测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质转让专利
申请号 : CN202110225675.6
文献号 : CN112964651B
文献日 : 2022-01-04
发明人 : 范灵杰 , 陈昂 , 石磊 , 李同宇 , 殷海玮
申请人 : 上海复享光学股份有限公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种用于测量薄膜光学常数的方法,包括:经由角分辨光谱仪,获取关于待测对象的第一光谱数据,所述第一光谱数据至少指示所述待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的反射率,所述待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜,所述待测薄膜的折射率小于所述衬底的折射率;
基于所述第一光谱数据,提取预定波长下的第一光谱数据,所述预定波长下的第一光谱数据指示所述待测对象在所述预定波长下、对应于所述多个测量角度的反射率,所述预定波长为所述多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长;
确定所述预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率、所述最大反射率所对应的第一测量角度和所述最小反射率所对应的第二测量角度;以及基于所述最大反射率和所述第一测量角度,计算所述衬底在预定波长下的折射率;以及
基于所述衬底在预定波长下的折射率、所述最小反射率以及所述第二测量角度,计算所述待测薄膜在预定波长下的折射率。
2.根据权利要求1所述的方法,还包括:基于所述衬底在所述每一个波长下的折射率,生成所述衬底的折射率随波长变化的曲线;以及
基于所述待测薄膜在所述每一个波长下的折射率,生成所述待测薄膜的折射率随波长变化的曲线。
3.根据权利要求1所述的方法,其中确定所述预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率、以及所述最大反射率所对应第一测量角度和所述最小反射率所对应第二测量角度包括:
比较所述预定波长下的第一光谱数据中对应于多个测量角度的反射率,以便确定所述预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率;以及基于所述预定波长下的第一光谱数据,获取所述最大反射率所对应第一测量角度和所述最小反射率所对应第二测量角度。
4.根据权利要求1所述的方法,还包括:获取关于所述待测对象的第二光谱数据,所述第二光谱数据至少指示所述待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的透射率,以便基于第二光谱数据分别确定所述待测薄膜和所述衬底在预定波长下的折射率,所述衬底为透明衬底或半透明衬底;
经由以下任一项,确定所述待测薄膜在预定波长下的折射率测量结果:响应于确定基于所述第一光谱数据而确定的、所述待测薄膜在预定波长下的折射率与基于所述第二光谱数据而确定的、所述待测薄膜在预定波长下的折射率之间的差值小于或者等于预定折射率阈值,将基于所述第一光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率或者基于所述第二光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率确定为所述折射率测量结果;或者
计算基于所述第一光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率和基于所述第二光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率之间的平均值,将所述平均值确定为所述折射率测量结果。
5.根据权利要求1所述的方法,其中所述入射光为S偏振光或者P偏振光,所述待测薄膜为一层或者多层待测薄膜。
6.一种用于测量薄膜光学常数的方法,包括:经由角分辨光谱仪,获取关于待测对象的第二光谱数据,所述第二光谱数据至少指示所述待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的透射率,所述待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜,所述衬底为透明衬底或半透明衬底;
