一种自动化晶托除胶设备

摘要

本发明属于晶托除胶技术领域，公开了一种自动化晶托除胶设备。包括依次顺序设置的蒸箱机构和除胶主体机构；所述蒸箱机构包括依次顺序设置的上料升降移栽、蒸箱、下料升降移栽；所述蒸箱内部还设有晶托输送链板机；所述除胶主体机构包括除胶主架体，除胶主架体上依次顺序设有抬起步伐输送机构A、五面除胶机构、角除胶抛光机构、清洗机构、烘干机构、抬起步伐输送机构B、成品晶托放置架；此设备是替代原有人工除胶，实现晶托的自动蒸胶、蒸箱输送、移步、除胶、抛光、清洗、烘干等工序，降低了人工劳动强度和人工成本，提高了生产效率和成品表面一致性，改善了现场脏乱差的作业环境，更加符合于6S的要求。

权利要求

1.一种自动化晶托除胶设备，其特征是，包括依次顺序设置的蒸箱机构和除胶主体机构；所述蒸箱机构包括依次顺序设置的上料升降移栽(17)、蒸箱、下料升降移栽(21)；所述蒸箱内部还设有晶托输送链板机(19)；上料升降移栽(17)与蒸箱之间设有上料内门(18)，蒸箱与下料升降移栽(21)之间设有下料内门(20)，所述上料升降移栽(17)前端设有上料外门(5)，所述下料升降移栽(21)末端设有下料外门(13)；所述蒸箱机构还设有罩壳；

所述除胶主体机构包括除胶主架体22，除胶主架体上依次顺序设有抬起步伐输送机构A(37)、五面除胶机构(23)、角除胶抛光机构(24)、清洗机构(25)、烘干机构(26)、抬起步伐输送机构B(38)、成品晶托放置架(27)；所述五面除胶机构(23)一端还设有粘胶板除胶机构(30)、粘胶板滑落机构(29)；所述五面除胶机构(23)上还设有晶托放置工装(34)；所述五面除胶机构(23)和角除胶抛光机构(24)下方设有晶托除胶位接水接胶槽(33)；所述清洗机构(25)、烘干机构(26)下方均设有接水槽；所述除胶主架体(22)一侧还设有粘胶板回收小车(28)、清洗位增压水泵(35)、烘干位烘干机(36)；

所述五面除胶机构(23)、角除胶抛光机构(24)外均设有护罩；所述五面除胶机构(23)、角除胶抛光机构(24)分别设有检修门；所述烘干机构(26)和清洗机构(25)外设有清洗烘干位护罩(47)；所述角除胶抛光机构(24)、清洗机构(25)、烘干机构(26)之间分别设有门，烘干机构(26)末端和五面除胶机构(23)前端也分别设有门；所述门分别设有升降组件用于上下移动；

所述上料升降移栽(17)、蒸箱、下料升降移栽(21)、上料内门(18)、下料内门(20)、上料外门(5)、下料外门(13)分别设有对应罩壳，所述上料升降移栽(17)上方设有上料轴流风机(6)，所述下料升降移栽(21)上方设有下料轴流风机(12)，所述蒸箱上设有安全阀(10)、蒸箱加热管(15)、蒸汽回流管(16)；所述晶托输送链板机(19)还配设有蒸箱输送链板机驱动电机(14)用于驱动；

所述蒸箱上还设有压力传感器、温度传感器、液位传感器、过压报警器、给水装置、定期排水排污装置，所述蒸箱机构上设有的罩壳为双层保温结构；

所述上料内门(18)、下料内门(20)上料外门(5)、下料外门(13)分别设有升降组件用于上下移动；

所述上料升降移栽(17)相邻一端还配设有上料升降移栽托架(4)；

所述上料升降移栽(17)包括移栽板(1711)；所述移栽板(1711)上方设有U型晶托支撑架(1702)，移栽板(1711)外部两侧分别设有移栽气缸(1701)，移栽板(1711)内部两侧分别设有移栽板导向轮(1703)，移栽板(1711)下方通过导柱导套A(1704)和升降气缸A(1708)与连接旋转组件连接；所述旋转组件包括回转支撑齿轮(1707)，回转支撑齿轮(1707)通过换向伞齿轮组与回转电机(1705)连接；所述上料升降移栽(17)与下料升降移栽(21)结构相同；

