压力调节系统、方法和设备

摘要

本公开涉及真空技术领域，具体地，涉及一种压力调节系统、方法和设备，所述压力调节系统包括主控制回路，分别与所述主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路所述主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与所述密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与所述密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与所述第一调节阀连接的主控制器；所述第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与所述第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与所述第三调节阀连接的第一辅助控制器；所述第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与所述第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与所述第四调节阀连接的第二辅助控制器，通过所述压力调节系统，对所述腔体内的压力进行高精度地调节。

权利要求

1.一种压力调节系统，其特征在于，所述压力调节系统包括主控制回路，分别与所述主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路；

所述主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与所述密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与所述密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与所述第一调节阀连接的主控制器；所述第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与所述第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与所述第三调节阀连接的第一辅助控制器；所述第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与所述第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与所述第四调节阀连接的第二辅助控制器；

其中，所述主控制回路通过所述第一调节阀与所述第一辅助控制回路中的所述第一稳压罐连接，所述主控制回路通过所述第二调节阀与所述第二辅助控制回路中的所述第二稳压罐连接；所述第一辅助控制回路用于通过所述第一稳压罐提供低于所述密封腔体内的第一压力的第二压力，所述第二辅助控制回路用于通过所述第二稳压罐提供高于所述第一压力的第三压力；

所述主控制器，用于根据所述密封腔体内的所述第一压力调节所述第一调节阀的开度，以使所述密封腔体内的压力达到第一预设压力；

所述第一辅助控制器，用于根据所述第一稳压罐内的所述第二压力调节所述第三调节阀的开度，以使所述第一稳压罐的压力达到第二预设压力；

所述第二辅助控制器，用于根据所述第二稳压罐内的所述第三压力调节所述第四调节阀的开度，以使所述第二稳压罐的压力达到第三预设压力；

其中，所述第一预设压力与所述第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，所述第一预设压力与所述第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，所述第一预设压差和所述第二预设压差用于表征对所述密封腔体内压力的控制精度。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二调节阀，用于根据用户的调整操作调节所述第二调节阀的开度，以使所述主控制器控制所述第一调节阀的开度到达第一预设开度范围内，所述第一预设开度范围为根据所述第一调节阀的阀型预先设置的开度范围。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一稳压罐连接的第一针阀；

所述第一针阀，用于根据用户的调整操作调整所述第一针阀的开度，以使所述第一辅助控制器控制所述第三调节阀的开度到达第二预设开度范围内，所述第二预设开度范围为根据所述第三调节阀的阀型预先设置的开度范围。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二辅助控制回路还包括与所述第二稳压罐连接的第二针阀；

所述第二针阀，用于根据用户的调整操作调整所述第二针阀的开度，以使所述第二辅助控制器控制所述第四调节阀的开度到达第三预设开度范围内，所述第三预设开度范围为根据所述第四调节阀的阀型预先设置的开度范围。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述主控制回路还包括与所述主控制器连接的第一压力检测装置，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一辅助控制器连接的第二压力检测装置，所述第二辅助控制回路还包括与所述第二辅助控制器连接的第三压力检测装置；

其中，所述第一压力检测装置用于实时检测所述密封腔体内的所述第一压力，并将所述第一压力发送至所述主控制器；

所述第二压力检测装置用于实时检测所述第一稳压罐内的所述第二压力，并将所述第二压力发送至所述第一辅助控制器；

所述第三压力检测装置用于实时检测所述第二稳压罐内的所述第三压力，并将所述第三压力发送至所述第二辅助控制器。

6.根据权利要求1‑5任一项所述的系统，其特征在于，所述系统还包括真空泵，所述真空泵通过所述第三调节阀与所述第一稳压罐连接，并通过所述第四调节阀与所述第二稳压罐连接。

7.一种压力调节方法，应用于压力调节系统，所述压力调节系统包括主控制回路，分别与所述主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路；所述主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与所述密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与所述密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与所述第一调节阀连接的主控制器；所述第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与所述第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与所述第三调节阀连接的第一辅助控制器；所述第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与所述第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与所述第四调节阀连接的第二辅助控制器；其中，所述主控制回路通过所述第一调节阀与所述第一辅助控制回路中的所述第一稳压罐连接，所述主控制回路通过所述第二调节阀与所述第二辅助控制回路中的所述第二稳压罐连接；其特征在于，所述方法包括：根据所述密封腔体内的第一压力通过所述主控制器调节所述第一调节阀的开度，以使所述密封腔体内的压力达到第一预设压力；

根据所述第一稳压罐内的第二压力通过所述第一辅助控制器调节所述第三调节阀的开度，以使所述第一稳压罐的压力达到第二预设压力；

根据所述第二稳压罐内的第三压力通过所述第二辅助控制器调节所述第四调节阀的开度，以使所述第二稳压罐的压力达到第三预设压力；

其中，所述第一预设压力与所述第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，所述第一预设压力与所述第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，所述第一预设压差和所述第二预设压差用于表征对所述密封腔体内压力的控制精度。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一稳压罐连接的第一针阀；所述第二辅助控制回路还包括与所述第二稳压罐连接的第二针阀；所述方法还包括：根据用户的调整操作调节所述第二调节阀的开度，以使所述主控制器控制所述第一调节阀的开度到达第一预设开度范围内，所述第一预设开度范围为根据所述第一调节阀的阀型预先设置的开度范围；

