一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法

摘要

本发明公开了一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，涉及碳化物加工技术领域，包括以下步骤：第一步，获得碳化物陶瓷材料的机械特性参数；第二步，获得碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深；第三步，计算出碳化物陶瓷材料的碎裂长度；第四步，根据超精密铣削加工的工艺参数计算出切屑厚度随刀具转角的变化关系；第五步，通过脆塑转变临界切深和切屑厚度判定碳化物陶瓷材料是否发生碎裂，进而获得碎裂处的碎裂刀具转角；第六步，求得碎裂处到工件的加工底面的距离；第七步，比较碎裂处到工件的加工底面的距离与碎裂长度的相对大小，判断碎裂的裂纹是否渗透到了工件的加工底面。本发明提高了加工微结构面型的精度。

权利要求

1.一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：包括以下步骤：第一步，获得碳化物陶瓷材料的机械特性参数；

第二步，获得碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深；

第三步，计算出碳化物陶瓷材料的碎裂长度；

第四步，根据超精密铣削加工的工艺参数计算出切屑厚度随刀具转角的变化关系；

第五步，通过脆塑转变临界切深和切屑厚度判定碳化物陶瓷材料是否发生碎裂，进而获得碎裂处的碎裂刀具转角；

第六步，求得碎裂处到工件的加工底面的距离；

第七步，比较碎裂处到工件的加工底面的距离与碎裂长度的相对大小，判断碎裂的裂纹是否渗透到了工件的加工底面，若碎裂裂纹渗透到了工件的加工底面，则重新选择超精密铣削加工的工艺参数；若碎裂裂纹没有渗透到工件的加工底面，则使用步骤四的超精密铣削加工的工艺参数；

所述第三步中，将获得的碳化物陶瓷材料的机械特性参数代入到碎裂长度预测模型中，获得碳化物陶瓷材料的碎裂长度与刀具参数之间的第三对应关系，碎裂长度预测模型如下：式中，c为碎裂长度；μ0为基于刀尖圆弧半径的的几何常数；Kc为碳化物陶瓷材料的断裂韧性；H为碳化物陶瓷材料的硬度；G为碳化物陶瓷材料的剪切量；E为碳化物陶瓷材料的弹性模量；a0为常数；v为碳化物陶瓷材料的泊松比；

所述第四步中，依据超精密铣削系统的配置结构，建立超精密铣削塑性加工模型，超精密铣削塑性加工模型如下：进而获得超精密铣削的工艺参数与切屑厚度之间的第四对应关系，第四对应关系如下：式中，θ为刀具转角；hθ为刀具旋转任意角度时的切屑厚度；Sw为刀具回转半径；do为切削深度；fe为刀具进给速度；x1为进给方向上刀具当前切削横坐标集合；z1为进给方向上刀具当前切削纵坐标集合；x0为进给方向上刀具前一步切削横坐标集合；z0为进给方向上刀具前一步切削纵坐标集合。

2.根据权利要求1所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：所述第一步中，利用不同刀尖圆弧半径的刀具对碳化物陶瓷材料做压痕实验，获得碳化物陶瓷材料的机械特性参数，得到碳化物陶瓷材料的机械特性参数与刀尖圆弧半径的第一对应关系。

3.根据权利要求2所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：所述第一对应关系为，刀尖圆弧半径越大，碳化物陶瓷材料的硬度和碳化物陶瓷材料的弹性模量均越大。

4.根据权利要求1所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：所述第二步中，利用不同刀具前角、刀尖圆弧半径的刀具，对碳化物陶瓷材料做刻划实验，观测脆塑转变临界切深的大小，进而构建碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深的预测模型，获得碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深与刀尖圆弧半径之间的第二对应关系。

5.根据权利要求4所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：所述第二对应关系为，刀尖圆弧半径越大，碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深越大。

6.根据权利要求3所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：根据所述第一对应关系，获得碳化物陶瓷材料在不同刀尖圆弧半径下的硬度。

7.根据权利要求1所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：所述第五步中，当切屑厚度hθ达到碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深h_c时，碳化物陶瓷材料发生碎裂；建立h_c＝hθ的等式，计算出碎裂处的刀具转角θ值，定义为破裂处的碎裂刀具转角θ_c。

8.根据权利要求7所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：所述第六步中，加工底面到工件的已加工面的距离公式如下：式中，Hθ是加工底面到已加工表面的距离；

