干燥室及其控制方法

摘要

本发明要解决的问题是提供一种干燥室，其在干燥室内的规定空间的湿度上升时，能够有效地调节室内的湿度，从而能够迅速进行湿度管理。为了解决上述问题，本发明提供一种干燥室，其控制管理空间内的露点温度，其特征在于，具备对管理空间内的空气进行排气的多个排气部，所述多个排气部配置于管理空间内的互不相同的区域，且其分别单独调整从各区域排出的空气的排气量。由此，能够有效地调节干燥室内的湿度，从而能够迅速进行湿度管理，由此，能够提供一种维持了目标条件的管理空间。

权利要求

1.一种干燥室，其控制管理空间内的露点温度，所述干燥室的特征在于，具备：多个排气部，所述多个排气部对管理空间内的空气进行排气，多个柱部；

所述多个排气部配置于管理空间内的互不相同的区域，且分别单独调整从各区域排出的空气的排气量，所述排气部分别设置于所述柱部的内部。

2.根据权利要求1所述的干燥室，其特征在于，还具备第1检测部，所述第1检测部检测所述干燥室内的引起空气的露点温度上升的物质。

3.根据权利要求1或2所述的干燥室，其特征在于，还具备第2检测部，所述第2检测部事先检测出引起露点温度上升的物质对所述区域的侵入。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的干燥室，其特征在于，还具备控制部，所述控制部控制所述区域的空气的露点温度。

5.一种干燥室的控制方法，其控制管理空间内的露点温度，所述方法的特征在于，包括如下步骤：排气步骤，通过分别设置于管理空间内的多个柱部的内部的多个排气部排出空气；及排气量调整步骤，通过单独控制所述排气部的动作来单独调整从区域排出的排气量。

说明书

干燥室及其控制方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种要求被管理的湿度环境的二次电池的制造等中使用的干燥室。并且，本发明涉及一种干燥室的控制方法。

背景技术

[0002] 在电池的电极用浆料的生产线等中，使用环境条件被管理成极低湿度的干燥室。例如，专利文献1中记载了一种干燥室，其用于仅将有限的必要之处的环境保持在规定的低湿度状态。在该干燥室中，构成干燥室主体的周壁的帘幕设为双层结构，并从形成于该双层结构的帘幕之间的空间强制性地排出空气。并且，该干燥室的特征在于，利用除湿单元对排出的空气进行处理，并将处理后的空气供给至被双层结构的帘幕中的内侧帘幕分隔的空间及形成于双层结构的帘幕之间的空间。由此，能够减少供给至干燥室内的空气调节后的空气量，并且能够抑制干燥室内的物质流出到外部空间并且极力排除人的进出带来的影响。

[0003] 以往技术文献

[0004] 专利文献

[0005] 专利文献1：日本特开2014‑169815号公报

发明内容

[0006] 发明要解决的技术课题

[0007] 在二次电池的制造工艺等中，对作业空间的极低的湿度管理非常重要。然而，存在作业空间的湿度会因作业者的进出或从作业者产生的水分等而暂时增加的问题。

[0008] 因此，本发明要解决的问题是提供一种干燥室，其在干燥室内的规定空间的湿度上升时或预测到湿度上升时，有效地调节室内的湿度而迅速进行湿度管理。

[0009] 用于解决技术课题的手段

[0010] 本发明人对上述问题进行了深入研究，其结果发现，在干燥室中，通过从排气部优先排出露点温度上升的(或上升中的)区域附近的空气，能够使管理空间内的露点温度的上升迅速变得正常化，由此完成了本发明。

[0011] 即，本发明为如下干燥室。

[0012] 为了解决上述问题，本发明提供一种干燥室，其控制管理空间内的露点温度，其特征在于，具备多个排气部，所述多个排气部对管理空间内的空气进行排气，所述多个排气部配置于管理空间内的互不相同的区域，且分别单独调整从各区域排出的空气的排气量。

