用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件

摘要

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件；该组件包括第一齿条、第一齿轮、齿轮架、齿轮轴、涡卷弹簧、第二齿轮和第二齿条，所述第一齿条的下端与所述第一齿轮啮合，所述第一齿轮为空心齿轮，第一齿轮转动设置在齿轮架上，第一齿轮的内部同轴设置有齿轮轴，且第一齿轮和齿轮轴之间设置有涡卷弹簧，齿轮轴的一端伸出所述齿轮架后与第二齿轮连接，第二齿轮与第二齿条啮合；将本发明用于调幅探针卡缓冲结构，通过缓冲托板和缓冲垫，将驱动气缸和限位气缸与探针卡隔离，减小震动，同时将驱动气缸与驱动滑块、限位气缸与限位滑块之间设置缓冲结构，减小气缸伸出时产生的震动。

权利要求

1.用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件，其特征在于，所述调幅探针卡缓冲结构设置在驱动结构（6）上，所述驱动结构（6）包括驱动气缸（6‑1）、限位气缸（6‑2）、驱动气缸滑块（6‑3）、限位气缸滑块（6‑5）；驱动气缸蓄力组件连接在驱动气缸（6‑1）与驱动气缸滑块（6‑3）之间，用于蓄力缓冲；

所述调幅探针卡缓冲结构包括：缓冲托板（7‑1）和缓冲垫（7‑2），所述缓冲托板（7‑1）上设置有若干个缓冲垫（7‑2），所述的驱动气缸（6‑1）和限位气缸（6‑2）均设置在所述的缓冲垫（7‑2）上；

所述驱动气缸蓄力组件包括：第一齿条（7‑13）、第一齿轮（7‑14）、齿轮架（7‑15）、齿轮轴（7‑16）、涡卷弹簧（7‑17）、第二齿轮（7‑18）和第二齿条（7‑19）；

由涡卷弹簧（7‑17）为核心构成的涡卷结构，将驱动气缸（6‑1）与驱动气缸滑块（6‑3）之间的刚性连接直接驱动方式改变为：驱动气缸（6‑1）伸出，涡卷弹簧（7‑17）蓄力，驱动气缸（6‑1）停止，涡卷弹簧（7‑17）释放蓄力，推动驱动气缸滑块（6‑3）的过程；通过涡卷弹簧（7‑

17）的蓄力，吸收了驱动气缸（6‑1）伸出产生的震动，同时保证了推动驱动气缸滑块（6‑3）的过程；

所述第一齿条（7‑13）的上端与所述驱动气缸（6‑1）的伸出端连接，第一齿条（7‑13）的下端与所述第一齿轮（7‑14）啮合，所述第一齿轮（7‑14）为空心齿轮，第一齿轮（7‑14）转动设置在齿轮架（7‑15）上，第一齿轮（7‑14）的内部同轴设置有齿轮轴（7‑16），且第一齿轮（7‑

14）和齿轮轴（7‑16）之间设置有涡卷弹簧（7‑17），齿轮轴（7‑16）的一端伸出所述齿轮架（7‑

15）后与第二齿轮（7‑18）连接，第二齿轮（7‑18）与第二齿条（7‑19）啮合，第二齿条（7‑19）的下端与所述驱动气缸滑块（6‑3）连接；

在驱动气缸（6‑1）的伸出端向下推动第一齿条（7‑13）时，涡卷弹簧（7‑17）蓄力，并使齿轮轴（7‑16）转动，将驱动气缸（6‑1）与驱动气缸滑块（6‑3）之间的刚性连接，转变为具有涡卷弹簧（7‑17）缓冲的连接，减小驱动气缸（6‑1）的冲击产生的震动。

说明书

用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件

[0001] 本申请是发明专利申请《一种用于调幅探针卡的缓冲结构及其蓄力组件》的分案申请。

[0002] 原案申请日：2020‑10‑11。

[0003] 原案申请号：2020110810157。

[0004] 原案发明名称：一种用于调幅探针卡的缓冲结构及其蓄力组件。

技术领域

[0005] 本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及用于调幅探针卡缓冲结构的驱动气缸蓄力组件。

背景技术

[0006] 随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的
电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置
进行检测。

[0007] 探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。

[0008] 在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多
组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，
通过在每个面上设置一个或多个探针卡，或设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实
现探针卡与不同触点组的匹配，通过对探针卡的互换实现匹配，单个探针卡无法通用，无法
吸收驱动调幅时产生的震动。

发明内容

[0009] 本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种用于调幅探针卡的缓冲结构及其蓄力组件，能够调整探针的检测幅度，使单个探针卡具有通用性，减少在驱动调幅时产生的
震动。

[0010] 本发明的技术方案：

[0011] 一种调幅探针卡，包括探针、探针板、电路板和调幅结构，所述的探针被固定设置在探针板上，探针的一端连接至电路板，探针的另一端被夹持在调幅结构上；

[0012] 所述的探针包括：探针头、弯曲导线和固定导线，所述探针头的一端为用于检测的圆形探头，探针头的中部被夹持在调幅结构上，探针头的另一端与弯曲导线的一端连接，该
弯曲导线的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线的另一端与固定导线的一端连接，固定导
线的中间被固定在探针板上，固定导线的另一端与电路板连接；

[0013] 所述的调幅结构包括：固定板、调幅板、调幅连接板、簧片、调幅夹板、调幅轴、主辊和偏心辊，所述的固定板与电路板固定连接，所述的调幅板上端固定连接在调幅连接板上，
调幅板的下端垂直依次穿过固定板、电路板和探针板后与探针固定连接，所述调幅连接板
的下端与固定板之间设置有簧片，调幅连接板的侧面通过调幅夹板夹持，构成垂直于固定
板方向的滑动结构，所述调幅连接板的上方设置有调幅轴，调幅轴上设置有主辊和偏心辊；

[0014] 多个所述的调幅连接板沿所述的探针设置，其中一个所述的调幅连接板与一个主辊对应设置，剩余的调幅连接板均与一个偏心辊对应设置；

[0015] 所述主辊为同轴设置在调幅轴上的圆辊，所述偏心辊内部设置有一个虚拟圆，偏心辊的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊沿着从主辊至远离主辊的方
向，偏心辊上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐。

[0016] 进一步地，所述探针板包括：板体、探针槽、压板槽和压板，所述板体上设置有若干容纳探针的探针槽，所述压板槽横穿探针槽设置，所述压板设置在压板槽内，压板与板体固
定连接。

[0017] 进一步地，所述探针槽的底部和压板的底部均设置有用于卡嵌探针的豁口。

[0018] 进一步地，还包括减速结构，减速结构设置在固定板上，且减速结构与调幅轴连接。

[0019] 进一步地，所述减速结构包括：减速框架、减速齿轮和调整轮，所述减速框架固定设在固定板上，减速框架内部设置有若干减速齿轮，所述的调整轮设在减速框架外侧，且调
整轮通过减速齿轮与调幅轴连接。

[0020] 进一步地，还包括驱动结构，驱动结构设置在探针卡的上方，驱动结构包括驱动气缸和限位气缸，所述驱动气缸用于驱动所述的调幅结构，多个所述的限位气缸依次设置在
所述驱动气缸的行程上，用于对驱动气缸的行程进行限位。