所述抬起步伐输送机构B(38)包括晶托承托板B(3801)，晶托承托板B(3801)上末端设有晶托导向面B(3802)，所述晶托承托板B(3801)两侧分别设有抬起步伐输送机构B移栽气缸(3806)、清洗位移栽气缸B(3804)；所述晶托承托板B(3801)下方通过导柱导套C(3807)与升降气缸C(3809)连接；所述晶托承托板B(3801)两端内侧设有导向组件；所述晶托承托板B(3801)上还设有清洗位移栽安装板B(3803)；所述抬起步伐输送机构B(38)一端还设有清洗位气缸拖链B(3808)。

2.如权利要求1所述的一种自动化晶托除胶设备，其特征是，所述抬起步伐输送机构A(37)包括晶托承托板A(3701)，晶托承托板A(3701)上前端设有晶托导向面A(3702)，所述晶托承托板A(3701)两侧分别设有抬起步伐输送机构A移栽气缸(3706)、清洗位移栽气缸A(3704)；所述晶托承托板A(3701)下方通过导柱导套B(3709)与升降气缸B(3708)连接；所述晶托承托板A(3701)两端内侧设有导向组件；所述晶托承托板A(3701)上还设有清洗位移栽安装板A(3703)；所述抬起步伐输送机构A(37)一端还设有清洗位气缸拖链A(3705)。

说明书

一种自动化晶托除胶设备

技术领域

[0001] 本发明属于晶托除胶技术领域，本发明涉及一种自动化晶托除胶设备。

背景技术

[0002] 传统的晶托除胶都是人工煮胶并除胶，场地脏乱，且耗费人力，劳动强度大，容易造成清胶不彻底和晶托表面清洁程度不均匀，或存在二次清胶的情况等。

发明内容

[0003] 本发明的目的是克服上述背景技术中的不足，提供一种自动化晶托除胶设备，此设备是替代原有人工除胶，实现晶托的自动蒸胶、蒸箱输送、移步、除胶、抛光、清洗、烘干等工序，降低了人工劳动强度和人工成本，提高了生产效率和成品表面一致性，改善了现场脏乱差的作业环境，更加符合于6S的要求。

[0004] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种自动化晶托除胶设备，包括依次顺序设置的蒸箱机构和除胶主体机构；所述蒸箱机构包括依次顺序设置的上料升降移栽、蒸箱、下料升降移栽；所述蒸箱内部还设有晶托输送链板机；上料升降移栽与蒸箱之间设有上料内门，蒸箱与下料升降移栽之间设有下料内门，所述上料升降移栽前端设有上料外门，所述下料升降移栽末端设有下料外门；所述蒸箱机构还设有罩壳；

[0005] 所述除胶主体机构包括除胶主架体，除胶主架体上依次顺序设有抬起步伐输送机构A、五面除胶机构、角除胶抛光机构、清洗机构、烘干机构、抬起步伐输送机构B、成品晶托放置架；

[0006] 所述五面除胶机构一端还设有粘胶板除胶机构、粘胶板滑落机构；所述五面除胶机构上还设有晶托放置工装；所述五面除胶机构和角除胶抛光机构下方设有晶托除胶位接水接胶槽；所述清洗机构、烘干机构下方均设有接水槽；

[0007] 所述除胶主架体一侧还设有粘胶板回收小车、清洗位增压水泵、烘干位烘干机；

[0008] 所述五面除胶机构、角除胶抛光机构外均设有护罩；所述五面除胶机构、角除胶抛光机构分别设有检修门；所述烘干机构和清洗机构外设有清洗烘干位护罩；所述角除胶抛光机构、清洗机构、烘干机构之间分别设有门，烘干机构末端和五面除胶机构前端也分别设有门；所述门分别设有升降组件用于上下移动。