[0013] 根据该干燥室，配置于管理空间内的互不相同的区域的排气部分别单独调整从各区域排出的空气的排气量，因此能够根据管理空间内的各区域的露点温度的变化来针对每个区域控制露点温度。因此，根据该干燥室，优先排出露点温度上升的空气，具有能够使管理空间内的露点温度的上升迅速变得正常化的效果。

[0014] 而且，作为本发明的干燥室的一种实施方式，其特征在于，具备检测引起干燥室内的空气的露点温度上升的物质的第1检测部。

[0015] 根据该干燥室，检测引起空气的露点温度上升的物质来控制该区域的空气的排气量。因此，具有在管理空间内能够准确地判断空气的露点温度发生变化的区域从而进行适当的排气量的控制的效果。

[0016] 而且，作为本发明的干燥室的一种实施方式，其特征在于，具备事先检测出引起露点温度上升的物质对区域的侵入的第2检测部。

[0017] 根据该干燥室，事先检测出作业者或水等使室内的露点温度上升的物质的进出，因此，具有能够响应该物质的进出而迅速进行露点温度的控制的效果，例如增加出入口附近的排气部的排气量等。

[0018] 而且，作为本发明的干燥室的一种实施方式，其特征在于，具备控制区域的空气的露点温度的控制部。

[0019] 根据该干燥室，检测各区域的空气的露点温度，并根据其测定值的变化等来控制该区域的空气的排气量。因此，具有能够准确地判断管理空间内的哪个区域的空气的露点温度发生了变化从而进行适当的排气量的控制的效果。

[0020] 为了解决上述问题，本发明提供一种干燥室的控制方法，其特征在于，包括步骤：排气步骤，从管理空间内的彼此不同的区域排出管理空间内的空气；及排气量调整步骤，分别单独控制从所述区域排出的空气的排气量。

[0021] 根据该干燥室的控制方法，分别单独调整从管理空间内的彼此不同的区域排出的空气的排气量，因此能够根据管理空间内的各区域的露点温度的变化来针对每个区域控制露点温度。因此，根据该干燥室的控制方法，优先排出露点温度上升的空气，具有能够使管理空间内的露点温度的上升迅速变得正常化的效果。

[0022] 发明效果

[0023] 根据本发明，提供一种干燥室，其在干燥室内的规定空间的湿度上升时或预测到湿度上升时，能够有效地调节室内的湿度，从而能够迅速进行湿度管理。

附图说明

[0024] 图1是表示本发明的第1实施方式的干燥室的结构的概略说明图。其中，(A)是干燥室的主视图，(B)是干燥室的后视图，(C)是干燥室的左视图，(D)是干燥室的俯视图。

[0025] 图2是表示本发明的第1实施方式中的排气的控制方法的框图。

[0026] 图3是表示本发明的第1实施方式的干燥室和除湿装置的结构的概略说明图。

[0027] 图4是表示本发明的第1实施方式的干燥室的排气部的结构的概略说明图。

[0028] 其中，(A)是排气部的主视图，(B)是排气部的立体图，(C)是排气部的A‑A’剖视图，(D)是排气部的A‑A’剖面的立体图。

[0029] 图5是用于说明本发明的第1实施方式的干燥室的排气部的控制的概略说明图。其中，(A)表示分别配置于干燥室的不同区域的排气部，(B)是表示单独控制分别配置于不同区域的排气部的空气排气量的情况的概略说明图。

[0030] 图6是用于说明基于本发明的第1实施方式的干燥室的检测部进行的控制的概略说明图。其中，(A)是表示基于检测部单独控制排气部的空气排气量的情况的概略说明图，(B)是表示作业者在管理空间内移动的情况下基于检测部单独控制排气部的空气排气量的情况的概略说明图。

[0031] 图7是表示本发明的第2实施方式的干燥室的结构的概略说明图。其中，(A)是干燥室的主视图，(B)是用于说明基于检测引起露点温度上升的物质的进入的第2检测部进行的控制的概略说明图。

