晶圆盒清洗装置及其控制方法转让专利
申请号 : CN202110902585.6
文献号 : CN113843235B
文献日 : 2022-11-04
发明人 : 徐晨歌 , 李迎辉
申请人 : 徐州鑫晶半导体科技有限公司
摘要 :
权利要求 :
1.一种晶圆盒清洗装置(100)的控制方法,其特征在于,所述晶圆盒清洗装置(100)用于清洗晶圆盒(101),且包括腔体(1)、旋转架(2)和清洗组件(3),所述腔体(1)内限定出清洗腔(10),所述旋转架(2)可转动地设于所述清洗腔(10)内,且用于固定所述晶圆盒(101),所述清洗组件(3)设于所述腔体(1),所述清洗组件(3)具有清洗区域(R),且用于向所述清洗区域(R)喷清洗液,所述清洗组件(3)具有第一状态和第二状态,所述清洗组件(3)在所述第一状态下的喷液量大于在所述第二状态下的喷液量,所述旋转架(2)适于安装N个所述晶圆盒(101),N≥2,且N为正整数,N个所述晶圆盒(101)沿所述旋转架(2)的周向间隔设置,在所述旋转架(2)的横截面上,以所述旋转架(2)的转动轴线的正投影为圆心,所述清洗区域(R)对应的圆心角小于相邻两个所述晶圆盒(101)之间的区域对应的圆心角,所述旋转架(2)具有预设角度位置,所述晶圆盒清洗装置(100)包括角度检测结构(41),所述角度检测结构(41)用于检测所述旋转架(2)的转动角度,所述控制方法包括:
所述旋转架(2)带动所述晶圆盒(101)以使所述晶圆盒(101)相对所述清洗区域(R)转动,判断所述晶圆盒清洗装置(100)是否满足预设条件,所述预设条件为所述清洗区域(R)内具有所述晶圆盒(101)的至少部分;
如果是,则所述清洗组件(3)切换至所述第一状态,如果否,则所述清洗组件(3)切换至所述第二状态,
所述旋转架(2)自所述预设角度位置转动第一角度,则判断所述晶圆盒清洗装置(100)不满足所述预设条件,所述旋转架(2)继续转动第二角度,则判断所述晶圆盒清洗装置(100)满足所述预设条件,直至所述旋转架(2)继续转动第三角度,则判断所述晶圆盒清洗装置(100)再次不满足所述预设条件,其中,在所述旋转架(2)的横截面上,以所述旋转架(2)的转动轴线的正投影为圆心,所述第二角度和所述第三角度之和为360°/N。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒清洗装置(100)的控制方法,其特征在于,在所述第一状态下,所述清洗组件(3)开启,在所述第二状态下,所述清洗组件(3)关闭;或者,在所述第一状态和所述第二状态下,所述清洗组件(3)均开启,且所述清洗组件(3)在所述第一状态下的喷液压力大于在所述第二状态下的喷液压力。
3.根据权利要求1所述的晶圆盒清洗装置(100)的控制方法,其特征在于,所述晶圆盒清洗装置(100)包括探测结构(42),所述探测结构(42)用于探测所述晶圆盒(101),且所述探测结构(42)的探测方向与所述清洗组件(3)的喷射方向相同,所述探测结构(42)探测到所述晶圆盒(101)时,则判断所述晶圆盒清洗装置(100)满足所述预设条件,所述探测结构(42)未探测到所述晶圆盒(101),则判断所述晶圆盒清洗装置(100)不满足所述预设条件。
4.根据权利要求1‑3中任一项所述的晶圆盒清洗装置(100)的控制方法,其特征在于,所述控制方法还包括:
所述清洗组件(3)切换至所述第一状态时,所述旋转架(2)以第一转速段内的转速转动,所述清洗组件(3)切换至所述第二状态时,所述旋转架(2)以第二转速段内的转速转动,所述第二转速段内的最小转速大于所述第一转速段内的最大转速。
5.根据权利要求4所述的晶圆盒清洗装置(100)的控制方法,其特征在于,所述清洗组件(3)切换至所述第一状态时,所述旋转架(2)以第一转速匀速转动,所述清洗组件(3)切换至所述第二状态时,所述旋转架(2)先自所述第一转速加速至第二转速、再自所述第二转速减速,直至所述清洗组件(3)再次切换至所述第一状态时,所述旋转架(2)减速至所述第一转速。
