晶圆自动涂胶设备

摘要

本发明公开了一种晶圆自动涂胶设备，包括上下高速旋转接盘组件、间隙可调式输送带、储料框、下压点胶机构及延伸输送组件，下压点胶机构包括下压驱动件、下压盖合板，下压驱动件带动下压盖合板靠近或远离待点胶工件，下压盖合板设有用于点胶的点胶孔；用于存储待点胶工件的储料框将工件沿延伸输送组件输送至间隙可调式输送带，待点胶工件安置于两个侧部输送结构上并沿两个侧部输送结构，采用上下高速旋转接盘组件、间隙可调式输送带、储料框、下压点胶机构及延伸输送组件进行待点胶工件的放置、输送、点胶，自动化程度高，点胶效率高，传动平稳度高，解决了抓取式点胶胶水分布不均匀的问题。

权利要求

1.一种晶圆自动涂胶设备，包括上下高速旋转接盘组件、间隙可调式输送带、储料框、下压点胶机构及延伸输送组件，其特征在于：所述下压点胶机构包括下压驱动件、下压盖合板，下压驱动件带动下压盖合板靠近或远离待点胶工件，下压盖合板设有用于点胶的点胶孔；

所述上下高速旋转接盘组件包括上下驱动气缸、上下固定板、旋转驱动组件、旋转组件，所述旋转驱动组件包括旋转电机、驱动齿轮，所述旋转电机带动所述驱动齿轮转动；所述旋转组件包括承接盘、与承接盘下部固定连接的下部吸气管、高速旋转接头，承接盘设有吸料槽，所述下部吸气管通过所述高速旋转接头与一吸气设备连接，所述下部吸气管与所述吸料槽连通并使所述吸料槽内产生负压；所述驱动齿轮与所述下部吸气管固定连接，所述上下驱动气缸固定于所述上下固定板并带动所述旋转驱动组件上下移动，所述旋转电机运作使用于放置待点胶工件的所述承接盘转动；所述间隙可调式输送带包括两个输送安装座、两个侧部输送结构，所述侧部输送结构包括用于调节两个侧部输送结构之间距离的间隙调节气缸；

用于存储待点胶工件的储料框将工件沿延伸输送组件输送至间隙可调式输送带，待点胶工件安置于两个侧部输送结构上，所述上下高速旋转接盘组件位于两个所述侧部输送结构之间，所述下压盖合板盖设于所述承接盘的正上方，所述延伸输送组件位于所述间隙可调式输送带和所述储料框之间，所述储料框的下方设置有升降电机，所述升降电机带动所述储料框上下移动，所述侧部输送结构还包括调节座、若干个传动轮、输送带、侧部抬升气缸、倾斜抵触件，所述间隙调节气缸带动所述调节座移动，所述传动轮转动安装于所述输送安装座，所述输送带绕经所述传动轮，所述侧部抬升气缸固定于所述调节座并带动所述倾斜抵触件上下移动，所述输送带与所述调节座之间形成侧部间隙，所述倾斜抵触件位于所述侧部间隙内；所述间隙调节气缸安装于所述输送安装座，两个侧部输送结构之间形成输送间隙，所述间隙调节气缸运作进而使所述输送间隙变大或变小。

2.如权利要求1所述的晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述输送安装座上设置有侧部输送滑轨，所述调节座滑动安装于所述侧部输送滑轨。

3.如权利要求1所述的晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述承接盘的表面与所述下部吸气管的延伸方向垂直，所述承接盘的外侧设置有承接花篮，所述承接花篮内呈柱状，所述承接花篮内设有放置槽。

4.如权利要求3所述的晶圆自动涂胶设备，其特征在于：当处于点胶状态时，所述下压盖合板抵触于所述承接花篮。

5.如权利要求1所述的晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述吸料槽呈弧形，所述吸料槽均匀分布于所述承接盘的表面。

6.如权利要求1所述的晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述吸料槽设置有若干个环形槽和长条槽，所述环形槽与长条槽交叉。

