晶圆清洗的控制方法、控制装置和计算机可读存储介质转让专利
申请号 : CN202110407272.3
文献号 : CN113130356B
文献日 : 2022-02-01
发明人 : 娄汉 , 庄武斌 , 张锐
申请人 : 长江存储科技有限责任公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种晶圆清洗的控制方法,其特征在于,包括:在清洗腔内存在目标晶圆的情况下,检测是否需要清洗喷射管道;
在检测到不需要清洗所述喷射管道的情况下,控制所述喷射管道向预定区域喷射清洗液,所述预定区域为所述目标晶圆所在的区域。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在清洗腔内存在目标晶圆的情况下,检测是否需要清洗喷射管道,包括:
在所述清洗腔内存在所述目标晶圆的情况下,检测所述喷射管道的喷射间隔时间是否小于或等于第一预设时间,所述喷射间隔时间为当前时刻与所述喷射管道上一次喷射停止时刻之间的时长;
在检测到所述喷射间隔时间小于或等于所述第一预设时间的情况下,确定不需要清洗所述喷射管道。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在检测到不需要清洗所述喷射管道的情况下,控制所述喷射管道向预定区域喷射清洗液,包括:控制所述喷射管道移动至预定位置;
控制所述喷射管道在所述预定位置喷射所述清洗液,以清洗所述目标晶圆。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:在检测到所述喷射间隔时间大于所述第一预设时间的情况下,控制所述喷射管道在初始位置喷射第二预设时间后停止,以清洗所述喷射管道;
控制所述喷射管道从所述初始位置移动至预定位置;
控制所述喷射管道在所述预定位置喷射所述清洗液,以清洗所述目标晶圆。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法,其特征在于,在清洗腔内存在目标晶圆的情况下,确定是否需要清洗喷射管道之前,所述方法还包括:实时获取所述清洗腔内的感应装置的感应信息;
根据所述感应信息,确定所述清洗腔内是否存在所述目标晶圆。
6.一种晶圆清洗的控制装置,其特征在于,包括:第一检测单元,用于在清洗腔内存在目标晶圆的情况下,检测是否需要清洗喷射管道,所述喷射管道用于向所述清洗腔内喷射清洗液;
第一控制单元,用于在检测到不需要清洗所述喷射管道的情况下,控制所述喷射管道向预定区域喷射清洗液,所述预定区域为所述目标晶圆所在的区域。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述第一检测单元包括:第一检测模块,用于在所述清洗腔内存在目标晶圆的情况下,检测所述喷射管道的喷射间隔时间是否小于或等于第一预设时间,所述喷射间隔时间为当前时刻与所述喷射管道上一次喷射停止时刻之间的时长;
第一确定模块,用于在检测到所述喷射间隔时间小于或等于所述第一预设时间的情况下,确定不需要清洗所述喷射管道。
8.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质包括存储的程序,其中,所述程序执行权利要求1至5中任意一项所述的方法。
9.一种处理器,其特征在于,所述处理器用于运行程序,其中,所述程序运行时执行权利要求1至5中任意一项所述的方法。
10.一种清洗系统,其特征在于,包括:清洗设备,包括清洗腔和喷射管道;
控制装置,与所述清洗设备通信连接,所述控制装置包括控制程序,所述控制程序运行时执行权利要求1至5中任意一项所述的方法。
说明书 :
晶圆清洗的控制方法、控制装置和计算机可读存储介质
技术领域
背景技术
能和化学试剂的浪费。
在本国已知的现有技术。
发明内容
能和资源浪费的问题。
道的情况下,控制所述喷射管道向预定区域喷射清洗液,所述预定区域为所述目标晶圆所
在的区域。
或等于第一预设时间,所述喷射间隔时间为当前时刻与所述喷射管道上一次喷射停止时刻
之间的时长;在检测到所述喷射间隔时间小于所述第一预设时间的情况下,确定不需要清
