一种内嵌微型平板热管的印制电路板及其封装方法转让专利
申请号 : CN202110696999.8
文献号 : CN113423198B
文献日 : 2022-03-08
发明人 : 赵明 , 张剑 , 徐诺心 , 曾策 , 卢茜 , 向伟玮 , 徐榕青 , 边方胜 , 叶惠婕 , 季兴桥 , 董东
申请人 : 中国电子科技集团公司第二十九研究所
摘要 :
权利要求 :
1.一种内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:制作内嵌微型平板热管的印制电路板;所述内嵌微型平板热管的印制电路板包括集成微型平板热管的金属芯板以及分别设置在集成微型平板热管的金属芯板两面的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层,并且所述金属芯板顶部多层布线层、集成微型平板热管的金属芯板和金属芯板底部多层布线层采用层压工艺一次层压成型;所述集成微型平板热管的金属芯板包括上金属盖板、下金属盖板、设置在上金属盖板和下金属盖板之间的若干微型平板热管、以及在微型平板热管边缘的吸液芯;将所述内嵌微型平板热管的印制电路板划分为主体结构和牺牲结构;所述牺牲结构对应的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层不进行布线;
步骤2:通过深度控制铣切,先去除牺牲结构对应的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层,露出牺牲结构对应的集成微型平板热管的金属芯板,然后再通过深度控制铣切在集成微型平板热管的金属芯板的上金属盖板上加工连通微型平板热管的注液口;
步骤3:将经过步骤2处理后的印制电路板置于真空灌注设备内,并通过注液口将微型平板热管与真空灌注设备相连接,然后进行抽真空,待真空度达到预设真空度阈值范围时停止抽真空,然后通过微量注液装置向微型平板热管灌注冷却工质;
步骤4:经过步骤3灌注冷却工质后,采用冷压封焊将牺牲结构和主体结构交界处的微型平板热管进行密封,然后再利用激光局部封焊进行加固;
步骤5:经过步骤4密封注液口后,通过铣切将牺牲结构对应的金属芯板切除,得到最终的内嵌微型平板热管的印制电路板。
2.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述上金属盖板和下金属盖板通过真空扩散焊焊接。
3.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述集成微型平板热管的金属芯板的材料为铜、铝或钼铜合金。
4.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层均包括交替设置的若干铜布线层和有机材料层;其中,所述金属芯板顶部多层布线层的铜布线层的层数为n1,1≤n1≤8;所述金属芯板底部多层布线层的铜布线层的层数为n2,0≤n2≤8。
5.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述微型平板热管的分布图形根据印制电路板上的热流密度分布进行设计,为矩形阵列、L型阵列或成扇形分布。
6.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述微型平板热管的横截面为矩形,并且宽度范围为500μm~10mm,深度范围为100μm~500μm。
7.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述冷却工质包括水、甲醇、乙醇和丙酮中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述微型平板热管内冷却工质的充液率为20%~45%。
9.根据权利要求1所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法,其特征在于,所述‑2 ‑4
预设真空度阈值范围为10 Pa~10 Pa。
10.一种内嵌微型平板热管的印制电路板,其特征在于,所述内嵌微型平板热管的印制电路板为采用如权利要求1‑9所述的内嵌微型平板热管的印制电路板封装方法中步骤1~步骤5处理后得到的内嵌微型平板热管的印制电路板;所述内嵌微型平板热管的印制电路板包括集成微型平板热管的金属芯板以及分别设置在集成微型平板热管的金属芯板两面的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层;所述集成微型平板热管的金属芯板包括上金属盖板、下金属盖板、设置在上金属盖板和下金属盖板之间的若干微型平板热管、以及在微型平板热管边缘的吸液芯;所述微型平板热管内充有冷却工质。
说明书 :
一种内嵌微型平板热管的印制电路板及其封装方法
技术领域
背景技术
的可靠性。据统计,55%的电子设备失效是由温度过高导致的,因此热管理问题成为了电子
信息技术发展的技术瓶颈之一。传统的被动散热技术采用金属热沉,通过金属热传导和热
辐射散热,已经不能满足大功率器件的散热需求。微型平板热管是一种新型高效的传热器
件,通过热管内部工质的蒸发和冷凝来传递热量,其利用相变传热,热导率高、均温性好可
以满足大热流密度散热,且具有体积小、质量轻的优势,无需额外电力驱动可以满足电子设
备微型化,设备内部有效空间日益减小的发展趋势。因此,微型平板热管技术在大功率电子
器件系统集成领域有广泛的应用前景。
脂、增强材料和铜箔构成,由于树脂的热导率很低(<1W/m·K),难以满足大功率器件高密
度集成的需要。目前,微型平板热管和印制电路板是通过分开设计、制造,然后通过胶粘接
的方式将微型平板热管固定在印制电路板背面。虽然分离式设计便于制造,但是微型平板
热管和印制电路之间的接触热阻较大,极大地影响了微型平板热管的散热效果。中国实用
新型专利CN100364372提出了一种制作于印制电路基板上的微型循环流道系统及其制造方
法,首先通过曝光、刻蚀的方法在印制电路基板上加工出微流道,然后粘接盖板并在微流道
中注入冷却工质以实现热量的转移。该方法制作的微流道由有机绝缘层和金属层构成,冷
却工质与有机绝缘层直接接触,长时间使用容易产生漏液问题,且该方法仅采用粘接的方
式对微流道进行密封,因此微流道在高热流密度环境中的可靠性较低,使用寿命有限。同时