7.如权利要求1所述的晶圆自动涂胶设备，其特征在于：所述上下固定板上设置有导向滑轨，所述旋转电机的侧部设置有导向板，所述导向板滑动安装于所述导向滑轨。

说明书

晶圆自动涂胶设备

技术领域

[0001] 本发明涉及点胶领域，尤其涉及一种晶圆自动涂胶设备。

背景技术

[0002] 目前，点胶机又称涂胶机、滴胶机、打胶机、灌胶机等，专门对流体进行控制。并将流体点滴、涂覆于产品表面或产品内部的自动化机器，可实现三维、四维路径点胶，精确定
位，精准控胶，不拉丝，不漏胶，不滴胶。点胶机主要用于产品工艺中的胶水、油漆以及其他
液体精确点、注、涂、点滴到每个产品精确位置，可以用来实现打点、画线、圆型或弧型。

[0003] 但是，现有的点胶设备存在以下缺陷：

[0004] 1、市面上的点胶设备一般采用定位点胶的方式进行点胶，没有采用在输送过程中点胶的结构，占用空间大，点胶效率低，自动化程度低。

[0005] 、市面上的点胶设备一般需要人工将碳化硅晶圆放置在点胶位置进行点胶，点胶后再通过机械手到下一工位，这种加工方式平稳度不足，点胶完后的胶水容易洒落，胶水分
布不均匀。

发明内容

[0006] 为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种晶圆自动涂胶设备，其能解决自动化程度低、胶水分布不均匀的问题。

[0007] 本发明的目的之一采用如下技术方案实现：

[0008] 一种晶圆自动涂胶设备，包括上下高速旋转接盘组件、间隙可调式输送带、储料框、下压点胶机构及延伸输送组件，所述下压点胶机构包括下压驱动件、下压盖合板，下压
驱动件带动下压盖合板靠近或远离待点胶工件，下压盖合板设有用于点胶的点胶孔；所述
上下高速旋转接盘组件包括上下驱动气缸、上下固定板、旋转驱动组件、旋转组件，所述旋
转驱动组件包括旋转电机、驱动齿轮，所述旋转电机带动所述驱动齿轮转动；所述旋转组件
包括承接盘、与承接盘下部固定连接的下部吸气管、高速旋转接头，承接盘设有吸料槽，所
述下部吸气管通过所述高速旋转接头与一吸气设备连接，所述下部吸气管与所述吸料槽连
通并使所述吸料槽内产生负压；所述驱动齿轮与所述下部吸气管固定连接，所述上下驱动
气缸固定于所述上下固定板并带动所述旋转驱动组件上下移动，所述旋转电机运作使用于
放置待点胶工件的所述承接盘转动；所述间隙可调式输送带包括两个输送安装座、两个侧
部输送结构，所述侧部输送结构包括用于调节两个侧部输送结构之间距离的间隙调节气
缸；用于存储待点胶工件的储料框将工件沿延伸输送组件输送至间隙可调式输送带，待点
胶工件安置于两个侧部输送结构上，所述上下高速旋转接盘组件位于两个所述侧部输送结
构之间，所述下压盖合板盖设于所述承接盘的正上方。

[0009] 进一步地，所述延伸输送组件位于所述间隙可调式输送带和所述储料框之间。

[0010] 进一步地，所述储料框的下方设置有升降电机，所述升降电机带动所述储料框上下移动。

[0011] 进一步地，所述侧部输送结构还包括调节座、若干个传动轮、输送带、侧部抬升气缸、倾斜抵触件，所述间隙调节气缸带动所述调节座移动，所述传动轮转动安装于所述输送
安装座，所述输送带绕经所述传动轮，所述侧部抬升气缸固定于所述调节座并带动所述倾
斜抵触件上下移动，所述输送带与所述调节座之间形成侧部间隙，所述倾斜抵触件位于所
述侧部间隙内；所述间隙调节气缸安装于所述输送安装座，两个侧部输送结构之间形成输
送间隙，所述间隙调节气缸运作进而使所述输送间隙变大或变小。