根据用户的调整操作调整所述第一针阀的开度，以使所述第一辅助控制器控制所述第三调节阀的开度到达第二预设开度范围内，所述第二预设开度范围为根据所述第三调节阀的阀型预先设置的开度范围；

根据用户的调整操作调整所述第二针阀的开度，以使所述第二辅助控制器控制所述第四调节阀的开度到达第三预设开度范围内，所述第三预设开度范围为根据所述第四调节阀的阀型预先设置的开度范围。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述主控制回路还包括与所述主控制器连接的第一压力检测装置，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一辅助控制器连接的第二压力检测装置，所述第二辅助控制回路还包括与所述第二辅助控制器连接的第三压力检测装置；所述方法还包括：通过所述第一压力检测装置实时检测所述密封腔体内的所述第一压力，并将所述第一压力发送至所述主控制器；

通过所述第二压力检测装置实时检测所述第一稳压罐内的所述第二压力，并将所述第二压力发送至所述第一辅助控制器；

通过所述第三压力检测装置实时检测所述第二稳压罐内的所述第三压力，并将所述第三压力发送至所述第二辅助控制器。

10.一种压力调节设备，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述的压力调节系统。

说明书

压力调节系统、方法和设备

技术领域

[0001] 本公开涉及真空技术领域，具体地，涉及一种压力调节系统、方法和设备。

背景技术

[0002] 随着科学技术的发展，为了满足产品性能的需求，有些情况下会要求产品的生产制造处于真空环境中，现有技术中，通过真空泵对被抽容器进行抽气来创造真空的环境，并且，现有技术对真空环境压力的要求通常是越低越好，即真空度越高越好，然而，在某些特定工艺的生产操作中，例如，在特种玻璃制作时，会利用真空压力吸玻璃液位，因此需要真空压力处于某一特定值，从而满足工艺生产的要求。

[0003] 现有技术中，通常通过调节阀来对真空环境的压力进行调节，但是因为真空环境与外接环境的压差较大且调节阀的精度有限，因此在进行压力调节时调节精度无法满足工艺要求，容易造成压力调节波动，影响产品的生产操作。

发明内容

[0004] 为克服相关技术中存在的问题，本公开提供一种压力调节系统、方法和设备。

[0005] 根据本公开实施例的第一方面，提供一种压力调节系统，所述压力调节系统包括主控制回路，分别与所述主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路；

[0006] 所述主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与所述密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与所述密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与所述第一调节阀连接的主控制器；所述第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与所述第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与所述第三调节阀连接的第一辅助控制器；所述第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与所述第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与所述第四调节阀连接的第二辅助控制器；

[0007] 其中，所述主控制回路通过所述第一调节阀与所述第一辅助控制回路中的所述第一稳压罐连接，所述主控制回路通过所述第二调节阀与所述第二辅助控制回路中的所述第二稳压罐连接；所述第一辅助控制回路用于通过所述第一稳压罐提供低于所述密封腔体内的第一压力的第二压力，所述第二辅助控制回路用于通过所述第二稳压罐提供高于所述第一压力的第三压力；

[0008] 所述主控制器，用于根据所述密封腔体内的所述第一压力调节所述第一调节阀的开度，以使所述密封腔体内的压力达到第一预设压力；

[0009] 所述第一辅助控制器，用于根据所述第一稳压罐内的所述第二压力调节所述第三调节阀的开度，以使所述第一稳压罐的压力达到第二预设压力；

[0010] 所述第二辅助控制器，用于根据所述第二稳压罐内的所述第三压力调节所述第四调节阀的开度，以使所述第二稳压罐的压力达到第三预设压力；

[0011] 其中，所述第一预设压力与所述第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，所述第一预设压力与所述第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，所述第一预设压差和所述第二预设压差用于表征对所述密封腔体内压力的控制精度。

[0012] 可选地，所述第二调节阀，用于根据用户的调整操作调节所述第二调节阀的开度，以使所述主控制器控制所述第一调节阀的开度到达第一预设开度范围内，所述第一预设开度范围为根据所述第一调节阀的阀型预先设置的开度范围。

[0013] 可选地，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一稳压罐连接的第一针阀；所述第一针阀，用于根据用户的调整操作调整所述第一针阀的开度，以使所述第一辅助控制器控制所述第三调节阀的开度到达第二预设开度范围内，所述第二预设开度范围为根据所述第三调节阀的阀型预先设置的开度范围。

[0014] 可选地，所述第二辅助控制回路还包括与所述第二稳压罐连接的第二针阀；所述第二针阀，用于根据用户的调整操作调整所述第二针阀的开度，以使所述第二辅助控制器控制所述第四调节阀的开度到达第三预设开度范围内，所述第三预设开度范围为根据所述第四调节阀的阀型预先设置的开度范围。

