自动切换压力式摆臂

摘要

本申请提供了一种自动切换压力式摆臂，包括连接座；摆臂本体，摆臂本体的中部位置搭载于连接座上；吸嘴，安装于摆臂本体的一端；压力调节动力单元，安装于连接座上并与摆臂本体的另一端相连，用于驱动摆臂本体绕连接座摆动以调节吸嘴的位置。摆臂本体搭载于连接座上的位置为摆动部，摆动部与吸嘴之间的距离大于摆动部与压力调节动力单元之间的距离。本申请通过将摆臂本体搭载于连接座上，摆臂本体与连接座之间构成杠杆结构。当压力调节动力单元驱动摆臂本体的中部位置绕连接座摆动时，位于摆臂本体一端的吸嘴的位置也随之发生变化。通过对吸嘴位置的调节，进而可调节吸嘴在取晶与固晶时对晶片的压力，实现对晶片的保护。

权利要求

1.自动切换压力式摆臂，其特征在于，包括：连接座(1)；

摆臂本体(2)，所述摆臂本体(2)的中部位置搭载于所述连接座(1)上；

吸嘴(7)，安装于所述摆臂本体(2)的一端；

压力调节动力单元(3)，安装于所述连接座(1)上并与所述摆臂本体(2)的另一端相连，用于驱动所述摆臂本体(2)绕所述连接座(1)摆动以调节所述吸嘴(7)的位置；

其中，所述摆臂本体(2)搭载于所述连接座(1)上的位置为摆动部(20)，所述摆动部(20)与所述吸嘴(7)之间的距离大于所述摆动部(20)与所述压力调节动力单元(3)之间的距离；

所述压力调节动力单元(3)包括安装于所述连接座(1)上的气缸(31)和与所述气缸(31)之活塞杆(32)相连的连接块(33)，所述摆臂本体(2)远离所述吸嘴(7)的一端与所述连接块(33)相连，所述压力调节动力单元(3)用于驱动所述摆臂本体(2)绕所述摆动部(20)在所述连接座(1)上摆动。

2.如权利要求1所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述自动切换压力式摆臂还包括连接所述连接座(1)与所述摆臂本体(2)的弹性件(4)。

3.如权利要求2所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述自动切换压力式摆臂还包括用于与所述连接座(1)配合以将所述弹性件(4)的一端夹持的第一压板(5)和用于与所述摆臂本体(2)配合以将所述弹性件(4)的另一端夹持的第二压板(6)；所述第一压板(5)与所述连接座(1)相连，所述第二压板(6)与所述摆臂本体(2)相连。

4.如权利要求3所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述第一压板(5)与所述第二压板(6)间隔设置。

5.如权利要求1所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述连接块(33)上安装有固定轴(34)，所述摆臂本体(2)远离所述吸嘴(7)的一端开设有供所述固定轴(34)穿过的通孔(220)。

6.如权利要求5所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述连接块(33)上开设有供所述摆臂本体(2)远离所述吸嘴(7)的一端伸入的凹槽(331)，所述固定轴(34)穿过所述凹槽(331)设置。

7.如权利要求1所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述气缸(31)上分别安装有用于在所述吸嘴(7)取晶时施加压力的第一通气嘴(311)和用于在所述吸嘴(7)固晶时施加压力的第二通气嘴(312)。

8.如权利要求1‑7任一项所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述自动切换压力式摆臂还包括安装于所述连接座(1)上的第一触控导电杆(8)和安装于所述摆臂本体(2)上的第二触控导电杆(9)；所述第一触控导电杆(8)和所述第二触控导电杆(9)正对设置。

9.如权利要求1‑7任一项所述的自动切换压力式摆臂，其特征在于：所述连接座(1)包括支撑所述摆臂本体(2)的底座(11)和支撑所述压力调节动力单元(3)的支撑座(12)，所述支撑座(12)安装于所述底座(11)上。

说明书

自动切换压力式摆臂

技术领域

[0001] 本申请属于固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种自动切换压力式摆臂。

背景技术

[0002] 目前，固晶摆臂通常由摆臂及吸嘴组成，吸嘴用于取放晶片，以实现取晶与固晶作业；摆臂用于支撑吸嘴，并带动吸嘴在取晶位及固晶位之间往复移动。

[0003] 吸嘴在取放晶片的过程中，由于固晶摆臂施加于吸嘴的压力无法调节，吸嘴在取晶与固晶时的压力大小一致，易造成晶片的损坏。

发明内容

[0004] 本申请实施例的目的在于提供一种自动切换压力式摆臂，以解决相关技术中存在的：固晶摆臂施加于吸嘴的压力无法调节，吸嘴在取晶与固晶时的压力大小一致，易造成晶
片损坏的问题。

