一种基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置

摘要

本发明公开了一种基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置，包括太赫兹回波采集模块和与太赫兹回波采集模块连接的信号处理模块，其中太赫兹回波采集模块，用于生成源信号与参考信号，并检测源信号经流体发射的太赫兹回波,信号处理模块，用于根据太赫兹回波和参考信号，获得流体流速，解决了现有非接触式流体流速装置在复杂恶劣环境下对流体流速检测精度低的技术问题，巧妙利用太赫兹波穿透性强的特点，在保证复杂环境中还能接受到太赫兹信号，从而对被测流体流速进行精确测量，同时具有非接触的特点，这对于流体在复杂环境内的流速测量具有重要意义。

权利要求

1.一种基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置，其特征在于，所述基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置包括太赫兹回波采集模块和与所述太赫兹回波采集模块连接的信号处理模块，其中：

所述太赫兹回波采集模块，用于生成源信号与参考信号，并检测所述源信号经流体发射的太赫兹回波，其中所述太赫兹回波采集模块包括QCL发射源、QWP回波探测器、源前置放大器和锁相放大器，其中：

所述QCL发射源，用于采用QCL发射源生成源信号与参考信号；

所述QWP回波探测器，用于采用QWP回波探测器检测所述源信号经流体发射的太赫兹回波；

所述源前置放大器，用于对所述太赫兹回波进行放大；

所述锁相放大器，用于根据放大后的太赫兹回波，获得太赫兹回波时域谱亮度以及根据参考信号，获得参考信号时域谱亮度；

所述信号处理模块，用于根据所述太赫兹回波和参考信号，获得流体流速，其中所述信号处理模块具体包括太赫兹回波实时分析与处理单元，且所述太赫兹回波实时分析与处理单元包括时域谱亮度偏差值获取子单元，以及与所述时域谱亮度偏差值获取子单元依次连接的模型建立子单元和流速计算子单元，其中：所述时域谱亮度偏差值获取子单元，用于根据所述太赫兹回波和参考信号，获得时域谱亮度偏差值；

所述模型建立子单元，用于根据不同的流速对应的时域谱亮度偏差值不同，建立时域谱亮度偏差‑流速关系模型，其中所述模型建立子单元采用Akima样条插值法，对输入数据和输出数据进行拟合，从而建立时域谱亮度偏差‑流速关系模型，其中所述输入数据为标定的回波的时域谱亮度偏差值，所述输出数据为与所述时域谱亮度偏差值对应的目标流体的流速值；

所述流速计算子单元，用于根据所述时域谱亮度偏差‑流速关系模型和待测流体对应的时域谱亮度偏差值，获得流体流速；

所述基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括太赫兹回波定位模块与伺服云台，其中：

所述太赫兹回波定位模块，用于通过所述伺服云台对基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置进行定位，使其正对目标流体，其中所述太赫兹回波定位模块包括流形检测单元、与所述流形检测单元依次连接的相机定位单元和云台伺服单元，其中：所述流形检测单元，用于对相机获取的流体图像进行图像处理，获得流体边缘图像；

所述相机定位单元，用于使用重心法计算所述流体边缘图像的重心并将所述流体边缘图像的重心与相机图像的重心作差，获取图像偏差矢量；

所述云台伺服单元，用于根据所述图像偏差矢量，采用PID控制算法控制伺服云台，控制所述伺服云台使得所述太赫兹回波流速检测装置正对目标流体；

所述基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括包围所述流体流速测量装置的防尘隔热外罩和固定所述流体流速测量装置的三角支架，其中所述防尘隔热外罩，采用不锈钢外壳加隔热涂层的双层外罩结构，且所述基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置具体为基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量仪。