[0015] 可选地，所述主控制回路还包括与所述主控制器连接的第一压力检测装置，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一辅助控制器连接的第二压力检测装置，所述第二辅助控制回路还包括与所述第二辅助控制器连接的第三压力检测装置；

[0016] 其中，所述第一压力检测装置用于实时检测所述密封腔体内的所述第一压力，并将所述第一压力发送至所述主控制器；

[0017] 所述第二压力检测装置用于实时检测所述第一稳压罐内的所述第二压力，并将所述第二压力发送至所述第一辅助控制器；

[0018] 所述第三压力检测装置用于实时检测所述第二稳压罐内的所述第三压力，并将所述第三压力发送至所述第二辅助控制器。

[0019] 可选地，所述系统还包括真空泵，所述真空泵通过所述第三调节阀与所述第一稳压罐连接，并通过所述第四调节阀与所述第二稳压罐连接。

[0020] 根据本公开实施例的第二方面，提供一种压力调节方法，应用于压力调节系统，所述压力调节系统包括主控制回路，分别与所述主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路；所述主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与所述密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与所述密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与所述第一调节阀连接的主控制器；所述第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与所述第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与所述第三调节阀连接的第一辅助控制器；所述第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与所述第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与所述第四调节阀连接的第二辅助控制器；其中，所述主控制回路通过所述第一调节阀与所述第一辅助控制回路中的所述第一稳压罐连接，所述主控制回路通过所述第二调节阀与所述第二辅助控制回路中的所述第二稳压罐连接；所述方法包括：

[0021] 根据所述密封腔体内的所述第一压力通过所述主控制器调节所述第一调节阀的开度，以使所述密封腔体内的压力达到第一预设压力；

[0022] 根据所述第一稳压罐内的所述第二压力通过所述第一辅助控制器调节所述第三调节阀的开度，以使所述第一稳压罐的压力达到第二预设压力；

[0023] 根据所述第二稳压罐内的所述第三压力通过所述第二辅助控制器调节所述第四调节阀的开度，以使所述第二稳压罐的压力达到第三预设压力；

[0024] 其中，所述第一预设压力与所述第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，所述第一预设压力与所述第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，所述第一预设压差和所述第二预设压差用于表征对所述密封腔体内压力的控制精度。

[0025] 可选地，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一稳压罐连接的第一针阀；所述第二辅助控制回路还包括与所述第二稳压罐连接的第二针阀；所述方法还包括：

[0026] 根据用户的调整操作调节所述第二调节阀的开度，以使所述主控制器控制所述第一调节阀的开度到达第一预设开度范围内，所述第一预设开度范围为根据所述第一调节阀的阀型预先设置的开度范围；

[0027] 根据用户的调整操作调整所述第一针阀的开度，以使所述第一辅助控制器控制所述第三调节阀的开度到达第二预设开度范围内，所述第二预设开度范围为根据所述第三调节阀的阀型预先设置的开度范围；

[0028] 根据用户的调整操作调整所述第二针阀的开度，以使所述第二辅助控制器控制所述第四调节阀的开度到达第三预设开度范围内，所述第三预设开度范围为根据所述第四调节阀的阀型预先设置的开度范围。

[0029] 可选地，所述主控制回路还包括与所述主控制器连接的第一压力检测装置，所述第一辅助控制回路还包括与所述第一辅助控制器连接的第二压力检测装置，所述第二辅助控制回路还包括与所述第二辅助控制器连接的第三压力检测装置；所述方法还包括：