[0009] 所述上料升降移栽、蒸箱、下料升降移栽、上料内门、下料内门、上料外门、下料外门分别设有对应罩壳，所述上料升降移栽上方设有上料轴流风机，所述下料升降移栽上方设有下料轴流风机，所述蒸箱上设有安全阀、蒸箱加热管、蒸汽回流管；所述晶托输送链板机还配设有蒸箱输送链板机驱动电机用于驱动。

[0010] 所述蒸箱上还设有压力传感器、温度传感器、液位传感器、过压报警器、给水装置、定期排水排污装置。所述蒸箱机构上设有的罩壳为双层保温结构。所述上料内门、下料内门、上料外门、下料外门分别设有升降组件用于上下移动。

[0011] 进一步的，所述上料升降移栽相邻一端还配设有上料升降移栽托架。

[0012] 所述上料升降移栽包括移栽板；所述移栽板上方设有U型晶托支撑架，移栽板外部两侧分别设有移栽气缸，移栽板内部两侧分别设有移栽板导向轮，移栽板下方通过导柱导套A和升降气缸A与连接旋转组件连接；所述旋转组件包括回转支撑齿轮，回转支撑齿轮通过换向伞齿轮组与回转电机连接；所述旋转组件上还设有润滑毛毡齿轮、回转支撑啮合齿轮。所述上料升降移栽与下料升降移栽结构相同。

[0013] 所述五面除胶机构包括除胶架体，除胶架体一端上设有正Z轴气缸、负Z轴气缸、Y轴气缸、粘胶板夹抱气缸；所述正Z轴气缸连接有正Z轴铲刀，负Z轴气缸连接有负Z轴铲刀，Y轴气缸连接有Y轴铲刀，除胶架体另一端设有X轴减速电机，X轴减速电机通过X轴丝杠和X轴拖链实现X轴移动；所述粘胶板夹抱气缸还连接有粘胶板推出组件；

[0014] 所述Y轴铲刀设有四个，每侧设有两个，对称设置。所述负Z轴铲刀设有四个，每侧设有两个，对称设置。所述正Z轴铲刀设有两个。

[0015] 所述角除胶抛光机构包括用于晶托角除胶的角除胶机构和用于晶托五面抛光机构的抛光机构；所述角除胶机构、抛光机构依次设置在架体A上，两个机构共用一套架体和导轨；角除胶机构通过与角除胶机构拖链、角除胶丝杠螺母、角除胶X轴伺服电机、直线导轨滑块连接实现移动；抛光机构通过抛光机构拖链、抛光丝杠螺母、直线导轨滑块、抛光X轴减速电机连接实现移动；

[0016] 所述清洗机构包括架体B，所述架体B上端设有无杆气缸A，无杆气缸A通过连接板A与喷嘴连接主水管连接，喷嘴连接主水管上设有环形窄角喷嘴；喷嘴连接主水管连接有入水口，喷嘴连接主水管下方设有水下推进器电机，水下推进器电机上设有清洗晶托T型槽的异形退火钢丝刷头。无杆气缸A还连接有拖链A。

[0017] 所述烘干机构包括架体C，所述架体C上端设有无杆气缸B，无杆气缸B通过气缸连接板与气刀支撑框架连接，气刀支撑框架连接上设有气刀，无杆气缸B还连接有拖链B。

[0018] 所述晶托放置工装包括晶托放置工装架体，晶托放置工装架体上端设有双U型槽，晶托放置工装架体上设有双旋转夹紧气缸，晶托放置工装架体一端设置有无料检测开关；有无料检测开关连接有有无料检测杠杆。

[0019] 所述粘胶板除胶机构包括架体E，架体E下端设有驱动电机，驱动电机通过驱动链轮与从动链轮连接，从动链轮通过轴与对滚轮A和对滚轮B连接，所述架体E上还设有粘胶板导向板和滚轮调整机构；对滚轮A和对滚轮B之间上侧设有压轮，压轮下方设置粘胶板底面和两侧面铲刀，铲刀下方设有铲刀进给凸轮，铲刀进给凸轮与铲刀驱动气缸连接。