说明书

一种基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置

技术领域

[0001] 本发明主要涉及测温技术领域，特指一种基于太赫兹高速回波效应的流体流速测温装置。

背景技术

[0002] THz(太赫兹，TeraHertz)通常是指频率在0.1‑10THz范围内的电磁辐射，在电磁波谱上位于微波和红外线之间，其为电磁波谱上由电子学向光子学过度的特殊区域，也是宏
观经典理论向微观量子理论的过渡区域。在电磁频谱上，太赫兹波段两侧的红外和微波技
术已经十分成熟，但出于过渡谱段的太赫兹波技术还不够完善，主要是因为此频段既不完
全适合用光学理论来处理，也不完全适合用微波理论来研究，形成了所说的“太赫兹空隙”。
但是太赫兹波具有红外与微波难以对比的特性，其具有穿透纸张、塑料和陶瓷等包装材料，
光子能量低，对生物体无辐射损害，并且作为载波具有比微波更高的带宽，因此太赫兹波在
安检、成像、医学诊断、材料分析和高速无线通讯等领域具有重要的应用需求。此外，太赫兹
波对于流体的穿透能力低、部分能量被流体吸收、流体流速变化时吸收的能量具有一定规
律，使得利用太赫兹波的特性来设计与研发具有实用价值的太赫兹回波流速测量仪成为可
能。

[0003] 在流体流速测量领域，测量方法基本可分为直接测量与间接测量两种方式：间接测量基本上应用于可测量容器容积的条件下经过高度压力换算方法间接推算出瞬时流速。
而直接测量方式又可分为接触式测量与非接触式测量两种测量方法，接触式检测设备以经
典流速流量仪为代表，通过将流速检测装置置入待测流体中，通过流体的运动带动检测装
置发生运动，再由传感器检测装置变化进而获取流速值，接触式方法具有检测精度高、响应
时间短、使用寿命长等特点，但其在测量具有杂质、高温、高腐蚀性的流体时，会因检测装置
物理结构发生变化而导致使用寿命大幅降低，不适用于特种环境的流体流速检测；非接触
式测速方法是一种以视觉特征检测与分析为基础的流体流速测量方法，其具有使用寿命
长、抗环境干扰能力强等优点，但是相较于流速流量仪具有响应时间相对较长、检测精度达
不到接触式检测设备的水平的缺陷，只适用于特种环境、响应时间相对较低的条件下。近年
来，随着通讯领域在太赫兹(THz)波段方面的研究不断加深，一些研究发现，太赫兹信号在
不同流速的流体处产生的回波信号具有一定的变化规律，故可借助太赫兹信号被不同流速
的流体吸收的能量具有差异的特点，将太赫兹信号应用于流速检测领域。

[0004] 专利公开号CN109613297B发明专利是一种流速、流向检测装置，其由仿生侧线传感器和控制器组成，仿生侧线传感器包括纤毛壳斗、由四片IPMC薄膜片组成的IPMC感知组
件、外部压板和传感器外壳等四个部分，仿生侧线传感器与控制器通过机械设备相连接，当
外部流作用于纤毛壳斗的顶端时，纤毛壳斗将产生机械形变，并传递给IPMC感知组件，IPMC
感知组件根据机械形变产生两个感应电压，分别作为x轴与y轴流速分量，进而确定流体的
最终的流速和流向，其特点是在降低结构复杂度和成本的基础上，实现了二维流速测量。然
而其纤毛壳斗的形变检测只适应于纯净、无杂质的流体中，是一种接触式测量设备，无法满
足具有杂物易干扰、腐蚀性、高温流体如高温铁水、高温铜水的检测。

[0005] 专利公开号CN111060176A发明专利是一种用于检测流体流速和质量的传感器，其传感器主体的下端固定夹持两个夹持机构，夹持机构上环形阵列设置有四个外凸的耳板，
左端的夹持机构和右端的夹持机构之间的耳板之间固定连接有固定螺栓，从而可通过夹持
机构将传感器主体位置进行固定，能够达到传感器主体安装稳定的效果，能有效地避免水
流冲击、水中掺杂的颗粒、杂物等进入到水流量传感器造成测量偏差的问题，适用于流体中
具有杂质、杂物的非纯净水流的流速检测中，但其也具有一定的局限性，不能适用于腐蚀性
或高温流体的检测中。

发明内容

[0006] 本发明提供的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置，解决了现有非接触式测温装置在复杂恶劣环境下对高温物体温度检测精度低的技术问题。

