一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备

摘要

本发明属于工业加工技术领域，尤其是一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，包括底板，所述底板的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板，其特征在于，所述撑环板的顶端设置有从动转筒，且从动转筒的中端圆周外壁焊接有边环板，所述边环板与撑环板的相对一侧均开有环形槽，且对应两个环形槽的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠，所述撑环板的顶端外壁通过螺栓固定有台板。本发明通过设置的驱动电机，能够利用驱动齿轮、内齿环的传动作用带动从动转筒、台板转动，从而有效改变打磨位置；通过设置的伺服电机能够带动螺纹丝杆转动，从而在限位滑块的作用下，带动移动端块移动，从而实现对打磨器的位置调节，方便对工件的全方位的打磨处理。

权利要求

1.一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，包括底板(1)，所述底板(1)的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板(21)，其特征在于，所述撑环板(21)的顶端设置有从动转筒(22)，且从动转筒(22)的中端圆周外壁焊接有边环板(20)，所述边环板(20)与撑环板(21)的相对一侧均开有环形槽(6)，且对应两个环形槽(6)的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠(5)，所述撑环板(21)的顶端外壁通过螺栓固定有台板(23)，且台板(23)的底部外壁开有安装槽，所述安装槽的内壁通过螺栓固定有电磁铁(24)；所述底板(1)的顶部外壁靠近从动转筒(22)的一端通过螺栓固定有驱动电机(3)，且驱动电机(3)的输出轴键连接有驱动齿轮(4)，所述从动转筒(22)靠近底端的圆周内壁固定安装有与从动转筒(22)相啮合的驱动齿轮(4)的内齿环(25)；

所述底板(1)的顶部外壁通过螺栓固定有安装端框，且安装端框靠近顶部的一端通过轴承转动连接有螺纹丝杆(16)，所述螺纹丝杆(16)的一端通过螺纹连接有移动端块(12)，所述移动端块(12)的底部外壁通过螺栓固定有电动伸缩杆(14)，且电动伸缩杆(14)的延伸杆端部通过螺栓固定有安装圆板(26)，所述安装圆板(26)的底部外壁通过螺栓固定有打磨器(2)；所述移动端块(12)与安装圆板(26)的相对一侧通过铰链连接有等距离环形分布的限位铰杆(15)，且限位铰杆均有两个相互铰接的端杆组成；

所述台板(23)的一侧安装有清洁机构，所述清洁机构包括开设于台板(23)顶端的平槽口(2301)，且平槽口(2301)的两侧形成挡边；所述台板(23)的一侧通过螺栓固定有小型气泵(8)，且小型气泵(8)的输出端固定连接有输风母管(10)，所述输风母管(10)的一侧固定连接有等距离分布的斜支管(11)；所述平槽口(2301)远离小型气泵(8)的一端两侧均设置有弧托边(2302)；所述从动转筒(22)靠近弧托边(2302)的一侧外壁通过螺栓固定有固定端盒(19)，且固定端盒(19)的内部滑动连接有收集抽盒(18)。

2.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，其特征在于，所述安装端框的底部外壁开有限位顶滑槽(17)，且移动端块(12)的顶部外壁焊接有与限位顶滑槽(17)滑动连接的限位滑块(13)。

3.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，其特征在于，所述螺纹丝杆(16)的一端通过联轴器连接有伺服电机(9)，且安装端框与底板(1)的一端相对一侧通过螺栓固定有加强斜杆(7)。

说明书

一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备

技术领域

[0001] 本发明涉及工业加工技术领域，尤其涉及一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备。

背景技术

[0002] 芯片指的是将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路，另有一种厚膜集成电路是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。现代计算、交流、制造和交通系统，包括互联网，全都依赖于集成电路的存在。在芯片制造里，掩膜版就是光罩。它可以被理解为包含芯片版图信息的胶片，经过曝光以后，掩膜版里的版图就被刻到了晶圆上。光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。金属掩膜版在生产加工过程中常常需要对其框架进行打磨处理。

[0003] 传统的金属掩膜版框架打磨设计较为简单，在实际使用时，需要人员手持打磨器，并频繁调节打磨位置，实际使用过程中的打磨效率较为一般，因而存在一定的局限性。

发明内容

[0004] 基于传统的金属掩膜版框架打磨设计较为简单，在实际使用时，需要人员手持打磨器，并频繁调节打磨位置的技术问题，本发明提出了一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备。

[0005] 本发明提出的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，包括底板，所述底板的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板，其特征在于，所述撑环板的顶端设置有从动转筒，且从动转筒的中端圆周外壁焊接有边环板，所述边环板与撑环板的相对一侧均开有环形槽，且对应两个环形槽的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠，所述撑环板的顶端外壁通过螺栓固定有台板，且台板的底部外壁开有安装槽，所述安装槽的内壁通过螺栓固定有电磁铁，所述底板的顶部外壁通过螺栓固定有安装端框，且安装端框靠近顶部的一端通过轴承转动连接有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的一端通过螺纹连接有移动端块，所述移动端块的底部外壁通过螺栓固定有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的延伸杆端部通过螺栓固定有安装圆板，所述安装圆板的底部外壁通过螺栓固定有打磨器，所述台板的一侧安装有清洁机构。

