一种用于红外发射芯片的测试设备及测试方法转让专利
申请号 : CN202110368037.X
文献号 : CN113064056B
文献日 : 2021-12-21
发明人 : 陈益群 , 晁阳 , 吴骏才
申请人 : 深圳群芯微电子有限责任公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种用于红外发射芯片的测试设备,包括机架(1)、槽轮减速器(5)和测试仪器(13),其特征在于:所述机架(1)内壁通过轴承对称转动连接有驱动辊(2)和导向辊(3),所述驱动辊(2)和导向辊(3)通过皮带(4)传动连接,所示机架(1)一侧固定有槽轮减速器(5),且槽轮减速器(5)的输出端与一个驱动辊(2)固定连接,所述槽轮减速器(5)一侧固定有第一伺服电机(6),且第一伺服电机(6)的输出端与槽轮减速器(5)的输入端固定连接,所述皮带(4)表面等距开设有定位槽(10),所述定位槽(10)内壁对称开设有通槽(11),所述定位槽(10)内壁放置有芯片(12),所述芯片(12)的引脚穿过通槽(11),所述机架(1)内壁对称固定有升降机构(7),两个所述升降机构(7)的动端固定有测试仪器(13),所述测试仪器(13)的插口处安装有夹紧装置(8),所述机架(1)顶部靠近测试仪器(13)的一端滑动安装有对芯片(12)进行固定的限位机构(9);
所述升降机构(7)包括第一固定条(71)、第二固定条(72)、螺纹杆(73)、滑动条(74)和第二伺服电机(75),所述机架(1)内壁一侧固定有第一固定条(71),所述机架(1)内壁位于第一固定条(71)下方固定有第二固定条(72),所述第二固定条(72)中部通过轴承转动连接有螺纹杆(73),且螺纹杆(73)顶部通过轴承与第一固定条(71)转动连接,所述测试仪器(13)两端对称固定有滑动条(74),所述滑动条(74)中部开设有螺纹孔,且滑动条(74)通过螺纹孔与螺纹杆(73)螺纹连接,所述第二固定条(72)底部固定有第二伺服电机(75),且第二伺服电机(75)的输出端与螺纹杆(73)固定连接;
所述夹紧装置(8)包括固定台(81)、夹紧槽(82)、插槽(83)、导电弹片(84)、驱动板(85)、滑柱(86)、第一驱动条(87)、第二驱动条(88)和第一弹簧(89),所述测试仪器(13)顶部固定有固定台(81),所述固定台(81)上表面开设有夹紧槽(82),所述夹紧槽(82)一侧等距开设有插槽(83),且芯片(12)的引脚与插槽(83)插接,所述夹紧槽(82)内壁等距固定有导电弹片(84),且导电弹片(84)与测试仪器(13)的插口电性连接,所述夹紧槽(82)内壁滑动连接有驱动板(85),所述驱动板(85)一侧等距固定有滑柱(86),所述夹紧槽(82)内壁等距开设有滑孔,四个所述滑柱(86)穿过滑孔固定有第一驱动条(87),且第一驱动条(87)一角呈斜面设置,所述第一固定条(71)一侧固定有第二驱动条(88),且第二驱动条(88)一角呈与第一驱动条(87)相配合的斜面设置,所述第一驱动条(87)的斜面和第二驱动条(88)的斜面滑动接触,所述滑柱(86)外侧套设有第一弹簧(89),所述第一弹簧(89)一端与第一驱动条(87)固定连接,且第一弹簧(89)另一端与固定台(81)固定连接;
所述导电弹片(84)包括弹性片(841)和接触柱(842),且弹性片(841)呈倾斜安装;
