控制对象的温度控制为变化前的目标温度时,能够从第二调整装置向第
二流通部供给第二热媒来进行辅助,因此能够抑制上述预定时间变长的情况。
变更从所述共同流通部流通至所述第一调整装置的所述共同热媒与从所述共同流通部流
通至所述第二调整装置的所述共同热媒的比例。
置流通至共同流通部的共同热媒与从第二调整装置流通至共同流通部的共同热媒的比例。
由此,从第一调整装置供给到共同流通部的热量和从第二调整装置供给到共同流通部的热
量的比例能够通过第二分配阀来变更。因此,通过利用第二分配阀变更供给到共同流通部
的热量,而能够将控制对象的温度控制为目标温度。此外,即使在比第一变化时刻提前预定
时间时将第一设定温度设定为与变化后的目标温度相对应的第一设定温度,也可以通过利
用第二分配阀改变供给到共同流通部的热量来抑制控制对象的温度偏离目标温度。
变更从所述共同流通部流通至所述第一调整装置的所述共同热媒、从所述共同流通部不经
由所述第一调整装置及所述第二调整装置而返回至所述共同流通部的所述共同热媒、以及
从所述共同流通部流通至所述第二调整装置的所述共同热媒的比例。
回至共同流通部的共同热媒、以及从共同流通部流通至第二调整装置的共同热媒的比例。
即,第三分配阀变更从第一调整装置流通至共同流通部的共同热媒、从共同流通部不经由
第一调整装置及第二调整装置而返回至共同流通部的共同热媒、以及从第二调整装置流通
至共同流通部的共同热媒的比例。由此,能够通过第三分配阀变更共同流通部从第一调整
装置接收的热量、返回至共同流通部的热量、以及共同流通部从第二调整装置接收的热量
的比例。因此,通过利用第三分配阀变更向共同流通部供给的热量,而能够将控制对象的温
度控制为目标温度。此外,即使在比第一变化时刻提前预定时间时将第一设定温度设定为
与变化后的目标温度相对应的第一设定温度,也可以通过利用第三分配阀变更向共同流通
部供给的热量来抑制控制对象的温度偏离目标温度。而且,能够实现不使共通热媒从共通
流通部流通至第一调整装置及第二调整装置而使从共通流通部流出的共通热媒按原样返
回至共通流通部的状态。
围比所述第一热媒及所述第二热媒能够使用的温度范围宽,
控制对象进行热交换的热交换部,并使所述第三热媒返回至所述第三流通部及所述第四流
通部,其中,所述第三流通部供所述第三热媒流通,并与所述第一流通部进行热交换,所述
第四流通部供所述第三热媒流通,并与所述第二流通部进行热交换,
例。
此,即使第三热媒价格昂贵,也能够使第三热媒仅在第三循环回路中循环,从而减少第三热
媒的使用量。而且,第三循环回路不具备储存第三热媒的罐。因此,能够进一步减少在第三
循环回路中循环的第三热媒的量。
部的热量通过第一流通部和第三流通部的热交换而供给到第三流通部。同样地,能够将供
给到第二流通部的热量通过第二流通部和第四流通部的热交换而供给到第四流通部。第三
循环回路使第三热媒从第三流通部和第四流通部流通至与控制对象进行热交换的热交换
部,并使第三热媒返回至第三流通部和第四流通部。因此,能够经由第三热媒从第三流通部
及第四流通部向与控制对象进行热交换的热交换部供给热量。
供给的热量与从第四流通部向热交换部供给的热量的比例。因此,通过利用第四分配阀变
更向热交换部供给的热量,而能够将控制对象的温度控制为目标温度。在此,如上所述,能
够减少在第三循环回路中循环的第三热媒的量。因此,能够使第三热媒的温度迅速变化,从
而能够提高对控制对象的温度进行控制的响应性。而且,即使在比第一变化时刻提前预定
时间时将第一设定温度设定为与变化后的目标温度对应的第一设定温度,也能够通过利用
第四分配阀变更向热交换部供给的热量,来抑制控制对象的温度偏离目标温度。
围比所述第一热媒及所述第二热媒能够使用的温度范围宽,
控制对象进行热交换的热交换部,并使所述第三热媒返回至所述第三流通部及所述第四流
通部,其中,所述第三流通部供所述第三热媒流通,并与所述第一流通部进行热交换,所述
第四流通部供所述第三热媒流通,并与所述第二流通部进行热交换,
回至所述热交换部的所述第三热媒、以及从所述热交换部流通至所述第四流通部的所述第
三热媒的比例。
通至第四流通部的第三热媒的比例。由此,能够通过第五分配阀变更热交换部从第三流通
部接收的热量、返回至热交换部的热量、与热交换部从第四流通部接收的热量的比例。因
此,通过利用第五分配阀变更向热交换部供给的热量,而能够将控制对象的温度控制为目
标温度。另外,即使在比第一变化时刻提前预定时间时将第一设定温度设定为与变化后的
目标温度对应的第一设定温度,也能够通过利用第五分配阀变更向热交换部供给的热量,
而抑制控制对象的温度偏离目标温度。而且,能够实现不使第三热媒从热交换部流通至第