[0030] 通过所述第一压力检测装置实时检测所述密封腔体内的所述第一压力，并将所述第一压力发送至所述主控制器；

[0031] 通过所述第二压力检测装置实时检测所述第一稳压罐内的所述第二压力，并将所述第二压力发送至所述第一辅助控制器；

[0032] 通过所述第三压力检测装置实时检测所述第二稳压罐内的所述第三压力，并将所述第三压力发送至所述第二辅助控制器。

[0033] 根据本公开实施例的第三方面，提供一种压力调节设备，包括本公开第一方面所述的压力调节系统。

[0034] 通过上述技术方案，所述压力调节系统包括主控制回路，分别与所述主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路；所述主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与所述密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与所述密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与所述第一调节阀连接的主控制器；所述第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与所述第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与所述第三调节阀连接的第一辅助控制器；所述第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与所述第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与所述第四调节阀连接的第二辅助控制器；其中，所述主控制回路通过所述第一调节阀与所述第一辅助控制回路中的所述第一稳压罐连接，所述主控制回路通过所述第二调节阀与所述第二辅助控制回路中的所述第二稳压罐连接；所述第一辅助控制回路用于通过所述第一稳压罐提供低于所述密封腔体内的第一压力的第二压力，所述第二辅助控制回路用于通过所述第二稳压罐提供高于所述第一压力的第三压力；所述主控制器，用于根据所述密封腔体内的所述第一压力调节所述第一调节阀的开度，以使所述密封腔体内的压力达到第一预设压力；所述第一辅助控制器，用于根据所述第一稳压罐内的所述第二压力调节所述第三调节阀的开度，以使所述第一稳压罐的压力达到第二预设压力；所述第二辅助控制器，用于根据所述第二稳压罐内的所述第三压力调节所述第四调节阀的开度，以使所述第二稳压罐的压力达到第三预设压力；其中，所述第一预设压力与所述第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，所述第一预设压力与所述第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，所述第一预设压差和所述第二预设压差用于表征对所述密封腔体内压力的控制精度，这样，通过上述压力调节系统，由于所述第一辅助控制回路中的第一稳压罐的第二压力低于所述密封腔体内的第一压力，所述第二辅助控制回路中第二稳压罐的第三压力大于所述密封腔体内的第一压力，因此，通过所述第一调节阀连接所述主控制回路和所述第一辅助控制回路以及通过所述第二调节阀连接所述主控制回路和所述第二辅助控制回路后，当所述第一调节阀和所述第二调节阀开启，则会因为气压导致气体流通形成稳定的流通回路，并且，通过控制所述第一调节阀和所述第二调节阀的开度，可以对流通量进行控制；在本方案中，所述第一预设压差和所述第二预设压差用于表征对所述密封腔体内压力的控制精度，也就是说，所述第一预设压差和所述第二预设压差越小，则气体的流通量就越小，那么对所述密封腔体内压力的控制精度也就越高，因此，采用该压力调节系统可以在进行压力调节时，通过设置第一预设压力、第二预设压力和第三预设压力，从而控制压力调节系统的压差，使得该压力调节系统的调节精度满足用户的要求，提高了压力调节的精度和灵活度，可针对不同工艺制造提供其需要的压力环境。

[0035] 本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

[0036] 附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

[0037] 图1是根据一示例性实施例示出的第一种压力调节系统的结构示意图；

[0038] 图2是根据一示例性实施例示出的第二种压力调节系统的结构示意图；

[0039] 图3是根据一示例性实施例示出的第一种压力调节方法的流程图；

[0040] 图4是根据一示例性实施例示出的第二种压力调节方法的流程图；

[0041] 图5是根据图4所示实施例示出的第三种压力调节方法的流程图；

[0042] 图6是根据一示例性实施例示出的一种压力调节设备的结构框图。

具体实施方式

[0043] 以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

[0044] 首先对本公开的应用场景进行说明，为了满足产品的性能要求，有些情况下会要求产品的生产制造处于真空环境中，现有技术中，通过真空泵对被抽容器进行抽气来创造真空的环境，并且，现有技术对真空环境压力的要求通常是越低越好，即真空度越高越好，然而，在某些特定工艺的生产操作中，例如，在特种玻璃制作时，会利用真空压力吸玻璃液位，因此需要真空压力处于某一特定值，从而满足工艺生产的要求。

[0045] 现有技术中，通常通过调节阀来对真空环境的压力进行调节，但是因为真空环境与外接环境的压差较大且调节阀的精度有限，因此在进行压力调节时调节精度无法满足工艺要求，容易造成压力调节波动，影响产品的生产操作。

[0046] 为解决上述存在的问题，本公开提供一种压力调节系统、方法和设备，该压力调节系统包括主控制回路，分别与该主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路；该主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与该密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与该密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与该第一调节阀连接的主控制器；该第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与该第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与该第三调节阀连接的第一辅助控制器；该第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与该第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与该第四调节阀连接的第二辅助控制器；其中，该主控制回路通过该第一调节阀与该第一辅助控制回路中的该第一稳压罐连接，该主控制回路通过该第二调节阀与该第二辅助控制回路中的该第二稳压罐连接；该第一辅助控制回路用于通过该第一稳压罐提供低于该密封腔体内的第一压力的第二压力，该第二辅助控制回路用于通过该第二稳压罐提供高于该第一压力的第三压力；该主控制器，用于根据该密封腔体内的该第一压力调节该第一调节阀的开度，以使该密封腔体内的压力达到第一预设压力；该第一辅助控制器，用于根据该第一稳压罐内的该第二压力调节该第三调节阀的开度，以使该第一稳压罐的压力达到第二预设压力；该第二辅助控制器，用于根据该第二稳压罐内的该第三压力调节该第四调节阀的开度，以使该第二稳压罐的压力达到第三预设压力；其中，该第一预设压力与该第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，该第一预设压力与该第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，该第一预设压差和该第二预设压差用于表征对该密封腔体内压力的控制精度，这样，通过上述压力调节系统，由于该第一辅助控制回路中的第一稳压罐的第二压力低于该密封腔体内的第一压力，该第二辅助控制回路中第二稳压罐的第三压力大于该密封腔体内的第一压力，因此，通过该第一调节阀连接该主控制回路和该第一辅助控制回路以及通过该第二调节阀连接该主控制回路和该第二辅助控制回路后，当该第一调节阀和该第二调节阀开启，则会因为气压导致气体流通形成稳定的流通回路，并且，通过控制该第一调节阀和该第二调节阀的开度，可以对流通量进行控制；在本方案中，该第一预设压差和该第二预设压差用于表征对该密封腔体内压力的控制精度，也就是说，该第一预设压差和该第二预设压差越小，则气体的流通量就越小，那么对该密封腔体内压力的控制精度也就越高，因此，采用该压力调节系统可以在进行压力调节时，通过设置第一预设压力、第二预设压力和第三预设压力，从而控制压力调节系统的压差，使得该压力调节系统的调节精度满足用户的要求，提高了压力调节的精度和灵活度，可针对不同工艺制造提供其需要的压力环境。