将碎裂处的碎裂刀具转角θ_c替换上述公式中的θ，Hθ_c替换上述公式中的Hθ，求解出碎裂处到工件的加工底面的距离Hθ_c。

9.根据权利要求8所述的碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，其特征在于：所述第七步中，将碎裂处到加工底面的距离与碎裂长度进行比较，若碎裂处到加工底面的距离大于碎裂长度，则加工中产生碎裂裂纹没有已经渗透至工件的加工底面；若碎裂处到加工底面的距离小于碎裂长度，则加工中产生的碎裂裂纹已经渗透至工件的加工底面。

说明书

一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法

技术领域

[0001] 本发明涉及碳化物加工技术领域，特别是涉及一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法。

背景技术

[0002] 碳化物硬脆材料包括碳化硅、碳化物等，具有极低的断裂韧性，塑性切削深度通常小于100纳米，因此在机械加工中极易发生表面碎裂。目前，普遍采用离子注入表面改性、激光辅助加工等方法抑制碳化物陶瓷微结构加工中的表面碎裂。离子注入表面改性通过在碳化物材料表面注入惰性气体离子，改变材料表层晶格的结构，实现非晶化，从而增加硬脆材料的塑性域切削深度，避免加工过程中的碎裂损伤。激光辅助切削技术主要以高能量激光束作为热源，通过直接加热的方式使材料表面温度升高，在材料表面温度较高时，改变材料的切削性能，再利用相应的刀具进行材料去除，切削机理为塑性变形而非脆性破坏。

[0003] 目前，普遍采用离子注入表面改性、激光辅助加工等方法抑制碳化物陶瓷微结构加工中的表面碎裂。这些方法可在一定程度上有效抑制碳化物陶瓷微结构加工中的表面碎裂，但存在一些问题，例如离子注入表面改性层深度通常小于几微米，只适用于较小切削深度微结构的加工，并且表面改性需要昂贵的设备，并且效率极低，增加了微结构加工的成本；激光辅助加工中激光束对材料进行加热，材料表面温度较高，会加剧刀具磨损，并且工件表面的热变形会导致所加工微结构的精度降低。此外，上述方法加工的碳化物陶瓷微结构成本高，效率低，在复杂的加工环境下，抑制碳化物陶瓷微结构加工中的表面碎裂效果不显著。

[0004] 碳化物陶瓷包括碳化硅、碳化钨等材料，该类材料的微结构表面具有独特的半导体特性和光学特性，是现代光学和光电系统关键元件的核心元素。超精密铣削技术利用回转的刀具可以在工件表面上加工出具有亚微米级面型精度的微结构。然而，由于碳化物陶瓷材料属于硬脆难加工材料，具有极低的断裂韧性，其脆塑转变临界切深仅约100纳米。一般微结构的加工深度在几微米至几十微米。因此，超精密铣削技术在加工碳化物陶瓷微结构时，极易造成加工表面碎裂损伤，影响单晶硅微结构元器件加工精度和表面质量。

发明内容

[0005] 本发明的目的是提供一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，以解决上述现有技术存在的问题，通过有效抑制碳化物陶瓷微结构在超精密铣削中加工表面的碎裂，提高了加工微结构面型的精度。

[0006] 为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

[0007] 本发明提供了一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，包括以下步骤：

[0008] 第一步，获得碳化物陶瓷材料的机械特性参数；

[0009] 第二步，获得碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深；

[0010] 第三步，计算出碳化物陶瓷材料的碎裂长度；

[0011] 第四步，根据超精密铣削加工的工艺参数计算出切屑厚度随刀具转角的变化关系；

[0012] 第五步，通过脆塑转变临界切深和切屑厚度判定碳化物陶瓷材料是否发生碎裂，进而获得碎裂处的碎裂刀具转角；

[0013] 第六步，求得碎裂处到工件的加工底面的距离；

[0014] 第七步，比较碎裂处到工件的加工底面的距离与碎裂长度的相对大小，判断碎裂的裂纹是否渗透到了工件的加工底面，若碎裂裂纹渗透到了工件的加工底面，则重新选择超精密铣削加工的工艺参数；若碎裂裂纹没有渗透到工件的加工底面，则使用步骤四的超精密铣削加工的工艺参数。

[0015] 优选地，所述第一步中，利用不同刀尖圆弧半径的刀具对碳化物陶瓷材料做压痕实验，获得碳化物陶瓷材料的机械特性参数，得到碳化物陶瓷材料的机械特性参数与刀尖圆弧半径的第一对应关系。