[0021] 进一步地，所述驱动结构上还设置有缓冲结构。

[0022] 一种用于调幅探针卡的驱动结构，所述驱动结构设置在探针卡的上方，驱动结构包括驱动气缸和限位气缸，所述驱动气缸用于驱动所述的调幅结构，多个所述的限位气缸
依次设置在所述驱动气缸的行程上，用于对驱动气缸的行程进行限位；

[0023] 所述驱动结构还包括：驱动气缸滑块、驱动气缸滑道、限位气缸滑块、限位气缸滑道、驱动结构固定板、齿条滑块、齿条滑道、齿条连接块、限位接触块和驱动齿条，所述驱动
结构固定板的一端向下弯折，向下弯折的边缘固定连接在所述探针卡上，驱动结构固定板
的表面纵向设置有驱动气缸，驱动气缸的伸出端与驱动气缸滑块连接，该驱动气缸滑块滑
动设置在驱动气缸滑道内，且该驱动气缸滑块上具有向两侧延伸的伸出端，一侧的伸出端
延伸至所述驱动气缸滑道外侧后构成齿条连接块，另一侧的伸出端延伸至所述驱动气缸滑
道外侧后构成限位接触块，所述的齿条连接块与齿条滑块固定连接，齿条滑块与驱动齿条
固定连接，且齿条滑块的两侧嵌入所述的齿条滑道内，所述的驱动齿条与调幅结构的调整
轮啮合，多个所述的限位气缸沿所述的驱动气缸滑道间隔设置，每个所述的限位气缸的伸
出端均连接有一个限位气缸滑块，每个限位气缸滑块均滑动连接在一个限位气缸滑道上，
在所述限位气缸完全伸出后，与该限位气缸连接的限位气缸滑块能够滑动至所述限位接触
块的滑动路径上。

[0024] 进一步地，应用在一种调幅探针卡上，调幅探针卡包括探针、探针板、电路板和调幅结构，所述的探针被固定设置在探针板上，探针的一端连接至电路板，探针的另一端被夹
持在调幅结构上。

[0025] 进一步地，所述的调幅结构包括：固定板、调幅板、调幅连接板、簧片、调幅夹板、调幅轴、主辊和偏心辊，所述的固定板与电路板固定连接，所述的调幅板上端固定连接在调幅
连接板上，调幅板的下端垂直依次穿过固定板、电路板和探针板后与探针固定连接，所述调
幅连接板的下端与固定板之间设置有簧片，调幅连接板的侧面通过调幅夹板夹持，构成垂
直于固定板方向的滑动结构，所述调幅连接板的上方设置有调幅轴，调幅轴上设置有主辊
和偏心辊；

[0026] 多个所述的调幅连接板沿所述的探针设置，其中一个所述的调幅连接板与一个主辊对应设置，剩余的调幅连接板均与一个偏心辊对应设置；

[0027] 所述主辊为同轴设置在调幅轴上的圆辊，所述偏心辊内部设置有一个虚拟圆，偏心辊的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊沿着从主辊至远离主辊的方
向，偏心辊上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐。

[0028] 进一步地，所述的限位气缸的数量与所述主辊一侧的偏心辊数量相同并对应，并且在驱动气缸伸出至限位气缸的限位行程后，该限位气缸对应的偏心辊下方的调幅连接板
从该偏心辊的偏心缺口内转出。

[0029] 进一步地，所述驱动结构上还设置有缓冲结构。

[0030] 一种用于调幅探针卡的缓冲结构，设置在驱动结构上，驱动结构包括：驱动气缸、限位气缸、驱动气缸滑块和限位气缸滑块；

[0031] 所述缓冲结构包括：缓冲托板和缓冲垫，所述缓冲托板上设置有若干个缓冲垫，所述的驱动气缸和限位气缸均设置在所述的缓冲垫上；

[0032] 所述缓冲结构还包括：立板、缓冲筒、活塞块、活塞块顶杆、导向杆、导向杆滑筒、滑筒弹簧、滑筒推杆、滑筒锁和滑筒锁弹簧，所述的立板固定设在缓冲托板上，立板的一端与
缓冲筒的上端固定连接，缓冲筒为双筒结构，缓冲筒的内部滑动设置有横跨其内部双筒结
构的活塞块，所述的限位气缸的伸出端穿过所述立板并进入所述缓冲筒的一个筒体后与活
塞块连接，所述活塞块的一侧设置有活塞块顶杆，所述缓冲筒的下端与所述活塞块顶杆对
应设置有滑筒锁，滑筒锁与缓冲筒的内壁之间设置有滑筒锁弹簧，滑筒锁的上端设置有与
所述活塞块顶杆配合的第一锁舌，滑筒锁的左端设置有延伸至所述导向杆滑筒滑动路径上
的第二锁舌，所述活塞块上还设置有导向杆，导向杆上套接有导向杆滑筒，且导向杆与导向
杆滑筒之间设置有滑筒弹簧，导向杆滑筒的下端设置有滑筒推杆，滑筒推杆与所述限位气
缸滑块连接；

[0033] 所述缓冲结构还包括：第一齿条、第一齿轮、齿轮架、齿轮轴、涡卷弹簧、第二齿轮和第二齿条，所述第一齿条的上端与所述驱动气缸的伸出端连接，第一齿条的下端与所述
第一齿轮啮合，所述第一齿轮为空心齿轮，第一齿轮转动设置在齿轮架上，第一齿轮的内部
同轴设置有齿轮轴，且第一齿轮和齿轮轴之间设置有涡卷弹簧，齿轮轴的一端伸出所述齿
轮架后与第二齿轮连接，第二齿轮与第二齿条啮合，第二齿条的下端与所述驱动气缸滑块
连接。

[0034] 进一步地，所述驱动气缸与所述第一齿条、所述限位气缸与所述活塞块之间，均采用允许径向活动的活动连接。

[0035] 进一步地，所述驱动气缸的伸出端固定连接有驱动气缸插接片，所述第一齿条上与驱动气缸插接片对应设置有驱动气缸插接槽，所述驱动气缸插接槽为具有供所述驱动气
缸插接片活动的余量的槽口。

[0036] 进一步地，所述限位气缸的伸出端固定连接有限位气缸插接片，所述活塞块上与限位气缸插接片对应设置有限位气缸插接槽，所述限位气缸插接槽为具有供所述限位气缸
插接片活动的余量的槽口。

[0037] 进一步地，所述驱动结构还包括：驱动气缸滑道、限位气缸滑道、驱动结构固定板、齿条滑块、齿条滑道、齿条连接块、限位接触块和驱动齿条。

[0038] 进一步地，所述调幅探针卡包括：探针、探针板、电路板和调幅结构，所述的探针被固定设置在探针板上，探针的一端连接至电路板，探针的另一端被夹持在调幅结构上。

[0039] 一种用于调幅探针卡的缓冲结构的蓄力组件，为限位气缸蓄力组件，包括：缓冲筒、活塞块、活塞块顶杆、导向杆、导向杆滑筒、滑筒弹簧、滑筒推杆、滑筒锁和滑筒锁弹簧，
所述的缓冲筒为双筒结构，缓冲筒的内部滑动设置有横跨其内部双筒结构的活塞块，所述
活塞块的一侧设置有活塞块顶杆，所述缓冲筒的下端与所述活塞块顶杆对应设置有滑筒
锁，滑筒锁与缓冲筒的内壁之间设置有滑筒锁弹簧，滑筒锁的上端设置有与所述活塞块顶
杆配合的第一锁舌，滑筒锁的左端设置有延伸至所述导向杆滑筒滑动路径上的第二锁舌，
所述活塞块上还设置有导向杆，导向杆上套接有导向杆滑筒，且导向杆与导向杆滑筒之间
设置有滑筒弹簧，导向杆滑筒的下端设置有滑筒推杆。