[0047] 下面结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。

[0048] 图1是根据一示例性实施例示出的第一种压力调节系统的结构示意图，如图1所示，该压力调节系统10包括主控制回路101，分别与该主控制回路101连接的第一辅助控制回路102和第二辅助控制回路103；

[0049] 如图1所示，箭头方向表示气体的流动方向，图中实线代表器件之间的连接关系，虚线代表一种电信号的连接，即通过虚线连接的器件之间可以进行数据通讯。

[0050] 该主控制回路101包括待调节压力的密封腔体1，与该密封腔体1的出气口连接的第一调节阀2，与该密封腔体1的进气口连接的第二调节阀3，以及与该第一调节阀2连接的主控制器4；该第一辅助控制回路102包括第一稳压罐5，与该第一稳压罐5连接的第三调节阀6，以及与该第三调节阀6连接的第一辅助控制器7；该第二辅助控制103回路包括第二稳压罐8，与该第二稳压罐8连接的第四调节阀9，以及与该第四调节阀9连接的第二辅助控制器10；

[0051] 其中，该主控制回路101通过该第一调节阀2与该第一辅助控制回路102中的该第一稳压罐5连接，该主控制回路101通过该第二调节阀3与该第二辅助控制回路103中的该第二稳压罐8连接；该第一辅助控制回路102用于通过该第一稳压罐5提供低于该密封腔体1内的第一压力的第二压力，该第二辅助控制回路103用于通过该第二稳压罐8提供高于该第一压力的第三压力；

[0052] 该主控制器4，用于根据该密封腔体1内的该第一压力调节该第一调节阀2的开度，以使该密封腔体1内的压力达到第一预设压力；该第一辅助控制器7，用于根据该第一稳压罐5内的该第二压力调节该第三调节阀6的开度，以使该第一稳压罐5的压力达到第二预设压力；该第二辅助控制器10，用于根据该第二稳压罐8内的该第三压力调节该第四调节阀9的开度，以使该第二稳压罐8的压力达到第三预设压力；其中，该第一预设压力与该第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，该第一预设压力与该第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，该第一预设压差和该第二预设压差用于表征对该密封腔体1内压力的控制精度。

[0053] 需要说明的是，因为该主控制回路101通过该第一调节阀2与该第一辅助控制回路102中的该第一稳压罐5连接，该主控制回路101通过该第二调节阀3与该第二辅助控制回路
103中的该第二稳压罐8连接，如此以来，该密封腔体1与该第一稳压罐5和该第二稳压罐8组成了一个气体流通回路，又因为该第一稳压罐5内的第二压力低于该密封腔体1内的第一压力，该第二稳压罐8内的第三压力高于该密封腔体1内的第一压力，在一种可能的实现方式中，当该密封腔体1、该第一稳压罐5和该第二稳压罐8内的压力均为真空压力，即压力值均为负值时，在该第一调节阀2与该第二调节阀3开启的情况下，由于该第一预设压差和该第二预设压差的存在，该第二稳压罐8内的气体会流入该密封腔体1内，导致该密封腔体1的第一压力增大，同时，该密封腔体1的气体也会流入压力低于其的第一稳压罐5中，从而减小该密封腔体1的第一压力，使得该第一压力达到第一预设压力；进一步地，在检测到该密封腔体1内的第一压力大于该第一预设压力的情况下，可以通过增大该第一调节阀2的开度，使得通过该第一调节阀2的气体流通量增大来减小该密封腔体1内的第一压力，以使该密封腔体1内的压力达到第一预设压力，反之，在检测到该密封腔体1内的第一压力小于该第一预设压力的情况下，可以通过减小该第一调节阀2的开度，使得通过该第一调节阀2的气体流通量减小来增大该密封腔体1内的第一压力，以使该密封腔体1内的压力达到第一预设压力；同理，在该第一辅助控制回路102中，可以根据该第一稳压罐5内的该第二压力调节该第三调节阀6的开度，以使该第一稳压罐5的压力达到第二预设压力；在该第二辅助控制回路
103中，可以根据该第二稳压罐8内的该第三压力调节该第四调节阀9的开度，以使该第二稳压罐8的压力达到第三预设压力。