所述限位机构(9)包括压板(91)、固定片(92)、第二弹簧(93)、第三固定条(94)、驱动槽(95)、凸起(96)和拨动杆(97),所述机架(1)内壁位于测试仪器(13)的一端滑动连接有压板(91),所述压板(91)四角对称固定有固定片(92),所述固定片(92)下表面固定有第二弹簧(93),且第二弹簧(93)底部与第一固定条(71)固定连接,所述压板(91)下表面对称固定有第三固定条(94),所述第三固定条(94)一侧开设有驱动槽(95),所述驱动槽(95)内壁中部固定有凸起(96),所述皮带(4)外侧两端等距固定有拨动杆(97),且拨动杆(97)与凸起(96)表面滑动接触。
2.根据权利要求1所述的一种用于红外发射芯片的测试设备,其特征在于:所述滑动条(74)两端通过导套对称滑动连接有导杆(14),且导杆(14)两端分别与第一固定条(71)和第二固定条(72)固定连接,所述压板(91)两端对称固定有T形滑轨(15),所述机架(1)内壁对称固定有与T形滑轨(15)相配合的轨道(16),且T形滑轨(15)与轨道(16)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于红外发射芯片的测试设备,其特征在于:所述拨动杆(97)呈L形设置,且拨动杆(97)一端通过轴承转动连接有滚轮(17)。
4.一种用于红外发射芯片的测试方法,其特征在于:所述测试方法包括以下步骤;
1)、通过上料机械手将芯片(12)夹持在定位槽(10)内进行上料,通过第一伺服电机(6)带动槽轮减速器(5)的输出端转动,进而带动驱动辊(2)转动,通过导向辊(3)驱动皮带(4)进行传动,且槽轮减速器(5)为三分之一槽轮机构,使得第一伺服电机(6)转动一圈,带动槽轮减速器(5)的输出端旋转120°,进而使得导向辊(3)旋转120°,而导向辊(3)旋转120°,则皮带(4)刚好带动一个芯片(12)移动至测试仪器(13)的正上方;
2)、在皮带(4)传动时,带动拨动杆(97)向第三固定条(94)的一端移动,使得拨动杆(97)上的滚轮(17)慢慢靠近凸起(96),当芯片(12)到位的同时,滚轮(17)挤压凸起(96)至凸起(96)的最高点,使得凸起(96)向下带动第三固定条(94)滑动,进而可带动压板(91)向下滑动,使得芯片(12)到位的同时,压板(91)则刚好压在芯片(12)上方,此时,槽轮减速器(5)刚好处于驱动空档期,使得皮带(4)停止转动;
3)、通过第二伺服电机(75)驱动螺纹杆(73)转动,进而可带动滑动条(74)向上滑动,进而可带动测试仪器(13)向上运动,使得固定台(81)向上运动,使得定位槽(10)内的芯片(12)的引脚慢慢插入到插槽(83)内,在固定台(81)慢慢抬升的过程中,第一驱动条(87)的斜面与第二驱动条(88)上的斜面接触,并被第二驱动条(88)挤压,使得第一驱动条(87)慢慢向固定台(81)的一端靠近,使得第一驱动条(87)通过滑柱(86)带动驱动板(85)滑动,使得驱动板(85)挤压导电弹片(84)的接触柱(842),使得导电弹片(84)的接触柱(842)向引脚的一端靠近,并与引脚接触,对引脚进行夹紧,使得芯片(12)与测试仪器(13)电性连接,通过测试仪器(13)对芯片(12)进行测试;
4)、在测试完成后,通过升降机构(7)驱动测试仪器(13)下降,在下降的过程中,第一驱动条(87)与第二驱动条(88)慢慢脱离,使得导电弹片(84)慢慢与引脚脱离断开连接,之后,槽轮减速器(5)的空档期结束,第一伺服电机(6)通过槽轮减速器(5)驱动皮带(4)再次转动一个芯片(12)的距离,在皮带(4)移动的过程中,拨动杆(97)上的滚轮(17)慢慢与凸起(96)的最高点脱离,使得压板(91)慢慢上升,直至下一个芯片(12)移动至测试仪器(13)的正上方时,下一个拨动杆(97)则再次与凸起(96)配合,驱动压板(91)向下挤压芯片(12),而测试完成的芯片(12)则进入下一道工序。
说明书 :
一种用于红外发射芯片的测试设备及测试方法
技术领域
背景技术