[0032] 图8是表示本发明的第3实施方式的干燥室和除湿装置的结构的概略说明图。

[0033] 图9是表示本发明的第4实施方式的干燥室的结构的概略说明图。其中，(A)是干燥室的主视图，(B)是干燥室的后视图，(C)是干燥室的左视图，(D)是干燥室的俯视图。

[0034] 图10是表示本发明的第4实施方式的单独控制干燥室的规定区域的空气排气量的情况的概略说明图。

[0035] 图11是表示本发明的第5实施方式的干燥室的结构的概略说明图。其中，(A)是干燥室的主视图，(B)是表示单独控制规定区域的空气排气量的情况的概略说明图。

[0036] 图12是表示本发明的第6实施方式的干燥室的第1检测部的检测物体的重量并使风门机械性地打开的结构的概略说明图。

具体实施方式

[0037] 以下，参考附图对本发明的干燥室的实施方式进行详细说明。另外，实施方式中记载的干燥室只不过是用于说明本发明的干燥室的示例，其并不只限于此。

[0038] 并且，关于干燥室的控制方法中的各步骤的说明，通过与各步骤相对应的干燥室的各结构的动作来进行说明。

[0039] 〔第1实施方式〕

[0040] 图1是表示本发明的第1实施方式的干燥室1A的结构的概略说明图。其中，(A)是干燥室1A的主视图，(B)是干燥室1A的后视图，(C)是干燥室1A的左视图，(D)是干燥室1A的俯视图。另外，干燥室1A的右视图与图1中(C)的干燥室1A的左视图相同，因此进行了省略。并且，干燥室1A不具备底面，因此也省略了仰视图。

[0041] 本发明的干燥室1A配置于工厂或建筑物内，通过将内部空间的露点温度调节成低于外部空间的露点温度从而提供在低湿度环境下进行的作业(例如，制造工艺等)的作业空间。如图1所示，本发明的干燥室1A具备：分别具有排气部2a～2d的四根支柱3a～3d及顶棚4，并且使用塑料帘幕5包围其周围从而在内部形成了露点温度低于外部空间的露点温度的管理空间15。另外，在本发明中，“露点温度”实质上用于表示空间的干燥程度，不仅可以实际利用露点温度来进行管理，也可以利用表示空间的干燥状态的湿度等其他指标来进行管理。

[0042] 本发明的干燥室1A具备供给调节了露点温度后的空气的供给部6和排出管理空间15的空气的排气部2，从而将管理空间15的露点温度调节成低于外部空间的露点温度。而且，本发明的干燥室1A为控制管理空间15内的露点温度的干燥室，其特征在于，具备排出管理空间15内的空气的多个排气部2a～2d，所述多个排气部2a～2d配置于管理空间15内的互不相同的区域(参考图5中(A)的“区域Ra”～“区域Rd”)，并且分别单独调整从各区域排出的空气的排气量。

[0043] 另外，本发明中的“控制”意味着调节干燥室1A内的管理空间15内的露点温度，例如，不仅包括将管理空间内的露点温度调节成规定的温度的操作，还包括将管理空间内的露点温度降低至低于管理空间外的露点温度的操作等。

[0044] 以下，对各部进行详细说明。

[0045] (管理空间)

[0046] 如图1中(A)～(D)所示，管理空间15由支柱3a～3d、顶棚4、以及包覆正面、背面及两个侧面的塑料帘幕5构成。顶棚4上设置有供给调节了露点温度后的空气的供给部6，正面的塑料帘幕5上设置有供作业者等进出的出入口7。在支柱3a～3d的内部有使空气通过的通气通道(未图示)，其构成用于排出管理空间15的空气的排气部2a～2d。并且，在支柱3a～3d的底部设置有调节器8及脚轮9。

[0047] 安装于支柱3a～3d的调节器8用于固定干燥室1A的位置并且分别单独调整各支柱的高度。并且，脚轮9有助于移动干燥室1A。由此，能够简单且自由移动和固定干燥室1A。