三流通部及第四流通部而使从热交换部流出的第三热媒按原样返回至热交换部的状态。
使用的温度范围比所述第一热媒能够使用的温度范围宽;
整部调整所述热量及所述发热量,使得在到达所述第一变化时刻之前将所述控制对象的温
度控制为变化前的目标温度,其中,在所述第一变化时刻,所述目标温度变化为使所述第一
热媒从所述第一调整装置向所述第一流通部供给的目标温度。
价格昂贵,也能够使第三热媒仅在第三循环回路中循环,减少第三热媒的使用量。而且,第
三循环回路不具备储存第三热媒的罐。因此,能够进一步减少在第三循环回路中循环的第
三热媒的量。
作为第一热媒。加热器加热控制对象,并且能够控制发热量。因此,能够不使用热媒而直接
加热控制对象。
及向控制对象直接供给的热量,并能够将控制对象的温度控制为目标温度。在此,如上所
述,能够减少在第三循环回路中循环的第三热媒的量。因此,能够使第三热媒的温度迅速变
化,从而能够提高对控制对象的温度进行控制的响应性。而且,即使在比变化时刻提前预定
时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度,也能够通过利用调整部变
更向热交换部供给的热量,来抑制控制对象的温度偏离目标温度。而且,控制部还通过调整
部调整从加热器向控制对象直接供给的热量。因此,即使在仅通过调整部调整从第一流通
部向控制对象供给的热量而难以将控制对象的温度控制为目标温度的情况下,也能够抑制
控制对象的温度偏离目标温度。
附图说明
具体实施方式
11、温度传感器19、第一分配阀12等。
在罐11a中的第一热媒向流路17a排出。流路17a与第一分配阀12的公共端口(COM)连接。
媒的流量、与从流路17a流向流路17d的第一热媒的流量之比。第一分配阀12在第一热媒
100%地从流路17a向流路17b流动的状态和第一热媒100%地从流路17a向流路17d流动的
状态之间连续地变更状态。在第一分配阀12中,无论将从第一冷却器11供给的第一热媒分
配到流路17b和流路17d的比例如何,第一热媒的压力损失都是恒定的。
92的温度。下部电极92与热交换器93一体化。在热交换器93和下部电极92之间进行热交换。
口与流路18连接。即,第一分配阀12变更从第一冷却器11流通至热交换器93的第一热媒、与
不经由热交换器93而从第一冷却器11返回至第一冷却器11的第一热媒的比例。而且,在热
交换器93中,第一热媒和下部电极92进行热交换。另外,由流路17a、流路17b、流路17d及流
路18构成循环回路。
温度Te。目标温度Te根据在半导体制造装置90中的工序(时间经过)而变更为90℃、0℃、‑20
℃等。由于热从等离子体P流入下部电极92,所以在产生等离子体P时,下部电极92的温度可
能上升有到110℃左右。伴随于此,从热交换器93流出的第一热媒的温度也可能上升到110
℃附近。
一热媒的流量,进而调整向热交换器93供给的热量。即,第一分配阀12调整从热交换器93向
下部电极92供给的热量。并且,控制部80将第一冷却器11的设定温度Tc设定为与目标温度
Te对应的设定温度Tc,并且对第一分配阀12的分配比例进行反馈控制,使得下部电极92的
温度成为目标温度Te。
周期性地变化为90℃、0℃、‑20℃。控制部80的存储装置80a(存储部)预先存储时间经过与
目标温度Te的关系。例如,存储装置80a存储有:到时刻t2之前目标温度Te为90℃,在时刻t2
目标温度Te变化为0℃,时刻t2之后到时刻t4之前目标温度Te为0℃,在时刻t4目标温度Te
变化为‑20℃,时刻t4之后到时刻t5之前目标温度Te为‑20℃,在时刻t5目标温度Te变化为
90℃等。
定为50℃,在目标温度Te为0℃的情况下将设定温度Tc设定为‑5℃,在目标温度Te为‑20℃
的情况下将设定温度Tc设定为‑25℃。然后,控制部80对第一冷却器11的输出进行反馈控
制,使得由温度传感器19检测出的第一热媒的温度T1成为设定温度Tc。另外,控制部80对第
一分配阀12的分配比例进行反馈控制,使得由温度传感器94检测出的下部电极92的温度T3
成为目标温度Te。
目标温度Te2对应的设定温度Tc2,并且为了在到达变化时刻之前将下部电极92的温度控制
为变化前的目标温度Te1,通过第一分配阀12调整向流路17b和流路17d的分配比例。由此,
调整到与变化后的目标温度Te2对应的设定温度Tc2的第一热媒在变化时刻之前被储存在
罐11a中。
刻t2之前将下部电极92的温度控制为变化前的目标温度Te1=90℃,通过第一分配阀12减
少向流路17b的分配比例,增加向流路17d的分配比例。即,减少流向流路17b的第一热媒的
量,使得即使从第一冷却器11供给温度比与目标温度Te1=90℃对应的设定温度Tc1=50℃