[0040] 一种用于调幅探针卡的缓冲结构的蓄力组件，为驱动气缸蓄力组件，包括：第一齿条、第一齿轮、齿轮架、齿轮轴、涡卷弹簧、第二齿轮和第二齿条，所述第一齿条的下端与所
述第一齿轮啮合，所述第一齿轮为空心齿轮，第一齿轮转动设置在齿轮架上，第一齿轮的内
部同轴设置有齿轮轴，且第一齿轮和齿轮轴之间设置有涡卷弹簧，齿轮轴的一端伸出所述
齿轮架后与第二齿轮连接，第二齿轮与第二齿条啮合。

[0041] 一种探针卡调幅方法，包括以下步骤：

[0042] 步骤a、确定调幅宽度：将调幅结构的主辊所对应的探针数定义为基本幅度，将待检测芯片所需探针数与基本幅度做差值，得到调幅宽度；

[0043] 步骤b、确定调幅板数：从主辊至远离主辊的方向上，将调幅板上的探针数量相加得到调整宽度，直至调整宽度覆盖所述调幅宽度，参与相加的调幅板的数量为调幅板数；

[0044] 步骤c、确定调幅轴角度：通过转动调幅轴，将确定的调幅板中，最远离主辊的调幅板从其对应的偏心辊的偏心缺口内转出时，该偏心辊从初始位置转动的角度作为调幅轴角
度；

[0045] 步骤d、调幅驱动：转动调幅轴，调幅轴带动主辊和偏心辊转动，其中主辊对应的调幅板固定不动，该调幅板上的探针位于检测位置，其中偏心辊上对应的调幅板从其对应的
偏心辊的偏心缺口内转出，在偏心辊的推挤下，向下运动；

[0046] 步骤e探针变形：调幅板向下运动，带动探针的探针头向下运动，探针中的固定导线固定，连接探针头和固定导线的弯曲导线发生弹性变形，探针从准备位置向下移动至检
测位置，从而将探针卡的基本幅度向侧面增加至调幅宽度。

[0047] 进一步地，所述偏心辊对应的调幅板上固定有多个探针，在确定调幅板数时，将调幅板对应的一组探针数进行相加，直至调整宽度不小于调幅宽度。

[0048] 进一步地，在转动调幅轴时，通过转动调整轮带动调幅轴转动，同时通过连接在调整轮和调幅轴之间的减速结构进行减速。

[0049] 进一步地，使用一种调幅探针卡进行调幅，该调幅探针卡包括探针、探针板、电路板和调幅结构，所述的探针被固定设置在探针板上，探针的一端连接至电路板，探针的另一
端被夹持在调幅结构上。

[0050] 进一步地，所述的探针包括：探针头、弯曲导线和固定导线，所述探针头的一端为用于检测的圆形探头，探针头的中部被夹持在调幅结构上，探针头的另一端与弯曲导线的
一端连接，该弯曲导线的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线的另一端与固定导线的一端
连接，固定导线的中间被固定在探针板上，固定导线的另一端与电路板连接；

[0051] 所述的调幅结构包括：固定板、调幅板、调幅连接板、簧片、调幅夹板、调幅轴、主辊和偏心辊，所述的固定板与电路板固定连接，所述的调幅板上端固定连接在调幅连接板上，
调幅板的下端垂直依次穿过固定板、电路板和探针板后与探针固定连接，所述调幅连接板
的下端与固定板之间设置有簧片，调幅连接板的侧面通过调幅夹板夹持，构成垂直于固定
板方向的滑动结构，所述调幅连接板的上方设置有调幅轴，调幅轴上设置有主辊和偏心辊；

[0052] 多个所述的调幅连接板沿所述的探针设置，其中一个所述的调幅连接板与一个主辊对应设置，剩余的调幅连接板均与一个偏心辊对应设置；

[0053] 所述主辊为同轴设置在调幅轴上的圆辊，所述偏心辊内部设置有一个虚拟圆，偏心辊的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊沿着从主辊至远离主辊的方
向，偏心辊上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐。

[0054] 本发明的有益效果为：

[0055] 1、本发明的调幅探针卡，在探针上设置弯曲导线，使探针具有纵向的弹性形变，在探针头上设置调幅板，调幅板由偏心辊进行驱动，能够实现，偏心辊推动调幅板上下运动，
进而带动探针发生形变，使探针的探针头从检测位置移动至准备位置，或从准备位置移动
至检测位置，进而对处于检测位置的探针数量进行调整，进而使单个探针卡的检测幅度能
够进行调整，使探针卡具有通用性。

[0056] 2、本发明调幅探针卡的驱动结构，包括用于驱动调幅的驱动气缸，和用于限位的限位气缸，限位气缸设置在驱动气缸伸出端的行程内，使驱动气缸在驱动调幅时，具有多个
档位，每个档位均与调幅探针卡的偏心辊对应，在实现自动调幅的同时，能够对调幅后的探
针进行固定，并且，不会产生电磁干扰。

[0057] 3、本发明调幅探针卡的缓冲结构，通过缓冲托板和缓冲垫，将驱动气缸和限位气缸与探针卡隔离，减小震动，同时将驱动气缸与驱动滑块、限位气缸与限位滑块之间设置缓
冲结构，减小气缸伸出时产生的震动。

[0058] 4、本发明的探针卡调幅方法，包括步骤：确定调幅宽度、驱动调幅板数、确定调幅轴角度、调幅驱动和探针变形，能够使探针卡根据待检测的触点数调整参与检测的探针数
量，进而实现探针卡的调幅，使单个探针卡的检测幅度能够进行调整，使探针卡具有通用
性。

附图说明

[0059] 图1为一种调幅探针卡的整体结构示意图；

[0060] 图2为一种调幅探针卡的侧面结构示意图；

[0061] 图3为图1中的调幅轴的结构示意图；

[0062] 图4为图3偏心辊的结构示意图；

[0063] 图5为探针板的结构示意图；

[0064] 图6为驱动结构的结构示意图；

[0065] 图7为图6的侧面结构示意图；

[0066] 图8为缓冲结构的结构示意图；

[0067] 图9为图8中的缓冲筒内部的结构示意图；

[0068] 图10为图8中的涡卷结构的结构示意图；

[0069] 图11为涡卷结构的原理示意图；

[0070] 图中：1包括探针；2探针板；3电路板；4调幅结构；5减速结构；6驱动结构；1‑1探针头；1‑2弯曲导线；1‑3固定导线；2‑1板体；2‑2探针槽；2‑3压板槽；2‑4压板；4‑1固定板；4‑2
调幅板；4‑3调幅连接板；4‑4簧片；4‑5调幅夹板；4‑6调幅轴；4‑7主辊；4‑8偏心辊；5‑1减速
框架；5‑2减速齿轮；5‑3调整轮；6‑1驱动气缸；6‑2限位气缸；6‑3驱动气缸滑块；6‑4驱动气
缸滑道；6‑5限位气缸滑块；6‑6限位气缸滑道；6‑7驱动结构固定板；6‑8齿条滑块；6‑9齿条
滑道；6‑10齿条连接块；6‑11限位接触块；6‑12驱动齿条；7‑1缓冲托板；7‑2缓冲垫；7‑3立
板；7‑4缓冲筒；7‑5活塞块；7‑6活塞块顶杆；7‑7导向杆；7‑8导向杆滑筒；7‑9滑筒弹簧；7‑10
滑筒推杆；7‑11滑筒锁；7‑12滑筒锁弹簧；7‑13第一齿条；7‑14第一齿轮；7‑15齿轮架；7‑16
齿轮轴；7‑17涡卷弹簧；7‑18第二齿轮；7‑19第二齿条。

