一种半导体材料收卷装置

摘要

本发明提供了一种半导体材料收卷装置，属于半导体器件技术领域，包括支撑部、收卷部、传动部、第一驱动部以及第二驱动部，所述第一驱动部、第二驱动部以及所述收卷部均设置在所述支撑部一侧，所述第一驱动部与所述传动部相连，所述传动部远离所述第一驱动部的一端与所述收卷部活动连接，所述第一驱动部可通过所述传动部带动所述收卷部转动，以对半导体材料进行收卷，在半导体材料出现跑偏现象时，半导体材料可对所述收卷部施加侧向拉力，以驱使所述收卷部发生偏转并与所述第二驱动部接触。本发明实施例相较于现有技术，能够实现半导体材料收卷过程中的自动纠偏，为后续半导体器件的生产提供优质原材料，具有结构简单以及纠偏效果好的优点。

权利要求

1.一种半导体材料收卷装置，其特征在于，包括支撑部、收卷部、传动部、第一驱动部以及第二驱动部，

所述第一驱动部、第二驱动部以及所述收卷部均设置在所述支撑部一侧，所述第一驱动部与所述传动部相连，所述传动部远离所述第一驱动部的一端与所述收卷部活动连接，

所述第一驱动部通过所述传动部带动所述收卷部转动，以对半导体材料进行收卷，在半导体材料出现跑偏现象时，半导体材料对所述收卷部施加侧向拉力，以驱使所述收卷部发生偏转并与所述第二驱动部接触，所述第二驱动部带动所述收卷部沿垂直于半导体材料运行方向移动，

所述收卷部包括收卷辊轴以及固定设置在所述收卷辊轴两端的端头，所述收卷辊轴内部开设有通道，所述通道两端分别贯穿两组所述端头，所述通道内部穿设有定位轴，所述定位轴上滑动套设有定位球体，所述收卷辊轴内部开设有与所述定位球体相适配的球形卡槽，两组所述端头内部均开设有与所述通道连通的滑槽，所述定位轴侧壁固定设置有若干滑销，所述滑销对应延伸至所述滑槽内部，所述第一驱动部通过所述传动部与所述定位轴相连。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料收卷装置，其特征在于，所述通道的直径大于所述定位轴的直径，

所述滑槽的宽度大于所述滑销的直径，所述滑槽的高度大于所述滑销的长度。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料收卷装置，其特征在于，所述第一驱动部包括固定安装在所述支撑部一侧的第一电机以及连接在所述第一电机输出端的主动带轮，所述传动部包括转动设置在所述支撑部一侧的传动轴，所述传动轴外部固定设置有从动带轮，所述从动带轮与所述主动带轮之间通过传动带相连，所述传动轴一端与所述定位轴相连。

4.根据权利要求3所述的一种半导体材料收卷装置，其特征在于，所述传动轴一端固定设置有第二方杆，所述第二方杆远离所述传动轴的一端伸缩配合有方形柱筒，所述方形柱筒远离所述传动轴的一端固定设置有第一方杆，所述定位轴一端开设有可供所述第一方杆插入的方孔。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料收卷装置，其特征在于，所述第二驱动部包括固定安装在所述支撑部一侧的第二电机、连接在所述第二电机输出端的输出轴以及固定设置在所述输出轴远离所述第二电机一端的转轮，所述转轮对应设置在所述端头一侧。

6.根据权利要求5所述的一种半导体材料收卷装置，其特征在于，所述第二驱动部设置两组，两组第二驱动部对应的转轮分别设置在两组端头的一侧，且两组转轮的转动方向相反。

说明书

一种半导体材料收卷装置

技术领域

[0001] 本发明属于半导体器件技术领域，具体是一种半导体材料收卷装置。

背景技术

[0002] 目前，半导体器件生产时，需要对半导体柔性材料进行收卷处理，以便于半导体材料的运输以及存放。

[0003] 现有技术中，对于半导体柔性材料的收卷大多是依靠驱动机构带动收卷辊轴转动实现，即利用收卷辊轴的转动，以对半导体柔性材料卷绕在收卷辊轴上，然而在实际的收卷
过程中，受到设备制造精度以及装配精度的影响，半导体柔性材料容易发生跑偏现象，使得
半导体柔性材料的收卷不够整齐，其边缘容易形成倾斜状的凸起，使得在存放以及运输过
程中该凸起位置容易受到外力而发生卷边现象，进而导致半导体柔性材料受损，影响后续
半导体器件的生产质量。