基于所述第二光谱数据,提取预定波长下的第二光谱数据,所述预定波长下的第二光谱数据指示所述待测对象在所述预定波长下、对应于所述多个测量角度的透射率,所述预定波长为所述多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长;
确定所述预定波长下的第二光谱数据中的最大透射率和最小透射率,以及所述最大透射率所对应的第三测量角度的和所述最小透射率所对应的第四测量角度;以及基于所述最大透射率和所述第三测量角度,计算所述衬底在预定波长下的折射率;以及
基于所述衬底在预定波长下的折射率、所述最小透射率以及所述第四测量角度,计算所述待测薄膜在预定波长下的折射率。
7.一种计算设备,包括:
存储器,被配置为存储一个或多个计算机程序;以及处理器,耦合至所述存储器并且被配置为执行所述一个或多个程序以使计算设备执行根据权利要求1‑6任一项所述的方法。
8.一种非暂态机器可读存储介质,其上存储有机器可读程序指令,所述机器可读程序指令被配置为使得机器执行根据权利要求1‑6中任一项所述的方法的步骤。
9.一种用于测量薄膜光学常数的系统,包括:角分辨光谱仪,被配置成基于多个波长的入射光对待测对象进行测量,以便生成第一光谱数据和第二光谱数据中的至少一个,所述第一光谱数据至少指示所述待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的反射率,所述第二光谱数据至少指示所述待测对象的在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的透射率,所述待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜;以及
计算设备,其被配置为可操作地以执行根据权利要求1‑6中任一项所述的方法。
说明书 :
测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质
技术领域
背景技术
光学常数。上述传统的用于测量薄膜光学常数方案需要预先假设薄膜的光学常数所满足的
既定模型,例如:柯西模型、洛伦兹模型等。然而,在实际测量过程中,真实的待测薄膜通常
与所假设的既定模型存在一定的差异,因此使得关于薄膜的光学常数的测量结果与实际值
相差较大。
学常数测量结果与实际值偏差较大。
发明内容
膜的光学常数。
个波长下、对应于多个测量角度的反射率,待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜;基
于第一光谱数据,提取预定波长下的第一光谱数据,预定波长下的第一光谱数据指示待测
对象在预定波长下、对应于多个测量角度的反射率,预定波长为多个波长的至少部分数量
波长中的每一个波长;确定预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率、最
大反射率所对应的第一测量角度和最小反射率所对应的第二测量角度;以及基于最大反射
率、最小反射率、第一测量角度和第二测量角度,确定待测薄膜在预定波长下的折射率。
个波长下、对应于多个测量角度的透射率,待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜,衬
底为透明衬底或半透明衬底;基于第二光谱数据,提取预定波长下的第二光谱数据,预定波
长下的第二光谱数据指示待测对象在预定波长下、对应于多个测量角度的透射率,预定波
长为多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长;确定预定波长下的第二光谱数据中的
最大透射率和最小透射率,以及最大透射率所对应的第三测量角度和最小透射率所对应的
第四测量角度;以及基于最大透射率、最小透射率、第三测量角度的和第四测量角度,确定
待测薄膜在预定波长下的折射率。
个处理单元执行的指令,指令当由至少一个处理单元执行时,使得计算设备执行本公开的
第一方面或者第二方面中的方法。
二方面中的方法。
和第二光谱数据中的至少一个,第一光谱数据至少指示待测对象在入射光的多个波长下、
对应于多个测量角度的反射率,第二光谱数据至少指示待测对象的在入射光的多个波长