具体实施方式

[0071] 以下将结合附图，对本发明进行详细说明：

[0072] 实施例一

[0073] 本实施例是一种调幅探针卡的实施例。

[0074] 结合图1所示，一种调幅探针卡，包括探针1、探针板2、电路板3和调幅结构4，所述的探针1被固定设置在探针板2上，探针1的一端连接至电路板3，探针1的另一端被夹持在调
幅结构4上，由探针1的端部与半导体器件的触点接触，电信号通过探针1传递至电路板3，并
由电路板3传导至测试仪进行检测，调幅结构4与探针1检测端连接，在调幅结构4对探针1的
高度进行调整时，能够使不同数量的探针1位于位置更低的检测位置，并参与检测，其余的
探针1处于位置更高的准备位置，不参与检测，由于通过调幅结构4对参与检测的探针1的数
量进行调整，能够实现整体探针的检测幅度改变，进而实现探针卡的调幅，使单个探针卡具
有通用性。

[0075] 结合图1所示，所述的探针1包括：探针头1‑1、弯曲导线1‑2和固定导线1‑3，所述探针头1‑1的一端为用于检测的圆形探头，探针头1‑1的中部被夹持在调幅结构4上，探针头1‑
1的另一端与弯曲导线1‑2的一端连接，实施例中示出了一个呈V字形的探针头1‑1，然而，应
当理解为，探针头1‑1可以为直角、圆弧形，以使探针头1‑1的前端处于下方位置，便于与触
点接触，探针头1‑1的后端被固定在调幅结构4上，以使探针头1‑1的后端在随着调幅结构4
上下运动时，能够带动探针头1‑1的前端上下运动，改变探针头1‑1前端的高度。

[0076] 弯曲导线1‑2的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线1‑2的另一端与固定导线1‑3的一端连接，探针头1‑1的后端被连接在弯曲导线1‑2上，实施例中示出了一个呈S形设置的
弯曲导线1‑2，然而，应当理解为，弯曲导线1‑2可以被设置成螺旋、折线形，以使弯曲导线1‑
2具有高度方向上的弹性变形能力，使探针头1‑1上下运动时，保持电性连接，并具有反复弹
性变形的能力。

[0077] 固定导线1‑3的中间被固定在探针板2上，固定导线1‑3的另一端与电路板3连接。

[0078] 结合图1和图2所示，所述的调幅结构4包括：固定板4‑1、调幅板4‑2、调幅连接板4‑3、簧片4‑4、调幅夹板4‑5、调幅轴4‑6、主辊4‑7和偏心辊4‑8，所述的固定板4‑1与电路板3固
定连接，所述的调幅板4‑2上端固定连接在调幅连接板4‑3上，调幅板4‑2的下端垂直依次穿
过固定板4‑1、电路板3和探针板2后与探针1固定连接，所述调幅连接板4‑3的下端与固定板
4‑1之间设置有簧片4‑4，调幅连接板4‑3的侧面通过调幅夹板4‑5夹持，构成垂直于固定板
4‑1方向的滑动结构，所述调幅连接板4‑3的上方设置有调幅轴4‑6，调幅轴4‑6上设置有主
辊4‑7和偏心辊4‑8；调幅夹板4‑5通过纵向的滑道结构与调幅连接板4‑3连接，对调幅连接
板4‑3进行夹持并限位，使调幅连接板4‑3能够沿纵向滑动，进而使调幅板4‑2能够进行纵向
滑动，带动探针头1‑1移动，在调幅连接板4‑3与固定板4‑1之间设置的簧片4‑4对调幅连接
板4‑3施加向上的推力，使调幅连接板4‑3在保持在上方位置，进而使调幅板4‑2连接的探针
头1‑1处于上方的待检测位置，调幅轴4‑6被转动的连接在固定板4‑1上，调幅轴4‑6上的主
辊4‑7和偏心辊4‑8均与其对应的调幅连接板4‑3的上端接触，能够实现，通过对偏心辊4‑8
的偏心设置，能够实现转动调幅轴4‑6时，由偏心辊4‑8向下推挤调幅连接板4‑3，使调幅板
4‑2带动探针头1‑1向下运动至下方的检测位置。

[0079] 结合图2所示，多个所述的调幅连接板4‑3沿所述的探针1设置，其中一个所述的调幅连接板4‑3与一个主辊4‑7对应设置，剩余的调幅连接板4‑3均与一个偏心辊4‑8对应设
置；实施例中，示出了主辊4‑7的两侧均设置三个偏心辊4‑8的布置方式，每个调幅连接板4‑
2上均固定有多个探针1，应理解为，主辊4‑7的可以采用单侧设置偏心辊4‑8的布置方式，主
辊4‑7的侧面可以设置多个偏心辊4‑8，每个偏心辊4‑8对应的调幅板4‑2上可以固定单个或
多个探针头1‑1。

[0080] 结合图3所示，所述主辊4‑7为同轴设置在调幅轴4‑6上的圆辊，偏心辊4‑8上设置有偏心缺口，主辊4‑7在转动时，与主辊4‑7对应的调幅连接板4‑3的高度不变，使主辊4‑7对
应的调幅板4‑2上对应的探针头1‑1始终保持在下方的检测位置上，作为探针卡的基本幅
度；主辊4‑7转动前，偏心辊4‑8对应的调幅连接板4‑3嵌入该偏心辊4‑8的偏心缺口内，贴合
在偏心缺口内的调幅连接板4‑3，使对应的调幅板4‑2带动对应的探针头1‑1处于较高的待
检测位置，在主辊4‑7转动时，偏心辊4‑7转动，位于偏心缺口内的调幅连接板4‑3从偏心缺
口内转出，偏心辊4‑8向下推挤对应的调幅连接板4‑3，调幅连接板4‑3对应的调幅板4‑2带
动，调幅板4‑2对应的探针头1‑1从待检测位置向下移动至检测位置。

[0081] 结合图3和图4所示，所述偏心辊4‑8内部设置有一个虚拟圆，偏心辊4‑8的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊4‑8沿着从主辊4‑7至远离主辊4‑7的方向，
偏心辊4‑8上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐，结合图4所示，偏心辊4‑8
沿着从主辊4‑7至远离主辊4‑7的方向上，偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口在圆周方向
上具有相同的起点，使调幅轴4‑6转动时，多个偏心辊4‑8下方的调幅连接板4‑3能够沿着从
主辊4‑7至远离主辊4‑7的方向上，依次转出偏心缺口，使调幅过程连续。