[0005] 为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：

[0006] 提供一种自动切换压力式摆臂，包括：

[0007] 连接座；

[0008] 摆臂本体，所述摆臂本体的中部位置搭载于所述连接座上；

[0009] 吸嘴，安装于所述摆臂本体的一端；

[0010] 压力调节动力单元，安装于所述连接座上并与所述摆臂本体的另一端相连，用于驱动所述摆臂本体绕所述连接座摆动以调节所述吸嘴的位置；

[0011] 其中，所述摆臂本体搭载于所述连接座上的位置为摆动部，所述摆动部与所述吸嘴之间的距离大于所述摆动部与所述压力调节动力单元之间的距离。

[0012] 在一个实施例中，所述自动切换压力式摆臂还包括连接所述连接座与所述摆臂本体的弹性件。

[0013] 在一个实施例中，所述自动切换压力式摆臂还包括用于与所述连接座配合以将所述弹性件的一端夹持的第一压板和用于与所述摆臂本体配合以将所述弹性件的另一端夹
持的第二压板；所述第一压板与所述连接座相连，所述第二压板与所述摆臂本体相连。

[0014] 在一个实施例中，所述第一压板与所述第二压板间隔设置。

[0015] 在一个实施例中，所述压力调节动力单元包括安装于所述连接座上的气缸和与所述气缸之活塞杆相连的连接块，所述摆臂本体远离所述吸嘴的一端与所述连接块相连。

[0016] 在一个实施例中，所述连接块上安装有固定轴，所述摆臂本体远离所述吸嘴的一端开设有供所述固定轴穿过的通孔。

[0017] 在一个实施例中，所述连接块上开设有供所述摆臂本体远离所述吸嘴的一端伸入的凹槽，所述固定轴穿过所述凹槽设置。

[0018] 在一个实施例中，所述气缸上分别安装有用于在所述吸嘴取晶时施加压力的第一通气嘴和用于在所述吸嘴固晶时施加压力的第二通气嘴。

[0019] 在一个实施例中，所述自动切换压力式摆臂还包括安装于所述连接座上的第一触控导电杆和安装于所述摆臂本体上的第二触控导电杆；所述第一触控导电杆和所述第二触
控导电杆正对设置。

[0020] 在一个实施例中，所述连接座包括支撑所述摆臂本体的底座和支撑所述压力调节动力单元的支撑座，所述支撑座安装于所述底座上。

[0021] 本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：本申请通过将摆臂本体搭载于连接座上，摆臂本体与连接座之间构成杠杆结构。当压力调节动
力单元驱动摆臂本体的中部位置绕连接座摆动时，位于摆臂本体一端的吸嘴的位置也随之
发生变化。通过对吸嘴位置的调节，进而可调节吸嘴在取晶与固晶时对晶片的压力，实现对
晶片的保护。

附图说明

[0022] 为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一
些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些
附图获得其他的附图。

[0023] 图1为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的结构示意图；

[0024] 图2为图1的分解示意图；

[0025] 图3为本申请实施例提供的弹性件的结构示意图；

[0026] 图4为本申请实施例提供的第一压板的结构示意图；

[0027] 图5为本申请实施例提供的第二压板的结构示意图；

[0028] 图6为本申请实施例提供的底座的结构示意图；

[0029] 图7为本申请实施例提供的摆臂本体的结构示意图；

[0030] 图8为本申请实施例提供的压力调节动力单元的结构示意图。

[0031] 其中，图中各附图主要标记：

[0032] 1‑连接座；11‑底座；110‑容置腔；111‑第一安装孔；112‑第一台阶部；12‑ 支撑座；

[0033] 2‑摆臂本体；20‑摆动部；21‑第一摆动臂；210‑第一定位孔；211‑第二台阶部；22‑第二摆动臂；220‑通孔；23‑抵接部；

[0034] 3‑压力调节动力单元；31‑气缸；311‑第一通气嘴；312‑第二通气嘴；32‑活塞杆；33‑连接块；331‑凹槽；34‑固定轴；

[0035] 4‑弹性件；41‑第二安装孔；42‑第二定位孔；

[0036] 5‑第一压板；51‑第三安装孔；

[0037] 6‑第二压板；61‑第三定位孔；

[0038] 7‑吸嘴；8‑第一触控导电杆；9‑第二触控导电杆。

具体实施方式

[0039] 为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅
用以解释本申请，并不用于限定本申请。