[0048] 由支柱3a～3d、顶棚4及塑料帘幕5形成与外部隔离的封闭空间。由此，能够提供可管理湿度的管理空间15。

[0049] 并且，设置于干燥室1A的正面的出入口7能够使作业者进出管理空间15或对管理空间15搬入或搬出产品。另外，管理空间15可以是供作业者进行作业等的空间，也可以是仅设置有机械等的无人空间。

[0050] 干燥室1A的大小和形状、出入口7的设置位置和数量可以根据管理空间15的用途而任意设定。例如，也可以在图1所示的干燥室1A的背面设置出入口7，并使其与另一相同的干燥室1A的正面的出入口7成为一体，从而连结多个干燥室。

[0051] 并且，为了提高干燥室1A内的作业环境，也可以在干燥室1A内设置照明器具。例如，照明器具的设置位置可以在柱部3或顶棚4的表面或内部。优选设置在顶棚4的内部。

[0052] 并且，塑料帘幕5的材料只要是不让管理空间15内的空气通过的材料即可，其并不受特别限定。例如，可举出透明或遮光的材料或防静电的高分子材料。人在管理空间15内进行作业的情况下，从安全性等方面考虑，优选使用透明且防静电的材料。

[0053] 而且，为了防止管理空间15内的过多的空气从塑料帘幕5的下摆部泄漏，可以在塑料帘幕5上配置重物。并且，优选在出入口7处的塑料帘幕5上设置重物，以免管理空间15内的空气必要以上地泄漏。

[0054] 另外，在第1实施方式的干燥室1A中，作为用于形成管理空间15的包围体使用了塑料帘幕5，但在本发明的干燥室中，也可以使用除了塑料帘幕5以外的用于形成管理空间15的包围体。例如，也可以使用木材、钢铁、石材、硬质塑料等的板材从而代替塑料帘幕5。塑料帘幕5具有不让空气通过、轻且容易移动的优点。并且，还具有以下优点：通过使用透明的塑料帘幕，能够从外部确认内部的作业者的安全状况。

[0055] 调节了露点温度后的空气从供给部6供给至管理空间15，并从排气部2a～2d排出管理空间15内部的空气。此时，来自供给部6的空气的供给量设定为大于排气部2a～2d的总排气量。由此，管理空间15的内部成为正压，因此具有如下效果：即使在作业者进出管理空间15等时出入口7暂时开放，外部的空气也难以流入到管理空间15的内部。

[0056] (供给部)

[0057] 图1中(D)是干燥室的俯视图。如图1中(D)所示，在干燥室1A中，在顶棚4的上部的中央配置有供给部6。如图3所示，供给部6经由供气软管21与除湿装置16连结。被除湿装置16处理而露点温度得到了调节的空气通过供气软管21从供给部6供给至干燥室1A。另外，顶棚4具有沿水平方向扩展的空间(未图示)，而且，在顶棚4的管理空间15侧形成有多个供给孔41。从供给部6供给的空气在顶棚4内部的空间流通从而朝向水平方向扩散并从各供给孔
41流入管理空间15的内部(另外，空气的流动见图3中的单点划线)。由此，能够将被除湿装置16处理后的空气供给至管理空间15的大范围。

[0058] 另外，关于供给部6的配置位置和配置数量，只要能够迅速进行干燥室1A内的湿度管理，则任意配置位置及任意配置数量均可。

[0059] 关于从顶棚4供给的露点温度被调节后的空气流，只要能够使空气迅速遍及管理空间15即可，其并不受特别限定。例如，可以是以平行流线且以恒定的流速向一个方向前进的单向流，也可以是方向不定的非单向流。另外，若采用单向流，则能够基于无乱流的塞流抑制污染的扩散并且能够用清洁的气体替换管理空间内的气体，因此不仅能够管理管理空间15的湿度还能够维持清洁度，因此优选。