[0054] 另外，该第一预设压差决定了该密封腔体1内的气体流入该第一稳压管内的流通量，该第二预设压差决定了该第二稳压管内的气体流入该密封腔体1内的流通量，因此，该第一预设压差和该第二预设压差越大，则说明气体的流通量越大，那么对该密封腔体1内压力的控制精度就越低，反之，该第一预设压差和该第二预设压差越小，则说明气体的流通量越小，那么对该密封腔体1内压力的控制精度就越高，也就是说，针对不同的工艺要求，该第一预设压差和该第二预设压差可能不同，在对该第一预设压差和该第二预设压差进行设置时，也并不是越小越好，具体需要结合工艺要求的精度进行相应的设置。

[0055] 考虑到该第一辅助控制回路102和该第二辅助控制回路103中的该第一稳压罐5和该第二稳压罐8的该第一压力和该第二压力在调节时存在压力波动，为了避免该压力波动影响对该主控制回路101中的该密封腔体1内压力的调节，该第一预设压差应该大于该第一辅助控制回路102的第一压力波动绝对值，该第二预设压差应该大于该第二辅助控制回路103的第二压力波动绝对值，在一种可能的实现方式中，该第一压力波动绝对值可以通过与该第一稳压罐5连接的压力检测装置确定，该第二压力波动绝对值可以通过与该第二稳压罐8连接的压力检测装置确定。

[0056] 可选地，如图1所示，连接在主控制回路中的该第二调节阀可以为手动调节阀，这样该第二调节阀3，可以用于根据用户的调整操作调节该第二调节阀3的开度，以使该主控制器4控制该第一调节阀2的开度到达第一预设开度范围内，该第一预设开度范围为根据该第一调节阀2的阀型预先设置的开度范围。

[0057] 其中，该第一预设开度范围与该第一调节阀2的类型有关，不同类型的调节阀，其对应的第一预设开度范围可能不同，需要注意的是，若调节阀的开度位于该第一预设开度范围之外，该调节阀有可能存在精度很差的问题，另外，某些类型的调节阀的有效开度范围可能在5％以上，那么，在此类调节阀的开度低于5％的情况下，调节阀是无效的，因此，需要通过用户的调整操作调节该第二调节阀3的开度，以使该主控制器4控制该第一调节阀2的开度到达第一预设开度范围内；在一种可能的实现方式中，该第一预设开度范围可以是20％‑50％，此处只是举例说明，本公开对此不作限定。

[0058] 具体地，由于该第二调节阀3一端与该密封腔体1的进气口连接，另一端与第二稳压罐8连接，当该第二调节阀3的开度增大时，从该第二稳压罐8流入该密封腔体1内的气体的流通量会相应增大，则该密封腔体1内的第一压力也会增大，为了将该密封腔体1内的第一压力调节至该第一预设压力，该主控制器4可以根据该密封腔体1内的该第一压力控制该第一调节阀2的开度增大，反之，当该第二调节阀3的开度减小时，从该第二稳压罐8流入该密封腔体1内的气体的流通量会相应减小，则该密封腔体1内的第一压力也会减小，为了将该密封腔体1内的第一压力调节至该第一预设压力，该主控制器4可以根据该密封腔体1内的该第一压力减小该第一调节阀2的开度，因此，用户对该第二调节阀3开度的调节会影响该密封腔体1内的第一压力，为了使该第一压力达到该第一预设压力，该主控制器4可以自动调节该第一调节阀2的开度，从而使该第一调节阀2的开度处于该第一预设开度范围内。

[0059] 可选地，图2是根据一示例性实施例示出的第二种压力调节系统的结构示意图，如图2所示，该第一辅助控制回路102还包括与该第一稳压罐5连接的第一针阀11；

[0060] 其中，该第一针阀通常设置为手动调节阀，这样，该第一针阀11，用于根据用户的调整操作调整该第一针阀11的开度，以使该第一辅助控制器7控制该第三调节阀6的开度到达第二预设开度范围内，该第二预设开度范围为根据该第三调节阀6的阀型预先设置的开度范围。

[0061] 需要说明的是，当该第一针阀11的开度增大时，从外界空气中流入该第一稳压罐5内的气体的流通量会相应增大，则该第一稳压罐5内的第二压力也会增大，为了将该第一稳压罐5内的第二压力调节至该第二预设压力，该第一辅助控制器7会根据该第一稳压罐5内的该第二压力增大该第三调节阀6的开度，反之，当该第一针阀11的开度减小时，从外界空气中流入该第一稳压罐5内的气体的流通量会相应减小，则该第一稳压罐5内的第二压力也会减小，为了将该第一稳压罐5内的第二压力调节至该第二预设压力，该第一辅助控制器7会根据该第一稳压罐5内的该第二压力减小该第三调节阀6的开度，因此，用户对该第一针阀11开度的调节会影响该第一稳压罐5内的第二压力，为了使该第二压力达到该第二预设压力，该第一辅助控制器7会自动调节该第三调节阀6的开度，从而使该第三调节阀6的开度处于该第二预设开度范围内。

