一种多显微镜定点拍照路径优化方法转让专利
申请号 : CN202111035992.8
文献号 : CN113469472B
文献日 : 2022-02-22
发明人 : 张梁 , 陈盛闯 , 李波
申请人 : 中导光电设备股份有限公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述方法包括;
通过扫描拍照完成部分拍摄点的拍摄,包括:初始化种群步骤,根据显微镜间是否存在碰撞风险,划分多个显微镜之间的重叠区或共用区域,以使得每台显微镜对应于各自可拍摄的缺陷,形成不同种群;
动态规划产生第一个个体,将符合运动规则的点作为备选拍摄点,所述运动规则包括备选点规则和避免碰撞规则;所述备选点规则包括:显微镜从O点处寻找下一个备选点A点,从O点到A点,X轴需要移动距离DisX,Y轴需要移动距离DisY,根据X、Y轴各自速度和加速度计算所消耗时间TimX、TimY,满足条件:TimY
所述避免碰撞规则包括:两个并列相邻显微镜划分的区域中, O_1是第一显微镜确立点、A_1、B_1是第一显微镜的备选点,O_2是第二显微镜确立点、A_2是第二显微镜备选点,按照x轴从左往右方向查找时,先从确立点中X较小者开始判断的规则判断备选点顺序,反向则相反,即按照x轴从左往右方向查找,O_2先于O_1,则先判断第二显微镜的备选点是否冲突,计算O_2和O_1在Y轴方向距离DisO,计算O_2和A_1在Y轴方向距离DisOA,两者最小:,满足条件:
(2)
为显微镜间Y轴的安全距离,满足上述条件(2)则不会碰撞;
产生随机基因,随机抽取各个显微镜各自独立区域或共用区域内的备选拍摄点,根据所述备选点规则和避免碰撞规则建立备选拍摄点队列;
基因选择交叉,有选择地进行交叉,将优秀的染色体进行复制、交叉,生成新的个体;
基因变异,遍历每个种群中每个个体中的每个基因,当发生变异时,将抽到点位后的排序删除,通过随机抽取重新排序;
扫描匹配和适应度评估,结束拍照路径优化;
在剩余点中采用定点移动方法进行拍摄,按照显微镜和缺陷点距离最近原则进行选点,当出现显微镜干涉时采用补点的方法提前躲避;评估适应度,结束定点拍照路径优化,包括:定点拍照有一系列点排序,计算点间的消耗时间,将所有点间的消耗时间叠加即为排序适应度。
2.根据权利要求1所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述按照显微镜和缺陷点距离最近原则进行选点,包括:
1)对输入点进行分区,在现有点中按照数量均衡或位置均衡或最少干涉进行分区;
2)从上面扫描拍照完毕处开始,每个显微镜对各自区域内缺陷点位置距离进行遍历比较,每个显微镜都找距离最近的缺陷点并记录该缺陷点的值,再比较计算的每个显微镜的最小距离,从中挑选最小者作为下次拍摄地点,如此类推,直至排序完毕。
3.根据权利要求1所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述当出现显微镜干涉时采用补点的方法提前躲避,包括:
1)根据避免碰撞规则,在每个显微镜选择各自最近距离点时,先做干涉预判,如果出现干涉,则放弃该最近距离点选取,将选择次近距离点,如此类推;
2)如果出现无法避让的情况,或者显微镜已经拍照完毕,停止等待,进行补点。
4.根据权利要求1所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,初始化种群步骤具体包括:
当显微镜间存在碰撞风险时,按缺陷分布或物理位置分划各自独立区域,在动态规划时规划一块相邻显微镜间的重叠区;当显微镜间不存在碰撞风险时,划分多个显微镜之间的共用区域,所述多个显微镜都可到达所述共用区域拍摄。
5.根据权利要求1所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述动态规划中,各自显微镜按相同方向查找离自己确立点最近的下一个可拍摄确立点,包括:
1)从最边沿开始寻求可拍点,并列显微镜根据备选点规则和避免碰撞规则分别在各自区域寻找,平行显微镜根据备选点规则在共用区域中寻找没有被其他显微镜确立的点,反向同理;
2)记录确立点数据,并从输入数组中删除确立点信息;
3)判断是否符合扫描的条件,即每个显微镜可拍点数量是否大于第一预设数值,一个扫描整体可拍点数量是否大于第二预设数值,是则反复上述1)、2)过程,否则结束扫拍寻找,将剩余散点进行停拍计算;
4)计算适应度,记录最优解,存储数据。
6.根据权利要求1所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述产生随机基因,随机抽取各个显微镜各自独立区域或共用区域内的备选拍摄点,根据所述备选点规则和避免碰撞规则建立备选拍摄点队列,包括:
1)各个显微镜在各自独立区域或共用区域内随机抽取一个点,根据所述备选点规则和避免碰撞规则判断可行性,如果不可行则重新抽取;接着抽取第二个点,判断可行性,如此类推;
2)在当前扫描中,按上述步骤1),每个显微镜都将各自区域内数据遍历完成,然后确立各自标志位,停止各个显微镜路径查找;
3)判断是否符合扫描的条件,即每个显微镜可拍点数量是否大于第一预设数值,一个扫描整体可拍点数量是否大于第二预设数值,是则记录确立点数据,并从各自区域数组中删除确立点信息,反复上述1)、2)过程,否则结束扫拍寻找,将剩余散点进行停拍计算;
4)计算适应度,迭代最优解,存储数据。