[0082] 具体地，结合图5所示，所述探针板2包括：板体2‑1、探针槽2‑2、压板槽2‑3和压板2‑4，所述板体2‑1上设置有若干容纳探针1的探针槽2‑2，所述压板槽2‑3横穿探针槽2‑2设
置，所述压板2‑4设置在压板槽2‑3内，压板2‑4与板体2‑1固定连接。板体2‑1上被设置成具
有多条安装探针1的探针槽2‑2，压板槽2‑3将探针槽2‑2分隔为前后两部分，其中前面的部
分用于容纳探针1的弯曲导线1‑2，该前面的部分被设置成，弯曲导线1‑2的下端，能够从探
针槽2‑2内露出，后面的部分用于与电路板3进行连接，位于压板槽2‑3内的探针1被压板2‑4
压持固定。

[0083] 具体地，所述探针槽2‑2的底部和压板2‑4的底部均设置有用于卡嵌探针1的豁口。

[0084] 具体地，还包括减速结构5，减速结构5设置在固定板4‑1上，且减速结构5与调幅轴4‑6连接。

[0085] 具体地，所述减速结构5包括：减速框架5‑1、减速齿轮5‑2和调整轮5‑3，所述减速框架5‑1固定设在固定板4‑1上，减速框架5‑1内部设置有若干减速齿轮5‑2，所述的调整轮
5‑3设在减速框架5‑1外侧，且调整轮5‑3通过减速齿轮5‑2与调幅轴4‑6连接，在转动调整轮
5‑3时，转动经过减速齿轮5‑2的减速后，驱动调幅轴4‑6转动，便于控制调幅轴4‑6转动的角
度。

[0086] 具体地，还包括驱动结构6，驱动结构6设置在探针卡的上方，驱动结构6包括驱动气缸6‑1和限位气缸6‑2，所述驱动气缸6‑1用于驱动所述的调幅结构4，多个所述的限位气
缸6‑2依次设置在所述驱动气缸6‑1的行程上，用于对驱动气缸6‑1的行程进行限位，通过气
缸驱动，避免产生电磁干扰，多个设置在驱动气缸6‑1行程上的限位气缸6‑2使，驱动气缸6‑
1的行程上具有多个档位，使其与多个偏心辊4‑8形成的档位对应，便于驱动的控制。

[0087] 具体地，所述驱动结构6上还设置有缓冲结构。

[0088] 实施例二

[0089] 本实施例是一种用于调幅探针卡的驱动结构的实施例。

[0090] 本实施例公开的一种用于调幅探针卡的驱动结构，所述驱动结构应用在实施例一公开的一种调幅探针卡上。

[0091] 结合图6和图7所示，所述驱动结构6设置在探针卡的上方，驱动结构6包括驱动气缸6‑1和限位气缸6‑2，所述驱动气缸6‑1用于驱动所述的调幅结构4，多个所述的限位气缸
6‑2依次设置在所述驱动气缸6‑1的行程上，用于对驱动气缸6‑1的行程进行限位。

[0092] 本实施例中，驱动气缸6‑1的行程与调幅探针卡的调幅轴4‑6转动的角度对应，结合图3和图4所示，调幅轴4‑6转动一周的弧度值按照主辊4‑7加上一侧的偏心辊4‑8的数量
做分隔，分隔后的弧度被分配给一个偏心辊4‑8，以使调幅轴4‑6转动的弧度跨域分隔时，一
个偏心辊4‑8对应的偏心缺口内的调幅板4‑2下移，使对应的探针向下方移动至检测位置，
形成与调幅轴4‑6转动角度对应的档位，该档位通过设置限位气缸6‑2对驱动气缸6‑1的限
位位置，而得到对应。

[0093] 所述驱动结构还包括：驱动气缸滑块6‑3、驱动气缸滑道6‑4、限位气缸滑块6‑5、限位气缸滑道6‑6、驱动结构固定板6‑7、齿条滑块6‑8、齿条滑道6‑9、齿条连接块6‑10、限位接
触块6‑11和驱动齿条6‑12，所述驱动结构固定板6‑7的一端向下弯折，向下弯折的边缘固定
连接在所述探针卡上，驱动结构固定板6‑7的表面纵向设置有驱动气缸6‑1，驱动气缸6‑1的
伸出端与驱动气缸滑块6‑3连接，该驱动气缸滑块6‑3滑动设置在驱动气缸滑道6‑4内，且该
驱动气缸滑块6‑3上具有向两侧延伸的伸出端，一侧的伸出端延伸至所述驱动气缸滑道6‑4
外侧后构成齿条连接块6‑10，另一侧的伸出端延伸至所述驱动气缸滑道6‑4外侧后构成限
位接触块6‑11。

[0094] 结合图6所示，由驱动气缸6‑2将处于不同行程处的限位气缸 滑块6‑5推动至限位气缸滑道6‑6的右端，在驱动气缸6‑1推动驱动气缸滑块6‑3向下运动时，驱动气缸滑块6‑3
在驱动气缸滑道6‑4内滑动，并带动侧面的细微接触块6‑11向下运动，直至，限位接触块6‑
11与限位气缸滑块6‑5接触，对驱动气缸6‑1的行程进行限位，实现对调幅轴4‑6转动角度的
限位，进而对位于检测位置的探针1的数量进行控制。

[0095] 所述的齿条连接块6‑10与齿条滑块6‑8固定连接，齿条滑块6‑8与驱动齿条6‑12固定连接，且齿条滑块6‑8的两侧嵌入所述的齿条滑道6‑10内，所述的驱动齿条6‑12与调幅结
构4的调整轮5‑3啮合，多个所述的限位气缸6‑2沿所述的驱动气缸滑道6‑4间隔设置，每个
所述的限位气缸6‑2的伸出端均连接有一个限位气缸滑块6‑5，每个限位气缸滑块6‑5均滑
动连接在一个限位气缸滑道6‑6上，在所述限位气缸6‑2完全伸出后，与该限位气缸6‑2连接
的限位气缸滑块6‑5能够滑动至所述限位接触块6‑11的滑动路径上。

[0096] 驱动气缸6‑1的伸出端推动驱动气缸滑块6‑3移动，带动驱动齿条6‑12移动，使与驱动齿条6‑12啮合的调整轮5‑3转动，进而带动调幅轴4‑6转动。

[0097] 在实现了调幅探针卡自动调幅的同时，避免产生电磁干扰，调幅结构具有多个档位，档位能够与调幅结构4形成的档位对应。

[0098] 具体地，应用在一种调幅探针卡上，调幅探针卡包括探针1、探针板2、电路板3和调幅结构4，所述的探针1被固定设置在探针板2上，探针1的一端连接至电路板3，探针1的另一
端被夹持在调幅结构4上。

[0099] 具体地，所述的调幅结构4包括：固定板4‑1、调幅板4‑2、调幅连接板4‑3、簧片4‑4、调幅夹板4‑5、调幅轴4‑6、主辊4‑7和偏心辊4‑8，所述的固定板4‑1与电路板3固定连接，所
述的调幅板4‑2上端固定连接在调幅连接板4‑3上，调幅板4‑2的下端垂直依次穿过固定板
4‑1、电路板3和探针板2后与探针1固定连接，所述调幅连接板4‑3的下端与固定板4‑1之间
设置有簧片4‑4，调幅连接板4‑3的侧面通过调幅夹板4‑5夹持，构成垂直于固定板4‑1方向
的滑动结构，所述调幅连接板4‑3的上方设置有调幅轴4‑6，调幅轴4‑6上设置有主辊4‑7和
偏心辊4‑8；