洗所述喷射管道。
位置喷射所述清洗液,以清洗所述目标晶圆。
制所述喷射管道从所述初始位置移动至预定位置;控制所述喷射管道在所述预定位置喷射
所述清洗液,以清洗所述目标晶圆。
述清洗腔内是否存在所述目标晶圆。
检测是否需要清洗喷射管道,所述喷射管道用于向所述清洗腔内喷射清洗液;所述第一控
制单元用于在检测到不需要清洗所述喷射管道的情况下,控制所述喷射管道向预定区域喷
射清洗液,所述预定区域为所述目标晶圆所在的区域。
否小于或等于第一预设时间,所述喷射间隔时间为当前时刻与所述喷射管道上一次喷射停
止时刻之间的时长;所述第一确定模块用于在检测到所述喷射间隔时间小于或等于所述第
一预设时间的情况下,确定不需要清洗所述喷射管道。
所述控制装置包括控制程序,所述控制程序运行时执行任意一种所述的方法。
射管道向所述目标晶圆所在的预定区域喷射清洗液,以清洗所述目标晶圆。所述方法,在检
测到不需要清洗喷射管道的情况下,直接对目标晶圆进行清洗,在保证对目标晶圆的清洗
效果较好的同时,较好地缓解了现有技术中每片晶圆清洗前均需清洗喷射管道导致产能较
低和资源浪费的问题,从而节省了清洗液,且保证了晶圆的清洗效率较高。
附图说明
具体实施方式
本申请一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人
员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本申请保护的范
围。
的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本申请的实施例。此外,术语“包括”和“具
有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的
过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清
楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
描述有元件“连接”至另一元件时,该元件可“直接连接”至该另一元件,或者通过第三元件
“连接”至该另一元件。
控制方法、控制装置、计算机可读存储介质、处理器和清洗设备。
射管道向上述目标晶圆所在的预定区域喷射清洗液,以清洗上述目标晶圆。上述方法,在检
测到不需要清洗喷射管道的情况下,直接对目标晶圆进行清洗,在保证对目标晶圆的清洗
效果较好的同时,较好地缓解了现有技术中每片晶圆清洗前均需清洗喷射管道导致产能较
低和资源浪费的问题,从而节省了清洗液,且保证了晶圆的清洗效率较高。
包括现有技术中其他类型的清洗液,具体可以根据清洗的晶圆来确定。
的喷射间隔时间是否小于或等于第一预设时间,上述喷射间隔时间为当前时刻与上述喷射
管道上一次喷射停止时刻之间的时长;在检测到上述喷射间隔时间小于或等于上述第一预
设时间的情况下,确定不需要清洗上述喷射管道。在清洗腔内存在目标晶圆的情况下,通过
比较喷射管道的喷射间隔时间与第一预设时间,在喷射时间间隔小于或者等于第一预设时
间的情况下,确定喷射管道内基本没有结晶等污染物,此种情况下确定不需要清洗喷射管
道,这样保证了较为准确高效地确定上述喷射管道是否需要清洗。
清洗腔内存在目标晶圆的情况下,确定是否需要清洗喷射管道,包括:在清洗腔内存在目标
内晶圆的情况下,获取上述喷射管道内的图像;根据上述图像,计算上述喷射管道内的结晶
物面积;使用神经网络模型对上述图像进行分析,确定上述图像中的上述结晶物面积是否
小于面积阈值,在上述结晶物面积小于上述面积阈值的情况下,确定不需要清洗上述喷射
管道,其中,上述神经网络模型为使用多组数据通过机器学习训练出的,上述多组数据中的
每组数据包括:不同结晶物面积对应的上述喷射管道内的图像,以及不同结晶物面积对应
的上述喷射管道喷出的清洗液的成分信息。
获取上述喷射管道内的图像,在上述喷射管道喷射上述清洗液之前,控制上述摄像装置退
出上述喷射管道。
像。在上述清洗液为具有腐蚀性的清洗液的情况下,还可以给上述摄像装置设置防腐蚀的
外壳之后,再将安装了上述外壳的上述摄像装置设置在上述喷射管道内,以避免上述喷射