[0012] 进一步地，所述输送安装座上设置有侧部输送滑轨，所述调节座滑动安装于所述侧部输送滑轨。

[0013] 进一步地，所述承接盘的表面与所述下部吸气管的延伸方向垂直，所述承接盘的外侧设置有承接花篮，所述承接花篮内呈柱状，所述承接花篮内设有放置槽。

[0014] 进一步地，当处于点胶状态时，所述下压盖合板抵触于所述承接花篮。

[0015] 进一步地，所述吸料槽呈弧形，所述吸料槽均匀分布于所述承接盘的表面。

[0016] 进一步地，所述吸料槽设置有若干个环形槽和长条槽，所述环形槽与长条槽交叉。

[0017] 进一步地，所述上下固定板上设置有导向滑轨，所述旋转电机的侧部设置有导向板，所述导向板滑动安装于所述导向滑轨。

[0018] 相比现有技术，本发明的有益效果在于：

[0019] 所述下压点胶机构包括下压驱动件、下压盖合板，下压驱动件带动下压盖合板靠近或远离待点胶工件，下压盖合板设有用于点胶的点胶孔；用于存储待点胶工件的储料框
将工件沿延伸输送组件输送至间隙可调式输送带，待点胶工件安置于两个侧部输送结构上
并沿两个侧部输送结构，所述上下高速旋转接盘组件位于两个所述侧部输送结构之间，所
述下压盖合板盖设于所述承接盘的正上方。采用上下高速旋转接盘组件、间隙可调式输送
带、储料框、下压点胶机构及延伸输送组件进行待点胶工件的放置、输送、点胶，自动化程度
高，点胶效率高，传动平稳度高，解决了抓取式点胶胶水分布不均匀的问题。

[0020] 上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够
更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

[0021] 图1为本发明 晶圆自动涂胶设备中一较佳实施例的立体图；

[0022] 图2为图1所示晶圆自动涂胶设备的立体图；

[0023] 图3为本发明 晶圆自动涂胶设备中一上下承接式输送机构的立体图；

[0024] 图4为图3所示上下高速旋转接盘组件的立体图；

[0025] 图5为图3所示上下高速旋转接盘组件的立体图；

[0026] 图6为图3所示上下高速旋转接盘组件的另一立体图；

[0027] 图7为图3所示上下高速旋转接盘组件的又一立体图；

[0028] 图8为本发明 晶圆自动涂胶设备中一间隙可调式输送带的立体图；

[0029] 图9为图8所示间隙可调式输送带的立体图；

[0030] 图10为图8所示间隙可调式输送带的另一立体图。

[0031] 图中：100、上下高速旋转接盘组件；10、上下驱动气缸；20、上下固定板；30、旋转驱动组件；31、旋转电机；32、驱动齿轮；40、旋转组件；41、承接盘；411、吸料槽；42、下部吸气
管；43、高速旋转接头；200、待点胶工件；201、承接花篮；200、待点胶工件；300、间隙可调式
输送带；50、输送安装座；51、侧部输送滑轨；60、侧部输送结构；61、间隙调节气缸；62、调节
座；63、传动轮；64、输送带；65、侧部间隙；66、侧部抬升气缸；67、倾斜抵触件；90、储料框；
91、下压点胶机构；911、下压驱动件；912、下压盖合板；9121、点胶孔；92、延伸输送组件。

具体实施方式

[0032] 下面，结合附图以及具体实施方式，对本发明做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施
例。

[0033] 需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接
到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它
可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直
的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

[0034] 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具
体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相
关的所列项目的任意的和所有的组合。

[0035] 请参阅图1‑2，一种晶圆自动涂胶设备，包括上下高速旋转接盘组件100、间隙可调式输送带300、储料框90、下压点胶机构91及延伸输送组件92，所述下压点胶机构91包括下
压驱动件911、下压盖合板912，下压驱动件911带动下压盖合板912靠近或远离待点胶工件
200，下压盖合板912设有用于点胶的点胶孔9121；用于存储待点胶工件200的储料框90将工
件沿延伸输送组件92输送至间隙可调式输送带300，待点胶工件200安置于两个侧部输送结
构60上并沿两个侧部输送结构60，所述上下高速旋转接盘组件100位于两个所述侧部输送
结构60之间，所述下压盖合板912盖设于所述承接盘的正上方。采用上下高速旋转接盘组件
100、间隙可调式输送带300、储料框90、下压点胶机构91及延伸输送组件92进行待点胶工件
200的放置、输送、点胶，自动化程度高，点胶效率高，传动平稳度高，解决了抓取式点胶胶水
分布不均匀的问题。

[0036] 优选的，所述延伸输送组件92位于所述间隙可调式输送带300和所述储料框90之间。所述储料框90的下方设置有升降电机，所述升降电机带动所述储料框90上下移动。当处
于点胶状态时，所述下压盖合板912抵触于所述承接花篮。进而使点胶过程更加平稳，同时
解决了胶水杂乱的问题。