[0006] 优选地，所述安装端框的底部外壁开有限位顶滑槽，且移动端块的顶部外壁焊接有与限位顶滑槽滑动连接的限位滑块。

[0007] 优选地，所述螺纹丝杆的一端通过联轴器连接有伺服电机，且安装端框与底板的一端相对一侧通过螺栓固定有加强斜杆。

[0008] 优选地，所述底板的顶部外壁靠近从动转筒的一端通过螺栓固定有驱动电机，且驱动电机的输出轴键连接有驱动齿轮。

[0009] 优选地，所述从动转筒靠近底端的圆周内壁固定安装有与从动转筒相啮合的驱动齿轮的内齿环。

[0010] 优选地，所述清洁机构包括开设与台板顶端的平槽口，且平槽口的两侧形成挡边。

[0011] 优选地，所述台板的一侧通过螺栓固定有小型气泵，且小型气泵的输出端固定连接有输风母管，所述输风母管的一侧固定连接有等距离分布的斜支管。

[0012] 优选地，所述平槽口远离小型气泵的一端两侧均设置有弧托边。

[0013] 优选地，所述从动转筒靠近弧托边的一侧外壁通过螺栓固定有固定端盒，且固定端盒的内部滑动连接有收集抽盒。

[0014] 优选地，所述移动端块与安装圆板的相对一侧通过铰链连接有等距离环形分布的限位铰杆，且限位铰杆均有两个相互铰接的端杆组成。

[0015] 本发明中的有益效果为：

[0016] 1、该金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，通过设置的电磁板方便对工件进行有效的固定处理，从而便于打磨作业的顺利进行。

[0017] 2、该金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，通过设置的驱动电机，能够利用驱动齿轮、内齿环的传动作用带动从动转筒、台板转动，从而有效改变打磨位置；通过设置的伺服电机能够带动螺纹丝杆转动，从而在限位滑块的作用下，带动移动端块移动，从而实现对打磨器的位置调节，方便对工件的全方位的打磨处理。

[0018] 3、该金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，通过设置的清洁机构，能够在后续关闭电磁板，并控制启动小型气泵，并利用输风母管、斜支管鼓出强风，从而配合弧托边，使金属碎屑集中落入端部的收集抽盒中；通过设置的等距离环形分布的限位铰杆，能够对安装圆板的上下移动起到限位加强效果，从而保证打磨作业的顺利进行。

附图说明

[0019] 图1为本发明提出的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备的整体结构示意图；

[0020] 图2为本发明提出的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备的从动转筒半剖视结构示意图；

[0021] 图3为本发明提出的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备的台板结构示意图；

[0022] 图4为本发明提出的一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备的限位铰杆结构示意图。

[0023] 图中：1底板、2打磨器、3驱动电机、4驱动齿轮、5滚珠、6环形槽、7加强斜杆、8小型气泵、9伺服电机、10输风母管、11斜支管、12移动端块、13限位滑块、14电动伸缩杆、15限位铰杆、16螺纹丝杆、17限位顶滑槽、18收集抽盒、19固定端盒、20边环板、21撑环板、22从动转筒、23台板、2301平槽口、2302弧托边、24电磁板、25内齿环、26安装圆板。

具体实施方式

[0024] 下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

[0025] 在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

[0026] 在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

[0027] 实施例1

[0028] 参照图1‑4，一种金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，包括底板1，底板1的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板21，其特征在于，撑环板21的顶端设置有从动转筒22，且从动转筒22的中端圆周外壁焊接有边环板20，边环板20与撑环板21的相对一侧均开有环形槽6，且对应两个环形槽6的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠5，撑环板21的顶端外壁通过螺栓固定有台板23，且台板23的底部外壁开有安装槽，安装槽的内壁通过螺栓固定有电磁铁24，底板
1的顶部外壁通过螺栓固定有安装端框，且安装端框靠近顶部的一端通过轴承转动连接有螺纹丝杆16，螺纹丝杆16的一端通过螺纹连接有移动端块12，移动端块12的底部外壁通过螺栓固定有电动伸缩杆14，且电动伸缩杆14的延伸杆端部通过螺栓固定有安装圆板26，安装圆板26的底部外壁通过螺栓固定有打磨器2，台板23的一侧安装有清洁机构。