6.一种晶圆盒清洗装置(100),其特征在于,包括:
腔体(1),所述腔体(1)内限定出清洗腔(10);
旋转架(2),所述旋转架(2)可转动地设于所述清洗腔(10)内,且用于固定所述晶圆盒(101),所述旋转架(2)适于安装N个所述晶圆盒(101),N≥2,且N为正整数,N个所述晶圆盒(101)沿所述旋转架(2)的周向间隔设置;
清洗组件(3),所述清洗组件(3)设于所述腔体(1),所述清洗组件(3)具有清洗区域(R),且用于向所述清洗区域(R)喷清洗液,所述清洗组件(3)具有第一状态和第二状态,所述清洗组件(3)在所述第一状态下的喷液量大于在所述第二状态下的喷液量,在所述旋转架(2)的横截面上,以所述旋转架(2)的转动轴线的正投影为圆心,所述清洗区域(R)对应的圆心角小于相邻两个所述晶圆盒(101)之间的区域对应的圆心角;
识别组件(4),所述识别组件(4)用于在所述旋转架(2)带动所述晶圆盒(101)转动时判断所述晶圆盒清洗装置(100)是否满足预设条件,所述识别组件(4)包括角度检测结构(41),所述角度检测结构(41)用于测量所述旋转架(2)的转动角度,以根据所述旋转架(2)的转动角度判断所述晶圆盒清洗装置(100)是否满足所述预设条件,在所述识别组件(4)判断所述晶圆盒清洗装置(100)满足所述预设条件时所述清洗组件(3)切换至所述第一状态,在所述识别组件(4)判断所述晶圆盒清洗装置(100)不满足所述预设条件时所述清洗组件(3)切换至所述第二状态,所述预设条件为所述清洗区域(R)内具有所述晶圆盒(101)的至少部分。
7.根据权利要求6所述的晶圆盒清洗装置(100),其特征在于,
在所述第一状态下,所述清洗组件(3)开启,在所述第二状态下,所述清洗组件(3)关闭;或者,
在所述第一状态和所述第二状态下,所述清洗组件(3)均开启,且所述清洗组件(3)在所述第一状态下的喷液压力大于在所述第二状态下的喷液压力。
8.根据权利要求6所述的晶圆盒清洗装置(100),其特征在于,所述识别组件(4)包括探测结构(42),所述探测结构(42)的探测方向与所述清洗组件(3)的喷射方向相同,所述探测结构(42)用于探测所述晶圆盒(101),且根据是否探测到所述晶圆盒(101)判断所述晶圆盒清洗装置(100)是否满足所述预设条件。
9.根据权利要求6‑8中任一项所述的晶圆盒清洗装置(100),其特征在于,还包括:
调速组件(5),所述调速组件(5)用于调整所述旋转架(2)的转速,且在所述清洗组件(3)由所述第一状态切换至所述第二状态时,所述调速组件(5)先增大所述旋转架(2)的转速、再减小所述旋转架(2)的转速。
说明书 :
晶圆盒清洗装置及其控制方法
技术领域
背景技术
之前对晶圆盒进行清洗。然而,相关技术中,完成晶圆盒的清洗需要耗费较多的清洗液,且
整个清洗过程耗时较长、清洗效率低。
发明内容
前提下,节省清洗液的用量,降低清洗成本。
可转动地设于所述清洗腔内,且用于固定所述晶圆盒,所述清洗组件设于所述腔体,所述清
洗组件具有清洗区域,且用于向所述清洗区域喷清洗液,所述清洗组件具有第一状态和第
二状态,所述清洗组件在所述第一状态下的喷液量大于在所述第二状态下的喷液量,所述
控制方法包括:所述旋转架带动所述晶圆盒以使所述晶圆盒相对所述清洗区域转动,判断
所述晶圆盒清洗装置是否满足预设条件,所述预设条件为所述清洗区域内具有所述晶圆盒
的至少部分;如果是,则所述清洗组件切换至所述第一状态,如果否,则所述清洗组件切换
至所述第二状态。
域内具有晶圆盒的至少部分时,清洗组件采用较大的喷液量对晶圆盒进行清洗,在清洗区
域内没有晶圆盒时,清洗组件采用较小的喷液量,从而可以在保证晶圆盒清洗效果的前提
下,有效节省清洗液的用量,节约资源,降低清洗成本。
清洗组件在所述第一状态下的喷液压力大于在所述第二状态下的喷液压力。
架的转动轴线的正投影为圆心,所述清洗区域对应的圆心角小于相邻两个所述晶圆盒之间
的区域对应的圆心角。
度位置转动第一角度,则判断所述晶圆盒清洗装置不满足所述预设条件,所述旋转架继续
