一种外延片的存储运输方法及装置

摘要

本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种外延片的存储运输装置，包括输送机构和存储机构，其中存储机构包括多个存储单元，存储单元与存储单元之间通过连接带连接构成带状结构，连接带的材料为柔性材料，存储单元包括存储座，存储座上设有存储筒，存储筒的顶部设有开口，存储筒的顶部开口上设有用于控制开口开合的开关单元，输送机构包括机架，机架上设有两个对称设置的链条，链条由多个链节连接构成，相邻的链节之间通过销轴转动的连接，链节的链板上设有用于夹持存储机构的夹具；本发明通过存储机构有序的存储外延片，有利于后续的加工。

权利要求

1.一种外延片的存储运输装置，其特征在于，包括输送机构和存储机构，其中存储机构包括多个存储单元（101），存储单元（101）与存储单元（101）之间通过连接带（102）连接构成带状结构，连接带（102）的材料为柔性材料，存储单元（101）包括存储座（103），存储座（103）上设有存储筒（104），存储筒（104）的顶部设有开口，存储筒（104）的顶部开口上设有用于控制开口开合的开关单元，开关单元包括多个开关片（105），多个开关片（105）以存储筒（104）的轴线为中心均匀环形阵列分布，开关片（105）通过开关框架（107）与存储筒（104）的内壁连接，开关片（105）通过开关轴（106）与开关框架（107）转动的连接，开关片（105）靠近存储筒（104）内壁的一面设有多个齿，存储筒（104）的内壁上设有与开关片（105）的齿配合的内齿圈（108），内齿圈（108）与存储筒（104）转动的连接，并且内齿圈（108）的外周连接一个拨片（109），存储筒（104）的壁上设有与拨片（109）配合的弧形槽；

输送机构包括机架（201），机架（201）上设有两个对称设置的链条（202），两个链条（202）之间设有用于存储机构通过的通道，一个链条（202）绕在两个链轮（203）上，链轮（203）的中心通过轮轴连接机架（201），一个链条（202）所连接的两个链轮（203）中的一个链轮（203）的轮轴连接输送电机的输出端；

链条（202）由多个链节（204）连接构成，相邻的链节（204）之间通过销轴转动的连接，链节（204）的链板（205）上设有用于夹持存储机构的夹具，夹具包括两个分别连接链节（204）的两个链板（205）的翻板（206），翻板（206）通过转轴与链板（205）转动的连接；翻板（206）靠近链轮（203）的一面设有导杆（208），靠近通道的一段链条（202）的上方设有导轨（209），导轨（209）连接机架（201），夹具的导杆（208）与导轨（209）接触时两个翻板（206）旋转相互靠近，夹住存储机构的存储座（103）；

一个链条（202）上方的导轨（209）上设有拨动机构，拨动机构包括设于导轨（209）顶部的挡板（210），存储单元（101）通过挡板（210）时存储单元（101）的拨片（109）被挡板（210）推动在存储筒（104）的弧形槽内滑动。

2.根据权利要求1所述的一种外延片的存储运输装置，其特征在于，所述导杆（208）与链节（204）的链板（205）之间设有挡块（211），挡块（211）固定的连接链板（205）或者导杆（208）。

3.根据权利要求2所述的一种外延片的存储运输装置，其特征在于，所述导杆（208）与链节（204）的链板（205）之间设置拉簧（212）。

4.根据权利要求1所述的一种外延片的存储运输装置，其特征在于，所述翻板（206）远离链轮（203）的一面设有夹块（207），夹块（207）的顶部靠近连接的中间的一侧设有斜面。

5.根据权利要求4所述的一种外延片的存储运输装置，其特征在于，所述夹块（207）的顶部的斜面上设有防滑纹。

6.根据权利要求1所述的一种外延片的存储运输装置，其特征在于，所述导杆（208）的底部设有球面。

7.根据权利要求1所述的一种外延片的存储运输装置，其特征在于，所述导杆（208）的底部嵌有滚珠，导杆（208）的底部设有与滚珠配合的球形凹槽，滚珠与导杆（208）转动的连接。

8.根据权利要求1所述的一种外延片的存储运输装置，其特征在于，所述存储筒（104）的顶部和底部均设有开口，存储筒（104）的底部和顶部的开口上均设有用于控制开口开合的开关单元；

导轨（209）的顶部和底部均设有挡板（210），导轨（209）顶部的挡板（210）位于导轨（209）的前端，导轨（209）底部的挡板（210）位于导轨（209）的后端。