[0020] 所述粘胶板滑落机构包括支撑架，支撑架上设有底板，底板上设有流利条，流利条两侧均设有导向板，支撑架设有四个，每个导向板与两个支撑架相连接，所述导向板与每个支撑架之间设有机构角度调整板。

[0021] 所述抛光机构包括减速电机，减速电机与主动同步轮连接，主动同步轮两端连接有同步带张紧轮，主动同步轮底部连接有上平面抛光钢丝轮，上平面抛光钢丝轮两侧均设有侧面和底面抛光钢丝轮，所述抛光机构还包括上板，上板一端连接有连接板B，连接板B下端设有下板，主动同步轮和同步带张紧轮设置在下板上，下板上两端分别设有被动同步轮，每个被动同步轮分别与侧面和底面抛光钢丝轮连接。

[0022] 所述角除胶机构包括盖板、正反丝杠驱动步进电机、侧板，正反丝杠驱动步进电机设置在盖板上，正反丝杠驱动步进电机下端连接有正反旋向丝杠，盖板下方两侧设有侧板，侧板两端下方分别连接有单独角除胶机构连接板；单独角除胶机构连接板连接有除胶铲刀转向步进电机，除胶铲刀转向步进电机前端设有除胶铲刀转向伞齿轮，除胶铲刀转向步进电机下方设有冲击铲驱动气缸，设有冲击铲驱动气缸通过铲刀杆与角除胶铲刀连接，所述铲刀杆上设有转向插销气缸。

[0023] 所述抬起步伐输送机构B包括晶托承托板B，晶托承托板B上末端设有晶托导向面B，所述晶托承托板B两侧分别设有抬起步伐输送机构B移栽气缸、清洗位移栽气缸B；所述晶托承托板B下方通过导柱导套C与升降气缸C连接；所述晶托承托板B两端内侧设有导向组件；所述晶托承托板B上还设有清洗位移栽安装板B；所述抬起步伐输送机构B一端还设有清洗位气缸拖链B。

[0024] 所述抬起步伐输送机构A包括晶托承托板A，晶托承托板A上前端设有晶托导向面A，所述晶托承托板A两侧分别设有抬起步伐输送机构A移栽气缸、清洗位移栽气缸A；所述晶托承托板A下方通过导柱导套B与升降气缸B连接；所述晶托承托板A两端内侧设有导向组件；所述晶托承托板A上还设有清洗位移栽安装板A；所述抬起步伐输送机构A一端还设有清洗位气缸拖链A。

[0025] 所述抬起步伐输送机构A与抬起步伐输送机构B安设时前端方向相反。

[0026] 所述成品晶托放置架包括架体，架体上方设有U型晶托支架。成品晶托放置架以抬起步伐上料，为成品晶托放置工位。

[0027] 本发明与现有技术相比具有的有益效果是：

[0028] 本发明提供的晶托自动除胶设备，包含了晶托在蒸箱内的自动蒸胶、输送，在主除胶设备内的抬起步伐式定距移栽、晶托的表面除胶、4角除胶、抛光、清洗、烘干，直至输出干净、干燥的成品晶托，达到晶托再次粘胶的需求。

附图说明

[0029] 下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

[0030] 图1是本发明一种自动化晶托除胶设备立体图。

[0031] 图2是本发明一种自动化晶托除胶设备主视图。

[0032] 图3是晶托待除胶胶位置分布示意图。其中图(a)为待除胶晶托主视图，图(b)为待除胶晶托俯视图，图(c)为待除胶晶托侧视图。

[0033] 图4是蒸箱机构的结构示意图。其中图(a)为蒸箱机构的主视图，图(b)为蒸箱机构的俯视图，图(c)为蒸箱机构的侧视图，图(d)为蒸箱机构的立体图。

[0034] 图5为去除罩体后的蒸箱机构的结构示意图。其中图(a)为去除罩体后蒸箱机构的主视图，图(b)为去除罩体后蒸箱机构的俯视图，图(c)为去除罩体后蒸箱机构的侧视图，图(d)为去除罩体后蒸箱机构的立体图。