下、对应于多个测量角度的透射率,待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜;以及计算
设备,其被配置为可操作地以执行根据本公开的第一方面或者第二方面中的方法。
定波长下的折射率;以及基于衬底在预定波长下的折射率、最小反射率以及第二测量角度,
计算待测薄膜在预定波长下的折射率。
的折射率,生成待测薄膜的折射率随波长变化的曲线。
定波长下的第一光谱数据中对应于多个测量角度的反射率,以便确定预定波长下的第一光
谱数据中的最大反射率和最小反射率;以及基于预定波长下的第一光谱数据,获取最大反
射率所对应第一测量角度和最小反射率所对应第二测量角度。
角度的透射率,以便基于第二光谱数据分别确定待测薄膜和衬底在预定波长下的折射率,
衬底为透明衬底或半透明衬底;经由以下任一项,确定待测薄膜在预定波长下的折射率测
量结果:响应于确定基于第一光谱数据而确定的、待测薄膜在预定波长下的折射率与基于
第二光谱数据而确定的、待测薄膜在预定波长下的折射率之间的差值小于或者等于预定折
射率阈值,将基于第一光谱数据而确定的待测薄膜在预定波长下的折射率或者基于第二光
谱数据而确定的待测薄膜在预定波长下的折射率确定为折射率测量结果;或者计算基于第
一光谱数据而确定的待测薄膜在预定波长下的折射率和基于第二光谱数据而确定的待测
薄膜在预定波长下的折射率之间的平均值,将平均值确定为折射率测量结果
预定波长下的折射率;以及基于衬底在预定波长下的折射率、最小折射率以及第四测量角
度,计算待测薄膜在预定波长下的折射率。
得容易理解。
附图说明
具体实施方式
里阐述的实施例,相反提供这些实施例是为了更加透彻和完整地理解本公开。应当理解的
是,本公开的附图及实施例仅用于示例性作用,并非用于限制本公开的保护范围。
使得薄膜的光学常数测量结果与实际值相差较大,因而,传统的用于测量薄膜光学常数的
方案存在需要提前假设薄膜光学常数满足的模型,并且薄膜的光学常数测量结果与实际值
偏差较大的不足。
常数,当干涉条纹较少时,所得到的光学常数不够准确,与实际值存在较大差距。
110指示配置于衬底表面的厚度为1微米的待测薄膜(例如图2所示的待测薄膜220)的真实
的折射率随波长变化的曲线。标记112指示衬底(例如图2所示的衬底220)的真实的折射率
随波长变化的曲线。图1的右侧的下半部分是基于干涉条纹测量方法得到的衬底和待测薄
膜的折射率随波长变化的曲线。标记120指示基于干涉条纹测量方法得到的待测薄膜的折
射率随波长变化的曲线。标记122指示基于干涉条纹测量方法得到的衬底的折射率随波长
变化的曲线。图1的右侧的上半部分是基于干涉条纹测量方法得到的衬底和待测薄膜的透
射率随波长变化的曲线。标记124指示基于干涉条纹测量方法得到的待测薄膜的光谱数据。
标记126指示基于干涉条纹测量方法得到的待测薄膜的最大透射率随波长变化的曲线。标
记128指示基于干涉条纹测量方法得到的待测薄膜的最小透射率随波长变化的曲线。由图1
可知,当干涉条纹较少时,基于干涉条纹测量方法虽然不依赖于预先假设的折射率模型,但
是所得到的衬底的折射率和待测薄膜的折射率与实际值偏差较大。
衬底表面的待测薄膜的在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的反射率的第一光谱
数据,并且提取多个波长中的预定波长(即,多个波长的至少部分数量波长中的每一个波
长)的第一光谱数据,本公开可以引入角分辨光谱技术获得指示待测薄膜在多个波长中的
预定波长下、对应于多个测量角度的反射率,可以通过从角度与反射率的对应信息中提取
用于计算关于薄膜和衬底的折射率的信息,而无需提前假设薄膜光学常数满足的模型。并
且,本公开通过基于所确定的多个波长中的预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和
最小反射率、对应的第一测量角度的和第二测量角度来计算待测薄膜在预定波长的折射
率。本公开可以在干涉条纹较少时,也能逐波长得到与实际值准确吻合的关于待测薄膜的
光学常数的测量结果。因此,本公开无需提前假设薄膜光学常数满足的模型,并且能够准确
测量薄膜的光学常数。
(待测对象包括待测薄膜220和衬底222)。
长下、对应于多个测量角度的反射率的反射光谱数据,或者生成至少指示待测对象的在入
射光的多个波长下、对应于多个测量角度的透射率的透射光谱数据。在一些实施例中,角分