[0007] 为解决上述技术问题，本发明提出的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置包括太赫兹回波采集模块和与太赫兹回波采集模块连接的信号处理模块，其中：

[0008] 太赫兹回波采集模块，用于生成源信号与参考信号，并检测源信号经流体发射的太赫兹回波；

[0009] 信号处理模块，用于根据太赫兹回波和参考信号，获得流体流速。

[0010] 进一步地，信号处理模块包括太赫兹回波实时分析与处理单元，且太赫兹回波实时分析与处理单元包括时域谱亮度偏差值获取子单元，以及与时域谱亮度偏差值获取子单
元依次连接的模型建立子单元和流速计算子单元，其中：

[0011] 时域谱亮度偏差值获取子单元，用于根据太赫兹回波和参考信号，获得时域谱亮度偏差值；

[0012] 模型建立子单元，用于根据不同的流速对应的时域谱亮度偏差值不同，建立时域谱亮度偏差‑流速关系模型；

[0013] 流速计算子单元，用于根据时域谱亮度偏差‑流速关系模型和待测流体对应的时域谱亮度偏差值，获得流体流速。

[0014] 进一步地，太赫兹回波采集模块包括QCL发射源、QWP回波探测器、源前置放大器和锁相放大器，其中：

[0015] QCL发射源，用于采用QCL发射源生成源信号与参考信号；

[0016] QWP回波探测器，用于采用QWP回波探测器检测源信号经流体发射的太赫兹回波；

[0017] 源前置放大器，用于对太赫兹回波进行放大；

[0018] 锁相放大器，用于根据放大后的太赫兹回波，获得太赫兹回波时域谱亮度以及根据参考信号，获得参考信号时域谱亮度。

[0019] 进一步地，基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括太赫兹回波定位模块与伺服云台，其中：

[0020] 太赫兹回波定位模块，用于通过伺服云台对基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置进行定位，使其正对目标流体。

[0021] 进一步地，太赫兹回波定位模块包括流形检测单元、与流形检测单元依次连接的相机定位单元和云台伺服单元，其中：

[0022] 流形检测单元，用于对相机获取的流体图像进行图像处理，获得流体边缘图像；

[0023] 相机定位单元，用于使用重心法计算流体边缘图像的重心并将流体边缘图像的重心与相机图像的重心作差，获取图像偏差矢量；

[0024] 云台伺服单元，用于根据图像偏差矢量，采用PID控制算法控制伺服云台，控制伺服云台使得太赫兹回波流速检测装置正对目标流体。

[0025] 进一步地，模型建立子单元采用Akima样条插值法，对输入数据和输出数据进行拟合，从而建立时域谱亮度偏差‑流速关系模型，其中输入数据为标定的回波的时域谱亮度偏
差值，输出数据为与时域谱亮度偏差值对应的目标流体的流速值。

[0026] 进一步地，基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括包围流体流速测量装置的防尘隔热外罩，其中：

[0027] 防尘隔热外罩，采用不锈钢外壳加隔热涂层的双层外罩结构。

[0028] 进一步地，基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括固定流体流速测量装置的三角支架。

[0029] 进一步地，基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置具体为基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量仪。

[0030] 与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明提供的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置，包括太赫兹回波采集模块和与太赫兹回波采集模块连接的信号处理模
块，其中太赫兹回波采集模块，用于生成源信号与参考信号，并检测源信号经流体发射的太
赫兹回波,信号处理模块，用于根据太赫兹回波和参考信号，获得流体流速，解决了现有非
接触式流体流速装置在复杂恶劣环境下对流体流速检测精度低的技术问题，巧妙利用太赫
兹波穿透性强的特点，在保证复杂环境中还能接受到太赫兹信号，从而对被测流体流速进
行精确测量，同时具有非接触的特点，这对于流体在复杂环境内的流速测量具有重要意义。