[0100] 多个所述的调幅连接板4‑3沿所述的探针1设置，其中一个所述的调幅连接板4‑3与一个主辊4‑7对应设置，剩余的调幅连接板4‑3均与一个偏心辊4‑8对应设置；

[0101] 所述主辊4‑7为同轴设置在调幅轴4‑6上的圆辊，所述偏心辊4‑8内部设置有一个虚拟圆，偏心辊4‑8的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊4‑8沿着从主
辊4‑7至远离主辊4‑7的方向，偏心辊4‑8上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对
齐。

[0102] 具体地，所述的限位气缸6‑2的数量与所述主辊4‑7一侧的偏心辊4‑8数量相同并对应，并且在驱动气缸6‑1伸出至限位气缸6‑2的限位行程后，该限位气缸6‑2对应的偏心辊
4‑8下方的调幅连接板4‑3从该偏心辊4‑8的偏心缺口内转出。

[0103] 具体地，其特征在于，所述驱动结构6上还设置有缓冲结构。

[0104] 实施例三

[0105] 本实施例是一种用于调幅探针卡的缓冲结构的实施例。

[0106] 本实施例公开的一种用于调幅探针卡的缓冲结构，应用在实施例二公开的一种用于调幅探针卡的驱动结构上，能够减小驱动结构产生的震动。

[0107] 结合图8所示，设置在驱动结构6上，驱动结构6包括：驱动气缸6‑1、限位气缸6‑2、驱动气缸滑块6‑3和限位气缸滑块6‑5，缓冲结构串接在气缸与滑块之间，将气缸的震动与
滑块之间断开，在将震动滤除后，不影响对滑块的推动。

[0108] 所述缓冲结构包括：缓冲托板7‑1和缓冲垫7‑2，所述缓冲托板7‑1上设置有若干个缓冲垫7‑2，所述的驱动气缸6‑1和限位气缸6‑2均设置在所述的缓冲垫7‑2上；缓冲托板7‑1
作为承载的板体，通过缓冲垫7‑2减小气缸产生的震动。

[0109] 所述缓冲结构还包括：立板7‑3、缓冲筒7‑4、活塞块7‑5、活塞块顶杆7‑6、导向杆7‑7、导向杆滑筒7‑8、滑筒弹簧7‑9、滑筒推杆7‑10、滑筒锁7‑11和滑筒锁弹簧7‑12。

[0110] 所述的立板7‑3固定设在缓冲托板7‑1上，立板7‑3的一端与缓冲筒7‑4的上端固定连接，立板7‑3固定的缓冲筒7‑4用于连接限位气缸6‑2和限位气缸滑块6‑5，并吸收限位气
缸6‑2产生的震动。

[0111] 结合图9所示，缓冲筒7‑4为双筒结构，缓冲筒7‑4的内部滑动设置有横跨其内部双筒结构的活塞块7‑5，所述的限位气缸6‑2的伸出端穿过所述立板7‑3并进入所述缓冲筒7‑4
的一个筒体后与活塞块7‑5连接，所述活塞块7‑5的一侧设置有活塞块顶杆7‑6，所述缓冲筒
7‑4的下端与所述活塞块顶杆7‑6对应设置有滑筒锁7‑11，滑筒锁7‑11与缓冲筒7‑4的内壁
之间设置有滑筒锁弹簧7‑12，滑筒锁7‑11的上端设置有与所述活塞块顶杆7‑6配合的第一
锁舌，滑筒锁7‑11的左端设置有延伸至所述导向杆滑筒7‑8滑动路径上的第二锁舌，在限位
气缸6‑2的伸出端推动活塞块7‑5向下滑动，直至活塞块7‑5滑动至缓冲筒7‑4内部的滑槽结
构底部时，活塞块顶杆7‑6能够与滑筒锁7‑11的第一锁舌接触，进而向右推动滑筒锁7‑11，
使滑筒锁7‑11的第二锁舌与导向杆滑筒7‑8分离，解除对导向杆滑筒7‑8的锁定。

[0112] 所述活塞块7‑5上还设置有导向杆7‑7，导向杆7‑7上套接有导向杆滑筒7‑8，且导向杆7‑7与导向杆滑筒7‑8之间设置有滑筒弹簧7‑9，导向杆滑筒7‑8的下端设置有滑筒推杆
7‑10，滑筒推杆7‑10与所述限位气缸滑块6‑5连接；滑筒弹簧7‑9使导向杆7‑7与导向杆滑筒
7‑8保持连接，在限位气缸6‑2的伸出端向下运动时，滑筒弹簧7‑9被压缩，吸收限位气缸6‑2
产生的冲击，在滑筒锁7‑11的第二锁舌与导向杆滑筒7‑8分离后，滑筒弹簧7‑9向下推动导
向杆滑筒7‑8，使滑筒推杆7‑10推动限位气缸滑块6‑5滑动，在限位气缸6‑2的伸出端向上运
动时，滑筒弹簧7‑9向上拉动导向杆滑筒7‑8，直至导向杆滑筒7‑8的下端滑过滑筒锁7‑11的
第二锁舌，并再次被锁定。

[0113] 在本实施例中，滑筒推杆7‑10的下端转动连接有一根推杆连杆，该推杆连杆的两端分别转动连接在滑筒推杆7‑10和限位气缸滑块6‑5上，以使限位气缸6‑2的布置能够相对
限位气缸滑块6‑5的角度改变，便于限位气缸6‑5的布置。

[0114] 缓冲筒7‑4将限位气缸6‑2与限位气缸滑块6‑5之间的刚性连接，直接驱动的方式，改变为，限位气缸6‑2伸出，滑筒弹簧7‑9蓄力，限位气缸6‑2停止，滑筒弹簧7‑9释放蓄力，推
动限位气缸滑块6‑5的过程，通过滑筒弹簧7‑9的蓄力，吸收了限位气缸6‑2伸出产生的震
动，同时保证了推动限位气缸滑块6‑5的过程。

[0115] 所述缓冲结构还包括：第一齿条7‑13、第一齿轮7‑14、齿轮架7‑15、齿轮轴7‑16、涡卷弹簧7‑17、第二齿轮7‑18和第二齿条19。

[0116] 由涡卷弹簧7‑17为核心构成的涡卷结构，将驱动气缸6‑1与驱动气缸滑块6‑3之间的刚性连接，直接驱动的方式，改变为，驱动气缸6‑1伸出，涡卷弹簧7‑17蓄力，驱动气缸6‑1
停止，涡卷弹簧7‑17释放蓄力，推动驱动气缸滑块6‑3的过程，通过涡卷弹簧7‑17的蓄力，吸
收了驱动气缸6‑1伸出产生的震动，同时保证了推动驱动气缸滑块6‑3的过程。

[0117] 结合图10和图11所示，所述第一齿条7‑13的上端与所述驱动气缸6‑1的伸出端连接，第一齿条7‑13的下端与所述第一齿轮7‑14啮合，所述第一齿轮7‑14为空心齿轮，第一齿
轮7‑14转动设置在齿轮架7‑15上，第一齿轮7‑14的内部同轴设置有齿轮轴7‑16，且第一齿
轮7‑14和齿轮轴7‑16之间设置有涡卷弹簧7‑17，齿轮轴7‑16的一端伸出所述齿轮架7‑15后
与第二齿轮7‑18连接，第二齿轮7‑18与第二齿条19啮合，第二齿条7‑19的下端与所述驱动
气缸滑块6‑3连接。