发明内容

[0004] 针对上述现有技术的不足，本发明实施例要解决的技术问题是提供一种半导体材料收卷装置。

[0005] 为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案：

[0006] 一种半导体材料收卷装置，包括支撑部、收卷部、传动部、第一驱动部以及第二驱动部，

[0007] 所述第一驱动部、第二驱动部以及所述收卷部均设置在所述支撑部一侧，

[0008] 所述第一驱动部与所述传动部相连，所述传动部远离所述第一驱动部的一端与所述收卷部活动连接，

[0009] 所述第一驱动部可通过所述传动部带动所述收卷部转动，以对半导体材料进行收卷，

[0010] 在半导体材料出现跑偏现象时，半导体材料可对所述收卷部施加侧向拉力，以驱使所述收卷部发生偏转并与所述第二驱动部接触，所述第二驱动部可带动所述收卷部沿垂
直于半导体材料运行方向移动。

[0011] 作为本发明进一步的改进方案：所述收卷部包括收卷辊轴以及固定设置在所述收卷辊轴两端的端头，

[0012] 所述收卷辊轴内部开设有通道，所述通道两端分别贯穿两组所述端头，所述通道内部穿设有定位轴，所述定位轴上滑动套设有定位球体，所述收卷辊轴内部开设有与所述
定位球体相适配的球形卡槽，两组所述端头内部均开设有与所述通道连通的滑槽，所述定
位轴侧壁固定设置有若干滑销，所述滑销对应延伸至所述滑槽内部，所述第一驱动部通过
所述传动部与所述定位轴相连。

[0013] 作为本发明进一步的改进方案：所述通道的直径大于所述定位轴的直径，

[0014] 所述滑槽的宽度大于所述滑销的直径，所述滑槽的高度大于所述滑销的长度。

[0015] 作为本发明进一步的改进方案：所述第一驱动部包括固定安装在所述支撑部一侧的第一电机以及连接在所述第一电机输出端的主动带轮，

[0016] 所述传动部包括转动设置在所述支撑部一侧的传动轴，所述传动轴外部固定设置有从动带轮，所述从动带轮与所述主动带轮之间通过传动带相连，所述传动轴一端与所述
定位轴相连。

[0017] 作为本发明再进一步的改进方案：所述传动轴一端固定设置有第二方杆，所述第二方杆远离所述传动轴的一端伸缩配合有方形柱筒，所述方形柱筒远离所述传动轴的一端
固定设置有第一方杆，所述定位轴一端开设有可供所述第一方杆插入的方孔。

[0018] 作为本发明再进一步的改进方案：所述第二驱动部包括固定安装在所述支撑部一侧的第二电机、连接在所述第二电机输出端的输出轴以及固定设置在所述输出轴远离所述
第二电机一端的转轮，所述转轮对应设置在所述端头一侧。

[0019] 作为本发明再进一步的改进方案：所述第二驱动部设置两组，两组第二驱动部对应的转轮分别设置在两组端头的一侧，且两组转轮的转动方向相反。

[0020] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：

[0021] 本发明实施例在半导体材料收卷时，第一驱动部可通过传动部带动收卷部转动，利用收卷部将半导体材料进行收卷处理，在半导体材料正常收卷过程中，收卷部两端均匀
受力，当半导体材料在收卷过程中出现跑偏时，收卷部两端所受拉力不再均匀，半导体材料
可拉动收卷部进行适应性的偏转，而在收卷部发生偏转后其一端可与第二驱动部接触，第
二驱动部带动收卷部沿垂直于半导体材料运行方向进行移动，以改变收卷部的位置，使得
收卷部两端受力再次趋于平衡，相较于现有技术，能够实现半导体材料收卷过程中的自动
纠偏，为后续半导体器件的生产提供优质原材料，具有结构简单以及纠偏效果好的优点。

附图说明

[0022] 图1为一种半导体材料收卷装置的结构示意图；

[0023] 图2为图1中A‑A方向剖视图；

[0024] 图3为图1中收卷部的结构示意图；

[0025] 图中：1‑支撑部、11‑立板、2‑收卷部、21‑端头、22‑收卷辊轴、23‑通道、24‑定位球体、25‑定位轴、26‑滑槽、27‑方孔、3‑滑销、4‑传动部、41‑第一方杆、42‑方形柱筒、43‑第二
方杆、44‑传动轴、5‑第一驱动部、51‑从动带轮、52‑传动带、53‑主动带轮、54‑第一电机、6‑
第二驱动部、61‑第二电机、62‑输出轴、63‑定位板、64‑转轮。

具体实施方式

[0026] 下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

[0027] 下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附
图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