辨光谱仪可以扫描测量经由待测薄膜220和衬底222反射的不同波长的光对应于多个不同
测量角度的光强以生成第一光谱数据(或称“反射光谱数据”)。角分辨光谱仪还可以扫描测
量经由待测薄膜220和衬底222(衬底为透明衬底或半透明衬底)透射的不同波长的光对应
于多个不同测量角度的光强以生成第二光谱数据(或称“透射光谱数据”)。
光源例如是氘气或者卤素光源。分束镜例如为Polka分束镜。透镜例如是集成Fluorite消色
差萤石透镜,角分辨光谱仪的波段例如为200~2500nm。旋转装置212和214可以分别控制不
同波长的光(例如为S偏振光或者P偏振光)的出射方向和入射方向,旋转装置212和214能够
实现例如而不限于0~360°的角度范围旋转,以便实现例如而不限于0~360°的光谱测试。
光谱输出接口用于将测量得出的光谱信息或数据提供至计算设备230。
为多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长);确定预定波长下的第一光谱数据中的
最大反射率和最小反射率、最大反射率所对应的第一测量角度和最小反射率所对应的第二
测量角度;然后确定待测薄膜在预定波长下的折射率。计算设备230可以具有一个或多个处
理单元,包括诸如GPU、FPGA和ASIC等的专用处理单元以及诸如CPU的通用处理单元。另外,
在每个计算设备230上也可以运行着一个或多个虚拟机。
射率。在一些实施例中(例如是基于第二光谱数据测量待测薄膜的折射率的情形),待测对
象光谱数据获取单元232还用于获取关于待测对象的第二光谱数据,第二光谱数据至少指
示待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的透射率,待测对象包括配置在
衬底的表面的待测薄膜。
角度的反射率。在一些实施例中(例如是基于第二光谱数据测量待测薄膜的折射率的情
形),预定波长下光谱数据提取单元234还用于基于第二光谱数据,提取预定波长下的第二
光谱数据,预定波长下的第二光谱数据指示待测对象在预定波长下、对应于多个测量角度
的透射率。其中,预定波长为多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长。
第二测量角度。在一些实施例中(例如是基于第二光谱数据测量待测薄膜的折射率的情
形),极值和对应测量角度确定单元236还用于确定预定波长下的第二光谱数据中的最大透
射率和最小透射率,以及最大透射率所对应的第三测量角度的和最小透射率所对应的第四
测量角度。
(例如是基于第二光谱数据测量待测薄膜的折射率的情形),极值和对应测量角度确定单元
236还用于基于最大透射率、最小透射率、第三测量角度的和第四测量角度,确定待测薄膜
在预定波长下的折射率。
例如可以在图10所描述的电子设备1000处执行。也可以在图2所描述的计算设备230处执
行。应当理解,方法300还可以包括未示出的附加组成部分、动作和/或可以省略所示出的组
成部分、动作,本公开的范围在此方面不受限制。
置在衬底的表面的待测薄膜。例如,角分辨光谱仪扫描测量经由待测薄膜220和衬底222反
射的不同波长的光对应于多个不同测量角度的光强以生成第一光谱数据(或称“反射光谱
数据”),例如,图6示出了根据本公开的实施例的第一光谱数据600的示意图。然后,计算设
备230获取来自角分辨光谱仪的第一光谱数据。在一些实施例中,待测薄膜的折射率小于衬
底的折射率。由此,可以利于增强反射信号,进一步提高测量结果的准确性。
预定波长为多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长。
数据600中逐个波长提取在该波长下的第一光谱数据,例如,图4示出了所提取的在400纳米
的波长下的第一光谱数据400。在一些实施例中,也可以针对多个波长中的部分波长中的每
一个波长提取每一个波长下的第一光谱数据。
小反射率位置处,然后分别获得最大反射率位置处所对应的第一测量角度和最小反射率位
置处所对应的第二测量角度。以下结合图4和图5示意性描述用于确定最大反射率和最小反
射率、第一测量角度和第二测量角度的方法500。图4示出了根据本公开的一些实施例的所
提取的预定波长下的第一光谱数据400的示意图。图5示出了根据本公开的实施例的用于确
定最大反射率和最小反射率、第一测量角度和第二测量角度的方法500的流程图。如图5所