[0060] 并且，可以使用任意的空气过滤器对从供给部6流入的空气进行处理。由此，能够去除除湿装置16未能完全去除的悬浮微粒或悬浮微生物等。

[0061] 关于除湿装置16，只要能够对管理空间15进行湿度管理，则可以采用任意的除湿装置。例如，优选采用除湿性能高的干燥剂式除湿装置。

[0062] (排气部)

[0063] 在支柱3a～3d的内部有使空气通过的通气通道(未图示)，其构成用于排出管理空间15的空气的排气部2a～2d。图4中示出了排气部2a的结构。图4中(A)是主视图，图4中(B)是立体图。另外，排气部2a～2d的结构与排气部2a的结构相同，因此省略对排气部2b～2d的说明。在支柱3a的底部形成有用于将管理空间15的空气吸入支柱3a的吸入口12a，在支柱3a的上部形成有向外部排出支柱3a内的空气的排气管13。另外，各排气管13经由未图示的排气软管与除湿装置16连结。

[0064] 并且，在支柱3a内部的通气通道上设置有用于将支柱3a内部的空气从吸入口12a送往排气管13的吸入风扇17。图4中(C)及(D)中示出了支柱3a的内部结构。图4中(C)是沿图4中(A)的A‑A’线剖切的剖视图，图4中(D)是其立体图。另外，分别设置于各支柱3a～3d上的吸入风扇17可以单独调整送风量。

[0065] 并且，排气部2a～2d中的排气量的调整采用任意方法进行均可。例如，可举出：在吸入口12设置能够调整开度的风门并利用风门的开度来调整排气量的方法；或设置多个风门并利用打开的风门数量来调整排气量的方法等。并且，排气部2a～2d具备用于检测作业者等的第1检测部10a～10d。

[0066] 接着，对排气部的控制进行说明。图5中(A)中示出了配置于干燥室1A的彼此不同的区域(Ra～Rd)的排气部2a～2d。在此，区域Ra～Rd并不具有分隔物，而是将最靠近各排气部2a～2d的位置分别设定为区域Ra～Rd，用来表示从各排气部2a～2d排出空气的区域。另外，也可以设置使各区域的空间彼此连通的规定的分隔物从而形成从各排气部2a～2d排出空气的区域。

[0067] 在本发明的干燥室1A中，单独调整分别与区域Ra～Rd的空气排出相对应的各排气部2a～2d的排气量。例如，如图5中(B)所示，当作业者W在区域Ra内进行作业时，进行使排出区域Ra的空气的排气部2a的排气量增加的控制。即，若检测部10a检测到作业者的存在，则进行使吸入风扇17的旋转加快或使风门的开度增加从而增加区域Ra的排气量的控制。另外，箭头表示从供给部6流入的空气的流动，箭头的粗细表示排气量的大小。

[0068] 在第1实施方式的干燥室1A中，各排气部2a～2d的排气量的调整也可以通过设置于支柱3b上的操作面板14进行。例如，在作业者W计划在区域Ra中进行作业的情况下，在进入干燥室1A内部之前，通过操作操作面板14预先增加排气部2a的排气量。由此，即使区域Ra的露点温度在作业者W的作业期间上升，也会优先排出露点温度上升的空气，具有能够使管理空间内的露点温度的上升迅速变得正常化的效果。

[0069] (第1检测部)

[0070] 第1实施方式的干燥室1A具备第1检测部10a～10d，所述第1检测部10a～10d检测在与各支柱3a～3d相对应的各区域Ra～Rd内移动的引起露点温度上升的物质或各支柱3a～3d附近的露点温度。尤其，将检测移动的引起露点温度上升的物质的第1检测部称为物体检测部，将检测露点温度的第1检测部称为区域湿度检测部。例如，如图6中(A)及(B)所示，当作业者W从区域Ra朝向区域Rb移动时，无需操作操作面板14来改变排气部的排气量。即，能够进行如下控制：若第1检测部10a(物体检测部)变得检测不到作业者则自动降低排气部2a的排气量，若第1检测部10b检测到了作业者等则增加排气量2b的排气量。