[0035] 图6为上料升降移栽的结构示意图。其中图(a)为上料升降移栽的主视图，图(b)为上料升降移栽的俯视图，图(c)为上料升降移栽的侧视图，图(d)为上料升降移栽的立体图。

[0036] 图7为除胶主体机构的结构示意图。其中图(a)为除胶主体机构的主视图，图(b)为除胶主体机构的俯视图，图(c)为除胶主体机构的侧视图，图(d)为除胶主体机构的立体图。

[0037] 图8为去除罩体后的除胶主体机构的结构示意图。其中图(a)为去除罩体后的除胶主体机构的主视图，图(b)为去除罩体后的除胶主体机构的俯视图，图(c)为去除罩体后的除胶主体机构的俯视图，图(d)为去除罩体后的除胶主体机构的立体图。

[0038] 图9为抬起步伐输送机构A的结构示意图。其中图(a)为抬起步伐输送机构A的主视图，图(b)为抬起步伐输送机构A的俯视图，图(c)为抬起步伐输送机构A的侧视图，图(d)为抬起步伐输送机构A的立体图。

[0039] 图10为五面除胶机构的结构示意图。其中图(a)为五面除胶机构的主视图，图(b)为五面除胶机构的俯视图，图(c)为五面除胶机构的侧视图，图(d)为五面除胶机构的立体图。

[0040] 图11为晶托放置工装的结构示意图。其中图(a)为晶托放置工装的主视图，图(b)为晶托放置工装的俯视图，图(c)为晶托放置工装的侧视图，图(d)为晶托放置工装的立体图。

[0041] 图12为粘胶板除胶机构的结构示意图。其中图(a)为粘胶板除胶机构的主视图，图(b)为粘胶板除胶机构的俯视图，图(c)为粘胶板除胶机构的侧视图，图(d)为粘胶板除胶机构的立体图。

[0042] 图13为粘胶板滑落机构的结构示意图。其中图(a)为粘胶板滑落机构的主视图，图(b)为粘胶板滑落机构的俯视图，图(c)为粘胶板滑落机构的侧视图，图(d)为粘胶板滑落机构的立体图。

[0043] 图14为角除胶抛光机构的结构示意图。其中图(a)为角除胶抛光机构的主视图，图(b)为角除胶抛光机构的俯视图，图(c)为角除胶抛光机构的侧视图，图(d)为角除胶抛光机构的立体图。

[0044] 图15为抛光机构的结构示意图。其中图(a)为抛光机构的主视图，图(b)为抛光机构的仰视图，图(c)为抛光机构的剖视图，图(d)为抛光机构的立体图。

[0045] 图16为角除胶机构的结构示意图。其中图(a)为角除胶机构的剖视图，图(b)为角除胶机构的俯视图，图(c)为角除胶机构的立体图。

[0046] 图17为清洗机构的结构示意图。其中图(a)为清洗机构的主视图，图(b)为清洗机构的俯视图，图(c)为清洗机构的侧视图。

[0047] 图18为烘干机构的结构示意图。其中图(a)为烘干机构的主视图，图(b)为烘干机构的俯视图，图(c)为烘干机构的侧视图。

[0048] 图19为抬起步伐输送机构B的结构示意图。其中图(a)为抬起步伐输送机构B的主视图，图(b)为抬起步伐输送机构B的俯视图，图(c)为抬起步伐输送机构B的侧视图，图(d)为抬起步伐输送机构B的立体图。