极管处于正偏时,由于空穴和电子的复合而产生红外光辐射,各种激光器包括固体激光器、
气体激光器、半导体激光器和染料激光器等,都能产生红外光,红外发光二极管和半导体激
光器通常都是由Ⅲ‑Ⅴ族化合物半导体材料做成,红外探测器件种类繁多,常见者有光电导
检测器、光磁电检测器、光子牵引检测器、PIN光电二极管、肖特基光电二极管、MOS检测器、
双极型光晶体管等,红外探测器件所用材料极为广泛,金属、绝缘体和超导体都可用于制作
红外探测器,红外集成电路正在积极开发中,红外器件主要用于遥控、遥测和通信领域;
型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上;
试时,测试效率较低;
发明内容
动辊和导向辊,所述驱动辊和导向辊通过皮带传动连接,所示机架一侧固定有槽轮减速器,
且槽轮减速器的输出端与一个驱动辊固定连接,所述槽轮减速器一侧固定有第一伺服电
机,且第一伺服电机的输出端与槽轮减速器的输入端固定连接,所述皮带表面等距开设有
定位槽,所述定位槽内壁对称开设有通槽,所述定位槽内壁放置有芯片,所述芯片的引脚穿
过通槽,所述机架内壁对称固定有升降机构,两个所述升降机构的动端固定有测试仪器,所
述测试仪器的插口处安装有夹紧装置,所述机架顶部靠近测试仪器的一端滑动安装有对芯
片进行固定的限位机构。
二固定条,所述第二固定条中部通过轴承转动连接有螺纹杆,且螺纹杆顶部通过轴承与第
一固定条转动连接,所述测试仪器两端对称固定有滑动条,所述滑动条中部开设有螺纹孔,
且滑动条通过螺纹孔与螺纹杆螺纹连接,所述第二固定条底部固定有第二伺服电机,且第
二伺服电机的输出端与螺纹杆固定连接。
夹紧槽,所述夹紧槽一侧等距开设有插槽,且芯片的引脚与插槽插接,所述夹紧槽内壁等距
固定有导电弹片,且导电弹片与测试仪器的插口电性连接,所述夹紧槽内壁滑动连接有驱
动板,所述驱动板一侧等距固定有滑柱,所述夹紧槽内壁等距开设有滑孔,四个所述滑柱穿
过滑孔固定有第一驱动条,且第一驱动条一角呈斜面设置,所述第一固定条一侧固定有第
二驱动条,且第二驱动条一角呈与第一驱动条相配合的斜面设置,所述第一驱动条的斜面
和第二驱动条的斜面滑动接触,所述滑柱外侧套设有第一弹簧,所述第一弹簧一端与第一
驱动条固定连接,且第一弹簧另一端与固定台固定连接。
定片,所述固定片下表面固定有第二弹簧,且第二弹簧底部与第一固定条固定连接,所述压
板下表面对称固定有第三固定条,所述第三固定条一侧开设有驱动槽,所述驱动槽内壁中
部固定有凸起,所述皮带外侧两端等距固定有拨动杆,且拨动杆与凸起表面滑动接触。
有与T形滑轨相配合的轨道,且T形滑轨与轨道滑动连接。
器为三分之一槽轮机构,使得第一伺服电机转动一圈,带动槽轮减速器的输出端旋转120°,
进而使得导向辊旋转120°,而导向辊旋转120°,则皮带刚好带动一个芯片移动至测试仪器
的正上方;
定条滑动,进而可带动压板向下滑动,使得芯片到位的同时,压板则刚好压在芯片上方,此
时,槽轮减速器刚好处于驱动空档期,使得皮带停止转动;
在固定台慢慢抬升的过程中,第一驱动条的斜面与第二驱动条上的斜面接触,并被第二驱
动条挤压,使得第一驱动条慢慢向固定台的一端靠近,使得第一驱动条通过滑柱带动驱动
板滑动,使得驱动板挤压导电弹片的接触柱,使得导电弹片的接触柱向引脚的一端靠近,并
与引脚接触,对引脚进行夹紧,使得芯片与测试仪器电性连接,通过测试仪器对芯片进行测
试;
档期结束,第一伺服电机通过槽轮减速器驱动皮带再次转动一个芯片的距离,在皮带移动
的过程中,拨动杆上的滚轮慢慢与凸起的最高点脱离,使得压板慢慢上升,直至下一个芯片
移动至测试仪器的正上方时,下一个拨动杆则再次与凸起配合,驱动压板向下挤压芯片,而
测试完成的芯片则进入下一道工序。