示,例如,在步骤502处,计算设备230比较预定波长下的第一光谱数据中对应于多个测量角
度的反射率,以便确定预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率。如图4所
示,计算设备230确定预定波长(例如为400纳米)下的第一光谱数据400中的最大反射率的
位置412和最小反射率的位置414。在步骤504处,计算设备230基于预定波长下的第一光谱
数据,获取最大反射率所对应第一测量角度422和最小反射率所对应第二测量角度424。例
如,计算设备230第一光谱数据400中的最大反射率的位置412对应于第一测量角度422(例
如为37度),最小反射率的位置414对应于第二测量角度424(例如为24度)。通过上述手段,
本公开能够针对逐个波长快速地提取到用于确定待测薄膜折射率的反射率极值信息和对
应的测量角度信息。
s
第四系数。λ代表入射光的波长。R 代表待测对象在多个不同波长下对应于多个不同测量角
度的反射率。
率的方式。
表第三系数。 代表预定波长下对应于多个不同的测量角度的反射率中的最大反射率。
代表预定波长下对应于多个不同的测量角度的反射率中的最小反射率。n1代表待测薄
膜的折射率。n2代表衬底的折射率。
小反射率以及第二测量角度,计算待测薄膜在预定波长下的折射率。
预定波长下对应于多个测量角度的反射率中的最大反射率 以及对应于最大反射率
的第一测量角度θM,计算衬底在预定波长下的折射率n2。即基于上述公式(6)和以下公
式(11)和(12)计算衬底在预定波长下的折射率n2,在一些实施例中,可以计算衬底在多个
波长中每一个波长下的折射率。
(13)、(14)和(15)计算待测薄膜在预定波长下的折射率n1,在一些实施例中,可以计算衬底
在多个波长中每一个波长下的折射率。
如,以下结合图7说明根据本公开方法计算衬底和待测薄膜在预定波长下的折射率的效果。
图7示出了根据本公开的用于测量薄膜光学常数的方法的测量结果与实际值的对比示意
图。例如,图7的左侧部分是衬底和待测薄膜真实的折射率随波长变化的曲线。其中,标记
710指示配置于衬底表面的厚度为1微米的待测薄膜的真实的折射率随波长变化的曲线。标
记712指示衬底的真实的折射率随波长变化的曲线。图7的右侧上半部分指示计算设备230
所获取的置于衬底表面的厚度为1微米的待测薄膜的第一光谱数据724。图7的右侧下半部
分是基于本公开测量方法得到的衬底和待测薄膜的折射率随波长变化的曲线。标记720指
示基于本公开测量方法得到的待测薄膜的折射率随波长变化的曲线。标记722指示基于本
公开测量方法得到的衬底的折射率随波长变化的曲线。由图7可知,基于本公开测量方法所
测得的衬底和待测薄膜的折射率与实际值差距很小,即测量结果很准确。
长的至少部分数量波长中的每一个波长)的第一光谱数据,本公开可以引入角分辨光谱技
术获得指示待测薄膜在多个波长中的预定波长下、对应于多个测量角度的反射率,可以通
过从角度与反射率的对应信息中提取用于计算关于薄膜和衬底的折射率的信息,而无需提
前假设薄膜光学常数满足的模型。并且,本公开通过基于所确定的多个波长中的预定波长
下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率、对应的第一测量角度的和第二测量角度
来计算待测薄膜在预定波长的折射率。本公开可以在干涉条纹较少时,也能逐波长得到与
实际值准确吻合的关于待测薄膜的光学常数的测量结果。因此,本公开无需提前假设薄膜
光学常数满足的模型,并且能够准确测量薄膜的光学常数。
成待测薄膜的折射率随波长变化的曲线。通过采用上述手段,可以同时获得描述衬底和待
测薄膜的折射率的曲线。
率,以便基于第二光谱数据分别确定待测薄膜和衬底在预定波长下的折射率(例如利用下
文图8所示方法800所描述的步骤确定待测薄膜和衬底在预定波长下的折射率),衬底为透
明衬底或半透明衬底。然后计算设备230经由以下任一项,确定待测薄膜在预定波长下的折
射率测量结果。例如,如果计算设备230确定基于第一光谱数据而确定的、待测薄膜在预定
波长下的折射率与基于第二光谱数据而确定的、待测薄膜在预定波长下的折射率之间的差
值小于或者等于预定折射率阈值,将基于第一光谱数据而确定的待测薄膜在预定波长下的
折射率或者基于第二光谱数据而确定的待测薄膜在预定波长下的折射率确定为折射率测