9.根据权利要求1或2或4所述的一种外延片的存储运输装置的运输方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，启动输送电机，输送电机分别驱动两个链条（202）的链轮（203）旋转，一个链条（202）的链轮（203）的旋转方向与另一个链条（202）的链轮（203）的旋转方向相反，但两个链条（202）的链轮（203）的转速相同；链条（202）驱动存储机构两侧的夹具同步的向前移动，夹具夹持存储机构向前移动；

步骤S2，向挡板（210）后侧的存储单元（101）的存储筒（104）的开口内放入外延片；

步骤S3，链条（202）带动已经放入外延片的存储单元（101）向前移动，存储单元（101）通过挡板（210）时挡板（210）推动存储单元（101）的拨片（109）滑动，拨片（109）驱动内齿圈（108）转动关闭存储筒（104）的开口；

步骤S4，链条（202）带动存储筒（104）的开口关闭的存储单元（101）向前移动，从通道的前端对存储机构进行收卷。

说明书

一种外延片的存储运输方法及装置

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体加工技术领域，更具体地说，它涉及一种外延片的存储运输装置。

背景技术

[0002] 外延片在生产的过程中，需要进行输送，现有技术中外延片都是散乱的摆放在传输带上进行输送，不利于后续的加工以及转运。

发明内容

[0003] 本发明提供一种外延片的存储运输装置，解决相关技术中外延片散乱的摆放在传输带上进行输送不利于后续的加工的技术问题。

[0004] 根据本发明的一个方面，提供了一种外延片的存储运输装置，包括输送机构和存储机构，其中存储机构包括多个存储单元，存储单元与存储单元之间通过连接带连接构成
带状结构，连接带的材料为柔性材料，存储单元包括存储座，存储座上设有存储筒，存储筒
的顶部设有开口，存储筒的顶部开口上设有用于控制开口开合的开关单元，开关单元包括
多个开关片，多个开关片以存储筒的轴线为中心均匀环形阵列分布，开关片通过开关框架
与存储筒的内壁连接，开关片通过开关轴与开关框架转动的连接，开关片靠近存储筒内壁
的一面设有多个齿，存储筒的内壁上设有与开关片的齿配合的内齿圈，内齿圈与存储筒转
动的连接，并且内齿圈的外周连接一个拨片，存储筒的壁上设有与拨片配合的弧形槽。拨片
带动内齿圈旋转，内齿圈与开关片的齿的配合能够驱动开关片绕开关轴旋转，使开关片的
内边靠近或远离存储筒的中心，实现对于存储筒的开口的开合的控制。

[0005] 输送机构包括机架，机架上设有两个对称设置的链条，两个链条之间设有用于存储机构通过的通道，一个链条绕在两个链轮上，链轮的中心通过轮轴连接机架，一个链条所
连接的两个链轮中的一个链轮的轮轴连接输送电机的输出端；

[0006] 链条由多个链节连接构成，相邻的链节之间通过销轴转动的连接，链节的链板上设有用于夹持存储机构的夹具，夹具包括两个分别连接链节的两个链板的翻板，翻板通过
转轴与链板转动的连接，翻板远离链轮的一面设有夹块，夹块的顶部靠近连接的中间的一
侧设有斜面；翻板靠近链轮的一面设有导杆，靠近通道的一段链条的上方设有导轨，导轨连
接机架，夹具的导杆与导轨接触时两个翻板旋转相互靠近，夹住存储机构的存储座；

[0007] 一个链条上方的导轨上设有拨动机构，拨动机构包括设于导轨顶部的挡板，存储单元通过挡板时存储单元的拨片被挡板推动在存储筒的弧形槽内滑动。

[0008] 在本发明的一个实施例中，连接带的材料为橡胶或PVC。

[0009] 在本发明的一个实施例中，导杆与链节的链板之间设有挡块，挡块固定的连接链板或者导杆。挡块能够限制翻板最大能够旋转至与链板垂直的位置。

[0010] 进一步在导杆与链节的链板之间设置拉簧，拉簧能够使导杆脱离导轨之后能够恢复到与连接的链板平行的状态。

[0011] 在本发明的一个实施例中，夹块的顶部的斜面上设有防滑纹。

[0012] 在本发明的一个实施例中，导杆的底部设有球面。使导杆底部接触导轨时能够顺畅的滑动到导轨上。

[0013] 在本发明的一个实施例中，导杆的底部嵌有滚珠，导杆的底部设有与滚珠配合的球形凹槽，滚珠与导杆转动的连接。滚珠使导杆底部接触导轨时能够顺畅的滑动到导轨上。

[0014] 根据本发明的一个方面，提供了一种外延片的存储运输装置的存储运输方法，包括以下步骤：

[0015] 步骤S1，启动输送电机，输送电机分别驱动两个链条的链轮旋转，一个链条的链轮的旋转方向与另一个链条的链轮的旋转方向相反，但两个链条的链轮的转速相同；链条驱
动存储机构两侧的夹具同步的向前移动，夹具夹持存储机构向前移动；