[0016] 优选地，所述第一对应关系为，刀尖圆弧半径越大，碳化物陶瓷材料的硬度和碳化物陶瓷材料的弹性模量均越大。

[0017] 优选地，所述第二步中，利用不同刀具前角、刀尖圆弧半径的刀具，对碳化物陶瓷材料做刻划实验，观测脆塑转变临界切深的大小，进而构建碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深的预测模型，获得碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深与刀尖圆弧半径之间的第二对应关系。

[0018] 优选地，所述第二对应关系为，刀尖圆弧半径越大，碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深越大。

[0019] 优选地，所述第三步中，根据所述第一对应关系，获得碳化物陶瓷材料在不同刀尖圆弧半径下的硬度，将获得的碳化物陶瓷材料的机械特性参数代入到碎裂长度预测模型中，获得碳化物陶瓷材料的碎裂长度与刀具参数之间的第三对应关系，碎裂长度预测模型如下：

[0020]

[0021] 式中，c为碎裂长度；μ0为基于刀尖圆弧半径的的几何常数；Kc为碳化物陶瓷材料的断裂韧性；H为碳化物陶瓷材料的硬度；G为碳化物陶瓷材料的剪切量；E为碳化物陶瓷材料的弹性模量；a0为常数；v为碳化物陶瓷材料的泊松比。

[0022] 优选地，所述第四步中，依据超精密铣削系统的配置结构，建立超精密铣削塑性加工模型，超精密铣削塑性加工模型如下：

[0023]

[0024]

[0025]

[0026]

[0027] 进而获得超精密铣削的工艺参数与切屑厚度之间的第四对应关系，第四对应关系如下：

[0028]

[0029] 式中，θ为刀具转角；hθ为刀具旋转任意角度时的切屑厚度；Sw为刀具回转半径；do为切削深度；fe为刀具进给速度；x1为进给方向上刀具当前切削横坐标集合；z1为进给方向上刀具当前切削纵坐标集合；x0为进给方向上刀具前一步切削横坐标集合；z0为进给方向上刀具前一步切削纵坐标集合。

[0030] 优选地，所述第五步中，当切屑厚度hθ达到碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深h_c时，碳化物陶瓷材料发生碎裂；建立h_c＝hθ的等式，计算出碎裂处的刀具转角θ值，定义为破裂处的碎裂刀具转角θ_c。

[0031] 优选地，所述第六步中，加工底面到工件的已加工面的距离公式如下：

[0032]

[0033] 式中，Hθ是加工底面到已加工表面的距离；

[0034] 将碎裂处的碎裂刀具转角θ_c替换上述公式中的θ，Hθ_c替换上述公式中的Hθ，求解出碎裂处到工件的加工底面的距离Hθ_c。

[0035] 优选地，所述第七步中，将碎裂处到加工底面的距离与碎裂长度进行比较，若碎裂处到加工底面的距离大于碎裂长度，则加工中产生碎裂裂纹没有已经渗透至工件的加工底面；若碎裂处到加工底面的距离小于碎裂长度，则加工中产生的碎裂裂纹已经渗透至工件的加工底面。

[0036] 本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

[0037] 1.利用不同刀具前角、刀尖圆弧半径的刀具，研究碳化物陶瓷材料的脆塑转变过程，构建碳化物陶瓷脆塑转变临界切深预测模型，建立碳化物陶瓷脆塑转变临界切深与刀具参数之间的关系。同时，建立碳化物陶瓷碎裂长度预测模型，获取碳化物陶瓷碎裂长度与刀具参数之间的对应关系关系。

[0038] 2.依据所加工微结构的几何特征，包括微结构截面几何形状和深度，选择合适的刀具，即要求刀具切削刃几何形状应和微结构截面几何形状相同，并确定铣削加工时的切削深度。

[0039] 3.依据所选取的超精密铣削的工艺参数，建立超精密铣削塑性加工模型，建立工艺参数与碳化物碎裂点位置之间的对应关系，并建立表面质量预测模型，预测加工表面是否碎裂。如果碎裂就重新配置工艺参数，以抑制表面碎裂，如果不碎裂就可以使用工艺参数加工。