有机材料的热导率远小于金属材料的热导率,因此其散热能力有限。此外,现有的多层印制
电路基板主要是通过多层印制电路基板一次层压制作,而专利CN100364372中的制作方法
是通过分层粘接的方式制作具有微流道的多层印制电路基板,因此该方法不适用于层压工
艺。且分层粘接需要多次对准、难以保证印制电路板的尺寸精度。
发明内容
的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层,并且所述金属芯板顶部多层布线
层、集成微型平板热管的金属芯板和金属芯板底部多层布线层采用层压工艺一次层压成
型;所述集成微型平板热管的金属芯板包括上金属盖板、下金属盖板、设置在上金属盖板和
下金属盖板之间的若干微型平板热管、以及在微型平板热管边缘的吸液芯;将所述内嵌微
型平板热管的印制电路板划分为主体结构和牺牲结构;所述牺牲结构对应的金属芯板顶部
多层布线层和金属芯板底部多层布线层不进行布线;
深度控制铣切在集成微型平板热管的金属芯板的上金属盖板上加工连通微型平板热管的
注液口;
围时停止抽真空,然后通过微量注液装置向微型平板热管灌注冷却工质;
层的层数为n1,1≤n1≤8;所述金属芯板底部多层布线层的铜布线层的层数为n2,0≤n2≤
8。
坍塌变形,同时保证微型平板热管的散热性能。优选地,所述微型平板热管的宽度为5mm,深
度为0.3mm。
真空度阈值为10 Pa。
得到的内嵌微型平板热管的印制电路板;所述内嵌微型平板热管的印制电路板包括集成微
型平板热管的金属芯板以及分别设置在集成微型平板热管的金属芯板两面的金属芯板顶
部多层布线层和金属芯板底部多层布线层;所述集成微型平板热管的金属芯板包括上金属
盖板、下金属盖板、设置在上金属盖板和下金属盖板之间的若干微型平板热管、以及在微型
平板热管边缘的吸液芯;所述微型平板热管内充有冷却工质。
道系统相比,其高效散热能力提升2倍以上。且相比用胶粘接的方式,本方法采用真空扩散
焊焊接微型平板热管的上金属盖板和下金属盖板,密封性更好、可靠性更高,使用寿命更
长。
线区域的二次加工,操作方法简单,成品率更高。
背面的方法相比,本发明节省了设备内部的有效空间,其集成密度可以提升2~5倍。
电路板尺寸精度更高。
附图说明
定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获
得其他相关的附图。
具体实施方式
本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施
例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范
围。
的金属芯板两面的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层,并且所述金属芯
板顶部多层布线层、集成微型平板热管3的金属芯板和金属芯板底部多层布线层采用层压
工艺一次层压成型;所述集成微型平板热管3的金属芯板包括上金属盖板1、下金属盖板2、
设置在上金属盖板1和下金属盖板2之间的若干微型平板热管3、以及在微型平板热管3边缘
的吸液芯4;将所述内嵌微型平板热管3的印制电路板划分为主体结构和牺牲结构7;所述牺
牲结构7对应的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层不进行布线;其中,微
型平板热管3通过精密机械加工、电火花加工方法制备;上金属盖板1和下金属盖板2通过真
空扩散焊焊接;吸液芯4采用烧结或焊接方式制备。
通过深度控制铣切在集成微型平板热管3的金属芯板的上金属盖板1上加工连通微型平板
热管3的注液口8;
围时停止抽真空,然后通过微量注液装置向微型平板热管3灌注冷却工质;
成微型平板热管3的金属芯板以及分别设置在集成微型平板热管3的金属芯板两面的金属
芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层;所述集成微型平板热管3的金属芯板包
括上金属盖板1、下金属盖板2、设置在上金属盖板1和下金属盖板2之间的若干微型平板热
管3、以及在微型平板热管3边缘的吸液芯4;所述微型平板热管3内充有冷却工质。
图3所示,其中阴影部分为印制电路板的牺牲结构7,其余部分为印制电路板的主体结构;
到具有主体结构和牺牲结构7的内嵌微型平板热管3的印制电路板;其中,牺牲结构7对应的
金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层不进行布线;
通过深度控制铣切在集成微型平板热管3的金属芯板的上金属盖板1上加工连通微型平板
热管3的注液口8;
微型平板热管3与真空灌注设备相连接,然后进行抽真空,待真空度达到10 Pa时停止抽真
空,然后通过微量注液装置向微型平板热管3灌注冷却工质,冷却工质为水,充液率为20%;
4所示,其中阴影部分为印制电路板的牺牲结构7,其余部分为印制电路板的主体结构;
层6,然后层压成型得到具有主体结构和牺牲结构7的内嵌微型平板热管3的印制电路板;其
中,牺牲结构7对应的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层不进行布线;
通过深度控制铣切在集成微型平板热管3的金属芯板的上金属盖板1上加工连通微型平板
热管3的注液口8;
微型平板热管3与真空灌注设备相连接,然后进行抽真空,待真空度达到10 Pa时停止抽真
空,然后通过微量注液装置向微型平板热管3灌注冷却工质,冷却工质为水,充液率为30%;
图5所示,其中阴影部分为印制电路板的牺牲结构7,其余部分为印制电路板的主体结构;
层6,然后层压成型得到具有主体结构和牺牲结构7的内嵌微型平板热管3的印制电路板;其
中,牺牲结构7对应的金属芯板顶部多层布线层和金属芯板底部多层布线层不进行布线;
通过深度控制铣切在集成微型平板热管3的金属芯板的上金属盖板1上加工连通微型平板
热管3的注液口8;
微型平板热管3与真空灌注设备相连接,然后进行抽真空,待真空度达到10 Pa时停止抽真
空,然后通过微量注液装置向微型平板热管3灌注冷却工质,冷却工质为水,充液率为45%;
改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。