7.根据权利要求5所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述基因选择交叉,有选择地进行交叉,将优秀的染色体进行复制、交叉,生成新的个体,包括:
1)选择,根据适应度,创建选择模型;每个个体都有一个适应度,采用数组存放每个适应度对应的地址,将适应度最大的地址填充满一个数组,次大适应度的地址填充数据量减一,次次大则减二,如此类推,最小者则为1,形成一个库,随机产生一个库中的地址,作为交叉的对象;
2)复制,从父代中复制某个swath_f基因片段到子代1,从母代中复制某个swath_m基因片段到子代2;
3)交叉,将母代原来后面散点删除,从母代中删除存在swath_f基因片段中的点,从母代中删除现扫描基因片段中点小于第一预设数值的扫描基因片段,将母代剩余的扫描基因片段复制给子代1;同理,删除父代中swath_m基因片段的点,删除小于第一预设数值的扫描基因片段,将父代剩余的扫描基因片段复制给子代2;
4)重组,被删除的点重新随机组合扫描;
5)计算适应度,迭代最优解,存储数据。
8.根据权利要求5所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述基因变异,遍历每个种群中每个个体中的每个基因,当发生变异时,将抽到点位后的排序删除,通过随机抽取重新排序,包括:
1)遍历每个个体基因,遍历过程中设定随机点,按概率抽取,抽取到随机点的进行基因变异;
2)在当前个体中,将抽到点位后面的排序删除;
3)通过随机抽取的方法将后面的数据重新排序;
4)计算适应度,迭代最优解,存储数据。
9.根据权利要求5所述的多显微镜定点拍照路径优化方法,其特征在于,所述扫描匹配和适应度评估,包括:
1)扫描配对,在并列显微镜扫描中判断可行性,对可行者加标签,标注扫描顺序;和平行显微镜扫描次数进行比较,进行删减,使平行和并列显微镜扫描次数一致;
2)计算时间,每个扫描运动距离为玻璃板长度,起始加速,中途匀速,结束减速,整个过程时间进行精确计算。
说明书 :
一种多显微镜定点拍照路径优化方法
技术领域
背景技术
过扫描设备将所有缺陷识别出来并记录下位置,在规定时间内对缺陷进行复查拍照。
能复查完毕,无法达到生产要求;由于检测玻璃板尺寸比较大,为了提高复查速度,所以机
台会并列或平行安装多台显微镜,构成了多显微镜机台,但是性能还没法做到得比较优,所
以也面临同样的时间问题。一般采用遗传算法、混合遗传算法、模拟退火算法、蚁群算法等
来优化路径,但主要是针对单机构、单路径的实现方法,目标是求得最短路径或最小聚类数
目,没有考虑时间和距离结合的问题,多显微镜路径规划是一个综合性问题,需要解决实际
的限制问题才能局部使用上述方法。
无法满足快速拍照的时间要求。
发明内容
镜的最小距离,从中挑选最小者作为下次拍摄地点,如此类推,直至排序完毕。
之间的共用区域,所述多个显微镜都可到达所述共用区域拍摄。
点,反向同理;
寻找,将剩余散点进行停拍计算;
如此类推;
组中删除确立点信息,反复上述1)、2)过程,否则结束扫拍寻找,将剩余散点进行停拍计算;
量减一,次次大则减二,如此类推,最小者则为1,形成一个库,随机产生一个库中的地址,作
为交叉的对象;
基因片段复制给子代1;同理,删除父代中swath_m基因片段的点,删除小于第一预设数值的
扫描基因片段,将父代剩余的扫描基因片段复制给子代2;
安排和规划一条路径,保证较短时间内完成拍照。
附图说明
的限制。而且在整个附图中,用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中:
具体实施方式
施方式所限制。相反,提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本申请,并且能够将本申
请的范围完整的传达给本领域的技术人员。
高规划性能。当显微镜间存在碰撞风险时,采用按缺陷分布(1/2,1/4等)或物理位置分划各
自独立区域的方法,在动态规划时还规划一块为相邻显微镜间得重叠区;当显微镜不存在
碰撞风险时,采用划分与其他一个或多个显微镜共用区域的方法,此显微镜和其他显微镜
都可到达该区域拍摄;这样每台显微镜都有了各自可拍摄的缺陷,形成了不同的种群。
,消耗时间计算需要考虑加、匀、减速问题,满足条件:
与O_1(判断备选点顺序,从左往右查找时先从确立点中X较小者开始,反向则相反),先判断
显微镜2的备选点是否冲突,计算O_2和O_1在Y轴方向距离DisO,计算O_2和A_1在Y轴方向距
离DisOA,
点。
也存在并列显微镜则叠加并列显微镜方法),反向同理;
拍寻找,将剩余散点进行停拍计算。
则1、规则2往队列中排放,备选目标点可能出现在队列前面、后面、中间位置的现象,如果出
现在前、后位置则只需判断与前或后点的可行性,如果出现在中间则需要判断与前与后点
的可行性。
推。
的数据都遍历完成了,停止当前扫描查找。
组中删除确立点信息,反复上述1)、2)过程,否则结束扫拍寻找,将剩余散点进行停拍计算。
大的地址填充满一个数组(群体大小),次大适应度的地址填充数据量减一,次次大则减二,
如此类推,最小者则为1,形成了一个库,随机产生一个库中的地址,作为交叉的对象,所以,
适应度越大(时间越小)被抽到概率也越大。
基因片段复制给子代1;同理,删除父代中swath_m基因片段的点,删除小于第一预设数值的
扫描基因片段,将父代剩余的扫描基因片段复制给子代2。
重新组合后面排序。
微镜扫描次数都一致。
避。