[0016] 步骤S2，向挡板后侧的存储单元的存储筒的开口内放入外延片；

[0017] 步骤S3，链条带动已经放入外延片的存储单元向前移动，存储单元通过挡板时挡板推动存储单元的拨片滑动，拨片驱动内齿圈转动关闭存储筒的开口；

[0018] 步骤S4，链条带动存储筒的开口关闭的存储单元向前移动，从通道的前端对存储机构进行收卷。

[0019] 进一步地，存储筒的顶部和底部均设有开口，存储筒的底部和顶部的开口上均设有用于控制开口开合的开关单元；

[0020] 导轨的顶部和底部均设有挡板，挡板与导轨之间通过螺旋旋转的连接，导轨顶部的挡板位于导轨的前端，导轨底部的挡板位于导轨的后端。

[0021] 本发明的有益效果在于：

[0022] 本发明通过存储机构有序的存储外延片，有利于后续的加工，并且存储机构能够卷绕存储，方便转运。

附图说明

[0023] 图1是本发明实施例的一种外延片的存储运输装置的俯视图；

[0024] 图2是图1的A处放大图；

[0025] 图3是本发明实施例的存储筒的俯视图；

[0026] 图4是本发明实施例的存储筒的正视图；

[0027] 图5是本发明实施例的开关单元的结构示意图；

[0028] 图6是本发明实施例的链节和夹具的结构示意图；

[0029] 图7是本发明实施例的夹具夹住存储单元的示意图；

[0030] 图8是本发明实施例的夹具设置挡块的结构示意图；

[0031] 图9是本发明实施例的夹具设置挡块和拉簧的结构示意图；

[0032] 图10是本发明实施例的一种外延片的存储运输装置的运输方法的流程图；

[0033] 图11是本发明实施例的存储筒设置两个开关单元的结构示意图。

[0034] 图中：存储单元101，连接带102，存储座103，存储筒104，开关片105，开关轴106，开关框架107，内齿圈108，拨片109，机架201，链条202，链轮203，链节204，链板205，翻板206，
夹块207，导杆208，导轨209，挡板210，挡块211，拉簧212。

具体实施方式

[0035] 现在将参考示例实施方式讨论本文描述的主题。应该理解，讨论这些实施方式只是为了使得本领域技术人员能够更好地理解从而实现本文描述的主题，并非是对权利要求
书中所阐述的保护范围、适用性或者示例的限制。可以在不脱离本说明书内容的保护范围
的情况下，对所讨论的元素的功能和排列进行改变。各个示例可以根据需要，省略、替代或
者添加各种过程或组件。另外，相对一些示例所描述的特征在其他例子中也可以进行组合。

[0036] 如图1‑图9所示，一种外延片的存储运输装置，包括输送机构和存储机构，其中存储机构包括多个存储单元101，存储单元101与存储单元101之间通过连接带102连接构成带
状结构，连接带102的材料为柔性材料，存储单元101包括存储座103，存储座103上设有存储
筒104，存储筒104的顶部设有开口，存储筒104的顶部开口上设有用于控制开口开合的开关
单元，开关单元包括多个开关片105，多个开关片105以存储筒104的轴线为中心均匀环形阵
列分布，开关片105通过开关框架107与存储筒104的内壁连接，开关片105通过开关轴106与
开关框架107转动的连接，开关片105靠近存储筒104内壁的一面设有多个齿，存储筒104的
内壁上设有与开关片105的齿配合的内齿圈108，内齿圈108与存储筒104转动的连接，并且
内齿圈108的外周连接一个拨片109，存储筒104的壁上设有与拨片109配合的弧形槽。拨片
109带动内齿圈108旋转，内齿圈108与开关片105的齿的配合能够驱动开关片105绕开关轴
106旋转，使开关片105的内边靠近或远离存储筒104的中心，实现对于存储筒104的开口的
开合的控制。

[0037] 输送机构包括机架201，机架201上设有两个对称设置的链条202，两个链条202之间设有用于存储机构通过的通道，一个链条202绕在两个链轮203上，链轮203的中心通过轮
轴连接机架201，一个链条202所连接的两个链轮203中的一个链轮203的轮轴连接输送电机
的输出端；

[0038] 链条202由多个链节204连接构成，相邻的链节204之间通过销轴转动的连接，链节204的链板205上设有用于夹持存储机构的夹具，夹具包括两个分别连接链节204的两个链
板205的翻板206，翻板206通过转轴与链板205转动的连接，翻板206远离链轮203的一面设
有夹块207，夹块207的顶部靠近连接的中间的一侧设有斜面；翻板206靠近链轮203的一面
设有导杆208，靠近通道的一段链条202的上方设有导轨209，导轨209连接机架201，夹具的
导杆208与导轨209接触时两个翻板206旋转相互靠近，夹住存储机构的存储座103；