[0040] 需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可
以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

[0041] 此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的
特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义
是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有
明确具体的限定。

[0042] 在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置
关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指
示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理
解为对本申请的限制。

[0043] 在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可
以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是
两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以
根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

[0044] 在整个说明书中参考“一个实施例”或“实施例”意味着结合实施例描述的特定特征，结构或特性包括在本申请的至少一个实施例中。因此，“在一个实施例中”或“在一些实
施例中”的短语出现在整个说明书的各个地方，并非所有的指代都是相同的实施例。此外，
在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征，结构或特性。

[0045] 请参阅图1和图2，现对本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂进行说明。该自动切换压力式摆臂包括连接座1、摆臂本体2、吸嘴7和压力调节动力单元3。连接座1用于与
固晶机的对应部件相连，从而实现对压力调节动力单元3及摆臂本体2的支撑。摆臂本体2的
中部位置搭载于连接座1上，从而实现摆臂本体2绕连接座1的摆动。吸嘴7安装于摆臂本体2
的一端，用于取放晶片以实现取晶及固晶作业。压力调节动力单元3安装于连接座1上并与
摆臂本体2的另一端相连。当压力调节动力单元3驱动摆臂本体2绕连接座1摆动时，可一并
对吸嘴7的位置进行调节。此结构，通过将摆臂本体2搭载于连接座1上，摆臂本体2与连接座
1之间构成杠杆结构。当压力调节动力单元3驱动摆臂本体2的中部位置绕连接座1摆动时，
位于摆臂本体2一端的吸嘴7的位置也随之发生变化。通过对吸嘴7位置的调节，进而可调节
吸嘴7在取晶与固晶时对晶片的压力，实现对晶片的保护。

[0046] 在一个实施例中，请参阅图2和图7，摆臂本体2搭载于连接座1上的位置为摆动部20，该摆动部20与吸嘴7之间的距离大于该摆动部20与压力调节动力单元3之间的距离。此
结构，压力调节动力单元3对摆臂本体2的驱动作用效果好，摆臂本体2绕连接座1的摆动可
靠性好，吸嘴7的位移调节可靠性好，有助于对吸嘴7在取放晶片过程中的压力调节。

[0047] 在一个实施例中，请参阅图1和图2，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，自动切换压力式摆臂还包括连接上述连接座 1与摆臂本体2的弹
性件4。此结构，弹性件4可对摆臂本体2的摆动起到一定的缓冲保护作用，避免因摆臂本体2
的行程过大而使吸嘴7对晶片造成损伤。其中，弹性件4可为弹片。

[0048] 在一些实施例中，摆臂本体2的中部位置也可以通过铰接轴铰接于连接座 1上，铰接轴上可套设有扭簧，扭簧的一端与连接座1抵接，扭簧的另一端与摆臂本体2抵接。此结
构，铰接轴可提高摆臂本体2的摆动效果。扭簧可起到与弹性件4相同的作用，实现对摆臂本
体2的缓冲保护作用。

[0049] 在一个实施例中，请参阅图1和图2，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，自动切换压力式摆臂还包括用于与连接座1 配合以将弹性件4的
一端夹持的第一压板5和用于与摆臂本体2配合以将弹性件4的另一端夹持的第二压板6；第
一压板5与连接座1相连，第二压板6与摆臂本体2相连。具体地，请参阅图3、图4和图6，连接
座1上间隔开设有多个第一安装孔111，弹性件4的一端上对应开设有多个第二安装孔41，第
一压板5上对应开设有多个第三安装孔51，各第一安装孔111、相应第二安装孔41 和相应第
三安装孔51对位配合，并在外部锁紧件的作用下连接固定。请参阅图 3、图5和图7，摆臂本
体2上间隔开设有多个第一定位孔210，弹性件4的另一端上对应开设有多个第二定位孔42，
第二压板6上对应开设有多个第三定位孔61，各第一定位孔210、相应第二定位孔42和相应
第三定位孔61对位配合，并在外部锁紧件的作用下连接固定。此结构，通过第一压板5和第
二压板6可将弹性件4的两端分别锁紧固定于连接座1和摆臂本体2上，有助于对弹性件 4的
拆装。

[0050] 在一个实施例中，请参阅图6和图7，连接座1上开设有供弹性件4的一端和第一压板5伸入的第一台阶部112，第一台阶部112可实现对弹性件4及第一压板5的限位，有助于提
高弹性件4及第一压板5的对位安装效率。摆臂本体2上开设有供弹性件4的另一端和第二压
板6伸入的第二台阶部211，第二台阶部211可实现对弹性件4及第二压板6的限位，有助于提
高弹性件4及第二压板6的对位安装效率。