[0028] 在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的
方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或
元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

[0029] 在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设
置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术
语在本专利中的具体含义。

[0030] 请参阅图1，本实施例提供了一种半导体材料收卷装置，包括支撑部1、收卷部2、传动部4、第一驱动部5以及第二驱动部6，所述第一驱动部5、第二驱动部6以及所述收卷部2均
设置在所述支撑部1一侧，所述第一驱动部5与所述传动部4相连，所述传动部4远离所述第
一驱动部5的一端与所述收卷部2活动连接，所述第一驱动部5可通过所述传动部4带动所述
收卷部2转动，以对半导体材料进行收卷，在半导体材料出现跑偏现象时，半导体材料可对
所述收卷部2施加侧向拉力，以驱使所述收卷部2发生偏转并与所述第二驱动部6接触，所述
第二驱动部6可带动所述收卷部2沿垂直于半导体材料运行方向移动。

[0031] 在半导体材料收卷时，第一驱动部5可通过传动部4带动收卷部2转动，利用收卷部2将半导体材料进行收卷处理，在半导体材料正常收卷过程中，收卷部2两端均匀受力，当半
导体材料在收卷过程中出现跑偏时，收卷部2两端所受拉力不再均匀，半导体材料可拉动收
卷部2进行适应性的偏转，而在收卷部2发生偏转后其一端可与第二驱动部6接触，第二驱动
部6带动收卷部2沿垂直于半导体材料运行方向进行移动，以改变收卷部2的位置，使得收卷
部2两端受力再次趋于平衡，实现半导体材料收卷过程中的自动纠偏。

[0032] 请参阅图1，在一个实施例中，所述收卷部2包括收卷辊轴22以及固定设置在所述收卷辊轴22两端的端头21，所述收卷辊轴22内部开设有通道23，所述通道23两端分别贯穿
两组所述端头21，所述通道23内部穿设有定位轴25，所述定位轴25上滑动套设有定位球体
24，所述收卷辊轴22内部开设有与所述定位球体24相适配的球形卡槽，两组所述端头21内
部均开设有与所述通道23连通的滑槽26，所述定位轴25侧壁固定设置有若干滑销3，所述滑
销3对应延伸至所述滑槽26内部，所述第一驱动部5通过所述传动部4与所述定位轴25相连。

[0033] 第一驱动部5可通过传动部4带动定位轴25转动，定位轴25转动时可通过滑销3与滑槽26之间的配合带动端头21同步转动，进而带动收卷辊轴22同步转动，以对半导体材料
进行收卷；当半导体材料出现跑偏时，半导体材料可拉动收卷辊轴22以带动收卷辊轴22以
定位球体24为基点进行适应性的偏转，两组端头21同步偏转，其中一组端头21可与第二驱
动部6接触，利用第二驱动部6作用于该组端头21，以带动收卷辊轴22以及定位球体24沿定
位轴25进行滑动，实现收卷辊轴22位置的调整，实现半导体材料的自动纠偏。

[0034] 上述实施例中，所述通道23的直径大于所述定位轴25的直径，以便于收卷辊轴22能够顺利的以定位球体24为基点进行偏转，所述滑槽26的宽度大于所述滑销3的直径，所述
滑槽26的高度大于所述滑销3的长度，以便于收卷辊轴22带动端头21偏转时，滑销3能够在
滑槽26内部进行适应性的移动。

[0035] 在另一实施例中，所述收卷部2还可包括卷轴，所述滚筒内部开设有通孔，所述通孔内部贯穿设置有支撑轴，所述支撑轴上键连接有套筒，所述套筒外壁固定设置有若干弹
簧，所述弹簧远离所述套筒的一端与所述滚筒内壁相连，所述第一驱动部5通过所述传动部
4与所述支撑轴相连。

[0036] 第一驱动部5通过传动部4带动支撑轴转动，通过支撑轴与套筒之间的键连接，支撑轴转动时可带动套筒转动，进而通过弹簧带动滚筒转动，以对半导体材料进行收卷，当半
导体材料跑偏时，半导体材料可拉动滚筒以带动滚筒进行适应性的偏转，滚筒的一端可与
第二驱动部6接触，利用第二驱动部6带动滚筒以及套筒沿支撑轴进行滑动，实现滚筒位置
的调整，实现半导体材料的自动纠偏。

[0037] 请参阅图1，在一个实施例中，所述第一驱动部5包括固定安装在所述支撑部1一侧的第一电机54以及连接在所述第一电机54输出端的主动带轮53，所述传动部4包括转动设
置在所述支撑部1一侧的传动轴44，所述传动轴44外部固定设置有从动带轮51，所述从动带
轮51与所述主动带轮53之间通过传动带52相连，所述传动轴44一端与所述定位轴25或所述
支撑轴相连。