管道喷射的清洗液对上述摄像装置造成影响。
制上述喷射管道移动至预定位置;控制上述喷射管道在上述预定位置喷射上述清洗液,以
清洗上述目标晶圆。上述方法,在不需要清洗喷射管道的情况下,通过将上述喷射管道移动
至预定位置,并控制喷射管道在上述预定位置喷射清洗液,来对上述目标晶圆进行清洁,这
样进一步地保证了可以对目标晶圆进行较好地清洗。
即可。
止,以清洗上述喷射管道,即在上述初始位置处上述喷射管道不向上述预定区域喷射上述
清洗液;控制上述喷射管道从上述初始位置移动至预定位置;控制上述喷射管道在上述预
定位置喷射上述清洗液,以清洗上述目标晶圆。本实施例中,在检测到上述喷射间隔时间大
于上述第一预设时间的情况下,也就是在需要清洗上述喷射管道的情况下,首先控制喷射
管道在上述初始位置喷射第二预设时间,保证喷射管道内的洁净,再将喷射管道由初始位
置移动至预定位置,对目标晶圆进行清洗,这样进一步地保证了目标晶圆的清洗效果较好,
进一步地避免了目标晶圆受到污染。
以为其他的位置,只要保证上述喷射管道在上述初始位置喷射时清洗液无法到达上述预定
区域即可。
根据上述感应信息,确定上述清洗腔内是否存在上述目标晶圆。
任意合适的感应器件。
同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。
本申请实施例提供的晶圆清洗的控制装置进行介绍。
标晶圆的情况下,检测是否需要清洗喷射管道;上述第一控制单元20用于在检测到不需要
清洗上述喷射管道的情况下,控制上述喷射管道向预定区域喷射清洗液,上述预定区域为
上述目标晶圆所在的区域。
上述喷射管道的情况下,控制上述喷射管道向上述目标晶圆所在的预定区域喷射清洗液,
以清洗上述目标晶圆。上述装置,在检测到不需要清洗喷射管道的情况下,直接对目标晶圆
进行清洗,在保证对目标晶圆的清洗效果较好的同时,较好地缓解了现有技术中每片晶圆
清洗前均需清洗喷射管道导致产能较低和资源浪费的问题,从而节省了清洗液,且保证了
晶圆的清洗效率较高。
包括现有技术中其他类型的清洗液,具体可以根据清洗的晶圆来确定。
述喷射管道的喷射间隔时间是否小于或等于第一预设时间,上述喷射间隔时间为当前时刻
与上述喷射管道上一次喷射停止时刻之间的时长;上述第一确定模块用于在检测到上述喷
射间隔时间小于或等于上述第一预设时间的情况下,确定不需要清洗上述喷射管道。在清
洗腔内存在目标晶圆的情况下,通过比较喷射管道的喷射间隔时间与第一预设时间,在喷
射时间间隔小于或者等于第一预设时间的情况下,确定喷射管道内基本没有结晶等污染
物,此种情况下确定不需要清洗喷射管道,这样保证了较为准确高效地确定上述喷射管道
是否需要清洗。
述第一检测单元包括获取模块、计算模块和分析模块,其中,上述获取模块用于在清洗腔内
存在目标内晶圆的情况下,获取上述喷射管道内的图像;上述计算模块用于根据上述图像,
计算上述喷射管道内的结晶物面积;上述分析模块用于使用神经网络模型对上述图像进行
分析,确定上述图像中的上述结晶物面积是否小于面积阈值,在上述结晶物面积小于上述
面积阈值的情况下,确定不需要清洗上述喷射管道,其中,上述神经网络模型为使用多组数
据通过机器学习训练出的,上述多组数据中的每组数据包括:不同结晶物面积对应的上述
喷射管道内的图像,以及不同结晶物面积对应的上述喷射管道喷出的清洗液的成分信息。
获取上述喷射管道内的图像,在上述喷射管道喷射上述清洗液之前,控制上述摄像装置退
出上述喷射管道。
像。在上述清洗液为具有腐蚀性的清洗液的情况下,还可以给上述摄像装置设置防腐蚀的
外壳之后,再将安装了上述外壳的上述摄像装置设置在上述喷射管道内,以避免上述喷射
管道喷射的清洗液对上述摄像装置造成影响。
射管道移动至预定位置;上述第二控制模块用于控制上述喷射管道在上述预定位置喷射上
述清洗液,以清洗上述目标晶圆。上述装置,在不需要清洗喷射管道的情况下,通过将上述
喷射管道移动至预定位置,并控制喷射管道在上述预定位置喷射清洗液,来对上述目标晶
圆进行清洁,这样进一步地保证了可以对目标晶圆进行较好地清洗。
即可。
一预设时间的情况下,控制上述喷射管道在初始位置喷射第二预设时间后停止,以清洗上