低的第一热媒,也不会使下部电极92的温度从目标温度Te1=90℃降低。另外,在时刻t1,也
可以不使设定温度Tc逐渐变化,而将设定温度Tc一次设定为与变化后的目标温度Te2=0℃
对应的设定温度Tc2=‑5℃。同样,控制部80在比时刻t4提前预定时间Δt2的时刻t3,将设
定温度Tc设定为逐渐变化成与变化后的目标温度Te3=‑20℃对应的设定温度Tc3=‑25℃
(一次设定为设定温度Tc3=‑25℃),并且为了在到达时刻t4之前将下部电极92的温度控制
为变化前的目标温度Te2=0℃,通过第一分配阀12减少向流路17b的分配比例,增加向流路
17d的分配比例。
电极92的热容量C相关。用于将下部电极92的温度控制为目标温度Te2的第一冷却器11的设
定温度Tc是与目标温度Te2对应的设定温度Tc2。另外,第一冷却器11在罐11a中储存必要的
热量所需的时间与第一冷却器11的输出(运转状态)相关。
11的输出q来设定上述预定时间Δt。热容量C包括下部电极92、循环的第一热媒、热交换器
93、流路17a、17b、18、第一分配阀12以及罐11a等在控制下部电极92的温度时温度发生变化
的部件的热容量。在此,第一冷却器11的输出q在预定时间Δt中使第一冷却器11以最高输
出qm运转,设q=qm。具体而言,控制部80通过Δt=C×(T1‑Tc2)/q的式子来设定预定时间
Δt。另外,在第一冷却器11已经以输出q1进行运转的情况下,只要设定q=qm‑q1即可。
过和目标温度Te的关系,在比目标温度Te发生变化的变化时刻提前预定时间Δt时,将设定
温度Tc设定为与变化后的目标温度Te对应的设定温度Tc。因此,第一冷却器11能够在到达
变化时刻之前将调整到与变化后的目标温度Te对应的设定温度Tc的第一热媒预先储存在
罐11a中。因此,第一冷却器11能够在目标温度Te变化后,从罐11a供给预先调整了温度的第
一热媒,从而能够提高使下部电极92的温度追随目标温度Te的追随性。并且,只要从比变化
时刻提前预定时间Δt时设定为与变化后的目标温度Te对应的设定温度Tc即可,由于不需
要始终高度保持第一冷却器11的驱动状态,因此能够抑制第一冷却器11中的能量消耗。
设定温度Tc之前的第一热媒的温度变化。关于这一点,控制部80为了在到达变化时刻之前
将下部电极92的温度控制为目标温度Te,通过第一分配阀12调整从第一冷却器11向热交换
器93供给的热量,进而调整从热交换器93向下部电极92供给的热量。因此,即使在比变化时
刻提前预定时间Δt时将设定温度Tc设定为与变化后的目标温度Te对应的设定温度Tc,也
能够抑制下部电极92的温度偏离目标温度Te。
量C、以及第一冷却器11的运转状态(输出q)来设定预定时间Δt。因此,能够适当地设定预
定时间Δt,从而能够提高使下部电极92的温度追随目标温度Te的追随性,并能够抑制第一
冷却器11中的能量消耗。
高输出运转。根据这样的结构,能够使第一冷却器11预先在罐11a中储存必要热量所需的预
定时间Δt为最短,从而能够延长将第一冷却器11的设定温度Tc设定为与当前的目标温度
Te对应的设定温度Tc的通常控制的时间。因此,能够提高将下部电极92的温度控制为目标
温度Te的精度。
分配阀12变更从第一冷却器11向热交换器93供给的热量、与从第一冷却器11返回第一冷却
器11的热量的比例。因此,通过利用第一分配阀12改变向热交换器93供给的热量,而能够将
下部电极92的温度控制为目标温度Te。另外,即使在比变化时刻提前预定时间Δt时将设定
温度Tc设定为与变化后的目标温度Te对应的设定温度Tc,也能够通过利用第一分配阀12变
更向热交换器93供给的热量,而抑制下部电极92的温度偏离目标温度Te。
基于最高效率运转作为第一冷却器11的运转状态来设定预定时间Δt,能够使第一冷却器
11从比变化时刻提前预定时间Δt时到变化时刻为止以最高效率运转。根据这样的结构,在
第一冷却器11预先在罐11a中储存必要的热量时,能够使第一冷却器11以最高效率运转,从
而能够抑制第一冷却器11的能量消耗。另外,在第一冷却器11已经以输出q1运转的情况下,
只要设定q=qe‑q1即可。
热媒进行循环的回路。第二热媒是与第一热媒相同的液体。即,第一循环回路110和第二循
环回路120是供共同的上述第一热媒(共同热媒)进行循环的回路。
合流点P1向第一冷却器11流通。第一冷却器11的罐11a和第二分配阀135的B端口通过流路
118连接。第二分配阀135(调整部)是具备公共端口、A端口及B端口的三通阀。第一冷却器11
将第一热媒调整为设定温度Tc(第一设定温度)并进行供给。流路117和流路118通过流路