[0118] 在驱动气缸6‑1的伸出端向下推动第一齿条7‑13时，涡卷弹簧7‑17蓄力，并使齿轮轴7‑16转动，将将驱动气缸6‑1与驱动气缸滑块6‑3之间的刚性连接，转变为具有涡卷弹簧
7‑17缓冲的连接，减小驱动气缸6‑1的冲击产生的震动。

[0119] 具体地，所述驱动气缸6‑1与所述第一齿条7‑13、所述限位气缸6‑2与所述活塞块7‑5之间，均采用允许径向活动的活动连接。

[0120] 具体地，结合图9所示，所述驱动气缸6‑1的伸出端固定连接有驱动气缸插接片，所述第一齿条7‑13上与驱动气缸插接片对应设置有驱动气缸插接槽，所述驱动气缸插接槽为
具有供所述驱动气缸插接片活动的余量的槽口。

[0121] 具体地，所述限位气缸6‑2的伸出端固定连接有限位气缸插接片，所述活塞块7‑5上与限位气缸插接片对应设置有限位气缸插接槽，所述限位气缸插接槽为具有供所述限位
气缸插接片活动的余量的槽口。

[0122] 插接槽与插接片之间留有余量，在保证径向连接的同时，能够吸收由气缸产生的径向震动位移。

[0123] 具体地，所述驱动结构6还包括：驱动气缸滑道6‑4、限位气缸滑道6‑6、驱动结构固定板6‑7、齿条滑块6‑8、齿条滑道6‑9、齿条连接块6‑10、限位接触块6‑11和驱动齿条6‑12。

[0124] 具体地，所述调幅探针卡包括：探针1、探针板2、电路板3和调幅结构4，所述的探针1被固定设置在探针板2上，探针1的一端连接至电路板3，探针1的另一端被夹持在调幅结构
4上。

[0125] 实施例四

[0126] 本实施例是一种用于调幅探针卡的缓冲结构的蓄力组件的实施例。

[0127] 本实施例公开的一种用于调幅探针卡的缓冲结构的蓄力组件，为限位气缸蓄力组件，应用在实施例二公开的一种用于调幅探针卡的驱动结构上，具体连接在限位气缸6‑2与
限位气缸滑块6‑5之间，用于蓄力缓冲。

[0128] 限位气缸蓄力组件包括：立板7‑3、缓冲筒7‑4、活塞块7‑5、活塞块顶杆7‑6、导向杆7‑7、导向杆滑筒7‑8、滑筒弹簧7‑9、滑筒推杆7‑10、滑筒锁7‑11和滑筒锁弹簧7‑12。

[0129] 所述的立板7‑3固定设在缓冲托板7‑1上，立板7‑3的一端与缓冲筒7‑4的上端固定连接，立板7‑3固定的缓冲筒7‑4用于连接限位气缸6‑2和限位气缸滑块6‑5，并吸收限位气
缸6‑2产生的震动。

[0130] 结合图9所示，缓冲筒7‑4为双筒结构，缓冲筒7‑4的内部滑动设置有横跨其内部双筒结构的活塞块7‑5，所述的限位气缸6‑2的伸出端穿过所述立板7‑3并进入所述缓冲筒7‑4
的一个筒体后与活塞块7‑5连接，所述活塞块7‑5的一侧设置有活塞块顶杆7‑6，所述缓冲筒
7‑4的下端与所述活塞块顶杆7‑6对应设置有滑筒锁7‑11，滑筒锁7‑11与缓冲筒7‑4的内壁
之间设置有滑筒锁弹簧7‑12，滑筒锁7‑11的上端设置有与所述活塞块顶杆7‑6配合的第一
锁舌，滑筒锁7‑11的左端设置有延伸至所述导向杆滑筒7‑8滑动路径上的第二锁舌，在限位
气缸6‑2的伸出端推动活塞块7‑5向下滑动，直至活塞块7‑5滑动至缓冲筒7‑4内部的滑槽结
构底部时，活塞块顶杆7‑6能够与滑筒锁7‑11的第一锁舌接触，进而向右推动滑筒锁7‑11，
使滑筒锁7‑11的第二锁舌与导向杆滑筒7‑8分离，解除对导向杆滑筒7‑8的锁定。

[0131] 所述活塞块7‑5上还设置有导向杆7‑7，导向杆7‑7上套接有导向杆滑筒7‑8，且导向杆7‑7与导向杆滑筒7‑8之间设置有滑筒弹簧7‑9，导向杆滑筒7‑8的下端设置有滑筒推杆
7‑10，滑筒推杆7‑10与所述限位气缸滑块6‑5连接；滑筒弹簧7‑9使导向杆7‑7与导向杆滑筒
7‑8保持连接，在限位气缸6‑2的伸出端向下运动时，滑筒弹簧7‑9被压缩，吸收限位气缸6‑2
产生的冲击，在滑筒锁7‑11的第二锁舌与导向杆滑筒7‑8分离后，滑筒弹簧7‑9向下推动导
向杆滑筒7‑8，使滑筒推杆7‑10推动限位气缸滑块6‑5滑动，在限位气缸6‑2的伸出端向上运
动时，滑筒弹簧7‑9向上拉动导向杆滑筒7‑8，直至导向杆滑筒7‑8的下端滑过滑筒锁7‑11的
第二锁舌，并再次被锁定。

[0132] 在本实施例中，滑筒推杆7‑10的下端转动连接有一根推杆连杆，该推杆连杆的两端分别转动连接在滑筒推杆7‑10和限位气缸滑块6‑5上，以使限位气缸6‑2的布置能够相对
限位气缸滑块6‑5的角度改变，便于限位气缸6‑5的布置。

[0133] 缓冲筒7‑4将限位气缸6‑2与限位气缸滑块6‑5之间的刚性连接，直接驱动的方式，改变为，限位气缸6‑2伸出，滑筒弹簧7‑9蓄力，限位气缸6‑2停止，滑筒弹簧7‑9释放蓄力，推
动限位气缸滑块6‑5的过程，通过滑筒弹簧7‑9的蓄力，吸收了限位气缸6‑2伸出产生的震
动，同时保证了推动限位气缸滑块6‑5的过程。

[0134] 实施例五

[0135] 本实施例是一种用于调幅探针卡的缓冲结构的蓄力组件的实施例。

[0136] 本实施例公开的一种用于调幅探针卡的缓冲结构的蓄力组件，为驱动气缸蓄力组件，应用在实施例二公开的一种用于调幅探针卡的驱动结构上，具体连接在驱动气缸6‑1与
驱动气缸滑块6‑3之间，用于蓄力缓冲。

[0137] 驱动气缸蓄力组件包括：第一齿条7‑13、第一齿轮7‑14、齿轮架7‑15、齿轮轴7‑16、涡卷弹簧7‑17、第二齿轮7‑18和第二齿条19。

[0138] 由涡卷弹簧7‑17为核心构成的涡卷结构，将驱动气缸6‑1与驱动气缸滑块6‑3之间的刚性连接，直接驱动的方式，改变为，驱动气缸6‑1伸出，涡卷弹簧7‑17蓄力，驱动气缸6‑1
停止，涡卷弹簧7‑17释放蓄力，推动驱动气缸滑块6‑3的过程，通过涡卷弹簧7‑17的蓄力，吸
收了驱动气缸6‑1伸出产生的震动，同时保证了推动驱动气缸滑块6‑3的过程。