[0049] 图20为成品晶托放置架的结构示意图。其中图(a)为成品晶托放置架的主视图，图(b)为成品晶托放置架的侧视图。

[0050] 图中1.胶面，2.角部胶面，3.晶托，4.上料升降移栽托架，5.上料外门，6.上料轴流风机，7.上料升降移栽罩壳，8.上料内门罩壳，9.蒸箱罩壳，10.安全阀，11.下料内门罩壳，12.下料轴流风机，13.下料外门，14.蒸箱输送链板机驱动电机，15.蒸箱加热管，16.蒸汽回流管，17.上料升降移栽，18.上料内门，19.晶托输送链板机，20.下料内门，21.下料升降移栽，22.除胶主架体，23.五面除胶机构，24.角除胶抛光机构，25.清洗机构，26.烘干机构，
27.成品晶托放置架，28.粘胶板回收小车，29.粘胶板滑落机构，30.粘胶板除胶机构，31.晶托烘干位接水槽，32.晶托清洗位接水槽，33.晶托除胶位接水接胶槽，34.晶托放置工装，
35.清洗位增压水泵，36.烘干位烘干机，37.抬起步伐输送机构A，38.抬起步伐输送机构B，
39.除胶主门气缸，40.五面除胶检修门，41.角除胶抛光检修门，42.除胶尾门气缸，43.烘干主门气缸，44.烘干尾门气缸，45.五面除胶位护罩，46.角除胶抛光位护罩，47.清洗烘干位护罩，1701.移栽气缸，1702.U型晶托支撑架，1703.移栽板导向轮，1704.导柱导套A，1705.回转电机，1706.换向伞齿轮，1707.回转支撑齿轮，1708.升降气缸A，1709.润滑毛毡齿轮，
1710.回转支撑啮合齿轮，1711.移栽板，2301.正Z轴气缸，2302.粘胶板夹抱气缸，2303.X轴丝杠，2304.X轴减速电机，2305.X轴拖链，2306.Y轴气缸，2307.负Z轴气缸，2308.Y轴铲刀，
2309.负Z轴铲刀，2310.正Z轴铲刀，2311.除胶架体，2312.粘胶板推出板，2401.架体A，
2402.角除胶机构，2403.抛光机构，2404.抛光机构拖链，2405.直线导轨滑块，2406.角除胶机构拖链，2407.抛光丝杠螺母，2408.角除胶丝杠螺母，2409.角除胶X轴伺服电机，2410.抛光X轴减速电机，2501.拖链A，2502.架体B，2503.入水口，2504.无杆气缸A，2505.连接板A，
2506.窄角喷嘴，2507.喷嘴连接主水管，2508.水下推进器电机，2509.异形退火钢丝刷头，
2601.拖链B，2602.架体C，2603.气缸连接板，2604.无杆气缸B，2605.气刀，2606.气刀支撑框架，2701.架体，2702.U型晶托支架，2901.机构角度调整板，2902.流利条，2903.导向板，
3001.粘胶板，3002.对滚轮A，3003.压轮，3004.对滚轮B，3005.从动链轮，3006.滚轮调整机构，3007.架体E，3008.驱动电机，3009.驱动链轮，3010.粘胶板导向板，3011.铲刀驱动气缸，3012.铲刀进给凸轮，3013.铲刀，3401.晶托放置工装架体，3402.U型槽，3403.旋转夹紧气缸，3404.有无料检测杠杆，3405.有无料检测开关，3701.晶托承托板A，3702.晶托导向面A，3703.清洗位移栽安装板A，3704.清洗位移栽气缸A，3705.清洗位气缸拖链A，3706.抬起步伐输送机构A移栽气缸，3707.移栽导轨A，3708.升降气缸B，3709.导柱导套B，3801.晶托承托板B，3802.晶托导向面B，3803.清洗位移栽安装板B，3804.清洗位移栽气缸B，3805.移栽导轨B，3806.抬起步伐输送机构B移栽气缸，3807.导柱导套C，3808.清洗位气缸拖链B，
3809.升降气缸C，201.单独角除胶机构连接板，202.正反旋向丝杠，203.正反丝杠驱动步进电机，204.除胶铲刀转向伞齿轮，205.除胶铲刀转向步进电机，206.冲击铲驱动气缸，207.铲刀杆，208.铲刀杆导向轴肩螺钉，209.角除胶铲刀，210.转向插销气缸，301.减速电机，
302.连接板B，303.侧面和底面抛光钢丝轮，304.上平面抛光钢丝轮，305.主动同步轮，306.同步带张紧轮，307.被动同步轮。