[0051] 在一个实施例中，请参阅图1和图2，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，第一压板5与第二压板6间隔设置。此结构，第一压板5与第二压板6
之间的间隙可对摆臂本体2的摆动起到一定的缓冲和复位作用，以防止吸嘴7对晶片造成损
伤。

[0052] 在一个实施例中，请参阅图2和图8，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，压力调节动力单元3包括安装于连接座1上的气缸31和与气缸31之
活塞杆32相连的连接块33，摆臂本体2远离吸嘴7 的一端与连接块33相连。此结构，通过连
接块33将摆臂本体2和活塞杆32 连接，便于摆臂本体2的拆装。

[0053] 在一个实施例中，请参阅图8，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，连接块33上安装有固定轴34，摆臂本体2远离吸嘴7的一端开设有供固定
轴34穿过的通孔220。此结构，通过固定轴34可实现摆臂本体2与连接块33的铰接，进而提高
摆臂本体2绕连接座1的摆动效果。

[0054] 在一个实施例中，请参阅图8，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，连接块33上开设有供摆臂本体2远离吸嘴7的一端伸入的凹槽331，固定轴
34穿过凹槽331设置。此结构，摆臂本体2远离吸嘴 7的一端可与凹槽331形成过盈配合，一
方面，凹槽331可为摆臂本体2的摆动提供避让区域；另一方面，凹槽331的相对两个内侧壁
可将摆臂本体2的一端之两侧进行抵挡，可避免摆臂本体2沿固定轴34的长度方向晃动，进
而提高摆臂本体2的摆动可靠性。

[0055] 在一个实施例中，请参阅图8，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，气缸31上分别安装有用于在吸嘴7取晶时施加压力的第一通气嘴311和用
于在吸嘴7固晶时施加压力的第二通气嘴312。此结构，第一通气嘴311和第二通气嘴312可
分别通过管路与外部供气设备连接。通过第一通气嘴311和第二通气嘴312单独对气缸31进
行供气，从而可分别对吸嘴 7在取晶和固晶时的压力进行调节，从而更好地保护晶片。

[0056] 在一些实施例中，压力调节动力单元3也可为安装于连接座1上的丝杆传动机构、滑台直线电机等，摆臂本体2远离吸嘴7的一端可与滑块相连，通过滑块的移动来带动摆臂
本体2绕连接座1的摆动。

[0057] 在一个实施例中，请参阅图1和图2，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，自动切换压力式摆臂还包括安装于连接座1 上的第一触控导电杆
8和安装于摆臂本体2上的第二触控导电杆9；第一触控导电杆8和第二触控导电杆9正对设
置。此结构，在正常压力范围内，第一触控导电杆8和第二触控导电杆9处于接触状态。当超
出压力范围时，第一触控导电杆8和第二触控导电杆9分离，此时，外部终端控制气缸31停止
工作，摆臂本体2停止摆动，以防止因压力过大而对损坏晶片。

[0058] 在一个实施例中，请参阅图2，作为本申请实施例提供的自动切换压力式摆臂的一种具体实施方式，连接座1包括支撑摆臂本体2的底座11和支撑压力调节动力单元3的支撑
座12，支撑座12安装于底座11上。此结构，通过底座 11和支撑座12分别对摆臂本体2和压力
调节动力单元3的支撑，便于对摆臂本体2和压力调节动力单元3的拆装，效率高。

[0059] 在一个实施例中，请参阅图6和图7，摆臂本体2可包括第一摆动臂21和与第一摆动臂21连接的第二摆动臂22，第一摆动臂21与第二摆动臂22的连接位置可为摆动部20。吸嘴7
安装于第一摆动臂21远离摆动部20的一端，第二摆动臂22远离摆动部20的一端开设有通孔
220。底座11上开设有供第二摆动臂22伸入的容置腔110，气缸31的活塞杆32伸入容置腔110
中并与第二摆动臂22连接。底座11上开设有第一台阶部112，第一摆动臂21上开设有第二台
阶部211，弹性件4将底座11和第一摆动臂21连接。第一摆动臂21的宽度大于第二摆动臂22
的宽度，第一摆动臂21与第二摆动臂22之间形成抵接部 23，该抵接部23可与底座11配合，
以限制摆臂本体2的摆动行程。

[0060] 请参阅图2，第一触控导电杆8安装于支撑座12上，方便拆装；第二触控导电杆9安装于第二摆动臂22上，便于与第一触控导电杆8对位配合。

[0061] 以上所述仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。