[0037] 请参阅图3‑7，上下高速旋转接盘组件100，包括上下驱动气缸10、上下固定板20、旋转驱动组件30、旋转组件40，所述旋转驱动组件30包括旋转电机31、驱动齿轮32，所述旋
转电机31带动所述驱动齿轮32转动；所述旋转组件40包括承接盘41、与承接盘41下部固定
连接的下部吸气管42、高速旋转接头43，承接盘41设有吸料槽411，所述下部吸气管42通过
所述高速旋转接头43与一吸气设备连接，所述下部吸气管42与所述吸料槽411连通并使所
述吸料槽411内产生负压；所述驱动齿轮32与所述下部吸气管42固定连接，所述上下驱动气
缸10固定于所述上下固定板20并带动所述旋转驱动组件30上下移动，所述旋转电机31运作
使用于放置待点胶工件200的所述承接盘41转动。点胶时在待点胶工件200的中部点胶后，
待点胶工件200通过所述吸料槽411的吸气进而固定在承接盘41上，旋转电机31可带动待点
胶工件200转动使胶水在待点胶工件200上分布均匀，点胶效果好，点胶效率高。

[0038] 优选的，所述承接盘41的表面与所述下部吸气管42的延伸方向垂直，所述承接盘41的外侧设置有承接花篮201，所述承接花篮201内呈柱状，所述承接花篮201内设有放置
槽。所述承接花篮201用于放置所述承接盘41，提供保护作用。

[0039] 优选的，所述上下固定板20上设置有导向滑轨，所述旋转电机31的侧部设置有导向板，所述导向板滑动安装于所述导向滑轨。提高了整个结构的稳定性，进而点胶更加平
稳。

[0040] 优选的，在其中一实施例中，所述吸料槽411呈弧形，所述吸料槽411均匀分布于所述承接盘41的表面。所述吸料槽411与所述下部吸气管42连通，进而为待点胶工件200提供
固定的吸力。

[0041] 优选的，在其中另一实施例中，所述吸料槽411设置有若干个环形槽和长条槽，所述环形槽与长条槽交叉。使待点胶工件200在旋转时更加稳固。

[0042] 优选的，所述上下驱动气缸10延伸方向与所述下部吸气管42的延伸方向相同。所述上下驱动气缸10与所述下部吸气管42结构紧凑，结构新颖，设计巧妙，适用性强，便于推
广。

[0043] 请参阅图8‑10，间隙可调式输送带300，包括两个输送安装座50、两个侧部输送结构60，所述侧部输送结构60包括间隙调节气缸61、调节座62、若干个传动轮63、输送带64、侧
部抬升气缸66、倾斜抵触件67，所述间隙调节气缸61带动所述调节座62移动，所述传动轮63
转动安装于所述输送安装座50，所述输送带64绕经所述传动轮63，所述侧部抬升气缸66固
定于所述调节座62并带动所述倾斜抵触件67上下移动，所述输送带64与所述调节座62之间
形成侧部间隙65，所述倾斜抵触件67位于所述侧部间隙65内；所述间隙调节气缸61安装于
所述输送安装座50，两个侧部输送结构60之间形成输送间隙，所述间隙调节气缸61运作进
而使所述输送间隙变大或变小。采用间隙调节气缸61调节两个侧部输送结构60之间的输送
间隙，可以适用于多种大小规格的输送需求，待点胶工件200沿两个侧部输送结构60上的输
送带64进行输送，所述间隙调节气缸61驱动所述倾斜抵触件67顶起待点胶工件200，点胶效
率高。

[0044] 优选的，所述输送安装座50上设置有侧部输送滑轨51，所述调节座62滑动安装于所述侧部输送滑轨51。具体的，所述侧部输送滑轨51的横截面呈圆形。提高了调节的稳定
性，解决了调节时出现晃动的问题。

[0045] 优选的，在其中一实施例中，所述侧部抬升气缸66的延伸方向与所述输送带64的延伸方向呈锐角。所述侧部抬升气缸66进行侧部顶起，可以将待点胶工件200翻转或侧移。
在另一实施例中，所述侧部抬升气缸66的延伸方向与所述输送带64的延伸方向垂直，进行
上下垂直顶起。

[0046] 优选的，所述传动轮63的数量为两个，所述输送带64套设于两个所述传动轮63。所述输送安装座50设置有倾斜槽，所述倾斜抵触件67沿所述倾斜槽上下移动。结构新颖，设计
巧妙，适用性强，便于推广。

[0047] 上述实施方式仅为本发明的优选实施方式，不能以此来限定本发明保护的范围，本领域的技术人员在本发明的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本发明所
要求保护的范围。