116连接。在流路116设置有针阀119。
器。加热器121具备电热丝加热器或陶瓷加热器等(省略图示)和供第一热媒流通的流路
121a,并且对在流路121a中流通的第一热媒进行加热。加热器121将第二热媒(即第一热媒)
调整为设定温度Th(第二设定温度)并进行供给。加热器121的加热状态根据温度传感器29
的检测结果由控制部80控制。
第二止回阀137允许第一热媒从泵122向合流点P1流通,并禁止第一热媒从合流点P1向泵
122流通。加热器121的流路121a和第二分配阀135的A端口通过流路128连接。流路127和流
路128通过流路126连接。在流路126设置有针阀129。
二分配阀135的公共端口连接。
(第一流通部、共同流通部)流通至第一冷却器11的第一热媒、与从热交换器93(第二流通
部、共同流通部)流通至加热器121的第一热媒的比例。第二分配阀135在第一热媒100%地
从流路135b向流路118流动的状态和第一热媒100%地从流路135b向流路128流动的状态之
间连续地变更状态。在第一热媒100%地从流路135b向流路118流动的状态下,针阀129调节
从流路127向流路128循环的第一热媒的量。在第一热媒100%地从流路135b向流路128流动
的状态下,针阀119调节从流路117向流路118循环的第一热媒的量。在第二分配阀135中,无
论将从泵32供给的第一热媒分配到第一冷却器11和加热器121的比例如何,第一热媒的压
力损失都是恒定的。另外,通过第二分配阀135在第一热媒小于100%(例如90%)地从流路
135b向流路118流动的状态和第一热媒小于100%(例如90%)地从流路135b向流路128流动
的状态之间连续地变更状态,从而可以省略流路116、126及针阀119、129。另外,也可以省略
泵32。
外,第一循环回路110及第二循环回路120共享流路135a、135b、泵32及第二分配阀135。
冷却器11中流通的第一热媒的流量,进而调整从第一冷却器11向热交换器93供给的热量。
另外,调整在加热器121中流通的第一热媒的流量,进而调整从加热器121向热交换器93供
给的热量。
制,使得由温度传感器19检测的第一热媒的温度T1成为设定温度Tc。另外,控制部80对第二
分配阀135的分配比例进行反馈控制,使得由温度传感器94检测的下部电极92的温度T3成
为目标温度Te。
了在到达第一变化时刻之前将下部电极92的温度控制为变化前的目标温度Te1,通过第二
分配阀135调整向流路118和流路128的分配比例,其中,在第一变化时刻,目标温度Te从目
标温度Te1向目标温度Te2变化。此外,控制部80控制加热器121的发热量。
t2之前将下部电极92的温度控制为变化前的目标温度Te1=90℃,通过第二分配阀135减少
向流路118的分配比例,增加向流路128的分配比例。此时,将由加热器121加热的第一热媒
供给到流路127、135a,进而供给到热交换器93。
流路127、135a、128中流动的状态下,也可以不改变第二分配阀135的分配比例,而通过加热
器121加热第一热媒。由此,也能够从时刻t1到时刻t2为止,将下部电极92的温度控制为变
化前的目标温度Te1=90℃。
流路128的分配比例。此时,控制部80使通过加热器121调整到设定温度Th的第一热媒向流
路127、135a供给、进而向热交换器93供给,使下部电极92的温度急剧上升。设定温度Th基于
下部电极92的目标温度Te和温度传感器94的检测结果来设定。
换器93(第一流通部、第二流通部),并从热交换器93向下部电极92供给热量,而能够控制下
部电极92的温度。
度Tc,其中,在第一变化时刻,目标温度Te变化为使第一热媒从第一冷却器11向热交换器93
供给的目标温度Te。因此,第一冷却器11能够在到达第一变化时刻之前将调整到与变化后
的目标温度Te对应的设定温度Tc的第一热媒储存在罐11a中。因此,第一冷却器11能够在目
标温度Te变化后,从罐11a供给预先调整了温度的第一热媒,从而能够提高使下部电极92的
温度追随目标温度Te的追随性。而且,只要从比第一变化时刻提前预定时间Δt时设定为与
变化后的目标温度Te对应的设定温度Tc即可,由于不需要始终高度保持第一冷却器11的驱
动状态,因此能够抑制第一冷却器11中的能量消耗。
从热交换器93向下部电极92供给的热量。而且,控制部80还通过第二分配阀135调整从加热
器121向热交换器93供给的热量,进而调整从热交换器93向下部电极92供给的热量。因此,
即使在仅通过第二分配阀135调整从第一冷却器11向热交换器93供给的热量来而难以将下
部电极92的温度控制为目标温度Te的情况下,也能够抑制下部电极92的温度偏离目标温度