[0071] 并且，能够进行如下控制：若第1检测部10(区域湿度检测部)检测到了各支柱3a～3d附近的露点温度上升，则自动增加排气部2的排气量。

[0072] 第1检测部(物体检测部)可以使用检测引起露点温度上升的物质的检测部。引起露点温度上升的物质例如可举出作业者(人)或含有水分的物体等，作为检测这些物质的第1检测部，例如有检测引起露点温度上升的物质的位置的检测部，例如，监控摄像机、红外线传感器、检测局部的重量变化的重量测定器等。并且，检测物体的重量的第1检测部可以构成为根据物体的重量使附近的风门机械性地打开的结构。

[0073] 在检测部检测引起露点温度上升的物质的情况下，能够在各区域Ra～Rd的空间的水分量发生变化之前调整排气量，因此能够迅速调整露点温度。

[0074] 并且，第1检测部(区域湿度检测部)可以使用检测空气的露点温度的检测部。例如，可举出直接检测空气中的水分量的检测部，例如，湿度计或露点计等。在检测部使用直接检测空气中的水分量的湿度计或露点计等的情况下，能够准确地确认各区域Ra～Rd的空间的水分量的变化，因此能够高精度地调整露点温度。

[0075] (控制部)

[0076] 控制部11可以设置于干燥室1A内的任意部位，也可以设置于干燥室1A外。如图2所示，控制部11与第1检测部10和排气部2连接。关于连接方式，可以通过电缆直接连接，也可以经由无线等通讯技术间接连接。

[0077] 控制部11根据由第1检测部10检测出的信息来调节排气部2的动作，从而维持管理空间15的露点温度。由此，能够自动控制区域Ra～Rd的露点温度。

[0078] 另外，在检测引起露点温度上升的物质的情况下，可以根据该物质的种类和状态来控制排气部的排气量。例如，可以进行如下控制：利用重量测定器或红外线传感器测量作业者的体重或发热量，并根据这些信息增减排气部的排气量等。

[0079] 通过采用上述结构特征，本发明的干燥室1A根据管理空间15内的区域Ra～Rd的露点温度的变化来调整与其相对应的各排气部2a～2d的排气量，由此，能够在露点温度为‑40℃以下的低湿度环境下有效地且准确地管理因来自作业者等的湿度负荷而上升的管理空间15内的露点温度。

[0080] 〔第2实施方式〕

[0081] 本发明的第2实施方式的干燥室1B在第1实施方式的干燥室1A的基础上进一步具备第2检测部18。另外，其他结构则与第1实施方式的干燥室1A的结构相同，因此省略说明。

[0082] (第2检测部)

[0083] 如图7中(A)所示，干燥室1B在管理空间外的支柱3b上具备第2检测部18。例如，如图7中(B)所示，第2检测部18检测作业者等引起露点温度上升的物质的进入，并事先对出入口7附近的排气部(例如，排气部2a和2b)发送增加排气量的指令。由此，能够自动减少由作业者等引起的对管理空间15的湿度负荷。

[0084] 第2检测部18用于检测引起露点温度上升的物质，例如，监控摄像机、红外线传感器、重量测定器等，其检测引起露点温度上升的物质。另外，作为基于第2检测部18的控制，可以根据该物质的种类和状态来控制排气部的排气量。例如，可以进行如下控制：通过重量测定器或红外线传感器来测量作业者的体重或发热量，并根据这些信息来增减排气部的排气量等。

[0085] 另外，关于第2检测部18，只要设置在管理空间外即可，其也可以不设置于支柱3b上。例如，也可以作为与干燥室1B独立的装置而设置于制造设备等中的至干燥室1B为止的作业者的动线上。