[0139] 结合图10和图11所示，所述第一齿条7‑13的上端与所述驱动气缸6‑1的伸出端连接，第一齿条7‑13的下端与所述第一齿轮7‑14啮合，所述第一齿轮7‑14为空心齿轮，第一齿
轮7‑14转动设置在齿轮架7‑15上，第一齿轮7‑14的内部同轴设置有齿轮轴7‑16，且第一齿
轮7‑14和齿轮轴7‑16之间设置有涡卷弹簧7‑17，齿轮轴7‑16的一端伸出所述齿轮架7‑15后
与第二齿轮7‑18连接，第二齿轮7‑18与第二齿条19啮合，第二齿条7‑19的下端与所述驱动
气缸滑块6‑3连接。

[0140] 在驱动气缸6‑1的伸出端向下推动第一齿条7‑13时，涡卷弹簧7‑17蓄力，并使齿轮轴7‑16转动，将将驱动气缸6‑1与驱动气缸滑块6‑3之间的刚性连接，转变为具有涡卷弹簧
7‑17缓冲的连接，减小驱动气缸6‑1的冲击产生的震动。

[0141] 实施例六

[0142] 本实施例是一种探针卡调幅方法的实施例。

[0143] 本实施例公开了一种探针卡调幅方法，该方法应用在实施例一公开的一种调幅探针卡上，能够实现探针卡的调幅，适应不同数量的触点的检测需要，使探针卡具有通用性。

[0144] 一种探针卡调幅方法，包括以下步骤：

[0145] 步骤a、确定调幅宽度：将调幅结构4的主辊4‑7所对应的探针数定义为基本幅度，将待检测芯片所需探针数与基本幅度做差值，得到调幅宽度；将探针卡预设一个基本幅度，
用于满足多数的触点检测需要，通过在基本幅度的侧面增加探针数量，来适应触点较多的
检测需要。

[0146] 步骤b、确定调幅板数：从主辊4‑7至远离主辊4‑7的方向上，将调幅板4‑2上的探针数量相加得到调整宽度，直至调整宽度覆盖所述调幅宽度，参与相加的调幅板4‑2的数量为
调幅板数；在确定了需要增加的探针数量后，将需要增加的数量，与调幅板4‑2上固定的探
针数做对比，确定需要移动的调幅板4‑2，在调幅板4‑2上固定多个探针的情况下，将需要移
动的调幅板4‑2上的探针数量相加，直至覆盖需要检测的触点数量。

[0147] 步骤c、确定调幅轴角度：通过转动调幅轴4‑6，将确定的调幅板中，最远离主辊4‑7的调幅板4‑2从其对应的偏心辊4‑8的偏心缺口内转出时，该偏心辊4‑8从初始位置转动的
角度作为调幅轴角度；调幅探针卡通过调幅轴4‑6的转动来移动调幅板4‑2，在确定了需要
移动的调幅板4‑2后，通过对应的调幅轴4‑6需要转动的角度，来确定调幅轴4‑6的转动角
度。

[0148] 步骤d、调幅驱动：转动调幅轴4‑6，调幅轴4‑6带动主辊4‑7和偏心辊4‑8转动，其中主辊4‑7对应的调幅板4‑2固定不动，该调幅板4‑2上的探针1位于检测位置，其中偏心辊4‑8
上对应的调幅板4‑2从其对应的偏心辊4‑8的偏心缺口内转出，在偏心辊4‑8的推挤下，向下
运动；调幅轴4‑6转动的角度对应了推动偏心辊4‑8的数量，根据步骤c中确定的调幅轴4‑6
的转动角度，来转动调幅轴4‑6,。

[0149] 步骤e探针变形：调幅板4‑2向下运动，带动探针1的探针头1‑1向下运动，探针1中的固定导线1‑3固定，连接探针头1‑1和固定导线1‑3的弯曲导线1‑2发生弹性变形，探针1从
准备位置向下移动至检测位置，从而将探针卡的基本幅度向侧面增加至调幅宽度。

[0150] 具体地，所述偏心辊4‑8对应的调幅板4‑2上固定有多个探针1，在确定调幅板数时，将调幅板4‑2对应的一组探针1数进行相加，直至调整宽度不小于调幅宽度。

[0151] 具体地，在转动调幅轴4‑6时，通过转动调整轮5‑3带动调幅轴4‑6转动，同时通过连接在调整轮5‑3和调幅轴4‑6之间的减速结构5进行减速。

[0152] 具体地，结合图1至图5所示，使用一种调幅探针卡进行调幅，该调幅探针卡包括探针1、探针板2、电路板3和调幅结构4，所述的探针1被固定设置在探针板2上，探针1的一端连
接至电路板3，探针1的另一端被夹持在调幅结构4上。

[0153] 具体地，所述的探针1包括：探针头1‑1、弯曲导线1‑2和固定导线1‑3，所述探针头1‑1的一端为用于检测的圆形探头，探针头1‑1的中部被夹持在调幅结构4上，探针头1‑1的
另一端与弯曲导线1‑2的一端连接，该弯曲导线1‑2的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线
1‑2的另一端与固定导线1‑3的一端连接，固定导线1‑3的中间被固定在探针板2上，固定导
线1‑3的另一端与电路板3连接；

[0154] 所述的调幅结构4包括：固定板4‑1、调幅板4‑2、调幅连接板4‑3、簧片4‑4、调幅夹板4‑5、调幅轴4‑6、主辊4‑7和偏心辊4‑8，所述的固定板4‑1与电路板3固定连接，所述的调
幅板4‑2上端固定连接在调幅连接板4‑3上，调幅板4‑2的下端垂直依次穿过固定板4‑1、电
路板3和探针板2后与探针1固定连接，所述调幅连接板4‑3的下端与固定板4‑1之间设置有
簧片4‑4，调幅连接板4‑3的侧面通过调幅夹板4‑5夹持，构成垂直于固定板4‑1方向的滑动
结构，所述调幅连接板4‑3的上方设置有调幅轴4‑6，调幅轴4‑6上设置有主辊4‑7和偏心辊
4‑8；

[0155] 多个所述的调幅连接板4‑3沿所述的探针1设置，其中一个所述的调幅连接板4‑3与一个主辊4‑7对应设置，剩余的调幅连接板4‑3均与一个偏心辊4‑8对应设置；

[0156] 所述主辊4‑7为同轴设置在调幅轴4‑6上的圆辊，所述偏心辊4‑8内部设置有一个虚拟圆，偏心辊4‑8的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊4‑8沿着从主
辊4‑7至远离主辊4‑7的方向，偏心辊4‑8上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对
齐。

[0157] 需要说明的是，在以上实施例中，只要不矛盾的技术方案，都能够进行排列组合，由于本领域的技术人员能够根据高中阶段所学习的排列组合数学知识，穷尽所有排列组合
后的结果，因此这些结果在本申请中不再一一罗列，但应理解为每一种排列组合结果都被
本申请所记载。

[0158] 还需要说明的是，以上实施例只是对本专利的示例性说明，并不限定它的保护范围，本领域技术人员还可以对其局部进行改变，只要没有超出本专利的精神实质，都在本专
利的保护范围内。