具体实施方式

[0051] 以下结合说明书附图，对本发明进一步说明，但本发明并不局限于以下实施例。所述实施例通过PLC系统或DNS实现自动化联控，不限制型号，可以实现工作即可。

[0052] 实施例1

[0053] 一种自动化晶托除胶设备，如图1‑图20所示，包括依次顺序设置的蒸箱机构和除胶主体机构；所述蒸箱机构包括依次顺序设置的上料升降移栽17、蒸箱、下料升降移栽21；所述蒸箱内部还设有晶托输送链板机19；上料升降移栽17与蒸箱之间设有上料内门18，蒸箱与下料升降移栽21之间设有下料内门20，所述上料升降移栽17前端设有上料外门5，所述下料升降移栽21末端设有下料外门13；所述蒸箱机构还设有罩壳；

[0054] 所述除胶主体机构包括除胶主架体22，除胶主架体上依次顺序设有抬起步伐输送机构A37、五面除胶机构23、角除胶抛光机构24、清洗机构25、烘干机构26、抬起步伐输送机构B 38、成品晶托放置架27；

[0055] 所述五面除胶机构23一端还设有粘胶板除胶机构30、粘胶板滑落机构29；所述五面除胶机构23上还设有晶托放置工装34；所述五面除胶机构23和角除胶抛光机构24下方设有晶托除胶位接水接胶槽33；所述清洗机构25、烘干机构26下方均设有接水槽；

[0056] 所述除胶主架体22一侧还设有粘胶板回收小车28、清洗位增压水泵35、烘干位烘干机36；

[0057] 所述五面除胶机构23、角除胶抛光机构24外均设有护罩；所述五面除胶机构23、角除胶抛光机构24分别设有检修门；所述烘干机构26和清洗机构25外设有清洗烘干位护罩47；所述角除胶抛光机构24、清洗机构25、烘干机构26之间分别设有门，烘干机构26末端和五面除胶机构23前端也分别设有门；所述门分别设有升降组件用于上下移动。

[0058] 所述上料升降移栽17、蒸箱、下料升降移栽21、上料内门18、下料内门20、上料外门5、下料外门13分别设有对应罩壳，所述上料升降移栽17上方设有上料轴流风机6，所述下料升降移栽21上方设有下料轴流风机12，所述蒸箱上设有安全阀10、蒸箱加热管15、蒸汽回流管16；所述晶托输送链板机19还配设有蒸箱输送链板机驱动电机14用于驱动。

[0059] 所述蒸箱上还设有压力传感器、温度传感器、液位传感器、过压报警器、给水装置、定期排水排污装置。所述蒸箱机构上设有的罩壳为双层保温结构。所述上料内门11、下料内门20上料外门5、下料外门13分别设有升降组件用于上下移动。

[0060] 进一步的，所述上料升降移栽17相邻一端还配设有上料升降移栽托架4。

[0061] 所述上料升降移栽17包括移栽板1711；所述移栽板1711上方设有U型晶托支撑架1702，移栽板1711外部两侧分别设有移栽气缸1701，移栽板1711内部两侧分别设有移栽板导向轮1703，移栽板1711下方通过导柱导套A 1704和升降气缸A 1708与连接旋转组件连接；所述旋转组件包括回转支撑齿轮1707，回转支撑齿轮1707通过换向伞齿轮组与回转电机1705连接；所述旋转组件上还设有润滑毛毡齿轮1709、回转支撑啮合齿轮1710。所述上料升降移栽17与下料升降移栽21结构相同。

[0062] 所述五面除胶机构23包括除胶架体，除胶架体一端上设有正Z轴气缸2301、负Z轴气缸2307、Y轴气缸2306、粘胶板夹抱气缸2302；所述正Z轴气缸2301连接有正Z轴铲刀2310，负Z轴气缸2307连接有负Z轴铲刀2309，Y轴气缸2306连接有Y轴铲刀2308，除胶架体另一端设有X轴减速电机2304，X轴减速电机2304通过X轴丝杠2303和X轴拖链2305实现X轴移动；所述粘胶板夹抱气缸2302还连接有粘胶板推出组件；