转动第二角度,则判断所述晶圆盒清洗装置满足所述预设条件,直至所述旋转架继续转动
第三角度,则判断所述晶圆盒清洗装置再次不满足所述预设条件,其中,在所述旋转架的横
截面上,以所述旋转架的转动轴线的正投影为圆心,所述第二角度和所述第三角度之和为
360°/N。
测到所述晶圆盒时,则判断所述晶圆盒清洗装置满足所述预设条件,所述探测结构未探测
到所述晶圆盒,则判断所述晶圆盒清洗装置不满足所述预设条件。
以第二转速段内的转速转动,所述第二转速段内的最小转速大于所述第一转速段内的最大
转速。
二转速、再自所述第二转速减速,直至所述清洗组件再次切换至所述第一状态时,所述旋转
架减速至所述第一转速。
所述清洗组件设于所述腔体,所述清洗组件具有清洗区域,且用于向所述清洗区域喷清洗
液,所述清洗组件具有第一状态和第二状态,所述清洗组件在所述第一状态下的喷液量大
于在所述第二状态下的喷液量;识别组件,所述识别组件用于在所述旋转架带动所述晶圆
盒转动时判断所述晶圆盒清洗装置是否满足预设条件,在所述识别组件判断所述晶圆盒清
洗装置满足所述预设条件时所述清洗组件切换至所述第一状态,在所述识别组件判断所述
晶圆盒清洗装置不满足所述预设条件时所述清洗组件切换至所述第二状态,所述预设条件
为所述清洗区域内具有所述晶圆盒的至少部分。
内具有晶圆盒的至少部分时,清洗组件采用较大的喷液量对晶圆盒进行清洗,在清洗区域
内没有晶圆盒时,清洗组件采用较小的喷液量,从而可以在保证晶圆盒清洗效果的前提下,
有效节省清洗液的用量,节约资源,且在整个清洗过程中,可以大致节约资源约1/4左右,降
低清洗成本,保证晶圆盒品质,从而保证晶圆品质。
清洗组件在所述第一状态下的喷液压力大于在所述第二状态下的喷液压力。
架的转动轴线的正投影为圆心,所述清洗区域对应的圆心角小于相邻两个所述晶圆盒之间
的区域对应的圆心角,所述识别组件包括角度检测结构,所述角度检测结构用于测量所述
旋转架的转动角度,以根据所述旋转架的转动角度判断所述晶圆盒清洗装置是否满足所述
预设条件;或者,所述识别组件包括探测结构,所述探测结构的探测方向与所述清洗组件的
喷射方向相同,所述探测结构用于探测所述晶圆盒,且根据是否探测到所述晶圆盒判断所
述晶圆盒清洗装置是否满足所述预设条件。
组件先增大所述旋转架的转速、再减小所述旋转架的转速。
附图说明
具体实施方式
图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
目的不在于限制本发明。此外,本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重
复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此
外,本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到
其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
除“清洗死角”,则晶圆盒清洗装置100可以形成为旋转式片盒清洗装置。例如,旋转架2上可
以固定一个或多个晶圆盒101,当旋转架2固定多个晶圆盒101时,晶圆盒清洗装置100可以
对多个晶圆盒101同时进行清洗,提升清洗效率。
具有第一状态和第二状态,且清洗组件3可在第一状态和第二状态之间切换,清洗组件3在
第一状态下的喷液量大于在第二状态下的喷液量。
清洗组件3切换至第一状态,如果否,则清洗组件3切换至第二状态。其中,预设条件为清洗
区域R内具有晶圆盒101的至少部分。
分时,清洗组件3可以有效清洗晶圆盒101,清洗组件3的喷液量为a,当判断清洗区域R内没
有晶圆盒101时,清洗组件3无法有效清洗晶圆盒101,清洗组件3的喷液量为b,b<a,从而在
保证晶圆盒101的清洗效果的前提下,节省整个清洗过程中的清洗液的用量,以节约资源,
降低晶圆盒101的清洗成本,例如清洗液为水时,可以节省水资源。