附图说明

[0031] 图1为本发明实施例二的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置的安装示意图；

[0032] 图2为本发明实施例二的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置的结构框图；

[0033] 图3为本发明实施例二的太赫兹回波定位模块的流程框图；

[0034] 图4为本发明实施例二的太赫兹回波采集模块的流程框图；

[0035] 图5为本发明实施例二的信号处理模块的结构框图。

[0036] 附图标记：

[0037] M11：目标流体；M12：防尘隔热外罩；M13：三角支架；M14：太赫兹回波流速检测核心设备；M15：伺服云台；M20：QCL发射源；M21：太赫兹回波定位模块；M22：太赫兹回波采集模
块；M23：信号处理模块；M24：上位机。

具体实施方式

[0038] 为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。

[0039] 以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

[0040] 实施例一

[0041] 本发明实施例一提供的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置包括太赫兹回波采集模块和与太赫兹回波采集模块连接的信号处理模块，其中：

[0042] 太赫兹回波采集模块，用于生成源信号与参考信号，并检测源信号经流体发射的太赫兹回波；

[0043] 信号处理模块，用于根据太赫兹回波和参考信号，获得流体流速。

[0044] 本发明提供的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置，包括太赫兹回波采集模块和与太赫兹回波采集模块连接的信号处理模块，其中太赫兹回波采集模块，用于生
成源信号与参考信号，并检测源信号经流体发射的太赫兹回波,信号处理模块，用于根据太
赫兹回波和参考信号，获得流体流速，解决了现有非接触式流体流速装置在复杂恶劣环境
下对流体流速检测精度低的技术问题，巧妙利用太赫兹波穿透性强的特点，在保证复杂环
境中还能接受到太赫兹信号，从而对被测流体流速进行精确测量，同时具有非接触的特点，
这对于流体在复杂环境内的流速测量具有重要意义。

[0045] 可选地，信号处理模块M23包括太赫兹回波实时分析与处理单元，且太赫兹回波实时分析与处理单元包括时域谱亮度偏差值获取子单元，以及与时域谱亮度偏差值获取子单
元依次连接的模型建立子单元和流速计算子单元，其中：

[0046] 时域谱亮度偏差值获取子单元，用于根据太赫兹回波和参考信号，获得时域谱亮度偏差值；

[0047] 模型建立子单元，用于根据不同的流速对应的时域谱亮度偏差值不同，建立时域谱亮度偏差‑流速关系模型；

[0048] 流速计算子单元，用于根据时域谱亮度偏差‑流速关系模型和待测流体对应的时域谱亮度偏差值，获得流体流速。

[0049] 可选地，太赫兹回波采集模块M22包括QCL发射源M20、QWP回波探测器、源前置放大器和锁相放大器，其中：

[0050] QCL发射源M20，用于采用QCL发射源M20生成源信号与参考信号；

[0051] QWP回波探测器，用于采用QWP回波探测器检测源信号经流体发射的太赫兹回波；

[0052] 源前置放大器，用于对太赫兹回波进行放大；

[0053] 锁相放大器，用于根据放大后的太赫兹回波，获得太赫兹回波时域谱亮度以及根据参考信号，获得参考信号时域谱亮度。

[0054] 可选地，基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括太赫兹回波定位模块M21与伺服云台M15，其中：

[0055] 太赫兹回波定位模块M21，用于通过伺服云台M15对基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置进行定位，使其正对目标流体M11。

[0056] 可选地，太赫兹回波定位模块M21包括流形检测单元、与流形检测单元依次连接的相机定位单元和云台伺服单元，其中：

[0057] 流形检测单元，用于对相机获取的流体图像进行图像处理，获得流体边缘图像；

[0058] 相机定位单元，用于使用重心法计算流体边缘图像的重心并将流体边缘图像的重心与相机图像的重心作差，获取图像偏差矢量；

[0059] 云台伺服单元，用于根据图像偏差矢量，采用PID控制算法控制伺服云台M15，控制伺服云台M15使得太赫兹回波流速检测装置正对目标流体M11。

[0060] 可选地，模型建立子单元采用Akima样条插值法，对输入数据和输出数据进行拟合，从而建立时域谱亮度偏差‑流速关系模型，其中输入数据为标定的回波的时域谱亮度偏
差值，输出数据为与时域谱亮度偏差值对应的目标流体M11的流速值。