[0038] 通过第一电机54带动主动带轮53转动，利用传动带52的传动作用带动从动带轮51以及传动轴44转动，传动轴44转动时可带动定位轴25或支撑轴转动，以带动收卷辊轴22或
滚筒转动，实现半导体材料的收卷。

[0039] 在另一实施例中，所述第一驱动部5还可包括固定安装在所述支撑部1一侧的驱动电机以及连接在所述驱动电机输出端的驱动齿轮，所述传动部4还可包括转动设置在所述
支撑部1一侧的齿轮轴以及固定安装在所述齿轮轴外部的从动齿轮，所述从动齿轮与所述
驱动齿轮啮合，所述齿轮轴一端与所述定位轴25或所述支撑轴相连。

[0040] 通过驱动电机带动驱动齿轮转动，利用驱动齿轮与从动齿轮的啮合作用带动齿轮轴转动，进而带动定位轴25或所述支撑轴转动，以带动收卷辊轴22或滚筒转动，实现半导体
材料的收卷。

[0041] 请参阅图1和图3，在一个实施例中，所述传动轴44一端固定设置有第二方杆43，所述第二方杆43远离所述传动轴44的一端伸缩配合有方形柱筒42，所述方形柱筒42远离所述
传动轴44的一端固定设置有第一方杆41，所述定位轴25一端开设有可供所述第一方杆41插
入的方孔27。

[0042] 安装时，可将收卷辊轴22置于传动轴44一侧，沿传动轴44长度方向推动方形柱筒42，方形柱筒42可带动第一方杆41插入至方孔27内部，以实现收卷部2的安装。

[0043] 请参阅图2，在一个实施例中，所述第二驱动部6包括固定安装在所述支撑部1一侧的第二电机61、连接在所述第二电机61输出端的输出轴62以及固定设置在所述输出轴62远
离所述第二电机61一端的转轮64，所述转轮64对应设置在所述端头21一侧。

[0044] 通过第二电机61带动输出轴62转动，以带动转轮64转动，在半导体材料跑偏以带动收卷辊轴22以及端头21偏转时，其中一组端头21可与转轮64相贴，利用转轮64与端头21
的摩擦作用以带动端头21以及收卷辊轴22移动，实现收卷辊轴22位置的调整，实现半导体
材料的自动纠偏。

[0045] 上述实施例中，所述第二驱动部6可设置两组，两组第二驱动部6对应的转轮64分别设置在两组端头21的一侧，且两组转轮64的转动方向相反，以便于在两组端头21分别朝
向两个方向偏转时，均能够与转轮64相贴，以带动收卷辊轴22朝向正确的位置自行移动。

[0046] 在另一实施例中，所述第二驱动部6还可包括固定设置在所述端头21侧壁的环形磁板以及固定安装在所述支撑部1一侧的磁块，在端头21进行偏转时，环形磁板可移动至磁
块正对的位置，利用磁块与环形磁板的排斥作用，进而推动端头21以及收卷辊轴22移动，实
现收卷辊轴22位置的调整，实现半导体材料的自动纠偏。

[0047] 请参阅图1和图2，在一个实施例中，所述支撑部1为板状结构或台状结构，所述支撑部1一侧边缘固定设置有两组相对分布的立板11，所述传动部4可关于收卷部2对称设置
两组，且两组传动部4对应的传动轴44的一端与两组立板11对应转动连接，所述立板11一侧
固定设置有定位板63，所述输出轴62贯穿所述定位板63并与定位板63通过轴承转动配合。

[0048] 本发明实施例在半导体材料收卷时，第一驱动部5可通过传动部4带动收卷部2转动，利用收卷部2将半导体材料进行收卷处理，在半导体材料正常收卷过程中，收卷部2两端
均匀受力，当半导体材料在收卷过程中出现跑偏时，收卷部2两端所受拉力不再均匀，半导
体材料可拉动收卷部2进行适应性的偏转，而在收卷部2发生偏转后其一端可与第二驱动部
6接触，第二驱动部6带动收卷部2沿垂直于半导体材料运行方向进行移动，以改变收卷部2
的位置，使得收卷部2两端受力再次趋于平衡，相较于现有技术，能够实现半导体材料收卷
过程中的自动纠偏，为后续半导体器件的生产提供优质原材料，具有结构简单以及纠偏效
果好的优点。

[0049] 上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下
做出各种变化。