[0039] 一个链条202上方的导轨209上设有拨动机构，拨动机构包括设于导轨209顶部的挡板210，存储单元101通过挡板210时存储单元101的拨片109被挡板210推动在存储筒104
的弧形槽内滑动。

[0040] 在本发明的一个实施例中，连接带102的材料为橡胶或PVC。

[0041] 在本发明的一个实施例中，导杆208与链节204的链板205之间设有挡块211，挡块211固定的连接链板205或者导杆208。挡块211能够限制翻板206最大能够旋转至与链板205
垂直的位置。

[0042] 进一步在导杆208与链节204的链板205之间设置拉簧212，拉簧212能够使导杆208脱离导轨209之后能够恢复到与连接的链板205平行的状态。

[0043] 在本发明的一个实施例中，夹块207的顶部的斜面上设有防滑纹。

[0044] 在本发明的一个实施例中，导杆208的底部设有球面。使导杆208底部接触导轨209时能够顺畅的滑动到导轨209上。

[0045] 在本发明的一个实施例中，导杆208的底部嵌有滚珠，导杆208的底部设有与滚珠配合的球形凹槽，滚珠与导杆208转动的连接。滚珠使导杆208底部接触导轨209时能够顺畅
的滑动到导轨209上。

[0046] 如图10所示，对于上述的实施例的一种外延片的存储运输装置，提供一种外延片的存储运输装置的存储运输方法，包括以下步骤：

[0047] 步骤S1，启动输送电机，输送电机分别驱动两个链条202的链轮203旋转，一个链条202的链轮203的旋转方向与另一个链条202的链轮203的旋转方向相反，但两个链条202的
链轮203的转速相同；链条202驱动存储机构两侧的夹具同步的向前移动，夹具夹持存储机
构向前移动；

[0048] 存储机构的存储单元101移动到链条202的前端时夹具的导杆208已经脱离导轨209，此时夹具解除对于存储单元101的夹持，后侧的存储单元101移动到两个链条202之间
时，夹具的导杆208移动到导轨209上夹具夹持进入通道的存储单元101。

[0049] 步骤S2，向挡板210后侧的存储单元101的存储筒104的开口内放入外延片（可以是通过机械臂等将外延片放入，放入的外延片可以是半成品）；

[0050] 步骤S3，链条202带动已经放入外延片的存储单元101向前移动，存储单元101通过挡板210时挡板210推动存储单元101的拨片109滑动，拨片109驱动内齿圈108转动关闭存储
筒104的开口；

[0051] 步骤S4，链条202带动存储筒104的开口关闭的存储单元101向前移动，从通道的前端对存储机构进行收卷。

[0052] 步骤S4也可以是直接将存储机构移动到下一工序。

[0053] 上述的步骤是将外延片装载的过程，外延片取出时输送电机反转带动存储机构向后移动即可通过挡板210打开存储单元101的存储筒104的开口，从打开的开口取出外延片。

[0054] 通过上述的能够卷绕的存储机构能够方便外延片的存储以及转运。

[0055] 在上述的实施例中，由于仅在存储筒104的顶部设置开口，取出外延片时需要从存储筒104内抓取，较为不便，如图11所示，在本发明的另一个实施例中，存储筒104的顶部和
底部均设有开口，存储筒104的底部和顶部的开口上均设有用于控制开口开合的开关单元；

[0056] 导轨209的顶部和底部均设有挡板210，导轨209顶部的挡板210位于导轨209的前端，导轨209底部的挡板210位于导轨209的后端。

[0057] 初始时存储筒104的顶部和底部的开口打开，装载外延片时存储机构向前移动，存储筒104底部的拨片109首先接触导轨209底部的挡板210使存储筒104底部的开口关闭，然
后外延片放入存储筒104内部后，存储筒104顶部的拨片109再与导轨209顶部的挡板210接
触关闭存储筒104顶部的开口。

[0058] 在取出外延片时存储机构向后移动，存储筒104顶部的拨片109与导轨209顶部的挡板210接触打开存储筒104顶部的开口，然后存储筒104底部的拨片109再与导轨209底部
的挡板210接触打开存储筒104底部的开口，使外延片从存储筒104底部的开口落下，此时存
储筒104恢复到顶部和底部的开口打开的状态，可以在下方设置输送带输出落下的外延片。

[0059] 上面结合附图对本实施例的实施例进行了描述，但是本实施例并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术
人员在本实施例的启示下，在不脱离本实施例宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可
做出很多形式，均属于本实施例的保护之内。