附图说明

[0040] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0041] 图1为超精密铣削加工示意图；

[0042] 图2为光学显微镜下超精密铣削加工的微槽；

[0043] 图3为纳米压痕实验示意图；

[0044] 图4为材料硬度在不同刀尖圆弧半径的变化趋势曲线图；

[0045] 图5为弹性模量在不同刀尖圆弧半径的变化趋势曲线图；

[0046] 图6为刀具刻划实验示意图；

[0047] 图7中，图(a)为光学显微镜下微槽脆塑转变边界图，图(b)为脆塑转变临界切深曲线图；

[0048] 图8为刀尖圆弧半径与脆塑转变临界切深关系曲线图；

[0049] 图9为超精密铣削塑性加工模型示意图；

[0050] 图10为碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法流程图；

[0051] 其中：1‑工件，2‑主轴，3‑微槽，4‑刀头，5‑刀具残留痕迹，6‑压头，7‑碳化物陶瓷材料样品，8‑切屑，9‑刀具，10‑切削路径。

具体实施方式

[0052] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0053] 本发明的目的是提供一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，以解决上述现有技术存在的问题，通过有效抑制碳化物陶瓷微结构在超精密铣削中加工表面的碎裂，提高了加工微结构面型的精度。

[0054] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

[0055] 如图1‑图10所示：本实施例提供了一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，图中，X为进给方向，Y为步进方向，Z为切深方向，本实施例以采用超精密铣削对碳化硅加工圆弧形截面微槽3(如图2)为例，包括以下步骤：

[0056] 第一步，获得碳化物陶瓷材料的机械特性参数；

[0057] 具体地，本实施例中，第一步中，如图3所示，利用不同刀尖圆弧半径的刀具9对碳化物陶瓷材料做压痕实验，压痕实验通过压头6压入材料时的载荷‑位移数据，获得碳化物陶瓷材料的机械特性参数，碳化物陶瓷材料的机械特性参数包括硬度、弹性模量、屈服应力、断裂韧性、剪切量、泊松比，因为有尺寸效应，不同尺寸的刀尖圆弧半径作用下，材料在微纳变形下的微观硬度是不同的。通过压痕实验得到碳化物陶瓷材料的机械特性参数与刀尖圆弧半径的第一对应关系。

[0058] 本实施例中，如图4‑图5所示，第一对应关系为，刀尖圆弧半径越大，碳化物陶瓷材料的硬度和碳化物陶瓷材料的弹性模量均越大。

[0059] 第二步，获得碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深；

[0060] 具体地，本实施例中，第二步中，如图6所示，利用不同刀具前角、刀尖圆弧半径的刀具9，对碳化物陶瓷材料做刻划实验，其中刻划沟槽的倾角为0.1度，使得划刻的切削深度d0随刻划距离的增大而增大，采用白光干涉仪观测脆塑转变临界切深的大小，进而构建碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深的预测模型，如图7所示，获得碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深与刀尖圆弧半径之间的第二对应关系。

[0061] 图7中，图(a)为光学显微镜下微槽脆塑转变边界图，通过观测微槽截面形貌光滑程度可以检测出在当前切削条件下的脆塑转变的临界切削切深。图(b)的横坐标是划刻的长度，纵坐标是划刻的切削深度。图(b)说明，当划刻的切削深度d0超过148纳米的时候，截面上就可以清晰的看出有轮廓碎裂的迹象。也就是说，在当前情况下塑性和脆性转变的临界切削深度是148纳米。通过这种微槽3的加工实验，就可以获得在当前切削条件下的脆塑转变临界切深。碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深的预测模型是碳化物陶瓷材料塑性变形与脆性断裂临界点时的切深预测模型。

[0062] 本实施例中，如图8所示，第二对应关系为，刀尖圆弧半径越大，碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深越大。

[0063] 第三步，计算出碳化物陶瓷材料的碎裂长度；

[0064] 具体地，本实施例中，第三步中，根据第一对应关系，获得碳化物陶瓷材料在不同刀尖圆弧半径下的硬度，将获得的碳化物陶瓷材料的机械特性参数代入到碎裂长度预测模型中，获得碳化物陶瓷材料的碎裂长度与刀具9参数之间的第三对应关系，碎裂长度预测模型如下：

[0065]

[0066] 式中，c为碎裂长度；μ0为基于刀尖圆弧半径的的几何常数；Kc为碳化物陶瓷材料的断裂韧性(抗断裂性)；H为碳化物陶瓷材料的硬度；G为碳化物陶瓷材料的剪切量；E为碳化物陶瓷材料的弹性模量；a0为常数；v为碳化物陶瓷材料的泊松比。

[0067] 本实施例中，刀具9参数包括切削刃半径、刀尖圆弧半径、刀具前角。

[0068] 本实施例中，第三对应关系即碎裂长度预测模型。

[0069] 碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深和碎裂长度与刀具9的前角和刀尖圆弧半径有关。

[0070] 第四步，根据超精密铣削加工的工艺参数计算出切屑厚度随刀具9转角的变化关系；超精密铣削加工的工艺参数包括刀具9进给速度、主轴转速、切削深度、刀具9回转半径；