量结果。例如,如果确定基于第一光谱数据而确定的、待测薄膜在预定波长下的折射率与基
于第二光谱数据而确定的、待测薄膜在预定波长下的折射率之间的差值大于预定折射率阈
值,则表明基于反射光谱数据和透射光谱数据分别计算的折射率存在较大偏差,此时,需要
例如重新进行折射率的测量与计算。如果基于反射光谱数据和透射光谱数据分别计算的折
射率较为接近,则表明当前所的测量结果较为准确。通过采用上述手段,可以利用基于反射
光谱数据和折射光谱数据分别计算的折射率进行交叉验证,以便提高测量结果的准确性。
便将平均值确定为折射率测量结果。由此,可以降低测量过程所导致的偶然性误差,提高测
量结果的准确性。
一实施例的用于测量薄膜的光学常数的方法800的流程图。应当理解,方法800例如可以在
图10所描述的电子设备1000处执行。也可以在图2所描述的计算设备230处执行。应当理解,
方法800还可以包括未示出的附加组成部分、动作和/或可以省略所示出的组成部分、动作,
本公开的范围在此方面不受限制。方法800中通过从角度与透射率的对应信息中提取用于
计算关于薄膜和衬底的折射率的信息的原理,与方法300中通过从角度与透射率的对应信
息中提取用于计算关于薄膜和衬底的反射率的信息的原理相同,针对类似部分可参见前文
方法300,在此,不再赘述。
置在衬底的表面的待测薄膜,衬底为透明衬底或半透明衬底。例如,角分辨光谱仪扫描测量
经由待测薄膜220和衬底222透射的不同波长的光对应于多个不同测量角度的光强以生成
第二光谱数据(或称“透射光谱数据”)。然后,计算设备230获取来自角分辨光谱仪的第二光
谱数据。
预定波长为多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长。关于提取预定波长下的第二光
谱数据的方式例如包括:基于第二光谱数据,针对多个波长中的每一个波长提取每一个波
长下的第二光谱数据。
例如,计算设备230比较预定波长下的第二光谱数据中对应于多个测量角度的透射率,以便
确定预定波长下的第二光谱数据中的最大透射率和最小透射率;以及基于预定波长下的第
二光谱数据,获取最大透射率所对应的第三测量角度和最小透射率所对应的第四测量角
度。
s
表第四系数。λ代表入射光的波长。R代表待测对象在多个不同波长下对应于多个不同测量
角度的反射率。T代表待测薄膜在多个不同波长下对应于多个不同测量角度的透射率。
形式。
表第三系数。A代表第四系数。B代表第五系数。C代表第六系数。D代表第七系数。额代表第八
系数。TM代表预定波长下对应于多个不同的测量角度的透射率中的最大透射率。Tm代表预定
波长下对应于多个不同的测量角度的透射率中的最小透射率。n1代表待测薄膜的折射率。n2
代表衬底的折射率。
计算衬底在预定波长下的折射率;以及基于衬底在预定波长下的折射率、最小折射率以及
第四测量角度,计算待测薄膜在预定波长下的折射率。上述步骤与方法300中的对应步骤相
类似,在此,不再赘述。
结果与实际值的对比示意图。例如,图9的左侧部分是衬底和待测薄膜真实的折射率随波长
变化的曲线。其中,标记910指示配置于衬底表面的厚度为2微米的、材质为SiO2的待测薄膜
的真实的折射率随波长变化的曲线,其中,该折射率为1.46。标记912指示衬底的真实的折
射率随波长变化的曲线。图9的右侧部分是基于本公开测量方法得到的衬底和待测薄膜的
折射率随波长变化的曲线。标记920指示基于本公开测量方法得到的待测薄膜的折射率随
波长变化的曲线。标记922指示基于本公开测量方法得到的衬底的折射率随波长变化的曲
线。由图9可知,基于本公开测量方法所测得的衬底和待测薄膜的折射率与实际差距很小,
即测量结果很准确。
于薄膜和衬底的折射率的信息,而无需假设无需提前假设薄膜光学常数满足的模型。并且,
本公开通过确定预定波长下的第二光谱数据中的最大透射率处位置处和最小透射率位置
处的透射率和对应测量角度来计算衬底在预定波长下的折射率和待测薄膜在预定波长的
折射率。本公开无需提前假设薄膜光学常数满足的模型,并且能够准确测量薄膜的光学常
数。
图10所示,设备1000包括中央处理单元(CPU)1001,其可以根据存储在只读存储器(ROM)
1002中的计算机程序指令或者从存储单元1008加载到随机存取存储器(RAM)1003中的计算
机程序指令,来执行各种适当的动作和处理。在RAM中,还可存储设备1000操作所需的各种