板向下挤压芯片,对芯片进行固定,然后通过第一伺服电机驱动螺纹杆转动,带动测试仪器
上升,使得夹紧装置上的导电弹片与芯片的引脚接触通电,使得芯片与测试仪器电性连接,
通过测试仪器对芯片进行检测,使得本装置可在流水线上进行连续检测,可大大提高芯片
的检测效率,防止有不良品流出;
动条的斜面与第二驱动条上的斜面接触,并被第二驱动条挤压,使得第一驱动条慢慢向固
定台的一端靠近,使得第一驱动条通过滑柱带动驱动板滑动,使得驱动板挤压导电弹片的
接触柱,使得导电弹片的接触柱向引脚的一端靠近,并与引脚接触,对引脚进行夹紧,通过
升降机构驱动测试仪器下降,在下降的过程中,第一驱动条与第二驱动条慢慢脱离,使得导
电弹片慢慢与引脚脱离断开连接,在芯片上的引脚在与测试仪器连接时,极大的减少引脚
与测试仪器插口的摩擦,提高测试仪器的使用寿命。
附图说明
装置;81、固定台;82、夹紧槽;83、插槽;84、导电弹片;841、弹性片;842、接触柱;85、驱动板;
86、滑柱;87、第一驱动条;88、第二驱动条;89、第一弹簧;9、限位机构;91、压板;92、固定片;
93、第二弹簧;94、第三固定条;95、驱动槽;96、凸起;97、拨动杆;10、定位槽;11、通槽;12、芯
片;13、测试仪器;14、导杆;15、T形滑轨;16、轨道;17、滚轮;18、齿槽;19、柔性齿条。
具体实施方式
本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例,都属于本发明保护的范围。
导向辊3,驱动辊2和导向辊3通过皮带4传动连接,所示机架1一侧固定有槽轮减速器5,且槽
轮减速器5的输出端与一个驱动辊2固定连接,槽轮减速器5采用现有的任意一种三分之一
槽轮机构,原理上不做赘述,槽轮减速器5一侧固定有第一伺服电机6,且第一伺服电机6的
输出端与槽轮减速器5的输入端固定连接,皮带4表面等距开设有定位槽10,定位槽10内壁
对称开设有通槽11,定位槽10内壁放置有芯片12,芯片12的引脚穿过通槽11,机架1内壁对
称固定有升降机构7,两个升降机构7的动端固定有测试仪器13,其中,测试仪器13采用现有
的已公开的任意一种用于对芯片进行检测的仪器,原理上不做赘述,测试仪器13的插口处
安装有夹紧装置8,机架1顶部靠近测试仪器13的一端滑动安装有对芯片12进行固定的限位
机构9。
条71下方固定有第二固定条72,第二固定条72中部通过轴承转动连接有螺纹杆73,且螺纹
杆73顶部通过轴承与第一固定条71转动连接,测试仪器13两端对称固定有滑动条74,滑动
条74中部开设有螺纹孔,且滑动条74通过螺纹孔与螺纹杆73螺纹连接,第二固定条72底部
固定有第二伺服电机75,且第二伺服电机75的输出端与螺纹杆73固定连接,通过第二伺服
电机75驱动螺纹杆73转动,进而可带动滑动条74向上滑动,进而可带动测试仪器13向上运
动,使得固定台81向上运动,使得定位槽10内的芯片12的引脚慢慢插入到插槽83内。
定台81,固定台81上表面开设有夹紧槽82,夹紧槽82一侧等距开设有插槽83,且芯片12的引
脚与插槽83插接,夹紧槽82内壁等距固定有导电弹片84,且导电弹片84与测试仪器13的插
口电性连接,夹紧槽82内壁滑动连接有驱动板85,驱动板85一侧等距固定有滑柱86,夹紧槽
82内壁等距开设有滑孔,四个滑柱86穿过滑孔固定有第一驱动条87,且第一驱动条87一角
呈斜面设置,第一固定条71一侧固定有第二驱动条88,且第二驱动条88一角呈与第一驱动
条87相配合的斜面设置,第一驱动条87的斜面和第二驱动条88的斜面滑动接触,滑柱86外
侧套设有第一弹簧89,第一弹簧89一端与第一驱动条87固定连接,且第一弹簧89另一端与