[0061] 可选地，基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括包围流体流速测量装置的防尘隔热外罩M12，其中：

[0062] 防尘隔热外罩M12，采用不锈钢外壳加隔热涂层的双层外罩结构。

[0063] 可选地，基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置还包括固定流体流速测量装置的三角支架M13。

[0064] 实施例二

[0065] 如图1所示，本发明实施例二的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置主要由防尘隔热外罩M12、三角支架M13、太赫兹回波流速检测核心设备M14与伺服云台M15四
个部分组成，各个部分的功能描述如下：

[0066] 防尘隔热外罩M12使用不锈钢外壳加隔热涂层的双层外罩结构，外层不锈钢外壳能有效降低使用过程中因水气、腐蚀性气体对设备的侵蚀，内层隔热涂层采用高温隔热涂
层，可有效降低高温辐射检测设备造成过高的设备温度，另外在设备前端探测口处设计为
设备出风口，加上设备外侧可通入工业冷却气体，可在设备内部产生冷却风路，有效地降低
检测与处理模块处理过程中产生的高温。

[0067] 三角支架M13是一种可折叠、易拆卸、具有隔热材料的独立设计的三角支架M13，适用于难以固定安装、高温高尘的检测环境。

[0068] 太赫兹回波流速检测核心设备M14由太赫兹回波定位模块M21、太赫兹回波采集模块M22和信号处理模块M23三个主要模块组成：太赫兹回波定位模块M21通过相机获取实时
的检测图像，并借助流形检测、相机定位与云台伺服等模块定位太赫兹检测设备正对待测
流体，太赫兹回波采集模块M22用于产生与检测太赫兹波，使用QCL发射源M20产生源信号、
QWP接收太赫兹回波信号，以产生与接收稳定、可检测的太赫兹波信号，信号处理模块M23获
取伺服定位图像计算并控制云台进行待测流体伺服定位、接收太赫兹波信号并进行计算以
获得太赫兹时域谱亮度偏差值、根据内置“时域谱亮度偏差‑流速”关系模型计算目标流体
M11流速实时值，并将检测获取的流速值与调整后的设备姿态信息通过以太网或蓝牙传输
至上位机M24。根据以上三个模块即可完成基于太赫兹高速回波效应的任意流体流速测量
的任务。

[0069] 伺服云台M15是太赫兹回波定位模块M21的执行机构，是一个可通过伺服电机根据信号处理模块M23中计算的控制信号U精确地运行定位的电动伺服云台M15，其可控制偏向
角与俯仰角达到太赫兹回波流速检测核心设备M14正对目标流体M11的效果。

[0070] 以上四个部分中最为关键的组成部分为太赫兹回波流速检测核心设备M14，下面对其各个组成模块的运行原理与执行流程进行说明：

[0071] 1、太赫兹回波定位模块M21

[0072] 本模块由流形检测单元、相机定位单元和云台伺服单元三个部分构成，其工作流程如图3所示，首先根据相机获取的流体图像，在流形检测中将图像灰度化，使用Sobel算子
提取灰度图像边缘序列，提取后的边缘序列作为相机定位的输入，并使用重心法计算灰度
边缘图像的重心，之后与相机图像重心作差后获取图像偏差矢量，以作为云台伺服的误差
输入信号，使用PID控制器计算控制矢量U并输入至云台伺服系统，产生偏移后重新计算图
像重心，直至图像偏差矢量E满足设置要求，此时太赫兹回波流速检测设备正对目标流体
M11。

[0073] 2、太赫兹回波采集模块M22

[0074] 本模块结构如图2所示，其主要由QCL发射源M20、QWP回波探测器、源前置放大器和锁相放大器四个部分组成，其主要用于产生与检测太赫兹波，并将信号转换为太赫兹时域
谱亮度值。如图4所示，太赫兹回波采集模块M22的工作流程如下：