Te。
变从第一冷却器11流通至热交换器93的第一热媒、与从加热器121流通至热交换器93的第
一热媒的比例。因此,通过利用第二分配阀135变更向热交换器93供给的热量,能够将下部
电极92的温度控制为目标温度Te。
此,在通过泵32使第一热媒在第一循环回路110及第二循环回路120中循环的情况下,不需
要控制泵32的驱动状态,能够以恒定的驱动状态驱动泵32。
这种情况下,只要适当变更泵32的驱动状态即可。
合流点P1与流路135a连接。在流路239设置有第三止回阀138。第三止回阀138允许第一热媒
从第三分配阀335向合流点P1流通,并禁止第一热媒从合流点P1向第三分配阀335流通。H端
口与流路128连接。流路128与加热器121的流路121a连接。
热交换器93流通至第一冷却器11的第一热媒、从热交换器93不经由第一冷却器11及加热器
121而返回至热交换器93的第一热媒、与从热交换器93流通至加热器121的第一热媒的比
例。第三分配阀335在第一热媒100%地从流路135b向流路118流动的状态、第一热媒从流路
135b向流路118、239流动的状态、第一热媒100%地从流路135b向流路239流动的状态、第一
热媒从流路135b向流路239、128流动的状态、以及第一热媒100%地从流路135b向流路128
流动的状态之间连续地变更状态。在第三分配阀335中,无论将从泵32供给的第一热媒分配
到流路118、流路239和流路128的比例如何,第一热媒的压力损失都是恒定的。
外,第一循环回路110及第二循环回路120共享流路135a、135b、泵32及第三分配阀335。
控制部80配合目标温度Te的变化而将第一冷却器11的设定温度Tc设定为与目标温度Te对
应的设定温度Tc。另外,控制部80控制加热器121的发热量。
热交换器93的第一热媒、与从热交换器93流通至加热器121的第一热媒的比例。即,第三分
配阀335变更从第一冷却器11流通至热交换器93的第一热媒、从热交换器93不经由第一冷
却器11及加热器121而返回至热交换器93的第一热媒、与从加热器121流通至热交换器93的
第一热媒的比例。因此,能够通过第三分配阀335变更热交换器93从第一冷却器11接收的热
量、返回至热交换器93的热量、以及热交换器93从加热器121接收的热量的比例。因此,通过
利用第三分配阀335变更向热交换器93供给的热量,从而能够将下部电极92的温度控制为
目标温度Te。
从而抑制下部电极92的温度偏离目标温度Te。
第一热媒相同的液体。即,第一循环回路110和第二循环回路120是供共同的上述第一热媒
(共同热媒)进行循环的回路。罐21a(第二罐)储存被调整为设定温度Th的第二热媒(即第一
热媒)。泵21b将储存在罐21a中的第一热媒向流路127排出。
例。由此,调整从第一冷却器11及第二冷却器21分别向热交换器93流通的第一热媒的流量,
进而调整向热交换器93供给的热量。即,第二分配阀135调整从热交换器93向下部电极92供
给的热量。然后,控制部80将第一冷却器11的设定温度Tc设定为与目标温度Te对应的设定
温度Tc,将第二冷却器21的设定温度Th设定为与目标温度Te对应的设定温度Th,并且对第
二分配阀135的分配比例进行反馈控制,使得下部电极92的温度成为目标温度Te。
化。
媒的供给,通过停止泵11b、21b来停止第一热媒的供给。例如,控制部80在目标温度Te比20
℃(边界温度)高的情况下,停止来自第一冷却器11的第一热媒的供给,执行来自第二冷却
器21的第一热媒的供给。另一方面,控制部80在目标温度Te为20℃以下的情况下,执行来自
第一冷却器11的第一热媒的供给,停止来自第二冷却器21的第一热媒的供给。
在目标温度Te为0℃的情况下将设定温度Tc设定为‑5℃,在目标温度Te为‑20℃的情况下将
设定温度Tc设定为‑25℃,并驱动泵11b。然后,控制部80对第一冷却器11的输出进行反馈控
制,使得由温度传感器19检测的第一热媒的温度T1成为设定温度Tc。另外,控制部80对第二
分配阀135的分配比例进行反馈控制,使得由温度传感器94检测出的下部电极92的温度T3
成为目标温度Te。
21b。控制部80在目标温度Te为0℃的情况下将设定温度Th设定为20℃,在目标温度Te为‑20
℃的情况下将设定温度Th设定为20℃,并停止泵21b。然后,控制部80对第二冷却器21的输
出进行反馈控制,使得由温度传感器29检测出的第一热媒的温度T2成为设定温度Th。另外,
控制部80对第二分配阀135的分配比例进行反馈控制,使得由温度传感器94检测出的下部
电极92的温度T3成为目标温度Te。