固定台81固定连接,在固定台81慢慢抬升的过程中,第一驱动条87的斜面与第二驱动条88
上的斜面接触,并被第二驱动条88挤压,使得第一驱动条87慢慢向固定台81的一端靠近,使
得第一驱动条87通过滑柱86带动驱动板85滑动,使得驱动板85挤压导电弹片84的接触柱
842,使得导电弹片84的接触柱842向引脚的一端靠近,并与引脚接触,对引脚进行夹紧,使
得芯片12与测试仪器13电性连接,在测试完成后,通过升降机构7驱动测试仪器13下降,在
下降的过程中,第一驱动条87与第二驱动条88慢慢脱离,使得导电弹片84慢慢与引脚脱离
断开连接,使得芯片12上的引脚在与测试仪器13连接时,极大的减少引脚与测试仪器13插
口的摩擦,提高测试仪器13的使用寿命。
有压板91,压板91四角对称固定有固定片92,固定片92下表面固定有第二弹簧93,且第二弹
簧93底部与第一固定条71固定连接,压板91下表面对称固定有第三固定条94,第三固定条
94一侧开设有驱动槽95,驱动槽95内壁中部固定有凸起96,皮带4外侧两端等距固定有拨动
杆97,且拨动杆97与凸起96表面滑动接触,拨动杆97呈L形设置,且拨动杆97一端通过轴承
转动连接有滚轮17,减少拨动杆97与滚轮17之间的摩擦,皮带4传动时,带动拨动杆97向第
三固定条94的一端移动,使得拨动杆97上的滚轮17慢慢靠近凸起96,当芯片12到位的同时,
滚轮17挤压凸起96至凸起96的最高点,使得凸起96向下带动第三固定条94滑动,进而可带
动压板91向下滑动,使得芯片12到位的同时,压板91则刚好压在芯片12上方,对芯片12进行
限位。
91两端对称固定有T形滑轨15,机架1内壁对称固定有与T形滑轨15相配合的轨道16,且T形
滑轨15与轨道16滑动连接,提高压板91滑动的稳定性。
槽轮减速器5为三分之一槽轮机构,使得第一伺服电机6转动一圈,带动槽轮减速器5的输出
端旋转120°,进而使得导向辊3旋转120°,而导向辊3旋转120°,则皮带4刚好带动一个芯片
12移动至测试仪器13的正上方;
得凸起96向下带动第三固定条94滑动,进而可带动压板91向下滑动,使得芯片12到位的同
时,压板91则刚好压在芯片12上方,此时,槽轮减速器5刚好处于驱动空档期,使得皮带4停
止转动;
慢插入到插槽83内,在固定台81慢慢抬升的过程中,第一驱动条87的斜面与第二驱动条88
上的斜面接触,并被第二驱动条88挤压,使得第一驱动条87慢慢向固定台81的一端靠近,使
得第一驱动条87通过滑柱86带动驱动板85滑动,使得驱动板85挤压导电弹片84的接触柱
842,使得导电弹片84的接触柱842向引脚的一端靠近,并与引脚接触,对引脚进行夹紧,使
得芯片12与测试仪器13电性连接,通过测试仪器13对芯片12进行测试;
速器5的空档期结束,第一伺服电机6通过槽轮减速器5驱动皮带4再次转动一个芯片12的距
离,在皮带4移动的过程中,拨动杆97上的滚轮17慢慢与凸起96的最高点脱离,使得压板91
慢慢上升,直至下一个芯片12移动至测试仪器13的正上方时,下一个拨动杆97则再次与凸
起96配合,驱动压板91向下挤压芯片12,而测试完成的芯片12则进入下一道工序。
在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖
非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要
素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备
所固有的要素。
和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。