域R内没有晶圆盒101时清洗组件3喷向清洗区域R的流体量。
洗以去除晶圆盒101的脏污即可;例如,清洗液可以为超纯水(又称UP水,指电阻率达到18M
Ω*cm(25℃)的水)。
洗液用量消耗较大;本发明的晶圆盒清洗装置100的控制方法,通过在晶圆盒101清洗过程
中判断晶圆盒清洗装置100是否满足预设条件,并根据判断结构调整清洗组件3的状态,使
得在清洗区域R内具有晶圆盒101的至少部分时,清洗组件3采用较大的喷液量对晶圆盒101
进行清洗,在清洗区域R内没有晶圆盒101时,清洗组件3采用较小的喷液量,从而可以在保
证晶圆盒101清洗效果的前提下,有效节省清洗液的用量,节约资源,且在整个清洗过程中,
可以大致节约资源约1/4左右,降低清洗成本,保证晶圆盒101品质,从而保证晶圆品质。
一状态下的喷液量大于在第二状态下的喷液量;此时,当判断晶圆盒清洗装置100满足预设
条件时,则清洗组件3开启,保证清洗组件3有效清洗晶圆盒101,实现晶圆盒101的清洁,当
判断晶圆盒清洗装置100不满足预设条件时,则清洗组件3关闭,以进一步减少清洗过程中
的清洗液的用量。
下的喷液压力大于在第二状态下的喷液压力,同样可以保证清洗组件3在第一状态下的喷
液量大于在第二状态下的喷液量;此时,当判断晶圆盒清洗装置100满足预设条件时,则清
洗组件3采用第一压力喷清洗液,保证清洗组件3有效清洗晶圆盒101,当判断晶圆盒清洗装
置100不满足预设条件时,则清洗组件3采用第二压力喷清洗液,第二压力小于第一压力,例
如第一压力为高压,第二压力为常压,保证清洗液有效去除晶圆盒101表面的脏污,有利于
提升清洗组件3对晶圆盒101的清洗效果,同样可以减少清洗过程中清洗液的用量,且在一
定程度上,可以节省清洗时间,提升清洗效率。
向间隔设置,在旋转架2的横截面上,以旋转架2的转动轴线的正投影为圆心,清洗区域R对
应的圆心角小于相邻两个晶圆盒101之间的区域对应的圆心角,则在旋转架2带动N个晶圆
盒101转动的过程中,必然会存在所有晶圆盒101均未位于清洗区域R内的情况,此时清洗组
件3切换至第二状态,以节约用水,而且N个晶圆盒101可以依次且循环经过清洗区域R,以实
现N个晶圆盒101同时清洗。
设置。其中,旋转架2的周向为绕旋转架2的转动轴线的方向,且旋转架2的周向与旋转架2的
轴向垂直。
组件3的数量,便于降低清洗组件3的布置要求。
结构41用于根据旋转架2的转动角度判断晶圆盒清洗装置100是否满足预设条件。
α+β,则判断晶圆盒清洗装置100不满足预设条件,直至旋转架2继续转动第三角度γ,则判
断晶圆盒清洗装置100再次满足预设条件。其中,在旋转架2的横截面上,以旋转架2转动轴
线的正投影为圆心,第二角度β和第三角度γ之和为360°/N,则N=1时,上述过程中“旋转架
2继续转动第三角度γ”表明该晶圆盒101再次转入清洗区域R内,N≥2时,上述过程中“旋转
架2继续转动第三角度γ”表明下一个晶圆盒101转入清洗区域R内,直至旋转架2自预设角
度位置转动360°,接着进入下一清洗循环过程。
晶圆盒101再次转入清洗区域R内,N≥2时,上述过程中“旋转架2继续转动第三角度γ”表明
下一个晶圆盒101转入清洗区域R内,直至旋转架2自预设角度位置转动360°并进入下一循
环。
角度检测结构41设在旋转轴上;清洗组件3包括第一清洗组件和第二清洗组件,第一清洗组
件和第二清洗组件沿旋转架2的周向间隔设置,且第一清洗组件和第二清洗组件均设于清
洗腔10的壁面上,第一清洗组件和第二清洗组件喷射清洗液时可以形成清洗区域R;清洗腔
10的侧壁具有开口,开口处设有开关门以打开或关闭开口,旋转架2上可以安装四个晶圆盒
101,四个晶圆盒101可以沿旋转架2的周向均匀间隔设置。
他状态的清洗过程。N个晶圆盒101沿旋转架101的周向均匀布置,晶圆盒101的清洗过程如
下:
和第二清洗组件均切换至第二状态,旋转架2继续转动第二角度β,此时旋转架2相对于预设
角度位置转动的角度为α+β,第一个晶圆盒101开始进入清洗区域R,判断晶圆盒清洗装置