目标温度Te2对应的设定温度Tc2,并且为了在到达变化时刻之前将下部电极92的温度控制
为变化前的目标温度Te1,通过第二分配阀135调整向流路118和流路128的分配比例。由此,
调整到与变化后的目标温度Te2对应的设定温度Tc2的第一热媒在变化时刻之前被储存在
罐11a中。
一冷却器11的泵11b,所以控制部80不变更第二分配阀135的分配比例。即,第一冷却器11在
停止第一热媒的供给的状态下在罐11a中储存调整到设定温度Tc2=‑5℃的第一热媒。另
外,在时刻t11,也可以不使设定温度Tc逐渐变化,而将设定温度Tc一次设定为与变化后的
目标温度Te2=0℃对应的设定温度Tc2=‑5℃。
时刻t14之前将下部电极92的温度控制为变化前的目标温度Te2=0℃,通过第二分配阀135
使向流路118的分配比例减少并使向流路128的分配比例增加。另外,在时刻t13,也可以不
使设定温度Tc逐渐变化,而将设定温度Tc一次设定为与变化后的目标温度Te3=‑20℃对应
的设定温度Tc3=‑25℃。
第二冷却器21的泵21b,所以控制部80不变更第二分配阀135的分配比例。即,第二冷却器21
在停止第一热媒的供给的状态下,在罐21a中储存调整到设定温度Th4=85℃的第一热媒。
另外,在时刻t15,也可以不使设定温度Th逐渐变化,而将设定温度Th一次设定为与变化后
的目标温度Te4=90℃对应的设定温度Th4=85℃。
一冷却器11已经以输出q1运转的情况下,只要设定q=qm‑q1或q=qe‑q1即可。另外,在利用
第二冷却器21进行加热的情况下,通过Δt=C×(Th2‑T2)/q的式子来设定预定时间Δt。温
度T2是由温度传感器29检测出的第二热媒的温度。
通至热交换器93(第一流通部、第二流通部),并从热交换器93向下部电极92供给热量,而能
够将下部电极92的温度控制为目标温度Te。
度Te2=0℃对应的设定温度Tc2,其中,在时刻t12,目标温度Te变化为使第一热媒从第一冷
却器11向热交换器93供给的目标温度Te2=0℃。因此,第一冷却器11能够在到达时刻t12之
前在停止第一热媒的供给的状态下将被调整为与变化后的目标温度Te2=0℃对应的设定
温度Tc2的第一热媒储存在罐11a中。因此,第一冷却器11能够在目标温度Te变化后,从罐
11a供给预先调整了温度的第一热媒,从而能够提高使下部电极92的温度追随目标温度Te2
=0℃的追随性。而且,只要从比时刻t12提前预定时间Δt时1设定为与变化后的目标温度
Te2=0℃对应的设定温度Tc2即可,不需要始终高度保持第一冷却器11的驱动状态,因此能
够抑制第一冷却器11中的能量消耗。
连接的流路126,并在流路126设置调节从流路127向流路128循环的第一热媒的量的针阀
129。
路110和第二循环回路120,是供第三热媒进行循环的回路。
高。即,第三热媒可使用温度的范围比第一热媒及第二热媒可使用温度的范围宽。因此,第
三热媒比第一热媒及第二热媒价格高。
路118连接。流路118与第一冷却器11的罐11a连接。
路128连接。流路128与第二冷却器21的罐21a连接。
通部133流通。
通部134流通。
第四分配阀435的公共端口连接。
135d与热交换器132的第四流通部134连接。
三流通部133的第三热媒与从热交换器93流通至第四流通部134的第三热媒的比例。第四分
配阀435在第三热媒100%地从流路135b向流路135c流动的状态和第三热媒100%地从流路
135b向流路135d流动的状态之间连续地变更状态。在第四分配阀435中,无论将从泵32供给
的第三热媒分配到热交换器131的第三流通部133和热交换器132的第四流通部134的比例
如何,第三热媒的压力损失都是恒定的。
备储存第三热媒的罐。
流通部133中流通的第三热媒的流量,进而调整在第一流通部114和第三流通部133之间交
换的热量。另外,调整在第四流通部134中流通的第三热媒的流量,进而调整在第二流通部
124和第四流通部134之间交换的热量。
例。由此,调整向热交换器93供给的热量。然后,控制部80将第一冷却器11的设定温度Tc设
定为与目标温度Te对应的设定温度Tc,将第二冷却器21的设定温度Th设定为与目标温度Te
对应的设定温度Th,并且对第四分配阀435的分配比例进行反馈控制,使得下部电极92的温
度成为目标温度Te。
执行及停止来自第一冷却器11的第一热媒的供给,执行及停止来自第二冷却器21的第二热
媒的供给,可以从第一冷却器11始终供给第一热媒,可以从第二冷却器21始终供给第二热
媒。
即使第三热媒价格昂贵,能够使第三热媒仅在第三循环回路130中循环而减少第三热媒的