[0062] 可选地，如图2所示，该第二辅助控制回路103还包括与该第二稳压罐8连接的第二针阀12；

[0063] 其中，该第二针阀也通常设置为手动调节阀，这样，该第二针阀12，可以用于根据用户的调整操作调整该第二针阀12的开度，以使该第二辅助控制器10控制该第四调节阀9的开度到达第三预设开度范围内，该第三预设开度范围为根据该第四调节阀9的阀型预先设置的开度范围。

[0064] 其中，当该第二针阀12的开度增大时，从外界空气中流入该第二稳压罐8内的气体的流通量会相应增大，则该第二稳压罐8内的第三压力也会增大，为了将该第二稳压罐8内的第三压力调节至该第三预设压力，该第二辅助控制器10会根据该第二稳压罐8内的该第三压力增大该第四调节阀9的开度，反之，当该第二针阀12的开度减小时，从外界空气中流入该第二稳压罐8内的气体的流通量会相应减小，则该第二稳压罐8内的第三压力也会减小，为了将该第二稳压罐8内的第三压力调节至该第三预设压力，该第二辅助控制器10会根据该第二稳压罐8内的该第三压力减小该第四调节阀9的开度，因此，用户对该第二针阀12开度的调节会影响该第二稳压罐8内的第三压力，为了使该第三压力达到该第三预设压力，该第二辅助控制器10会自动调节该第四调节阀9的开度，从而使该第四调节阀9的开度处于该第三预设开度范围内。

[0065] 可选地，如图2所示，该主控制回路101还包括与该主控制器4连接的第一压力检测装置13，该第一辅助控制回路102还包括与该第一辅助控制器7连接的第二压力检测装置14，该第二辅助控制回路103还包括与该第二辅助控制器10连接的第三压力检测装置15；

[0066] 其中，该第一压力检测装置13用于实时检测该密封腔体1内的该第一压力，并将该第一压力发送至该主控制器4；该第二压力检测装置14用于实时检测该第一稳压罐5内的该第二压力，并将该第二压力发送至该第一辅助控制器7；该第三压力检测装置15用于实时检测该第二稳压罐8内的该第三压力，并将该第三压力发送至该第二辅助控制器10。

[0067] 需要说明的是，由于压力检测装置的检测精度有限，在一种可能的实现方式中，可以使用其他工艺控制参数代替该压力检测装置检测的第一压力，例如，在特种玻璃制造时，可以通过玻璃液位来代替该压力检测装置检测的第一压力，具体地，玻璃液位可以通过液位检测装置获得，玻璃液位和压强之间的关系可以通过以下公式获得：

[0068] P＝ρgh

[0069] 其中，P为压强，ρ为玻璃液的密度，g为常数，等于9.8N/kg，h为液位提升高度。

[0070] 可选地，如图2所示，该系统还包括真空泵16，该真空泵16通过该第三调节阀6与该第一稳压罐5连接，并通过该第四调节阀9与该第二稳压罐8连接。

[0071] 其中，该真空泵16通过分别对该第一稳压罐5和该第二稳压罐8抽气从而使得该第一稳压罐5和该第二稳压罐8内处于真空状态。

[0072] 在本公开另一种可能的实现方式中，也可以采用两个真空泵分别对第一稳压罐和第二稳压罐抽气，其中一个通过该第三调节阀6与该第一稳压罐5连接，另一个通过该第四调节阀9与该第二稳压罐8连接。

[0073] 另外，本公开还可以将该真空泵换为压力风机，这样，该第一稳压罐5和该第二稳压罐8内处于正压状态，在该密封腔体1内也处于正压状态的情况下，若控制该第一稳压罐5的第二压力大于该密封腔体1内的第一压力，该密封腔体1内的第一压力大于该第二稳压罐8的第三压力，也可以通过该压力调节系统对该密封腔体1内的压力进行高精度调节，具体实现过程与图2所示的压力调节系统的调节方式类似，在此不再赘述。

[0074] 采用上述压力调节系统，由于该第一辅助控制回路中的第一稳压罐的第二压力低于该密封腔体内的第一压力，该第二辅助控制回路中第二稳压罐的第三压力大于该密封腔体内的第一压力，因此，通过该第一调节阀连接该主控制回路和该第一辅助控制回路以及通过该第二调节阀连接该主控制回路和该第二辅助控制回路后，当该第一调节阀和该第二调节阀开启，则会因为气压导致气体流通形成稳定的流通回路，并且，通过控制该第一调节阀和该第二调节阀的开度，可以对流通量进行控制；在本方案中，该第一预设压差和该第二预设压差用于表征对该密封腔体内压力的控制精度，也就是说，该第一预设压差和该第二预设压差越小，则气体的流通量就越小，那么对该密封腔体内压力的控制精度也就越高，因此，采用该压力调节系统可以在进行压力调节时，通过设置第一预设压力、第二预设压力和第三预设压力，从而控制压力调节系统的压差，使得该压力调节系统的调节精度满足用户的要求，提高了压力调节的精度和灵活度，可针对不同工艺制造提供其需要的压力环境。