100满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第一状态,以对第一个晶圆盒
101进行清洗;直至旋转架2继续转动第三角度γ,此时旋转架2相对于预设角度位置转动的
角度为α+β+γ,第一个晶圆盒101完全离开清洗区域R,判断晶圆盒清洗装置100再次不满足
预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第二状态。
件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第一状态,以对第二个晶圆盒101进行清洗;直
至旋转架2继续转动第三角度γ,此时旋转架2相对于预设角度位置转动的角度为α+2*β+2*
γ,第二个晶圆盒101完全离开清洗区域R,判断晶圆盒清洗装置100再次不满足预设条件,
第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第二状态。
条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第一状态,以对第三个晶圆盒101进行清洗;
直至旋转架2继续转动第三角度γ,此时旋转架2相对于预设角度位置转动的角度为α+3*β+
3*γ,第三个晶圆盒101完全离开清洗区域R,判断晶圆盒清洗装置100再次不满足预设条
件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第二状态。
的径向与开关门正对设置,晶圆盒101的清洗过程如下:
组件均切换至第二状态,旋转架2继续转动第二角度β=22.5°,此时旋转架2相对于预设角
度位置转动的角度为α+β=58.75°,第一个晶圆盒101开始进入清洗区域R,判断晶圆盒清洗
装置100满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第一状态,以对第一个晶圆
盒101进行清洗;直至旋转架2继续转动第三角度γ=67.5°,此时旋转架2相对于预设角度
位置转动的角度为α+β+γ=126.25°,第一个晶圆盒101完全离开清洗区域R,判断晶圆盒清
洗装置100再次不满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第二状态。
100再次满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第一状态,以对第二个晶圆
盒101进行清洗;直至旋转架2继续转动第三角度γ=67.5°,此时旋转架2相对于预设角度
位置转动的角度为α+2*β+2*γ=216.25°,第二个晶圆盒101完全离开清洗区域R,判断晶圆
盒清洗装置100再次不满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第二状态。
置100再次满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第一状态,以对第三个晶
圆盒101进行清洗;直至旋转架2继续转动第三角度γ=67.5°,此时旋转架2相对于预设角
度位置转动的角度为α+3*β+3*γ=306.25°,第三个晶圆盒101完全离开清洗区域R,判断晶
圆盒清洗装置100再次不满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第二状态。
置100再次满足预设条件,第一清洗组件和第二清洗组件均切换至第一状态,以对第四个晶
圆盒101进行清洗;直至旋转架2相对预设角度位置转动360°,而后进入下一循环并依次进
行(1)‑(4)。
(58.75°‑36.25°)+(148.75°‑126.25°)+(238.75°‑216.25°)+(328.75°‑306.25°)=90°,也
就是说,在旋转架2旋转一周的过程中,清洗组件3处于关闭状态时旋转架2转动的角度占旋