[0086] 通过采用上述结构特征，在本发明的干燥室1B中，第2检测部18设置于管理空间15的外侧，因此，能够在人的进出或产品的搬入或搬出等引起露点温度上升的物质侵入之前事先增加出入口7附近的排气部的排气量，从而减少由所述侵入引起的湿度负荷。由此，即使存在人等的进出的湿度负荷，也能够有效地且准确地管理管理空间15的露点温度。

[0087] 〔第3实施方式〕

[0088] 本发明的第3实施方式的干燥室1C通过将第1实施方式的干燥室1A的各排气部2a～2d连结于除湿装置16而成。如图8所示，在第3实施方式的干燥室1C中，各排气部2a～2d的排气管13与一个排气软管19连结，而排气软管19与除湿装置16连结。并且，排气软管19具备将从干燥室1C排出的空气送往除湿装置16的排气风扇20，并且通过排气风扇20来设定从干燥室1C的总排气量。

[0089] 并且，在第3实施方式的干燥室1C中，不具备在第1实施方式中原本设置在干燥室1A的各支柱3a～3d上的吸入风扇17，各排气部2a～2d的排气量的单独调整通过各支柱3a～
3d的吸入口12的风门的开度来进行调整。其他结构则与第1实施方式的干燥室1A的及结构相同，因此省略说明。

[0090] 通过采用上述特征，本发明的干燥室1C通过控制一个排气风扇20来控制各排气部2a～2d的总排气量，因此具有容易控制总排气量并且容易将管理空间的内部调整为正压的效果。

[0091] 〔第4实施方式〕

[0092] 本发明的第4实施方式的干燥室1D具备由具有多个风门22的配管构成的排气部2e、2f及2g从而代替第1实施方式的干燥室1A的各吸入口12a～12d(参考图9中(D))。并且，还具备由监控摄像机构成的第1检测部10e从而代替第1实施方式的干燥室1A的第1检测部
10a～10d(参考图9中(A))。其他结构则与第1实施方式的干燥室1A的结构相同，因此省略说明。

[0093] 排气部2e为连结形成于支柱3b内部的排气部2b和形成于支柱3c内部的排气部2c的配管，在排气部2e设置有朝向管理空间15侧的多个风门22。并且，排气部2f为连结形成于支柱3c内部的排气部2c和形成于支柱3d内部的排气部2d的配管，排气部2g为连结形成于支柱3d内部的排气部2d和形成于支柱3a内部的排气部2a的配管。设置于排气部2e、2f及2g的多个风门22的开闭动作被单独控制。

[0094] 第1检测部10e由监控摄像机构成，其检测管理空间15内的作业者W等引起露点温度上升的物质。在第4实施方式的干燥室1D的控制中，例如，如图10所示，若由监控摄像机构成的第1检测部10e检测到作业者W的位置，则打开作业者W附近的风门22(用黑色表示已打开的风门22)，从而在作业者W的周围形成优先排出露点温度上升的空气的区域Re。并且，若作业者W移动，则根据作业者W的位置开闭适当的风门22，从而优先排出露点温度上升的空气。另外，风门22的开闭可以是完全打开或完全关闭的开关控制，也可以对多个风门22分别控制开度。

[0095] 并且，在没有检测到作业者W等引起露点温度上升的物质的情况下(作业者W不在干燥室内的情况等)，只需打开规定位置(例如，支柱3a～3d附近)的风门22来控制管理空间15内的露点温度即可。

[0096] 〔第5实施方式〕

[0097] 本发明的第5实施方式的干燥室1E具备由在内部具有空间的地板构成的排气部2h从而代替第3实施方式的干燥室1C的各排气部2a～2d(参考图11中(A))。并且，还具备由配置于地板整个区域的重量测定器构成的第1检测部10f从而代替第3实施方式的干燥室1C的第1检测部10a～10d(参考图11中(A))。其他结构则与第3实施方式的干燥室1C的结构相同，因此省略说明。