程序和数据。CPU、ROM以及RAM通过总线1004彼此相连。输入/输出(I/O)接口1005也连接至
总线1004。
法200至1000例如,在一些实施例中,方法300、500和800可被实现为计算机软件程序,其被
存储于机器可读介质,例如存储单元1008。在一些实施例中,计算机程序的部分或者全部可
以经由ROM和/或通信单元1009而被载入和/或安装到设备1000上。当计算机程序加载到RAM
并由CPU执行时,可以执行上文描述的方法300、500和800的一个或多个操作。备选地,在其
他实施例中,CPU可以通过其他任何适当的方式(例如,借助于固件)而被配置为执行方法
300、500和800的一个或多个动作。
可读程序指令。
磁存储设备、半导体存储设备或者上述的任意合适的组合。计算机可读存储介质的更具体
的例子(非穷举的列表)包括:便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器
(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、静态随机存取存储器(SRAM)、便携式压缩
盘只读存储器(CD‑ROM)、数字多功能盘(DVD)、记忆棒、软盘、机械编码设备、例如其上存储
有指令的打孔卡或凹槽内凸起结构、以及上述的任意合适的组合。这里所使用的计算机可
读存储介质不被解释为瞬时信号本身,诸如无线电波或者其他自由传播的电磁波、通过波
导或其他传输媒介传播的电磁波(例如,通过光纤电缆的光脉冲)、或者通过电线传输的电
信号。
部存储设备。网络可以包括铜传输电缆、光纤传输、无线传输、路由器、防火墙、交换机、网关
计算机和/或边缘服务器。每一个计算/处理设备中的网络适配卡或者网络接口从网络接收
计算机可读程序指令,并转发该计算机可读程序指令,以供存储在各个计算/处理设备中的
计算机可读存储介质中。
任意组合编写的源代码或目标代码,该编程语言包括面向对象的编程语言—诸如
Smalltalk、C++等,以及常规的过程式编程语言—诸如C语言或类似的编程语言。计算机可
读程序指令可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立
的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或
服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中,远程计算机可以通过任意种类的网络—包括
局域网(LAN)或广域网(WAN)—连接到用户计算机,或者,可以连接到外部计算机(例如利用
因特网服务提供商来通过因特网连接)。在一些实施例中,通过利用计算机可读程序指令的
状态信息来个性化定制电子电路,例如可编程逻辑电路、现场可编程门阵列(FPGA)或可编
程逻辑阵列(PLA),该电子电路可以执行计算机可读程序指令,从而实现本公开的各个方
面。
程图和/或步骤图中各方步骤的组合,都可以由计算机可读程序指令实现。
通过计算机或其它可编程数据处理装置的处理单元执行时,产生了实现流程图和/或步骤
图中的一个或多个方步骤中规定的功能/动作的装置。也可以把这些计算机可读程序指令
存储在计算机可读存储介质中,这些指令使得计算机、可编程数据处理装置和/或其他设备
以特定方式工作,从而,存储有指令的计算机可读介质则包括一个制造品,其包括实现流程
图和/或步骤图中的一个或多个方步骤中规定的功能/动作的各个方面的指令。
生计算机实现的过程,从而使得在计算机、其它可编程数据处理装置、或其它设备上执行的
指令实现流程图和/或步骤图中的一个或多个方步骤中规定的功能/动作。
骤可以代表一个模块、程序段或指令的一部分,该模块、程序段或指令的一部分包含一个或
多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。
术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择,旨
在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进,或者使本技术领域的其
它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。
替换、改进等,均应包含在本公开的保护范围之内。