[0071] 具体地，本实施例中，第四步中，如图9所示，依据超精密铣削系统的配置结构，建立超精密铣削塑性加工模型，超精密铣削塑性加工模型如下：

[0072]

[0073]

[0074]

[0075]

[0076] 进而获得超精密铣削的工艺参数与切屑厚度之间的第四对应关系，第四对应关系如下：

[0077]

[0078] 式中，θ为刀具9转角；hθ为刀具9旋转任意角度时的切屑厚度；Sw为刀具9回转半径；do为切削深度；fe为刀具9进给速度；x1为进给方向上刀具9当前切削横坐标集合(即超精密铣削塑性加工模型中曲线ab之间横坐标集合)；z1为进给方向上刀具9当前切削纵坐标集合(即超精密铣削塑性加工模型中曲线ab之间纵坐标集合)；x0为进给方向上刀具9前一步切削横坐标集合(即超精密铣削塑性加工模型中曲线ac横坐标集合)；z0为进给方向上刀具9前一步切削纵坐标集合(即超精密铣削塑性加工模型中曲线ac纵坐标集合)。

[0079] 第四对应关系是为了求解不同刀具9转角下的切屑厚度，或者说是在指定工艺参数下切屑厚度和刀具9转角之间的映射关系。

[0080] 第五步，通过脆塑转变临界切深h_c和切屑厚度hθ判定碳化物陶瓷材料是否发生碎裂，进而获得碎裂处的碎裂刀具9转角；

[0081] 具体地，本实施例中，第五步中，当切屑厚度hθ达到碳化物陶瓷材料的脆塑转变临界切深h_c时，碳化物陶瓷材料发生碎裂；建立h_c＝hθ的等式，计算出碎裂处的刀具9转角θ值，定义为破裂处的碎裂刀具9转角θ_c。

[0082] 第六步，求得碎裂处到工件1的加工底面的距离；

[0083] 具体地，本实施例中，第六步中，加工底面到工件1的已加工面的距离公式如下：

[0084]

[0085] 式中，Hθ是加工底面到已加工表面的距离；

[0086] 将碎裂处的碎裂刀具9转角θ_c替换上述公式中的θ，Hθ_c替换上述公式中的Hθ，求解出碎裂处到工件1的加工底面的距离Hθ_c。

[0087] 第七步，建立表面质量预测模型，表面质量预测模型即比较加工底面的距离Hθ_c与碎裂长度c的相对大小。

[0088] 通过表面质量预测模型，表面质量预测模型是判断碳化物陶瓷材料在加工后由于脆性断裂导致的碎裂裂纹是否渗透到了工件1的加工底面，若碎裂裂纹渗透到了工件1的加工底面，则重新选择超精密铣削加工的工艺参数；若碎裂裂纹没有渗透到工件1的加工底面，则使用步骤四的超精密铣削加工的工艺参数。

[0089] 具体地，本实施例中，第七步中，将碎裂处到加工底面的距离与碎裂长度进行比较，若碎裂处到加工底面的距离大于碎裂长度，则加工中产生碎裂裂纹没有已经渗透至工件1的加工底面；若碎裂处到加工底面的距离小于碎裂长度，则加工中产生的碎裂裂纹已经渗透至工件1的加工底面。

[0090] 本实施例提出了一种碳化物陶瓷微结构超精密铣削表面碎裂损伤抑制方法，通过有效抑制碳化物陶瓷微结构在超精密铣削中加工表面碎裂，提高了加工微结构面型精度。

[0091] 本实施例利用不同刀具前角、刀尖圆弧半径的刀具9，研究碳化物陶瓷材料的脆塑转变过程，构建碳化物陶瓷脆塑转变临界切深预测模型，建立碳化物陶瓷脆塑转变临界切深与刀具9参数之间的关系。同时，建立碳化物陶瓷碎裂长度预测模型，获取碳化物陶瓷碎裂长度与刀具9参数之间的对应关系关系。

[0092] 本实施例依据所加工微结构的几何特征，包括微结构截面几何形状和深度，选择合适的刀具9，即要求刀具9切削刃几何形状应和微结构截面几何形状相同，并确定铣削加工时的切削深度。

[0093] 本实施例依据所选取的超精密铣削的工艺参数，建立超精密铣削塑性加工模型，建立工艺参数与碳化物碎裂点位置之间的对应关系，并建立表面质量预测模型，预测加工表面是否碎裂。如果碎裂就重新配置工艺参数，以抑制表面碎裂，如果不碎裂就可以使用工艺参数加工。

[0094] 本说明书中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。