[0098] 排气部2h由在内部具有空间的地板构成，在地板的管理空间15侧的面上具有多个排气孔23。并且，地板的内部空间与支柱3a～3d内部的通气通道连通，经由排气管13排出管理空间15内的空气。排气孔23的开闭动作被单独控制，由此能够选择性地调整规定区域的空气的排气量。

[0099] 第1检测部10f由配置于地板整个区域的重量测定器构成，其检测管理空间15内的作业者W等引起露点温度上升的物质的位置及重量。在第5实施方式的干燥室1E的控制中，例如，如图11中(B)所示，若由重量测定器构成的第1检测部10f检测到作业者W的位置，则打开作业者W附近的排气孔23(用灰色表示已打开的排气孔23)，从而在作业者W的周围形成优先排出露点温度上升的空气的区域Rg。并且，若作业者W移动，则根据作业者W的位置开闭适当的排气孔23，从而优先排出露点温度上升的空气。另外，排气孔23的开闭可以是完全打开或完全关闭的开关控制，也可以对多个排气孔23分别控制开度。并且，也可以控制成根据作业者W的体重来增减排气孔23的打开区域。

[0100] 并且，关于排气孔23的开闭，也可以如上述第4实施方式那样利用由监控摄像机构成的第1检测部检测作业者W的位置并对其周围的排气孔23进行控制。

[0101] 另外，在没有检测到作业者W等引起露点温度上升的物质的情况下，只需打开规定位置(例如，整个区域)的排气孔23来控制管理空间15内的露点温度即可。

[0102] 〔第6实施方式〕

[0103] 图12是表示本发明的第6实施方式的干燥室的第1检测部10g的结构的概略说明图。如图12所示，第1检测部10g具备与地面分开配置的多个风门25和使多个风门25朝向垂直方向上方施力的施力部件24。在多个风门25与地面之间形成有排出空气的排气部2g，其构成为若风门25下降则从风门25的间隙排出干燥室内的空气。另一方面，风门25形成为若风门25在施力部件24的作用下向上施力则被关闭。另外，施力部件24并不受特别限定，例如可举出螺旋弹簧或海绵等。

[0104] 如图12所示，根据本发明的第6实施方式的干燥室的第1检测部10g，若作业者W在干燥室内进行作业，则会用脚踩踏风门25，因此风门25会机械性地打开。因此，空气的排气量仅在作业者W所在区域局部增加，能够迅速降低露点温度。

[0105] 另外，作为基于作业者等的重量而使风门机械性地打开的结构，只要是利用物体的重量的按压力而使风门打开的结构即可，其并不只限于上述第1检测部10g。通过采用基于重量使风门机械性地打开的结构，具有不需要进行控制部那样的电控制的优点。

[0106] 产业上的可利用性

[0107] 本发明的干燥室能够用于将作业区域的湿度稳定地调节成任意的目标露点温度。具体而言，能够提供一种能够有效且迅速地维持目标湿度条件的干燥室。

[0108] 并且，本发明的干燥室通过将内部空间的露点温度调节成低于外部空间的露点温度从而能够提供制造电子元件或半导体、电池、医药品、涂料等产品的制造工艺或分析工艺等低湿度环境下进行的作业的作业空间。

[0109] 符号说明

[0110] 1A、1B、1C、1D、1E‑干燥室，2、2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h、2g‑排气部，3a、3b、3c、3d‑支柱，4‑顶棚，41‑供给孔，5‑塑料帘幕，6‑供给部，7‑出入口，8‑调节器，9‑脚轮，10a、
10b、10c、10d、10e、10f、10g‑第1检测部，11‑控制部，12、12a、12b、12c、12d‑吸入口，13‑排气管，14‑操作面板，15‑管理空间，16‑除湿装置，17‑吸入风扇，18‑第2检测部，19‑排气软管，
20‑排气风扇，21‑供气软管，22‑风门，23‑排气孔，24‑施力部件，25‑风门，Ra、Rb、Rc、Rd、Re、Rg‑区域，W‑作业者。