上述计算的每个显微镜的最小距离,从中挑选最小者作为下次拍摄地点。如此类推,直至排
序完毕。
如O_1找到最近点A_1,O_2找到最近点A_2,O_3找到最近点B_3,这三者中O_3到B_3距离最
小,所以显微镜3定点B_3。如此类推。
结果。
定。
200、通信接口203和存储器201通过总线202连接;所述存储器201中存储有可在所述处理器
200上运行的计算机程序,所述处理器200运行所述计算机程序时执行本申请前述任一实施
方式所提供的多显微镜定点拍照路径优化方法。
少一个通信接口203(可以是有线或者无线)实现该系统网元与至少一个其他网元之间的通
信连接,可以使用互联网、广域网、本地网、城域网等。
执行所述程序,前述本申请实施例任一实施方式揭示的所述多显微镜定点拍照路径优化方
法可以应用于处理器200中,或者由处理器200实现。
述的处理器200可以是通用处理器,包括中央处理器(Central Processing Unit,简称
CPU)、网络处理器(Network Processor,简称NP)等;还可以是数字信号处理器(DSP)、专用
集成电路(ASIC)、现成可编程门阵列(FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管
逻辑器件、分立硬件组件。可以实现或者执行本申请实施例中的公开的各方法、步骤及逻辑
框图。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。结合本申
请实施例所公开的方法的步骤可以直接体现为硬件译码处理器执行完成,或者用译码处理
器中的硬件及软件模块组合执行完成。软件模块可以位于随机存储器,闪存、只读存储器,
可编程只读存储器或者电可擦写可编程存储器、寄存器等本领域成熟的存储介质中。该存
储介质位于存储器201,处理器200读取存储器201中的信息,结合其硬件完成上述方法的步
骤。
其上存储有计算机程序(即程序产品),所述计算机程序在被处理器运行时,会执行前述任
意实施方式所提供的多显微镜定点拍照路径优化方法。
存储器 (RAM)、只读存储器 (ROM)、电可擦除可编程只读存储器 (EEPROM)、快闪记忆体或
其他光学、磁性存储介质,在此不再一一赘述。
实现的方法相同的有益效果。
求的结构是显而易见的。此外,本申请也不针对任何特定编程语言。应当明白,可以利用各
种编程语言实现在此描述的本申请的内容,并且上面对特定语言所做的描述是为了披露本
申请的最佳实施方式。
和技术,以便不模糊对本说明书的理解。
例、图、或者对其的描述中。然而,并不应将该公开的方法解释成反映如下意图:即所要求保
护的本申请要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说,如下面
的权利要求书所反映的那样,发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此,
遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式,其中每个权利要求本身
都作为本申请的单独实施例。
元或组件组合成一个模块或单元或组件,以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或
子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外,可以采用任何
组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任
何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述,本说明书(包括伴随的权
利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代
替。
范围之内并且形成不同的实施例。例如,在下面的权利要求书中,所要求保护的实施例的任
意之一都可以以任意的组合方式来使用。
微处理器或者数字信号处理器( DSP )来实现根据本申请实施例的虚拟机的创建装置中的
一些或者全部部件的一些或者全部功能。本申请还可以实现为用于执行这里所描述的方法
的一部分或者全部的设备或者装置程序(例如,计算机程序和计算机程序产品)。这样的实
现本申请的程序可以存储在计算机可读介质上,或者可以具有一个或者多个信号的形式。
这样的信号可以从因特网网站上下载得到,或者在载体信号上提供,或者以任何其他形式
提供。
不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未
列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的
元件。本申请可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实
现。在列举了若干装置的单元权利要求中,这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项
来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名
称。
都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此,本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范
围为准。