使用量。而且,第三循环回路130不具备储存第三热媒的罐。因此,能够进一步减少在第三循
环回路130中循环的第三热媒的量。
通过第一流通部114和第三流通部133的热交换,将供给到第一流通部114的热量向第三流
通部133供给。同样地,通过第二流通部124和第四流通部134的热交换,能够将供给到第二
流通部124的热量向第四流通部134供给。第三循环回路130使第三热媒从第三流通部133及
第四流通部134流通至与下部电极92进行热交换的热交换器93,并使其返回至第三流通部
133及第四流通部134。因此,能够经由第三热媒将热量从第三流通部133及第四流通部134
供给至与下部电极92进行热交换的热交换器93。
三流通部133向热交换器93供给的热量与从第四流通部134向热交换器93供给的热量的比
例。因此,通过利用第四分配阀435变更向热交换器93供给的热量,能够将下部电极92的温
度控制为目标温度Te。
的热量,来抑制下部电极92的温度偏离目标温度Te。
239在合流点P1与流路135a连接。在流路239设置有第三止回阀138。第三止回阀138允许第
一热媒从第五分配阀535向合流点P1流通,并禁止第一热媒从合流点P1向第五分配阀535流
通。H端口与流路237连接。流路237与热交换器132的第四流通部134连接。
从热交换器93流通至第三流通部133的第三热媒、从热交换器93不经由第三流通部133及第
四流通部134而返回至热交换器93的第三热媒、以及从热交换器93流通至第四流通部134的
第三热媒的比例。第五分配阀535在第三热媒100%地从流路135b向流路235流动的状态、第
三热媒从流路135b向流路235、239流动的状态、第三热媒100%地从流路135b向流路239流
动的状态;第三热媒从流路135b向流路239、237流动的状态;以及第三热媒100%地从流路
135b向流路237流动的状态之间连续地变更状态。在第五分配阀535中,无论将从泵32供给
的第三热媒分配到流路235、流路239和流路237的比例如何,第三热媒的压力损失都是恒定
的。
控制部80配合目标温度Te的变化而将第一冷却器11的设定温度Tc设定为与目标温度Te对
应的设定温度Tc,并将第二冷却器21的设定温度Th设定为与目标温度Te对应的设定温度
Th。
换器93流通至第四流通部134的第三热媒的比例。因此,能够通过第五分配阀535变更热交
换器93从第三流通部133接收的热量、返回至热交换器93的热量、以及热交换器93从第四流
通部134接收的热量的比例。因此,通过利用第五分配阀535变更向热交换器93供给的热量,
而能够将下部电极92的温度控制为目标温度Te。
量,来抑制下部电极92的温度偏离目标温度Te。
略说明。
端口通过流路37连接。在流路37设置有流量计33。流量计33测量在流路37中流动的第三热
媒的流量。
三热媒,并向第三流通部133侧排出。
93的第三热媒、与从第三流通部133不向热交换器93流通而返回第三流通部133的第三热媒
的比例。第六分配阀35在第三热媒100%地从第三流通部133向热交换器93流动的状态与使
第三热媒不从第三流通部133向热交换器93流通而100%地返回第三流通部133的状态之间
连续地变更状态。在第6分配阀35中,无论将从第三流通部133供给的第三热媒分配至热交
换器93的比例如何,第三热媒的压力损失都是恒定的。
备储存第三热媒的罐。
调整在第三流通部133中流通的第三热媒的流量,进而调整在第一流通部114和第三流通部
133之间交换的热量。
热交换器93供给的热量。然后,控制部80将第一冷却器11的设定温度Tc设定为与目标温度
Te对应的设定温度Tc,将加热器96的发热量控制为与目标温度Te对应的发热量,并且对第6
分配阀35的分配比例进行反馈控制,使得下部电极92的温度成为目标温度Te。
第一热媒的供给,也可以始终供给来自第一冷却器11的第一热媒。
时刻t4之前将下部电极92的温度控制为变化前的目标温度Te2=0℃,通过第六分配阀35减
少向流路38的分配比例,并增加向流路37的分配比例。此时,通过加热器96加热下部电极
92。
六分配阀35的分配比例,而通过加热器96对下部电极92进行加热。由此,也能够从时刻t3到
时刻t4将下部电极92的温度控制为变化前的目标温度Te2=0℃。
加向流路37的分配比例。此时,控制部80通过加热器96对下部电极92进行加热,使下部电极
92的温度急剧上升。
能够使第三热媒仅在第三循环回路230中循环,从而减少第三热媒的使用量。而且,第三循
环回路230不具备储存第三热媒的罐。因此,能够进一步减少在第三循环回路230中循环的
第三热媒的量。