[0075] 1)借助QCL发射源M20产生太赫兹源信号与参考信号：

[0076] 太赫兹量子级联激光器(QCL)是一种基于多量子阱子带间跃迁的单极性半导体激光器，其激射频率位于中远红外以及太赫兹波段，可产生太赫兹波源信号与参考信号，前者
用于生成太可检测的太赫兹波，后者用于在分析与提取太赫兹回波时域谱亮度偏差时的基
准信号；

[0077] 2)太赫兹源信号经光路系统照射至目标流体M11并形成反射回波：

[0078] 太赫兹QCL向外辐射的源信号，首先经过光路系统的抛物镜1进行光源汇聚，然后透过分束镜平行传输至抛物镜2，并将太赫兹波会聚为光源打在待测流体上，根据光路可逆
的原理，太赫兹波反射并按照原路再次汇聚、传输而形成回波；

[0079] 3)QWP回波探测器检测太赫兹回波：

[0080] 太赫兹量子阱探测器(QWP)是一种基于半导体低维结构的光子型探测器，特别适合于太赫兹波段的高速探测与成像应用，其根据束缚电子吸收太赫兹光子发生子带跃迁、
并在外加偏压下形成光电流，从而实现对太赫兹回波的探测；

[0081] 4)源前置放大器放大回波信号，并经由锁相放大器计算获得太赫兹回波时域谱亮度。

[0082] 经过源前置放大器进行放大后的信号与参考信号在锁相放大器处进行积分，可有效滤除信号中的高频信号，获得太赫兹回波时域谱亮度。

[0083] 3、信号处理模块M23

[0084] 如图5所示，本模块根据太赫兹回波定位模块M21产生的伺服定位图像、太赫兹回波采集模块M22产生的太赫兹回波时域谱亮度与参考信号时域谱亮度，分别在设备定位检
测与云台伺服模块、太赫兹回波实时分析与处理模块中进行分析与计算：

[0085] 1)设备定位检测与云台伺服模块：

[0086] 根据输入的伺服定位图像信息，判断偏差信息是否满足预设的误差要求，若不满足，则根据设定的PID控制律实时计算控制信号U，并经过内部数据总线将控制信号U传输至
伺服云台M15处进行偏向角与俯仰角的校正，校正后再经过太赫兹回波定位模块M21进行检
测；

[0087] 2)太赫兹回波实时分析与处理模块：

[0088] 根据输入的太赫兹回波时域谱亮度与参考信号时域谱亮度，计算太赫兹回波时域谱亮度偏差值，即为经过检测过程后的太赫兹时域谱亮度损耗值。为了在较短时间内计算
获取实时流速值，本模块预先建立了太赫兹回波时域谱亮度偏差‑流速关系模型，以标定的
回波时域谱亮度偏差值作为关系模型输入数据，目标流体M11的流速值作为关系模型的输
出，再使用Akima样条插值法进行输入输出数据拟合，拟合后的模型及参数作为预设值存储
在处理模块的内存中，当获取一个太赫兹回波时域谱亮度偏差值时，便可迅速计算出对应
的实时流速值。

[0089] 本发明提供的基于太赫兹高速回波效应的流体流速测量装置，包括太赫兹回波采集模块和与太赫兹回波采集模块连接的信号处理模块，其中太赫兹回波采集模块，用于生
成源信号与参考信号，并检测源信号经流体发射的太赫兹回波,信号处理模块，用于根据太
赫兹回波和参考信号，获得流体流速，解决了现有非接触式流体流速装置在复杂恶劣环境
下对流体流速检测精度低的技术问题，巧妙利用太赫兹波穿透性强的特点，在保证复杂环
境中还能接受到太赫兹信号，从而对被测流体流速进行精确测量，同时具有非接触的特点，
这对于流体在复杂环境内的流速测量具有重要意义。

[0090] 此外，本实施例通过采集的被测流体发射的太赫兹回波实现对被测流体的流速检测，能借助太赫兹的穿透特性减少环境中遮挡物对流速测量结果造成的误差，从而提高被
测流体的流速检测精度。

[0091] 以上实施方式仅用于说明本发明，而非对本发明的限制。尽管参照实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本发明的技术方案进行各种组合、
修改或者等同替换，都不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的权利要
求范围当中。