转架2旋转一周所对应的角度的1/4;那么如果旋转架2在旋转过程中保持匀速转动,且在第
一状态下,清洗组件3保持恒定的喷液量,则旋转架2旋转一周时,相对于清洗组件始终打开
的方案而言,本申请的上述方案可以节省1/4清洗液量,例如清洗液为水时,可以节省25%
的用水量。
600*0.25=150L。如果每天清洗20组晶圆盒,每台晶圆盒清洗装置100每天可节约用水量约
为150L*20=3吨,每月可节约用水量约为90吨。
二清洗组件均切换至第一状态时,第三清洗组件也切换至第一状态,第一清洗组件和第二
清洗组件均切换至第二状态时,第三清洗组件也切换至第二状态;当然,第三清洗组件的切
换逻辑不限于此。
测结构42用于根据是否探测到晶圆盒101来判断晶圆盒清洗装置100是否满足预设条件。具
体来说,探测结构42探测到晶圆盒101时,表明晶圆盒101的至少部分位于清洗区域R内,判
断晶圆盒清洗装置100满足预设条件,清洗组件3切换至第一状态,探测结构42未探测到晶
圆盒101时,表明晶圆盒101并未位于清洗区域R内,判断晶圆盒清洗装置100不满足预设条
件,则清洗组件3切换至第二状态。
于清洗组件3的喷射路径上,晶圆盒101的至少部分位于清洗区域R内;当探测结构42未探测
到晶圆盒101时,表明晶圆盒101未遮挡探测结构42的探测信号,则晶圆盒101不在清洗组件
3的喷射路径上,晶圆盒101不在清洗区域R内。
第二转速段内的最小转速大于第一转速段内的最大转速,从而在清洗区域R内没有晶圆盒
101时,清洗组件3无法有效清洗到晶圆盒101,在该过程中通过设置旋转架2的转速较大,以
使旋转架2快速经过“空档期”,减少晶圆盒101未被有效清洗的时间,有利于节约清洗时长,
提升清洗效率,从而提升晶圆盒清洗装置100的产能。
速匀速转动、或变速转动。
速、再自第二转速减速,直至清洗组件3再次切换至第一状态时,旋转架2减速至第一转速,
便于使得清洗组件3在第一状态和第二状态之间切换时,旋转架2转速的调整具有良好的连
贯性。
段,旋转架2自第二转速减速至第一转速,加速阶段的加速度与减速阶段的加速度的绝对值
可以相等、也可以不等;而本申请不限于此,例如,在清洗组件3保持第二状态的整个过程
中,旋转架2的转动过程除了包括加速阶段和减速阶段,还可以包括匀速阶段,在匀速阶段,
旋转架2以第二转速匀速转动。
约50%;当“空档期”对应的角度占据整圈角度的1/4时,则旋转架2旋转一周可节约旋转时
间约为25%*50%=12.5%,即旋转架2旋转一周,本申请相较于始终匀速转动的方案而言,
可节约12.5%的时间。举例来说,相关技术中旋转架始终匀速转动,需要20分钟方可达到预
期清洗效果,则本申请可以仅需17.5分钟即可达到相同清洗效果,减小了“空档期”的清洗
时间,有效提升了清洗效率。
洗过程旋转架的总旋转圈数为90圈;清洗方案二为:在“空档期”,清洗组件3关闭,旋转架2
快速经过“空档期”,以使清洗时长可节约12.5%的时间,则在相同的清洗时长18min下,旋
转架2的总旋转圈数为18*5/(1‑0.125)≈103圈。
液体,一定时间后静置,静置完成后使用粒子计算器(LPC)抽取待测液体,并量测待测液体
中颗粒状况即测量水中particle数量,以此反应清洗晶圆盒的洁净度。量测结果如下表所
示:
(ea/ml)意思是每毫升溶液中,颗粒直径大于0.5微米的粒子个数;显然,在相同清洗时间
内,清洗方案二旋转周期更多,即延长了晶圆盒在有效清洗区域R内的旋转时间,缩短了晶
圆盒在无效清洗区域R的旋转时间,相比于清洗方案一,颗粒含量(或非金属含量)明显降
低,能够起到相对良好的清洗效果。
清洗方案一清洗的晶圆盒,0.2um以上颗粒浓度平均为13.35ea/ml,0.5um以上颗粒浓度平
均为1.55ea/ml,而采用清洗方案二清洗的晶圆,0.2um以上颗粒浓度平均为7.675ea/ml,
0.5um以上颗粒浓度平均为1.075ea/ml。
如在图5的示例中,旋转架2的转动轴线沿上下方向竖直延伸。清洗组件3设于腔体1,清洗组