[0029] 本发明中，安装端框的底部外壁开有限位顶滑槽17，且移动端块12的顶部外壁焊接有与限位顶滑槽17滑动连接的限位滑块13。

[0030] 其中，螺纹丝杆16的一端通过联轴器连接有伺服电机9，且安装端框与底板1的一端相对一侧通过螺栓固定有加强斜杆7。

[0031] 其中，底板1的顶部外壁靠近从动转筒22的一端通过螺栓固定有驱动电机3，且驱动电机3的输出轴键连接有驱动齿轮4。

[0032] 其中，从动转筒22靠近底端的圆周内壁固定安装有与从动转筒22相啮合的驱动齿轮4的内齿环25。

[0033] 其中，清洁机构包括开设与台板23顶端的平槽口2301，且平槽口2301的两侧形成挡边。

[0034] 其中，台板23的一侧通过螺栓固定有小型气泵8，且小型气泵8的输出端固定连接有输风母管10，输风母管10的一侧固定连接有等距离分布的斜支管11。

[0035] 其中，平槽口2301远离小型气泵8的一端两侧均设置有弧托边2302。

[0036] 其中，从动转筒22靠近弧托边2302的一侧外壁通过螺栓固定有固定端盒19，且固定端盒19的内部滑动连接有收集抽盒18。

[0037] 操作人员控制启动小型气泵8，并利用输风母管10、斜支管11鼓出强风，从而配合弧托边2302，使金属碎屑集中落入端部的收集抽盒18中，从而完成对台板23表面的快速清洁处理。

[0038] 其中，移动端块12与安装圆板26的相对一侧通过铰链连接有等距离环形分布的限位铰杆15，且限位铰杆均有两个相互铰接的端杆组成；通过设置的等距离环形分布的限位铰杆15，能够对安装圆板26的上下移动起到限位加强效果，以达到保证打磨作业顺利进行的目的。

[0039] 实施例2

[0040] 参照图1‑4，一种金属掩膜版框架表面毛刺去除方法，其使用了金属掩膜版框架表面毛刺去除设备，该装置包括底板1，底板1的顶部外壁通过螺栓固定有撑环板21，且撑环板21的顶端设置有从动转筒22，且从动转筒22的中端圆周外壁焊接有边环板20，边环板20与撑环板21的相对一侧均开有环形槽6，且对应两个环形槽6的内壁滚动连接有等距离分布的滚珠5，撑环板21的顶端外壁通过螺栓固定有台板23，且台板23的底部外壁开有安装槽，安装槽的内壁通过螺栓固定有电磁铁24，底板1的顶部外壁通过螺栓固定有安装端框，且安装端框靠近顶部的一端通过轴承转动连接有螺纹丝杆16，螺纹丝杆16的一端通过螺纹连接有移动端块12，移动端块12的底部外壁通过螺栓固定有电动伸缩杆14，且电动伸缩杆14的延伸杆端部通过螺栓固定有安装圆板26，安装圆板26的底部外壁通过螺栓固定有打磨器2，台板23的一侧安装有清洁机构，安装端框的底部外壁开有限位顶滑槽17，且移动端块12的顶部外壁焊接有与限位顶滑槽17滑动连接的限位滑块13，螺纹丝杆16的一端通过联轴器连接有伺服电机9，且安装端框与底板1的一端相对一侧通过螺栓固定有加强斜杆7，底板1的顶部外壁靠近从动转筒22的一端通过螺栓固定有驱动电机3，且驱动电机3的输出轴键连接有驱动齿轮4，从动转筒22靠近底端的圆周内壁固定安装有与从动转筒22相啮合的驱动齿轮4的内齿环25，清洁机构包括开设与台板23顶端的平槽口2301，且平槽口2301的两侧形成挡边，台板23的一侧通过螺栓固定有小型气泵8，且小型气泵8的输出端固定连接有输风母管
10，输风母管10的一侧固定连接有等距离分布的斜支管11，平槽口2301远离小型气泵8的一端两侧均设置有弧托边2302，且收集抽盒18的内部滑动连接有收集抽盒18，移动端块12与安装圆板26的相对一侧通过铰链连接有等距离环形分布的限位铰杆15，且限位铰杆均有两个相互铰接的端杆组成。

[0041] 采用上述金属掩膜版框架表面毛刺去除设备的具体方法如下：

[0042] S1：操作人员控制启动电磁板24方便对台板23上的工件进行有效的固定处理；

[0043] S2：操作人员控制启动电动伸缩杆14以及打磨器2，并利用伺服电机9带动螺纹丝杆16转动，并在限位滑块13、限位顶滑槽17的作用下，带动移动端块12移动，从而实现对打磨器2的位置调节，并进行打磨作业；

[0044] S3：操作人员控制启动驱动电机3，利用驱动齿轮4、内齿环25的传动作用带动从动转筒22、台板23转动，从而有效改变工件与打磨器2的相对位置，对工件进行全方位的打磨处理；

[0045] S4：完成打磨作业后，操作人员关闭电磁板23并将工件取下，并使弧托板2302的一端正对着固定端盒19，并控制启动小型气泵8，并利用输风母管10、斜支管11鼓出强风，从而配合弧托边2302，使金属碎屑集中落入端部的收集抽盒18中，从而完成对台板23表面的快速清洁处理。

[0046] 以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。