述喷射管道,即在上述初始位置处上述喷射管道不向上述预定区域喷射上述清洗液;上述
第三控制单元用于控制上述喷射管道从上述初始位置移动至预定位置;上述第四控制单元
用于控制上述喷射管道在上述预定位置喷射上述清洗液,以清洗上述目标晶圆。本实施例
中,在检测到上述喷射间隔时间大于上述第一预设时间的情况下,也就是在需要清洗上述
喷射管道的情况下,首先控制喷射管道在上述初始位置喷射第二预设时间,保证喷射管道
内的洁净,再将喷射管道由初始位置移动至预定位置,对目标晶圆进行清洗,这样进一步地
保证了目标晶圆的清洗效果较好,进一步地避免了目标晶圆受到污染。
以为其他的位置,只要保证上述喷射管道在上述初始位置喷射时清洗液无法到达上述预定
区域即可。
前,实时获取上述清洗腔内的感应装置的感应信息;上述第二确定单元用于根据上述感应
信息,确定上述清洗腔内是否存在上述目标晶圆。
任意合适的感应器件。
来实现相应的功能。
和资源浪费的问题。
储芯片。
置40与上述清洗设备30通信连接,上述控制装置40包括控制程序,上述控制程序运行时执
行任意一种上述的方法。
程序运行时执行任意一种上述的方法。上述清洗系统在确定不需要清洗喷射管道的情况
下,直接对目标晶圆进行清洗,在保证对目标晶圆的清洗效果较好的同时,较好地缓解了现
有技术中每片晶圆清洗前均需清洗喷射管道导致产能较低和资源浪费的问题,从而节省了
清洗液,且保证了晶圆的清洗效率较高。
时。
洗设备相比现有技术,每年可以节省约186.7万的清洗剂成本。
一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或
者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互
之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口,单元或模块的间接耦合或通信连
接,可以是电性或其它的形式。
单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
元既可以采用硬件的形式实现,也可以采用软件功能单元的形式实现。
或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式
体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得一台计算机
设备(可为个人计算机、服务器或者网络设备等)执行本发明各个实施例上述方法的全部或
部分步骤。而前述的存储介质包括:U盘、只读存储器(ROM,Read‑Only Memory)、随机存取存
储器(RAM,Random Access Memory)、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的
介质。
上述喷射管道向上述目标晶圆所在的预定区域喷射清洗液,以清洗上述目标晶圆。上述方
法,在检测到不需要清洗喷射管道的情况下,直接对目标晶圆进行清洗,在保证对目标晶圆
的清洗效果较好的同时,较好地缓解了现有技术中每片晶圆清洗前均需清洗喷射管道导致
产能较低和资源浪费的问题,从而节省了清洗液,且保证了晶圆的清洗效率较高。
清洗上述喷射管道的情况下,控制上述喷射管道向上述目标晶圆所在的预定区域喷射清洗
液,以清洗上述目标晶圆。上述装置,在检测到不需要清洗喷射管道的情况下,直接对目标
晶圆进行清洗,在保证对目标晶圆的清洗效果较好的同时,较好地缓解了现有技术中每片
晶圆清洗前均需清洗喷射管道导致产能较低和资源浪费的问题,从而节省了清洗液,且保
证了晶圆的清洗效率较高。
制程序运行时执行任意一种上述的方法。上述清洗系统在确定不需要清洗喷射管道的情况
下,直接对目标晶圆进行清洗,在保证对目标晶圆的清洗效果较好的同时,较好地缓解了现
有技术中每片晶圆清洗前均需清洗喷射管道导致产能较低和资源浪费的问题,从而节省了
清洗液,且保证了晶圆的清洗效率较高。
改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。