件3具有清洗区域R,且清洗组件3用于向清洗区域R喷清洗液,清洗液可以对位于清洗区域R
内的晶圆盒101进行有效清洗。其中,清洗组件3具有第一状态和第二状态,清洗组件3在第
一状态下的喷液量大于在第二状态下的喷液量。
状态,以保证清洗组件3对晶圆盒101的清洗效果,在识别组件4判断晶圆盒清洗装置100不
满足预设条件时清洗组件3切换至第二状态,从而节省晶圆盒101清洗过程中的清洗液的用
量。其中,预设条件为清洗区域R内具有晶圆盒101的至少部分。
使得在清洗区域R内具有晶圆盒101的至少部分时,清洗组件3采用较大的喷液量对晶圆盒
101进行清洗,在清洗区域R内没有晶圆盒101时,清洗组件3采用较小的喷液量,从而可以在
保证晶圆盒101清洗效果的前提下,有效节省清洗液的用量,节约资源,且在整个清洗过程
中,可以大致节约资源约1/4左右,降低清洗成本,保证晶圆盒101品质,从而保证晶圆品质。
态下的喷液量大于在第二状态下的喷液量。
架2的转动轴线的正投影为圆心,清洗区域R对应的圆心角小于相邻两个晶圆盒101之间的
区域对应的圆心角,则在旋转架2带动N个晶圆盒101转动的过程中,必然会存在所有晶圆盒
101均未位于清洗区域R内的情况,此时清洗组件3切换至第二状态,以节约用水,而且N个晶
圆盒101可以依次且循环经过清洗区域R,以实现N个晶圆盒101同时清洗。
设置。其中,旋转架2的周向为绕旋转架2的转动轴线的方向,且旋转架2的周向与旋转架2的
轴向垂直。
断晶圆盒清洗装置100是否满足预设条件,例如旋转架2具有预设角度位置,角度检测结构
41可以检测旋转架2由预设角度位置转动至当前角度位置所转动的角度。
为α+β,则判断晶圆盒清洗装置100满足预设条件,直至旋转架2继续转动第三角度γ,则判
断晶圆盒清洗装置100再次不满足预设条件。其中,在旋转架2的横截面上,以旋转架2转动
轴线的正投影为圆心,第二角度β和第三角度γ之和为360°/N。
构42用于探测晶圆盒101,且探测结构42用于根据是否探测到晶圆盒101判断晶圆盒清洗装
置100是否满足预设条件。
位于清洗区域R内,则清洗组件3切换至第二状态。
101遮挡了探测结构42的探测信号,则晶圆盒101位于清洗组件3的喷射路径上,晶圆盒101
的至少部分位于清洗区域R内;当探测结构42未探测到晶圆盒101时,表明晶圆盒101未遮挡
探测结构42的探测信号,则晶圆盒101不在清洗组件3的喷射路径上,晶圆盒101不在清洗区
域R内。
先增大旋转架2的转速、再减小旋转架2的转速,使得旋转架2快速转动以快速经过清洗组件
3无法有效清洗晶圆盒101的“空档期”,有效节约清洗时长,提升清洗效率,同时便于实现在
晶圆盒101的整个清洗过程中,旋转架2转速的变化具有良好的连贯性。
洗腔10内部环境温度。例如,加热结构可以为红外加热灯管。
洗腔10内部环境,保证清洗腔10内环境稳定;排风组件可以将清洗腔10内的空气抽出,例如
在晶圆盒100的干燥过程中,排风组件抽出清洗腔10内的湿气,以提升晶圆盒101的干燥速
度。
须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,限
定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的
描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是
两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本
发明中的具体含义。
构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的
示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特
点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
发明的范围由权利要求及其等同物限定。