够控制发热量。因此,能够不使用热媒而直接加热下部电极92。
够调整从第三流通部133向热交换器93供给的热量以及直接向下部电极92供给的热量,并
能够将下部电极92的温度控制为目标温度Te。因此,即使在比变化时刻提前预定时间时将
设定温度Tc设定为与变化后的目标温度Te对应的设定温度Tc,也能够通过第六分配阀35及
控制部80变更向热交换器93供给的热量,而抑制下部电极92的温度偏离目标温度Te。
92供给的热量而难以将下部电极92的温度控制为目标温度Te的情况下,也能够抑制下部电
极92的温度偏离目标温度Te。
媒的流量与从流路17a流向流路17d的第一热媒的流量之比。第一分配阀12在第一热媒
100%地从流路17a向流路17b流动的状态和第一热媒100%地从流路17a向流路17d流动的
状态之间连续地变更状态。在第一分配阀12中,无论将从第一冷却器11供给的第一热媒分
配到三个第一流通部14和流路17d的比例如何,第一热媒的压力损失都是恒定的。
部14设置在热交换器31的内部,供第一热媒流通。
媒的流量与从流路27a流向流路27d的第二热媒的流量之比。第二分配阀22在第二热媒
100%地从流路27a向流路27b流动的状态和第二热媒100%地从流路27a向流路27d流动的
状态之间连续地变更状态。在第二分配阀22中,无论将从第二冷却器21供给的第二热媒分
配到三个第二流通部24和流路27d的比例如何,第二热媒的压力损失都是恒定的。
部24设置在热交换器31的内部,供第二热媒流通。
二流通部24进行热交换。
流通部34连接。
路30不具备储存第三热媒的罐。
一热媒的流量,进而调整在第一流通部14和共同流通部34(第三流通部)之间交换的热量。
另外,调整在第二流通部24中流通的第二热媒的流量,进而调整在第二流通部24和共同流
通部34(第四流通部)之间交换的热量。
11的设定温度Tc设定为与目标温度Te对应的设定温度Tc。然后,控制部80对第一冷却器11
的输出进行反馈控制,使得由温度传感器19检测的第一热媒的温度T1成为设定温度Tc。另
外,控制部80对第一分配阀12的分配比例进行反馈控制,使得由温度传感器94检测出的下
部电极92的温度T3成为目标温度Te。对于第二冷却器21及第二分配阀22,控制部80也进行
与第四实施方式相同的控制。
如‑5℃,从100%的输出逐渐减小),并使第二热媒从第二冷却器21向第二流通部24供给。设
定温度Th2例如是‑5℃。
设定为与变化后的目标温度Te3=‑20℃对应的设定温度Tc3(例如‑25℃,输出100%)的情
况下,有可能产生以下的问题。即,在将下部电极92的温度控制为目标温度Te2=0℃的同
时,将预先调整了温度的第一热媒储存在罐11a中为止的时间(预定时间Δt)可能变长。
第二冷却器21向第二流通部24供给。此时,可以在第二冷却器21的罐21a中储存‑25℃的第
二热媒之前,利用第二分配阀22使第二热媒不向流路27b流通而向流路27d流通,并在第二
冷却器21的罐21a中储存‑25℃的第二热媒之后,利用第二分配阀22使第二热媒向流路27b
流通。另外,在第二热媒是与第一热媒不同的液体,如果冷却到‑25℃则可能冻结的情况下,
例如也可以设定与目标温度Te2=0℃对应的设定温度Th2=‑10℃。
二热媒而进行辅助,因此能够进一步提高使下部电极92的温度追随目标温度Te2=0℃的追
随性。
媒而将下部电极92的温度控制为变化前的目标温度Te2=0℃时,能够从第二冷却器21向第
二流通部24供给第二热媒而进行辅助,因此能够抑制上述预定时间Δt变长。
热媒和第二热媒也可以由互不相同的物质构成。但是,优选第一热媒和第二热媒比第三热
媒便宜。
Δt。
装置等。
括其中的一个元素或其以上的元素或其以下的元素的其他组合和方式也包含在本公开的
范畴和思想范围内。
器(第二调整装置)、21a…罐(第二罐)、22…第二分配阀(调整部)、24…第二流通部、29…温
度传感器、30…第三循环回路、34…共同流通部(第一流通部、第二流通部)、35…第六分配
阀(调整部)、80…控制部(调整部)、80a…存储装置(存储部)、90…半导体制造装置、92…下
部电极(控制对象)、93…热交换器(热交换部)、100…温度控制系统、110…第一循环回路、
114…第一流通部、120…第二循环回路、124…第二流通部、130…第三循环回路、133…第三
流通部、134…第四流通部、135…第二分配阀(调整部)、200…温度控制系统、230…第三循
环回路、300…温度控制系统、335…第三分配阀(调整部)、400…温度控制系统、435…第四
分配阀(调整部)、500…温度控制系统、535…第五分配阀(调整部)、700…温度控制系统。