[0075] 图3是根据一示例性实施例示出的第一种压力调节方法的流程图，该方法可以应用于如图1所示的压力调节系统，该压力调节系统包括主控制回路，分别与该主控制回路连接的第一辅助控制回路和第二辅助控制回路；该主控制回路包括待调节压力的密封腔体，与该密封腔体的出气口连接的第一调节阀，与该密封腔体的进气口连接的第二调节阀，以及与该第一调节阀连接的主控制器；该第一辅助控制回路包括第一稳压罐，与该第一稳压罐连接的第三调节阀，以及与该第三调节阀连接的第一辅助控制器；该第二辅助控制回路包括第二稳压罐，与该第二稳压罐连接的第四调节阀，以及与该第四调节阀连接的第二辅助控制器；其中，该主控制回路通过该第一调节阀与该第一辅助控制回路中的该第一稳压罐连接，该主控制回路通过该第二调节阀与该第二辅助控制回路中的该第二稳压罐连接。

[0076] 如图3所示，该方法包括以下步骤：

[0077] S301、根据该密封腔体内的该第一压力通过该主控制器调节该第一调节阀的开度，以使该密封腔体内的压力达到第一预设压力。

[0078] S302、根据该第一稳压罐内的该第二压力通过该第一辅助控制器调节该第三调节阀的开度，以使该第一稳压罐的压力达到第二预设压力。

[0079] S303、根据该第二稳压罐内的该第三压力通过该第二辅助控制器调节该第四调节阀的开度，以使该第二稳压罐的压力达到第三预设压力。

[0080] 其中，该第一预设压力与该第二预设压力之间的差值绝对值为第一预设压差，该第一预设压力与该第三预设压力之间的差值绝对值为第二预设压差，该第一预设压差和该第二预设压差用于表征对该密封腔体内压力的控制精度。

[0081] 图4是根据一示例性实施例示出的第二种压力调节方法的流程图，如图4所示，该方法可以应用于如图2所示的压力调节系统，该第一辅助控制回路还包括与该第一稳压罐连接的第一针阀；该第二辅助控制回路还包括与该第二稳压罐连接的第二针阀；该方法还包括：

[0082] S304、根据用户的调整操作调节该第二调节阀的开度，以使该主控制器控制该第一调节阀的开度到达第一预设开度范围内，该第一预设开度范围为根据该第一调节阀的阀型预先设置的开度范围。

[0083] S305、根据用户的调整操作调整该第一针阀的开度，以使该第一辅助控制器控制该第三调节阀的开度到达第二预设开度范围内，该第二预设开度范围为根据该第三调节阀的阀型预先设置的开度范围。

[0084] S306、根据用户的调整操作调整该第二针阀的开度，以使该第二辅助控制器控制该第四调节阀的开度到达第三预设开度范围内，该第三预设开度范围为根据该第四调节阀的阀型预先设置的开度范围。

[0085] 图5是根据图4所示实施例示出的第三种压力调节方法的流程图，如图5所示，该主控制回路还包括与该主控制器连接的第一压力检测装置，该第一辅助控制回路还包括与该第一辅助控制器连接的第二压力检测装置，该第二辅助控制回路还包括与该第二辅助控制器连接的第三压力检测装置；该方法还包括：

[0086] S307、通过该第一压力检测装置实时检测该密封腔体内的该第一压力，并将该第一压力发送至该主控制器。

[0087] S308、通过该第二压力检测装置实时检测该第一稳压罐内的该第二压力，并将该第二压力发送至该第一辅助控制器。

[0088] S309、通过该第三压力检测装置实时检测该第二稳压罐内的该第三压力，并将该第三压力发送至该第二辅助控制器。

[0089] 关于上述实施例中的方法，其中各个步骤执行操作的具体方式已经在有关该系统的实施例中进行了详细描述，此处将不再详细阐述说明。

[0090] 采用上述压力调节方法，由于该第一辅助控制回路中的第一稳压罐的第二压力低于该密封腔体内的第一压力，该第二辅助控制回路中第二稳压罐的第三压力大于该密封腔体内的第一压力，因此，通过该第一调节阀连接该主控制回路和该第一辅助控制回路以及通过该第二调节阀连接该主控制回路和该第二辅助控制回路后，当该第一调节阀和该第二调节阀开启，则会因为气压导致气体流通形成稳定的流通回路，并且，通过控制该第一调节阀和该第二调节阀的开度，可以对流通量进行控制；在本方案中，该第一预设压差和该第二预设压差用于表征对该密封腔体内压力的控制精度，也就是说，该第一预设压差和该第二预设压差越小，则气体的流通量就越小，那么对该密封腔体内压力的控制精度也就越高，因此，采用该压力调节系统可以在进行压力调节时，通过设置第一预设压力、第二预设压力和第三预设压力，从而控制压力调节系统的压差，使得该压力调节系统的调节精度满足用户的要求，提高了压力调节的精度和灵活度，可针对不同工艺制造提供其需要的压力环境。

[0091] 图6是根据一示例性实施例示出的一种压力调节设备的结构框图，如图6所示，本公开还提供一种压力调节设备，包括上述所述的压力调节系统。

[0092] 以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

[0093] 另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

[0094] 此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。