[0063] 所述Y轴铲刀2308设有四个，每侧设有两个，对称设置。所述负Z轴铲刀2309设有四个，每侧设有两个，对称设置。所述正Z轴铲刀2310设有两个。

[0064] 所述角除胶抛光机构24包括用于晶托角除胶的角除胶机构2402和用于晶托五面抛光机构的抛光机构2403；所述角除胶机构2402、抛光机构2403依次设置在架体A2401上，两个机构共用一套架体和导轨；角除胶机构2402通过与角除胶机构拖链2406、角除胶丝杠螺母2408、角除胶X轴伺服电机2409、直线导轨滑块2405连接实现移动；抛光机构2403通过抛光机构拖链2404、抛光丝杠螺母2407、直线导轨滑块2405、抛光X轴减速电机2410连接实现移动；

[0065] 所述清洗机构25包括架体B 2502，所述架体B 2502上端设有无杆气缸A 2504，无杆气缸A 2504通过连接板A 2505与喷嘴连接主水管2507连接，喷嘴连接主水管2507上设有环形窄角喷嘴2506；喷嘴连接主水管2507连接有入水口2503，喷嘴连接主水管2507下方设有水下推进器电机2508，水下推进器电机2508上设有清洗晶托T型槽的异形退火钢丝刷头2509。无杆气缸A 2504还连接有拖链A 2501。

[0066] 所述烘干机构26包括架体C 2602，所述架体C 2602上端设有无杆气缸B 2604，无杆气缸B 2604通过气缸连接板2603与气刀支撑框架2606连接，气刀支撑框架2606连接上设有气刀2605，无杆气缸B 2604还连接有拖链B 2601。

[0067] 所述晶托放置工装34包括晶托放置工装架体3401，晶托放置工装架体3401上端设有双U型槽3402，晶托放置工装架体3401上设有双旋转夹紧气缸3403，晶托放置工装架体3401一端设置有无料检测开关3405；有无料检测开关3405连接有有无料检测杠杆3404。

[0068] 所述粘胶板除胶机构30包括架体E 3007，架体E 3007下端设有驱动电机3008，驱动电机3008通过驱动链轮3009与从动链轮3005连接，从动链轮3005通过轴与对滚轮A 3002和对滚轮B 3004连接，所述架体E 3007上还设有粘胶板导向板3010和滚轮调整机构3006；对滚轮A3002和对滚轮B 3004之间上侧设有压轮3003，压轮3003下方设置粘胶板底面和两侧面铲刀3013，铲刀3013下方设有铲刀进给凸轮3012，铲刀进给凸轮3012与铲刀驱动气缸
3011连接。

[0069] 所述粘胶板滑落机构29包括支撑架，支撑架上设有底板，底板上设有流利条2902，流利条2902两侧均设有导向板2903，支撑架设有四个，每个导向板2903与两个支撑架相连接，所述导向板2903与每个支撑架之间设有机构角度调整板2901。

[0070] 所述抛光机构2403包括减速电机301，减速电机301与主动同步轮305连接，主动同步轮305两端连接有同步带张紧轮306，主动同步轮305底部连接有上平面抛光钢丝轮304，上平面抛光钢丝轮304两侧均设有侧面和底面抛光钢丝轮303，所述抛光机构2403还包括上板，上板一端连接有连接板B 302，连接板B 302下端设有下板，主动同步轮305和同步带张紧轮306设置在下板上，下板上两端分别设有被动同步轮307，每个被动同步轮307分别与侧面和底面抛光钢丝轮303连接。

[0071] 所述角除胶机构2402包括盖板、正反丝杠驱动步进电机203、侧板，正反丝杠驱动步进电机203设置在盖板上，正反丝杠驱动步进电机203下端连接有正反旋向丝杠202，盖板下方两侧设有侧板，侧板两端下方分别连接有单独角除胶机构连接板201；单独角除胶机构连接板201连接有除胶铲刀转向步进电机205，除胶铲刀转向步进电机205前端设有除胶铲刀转向伞齿轮204，除胶铲刀转向步进电机205下方设有冲击铲驱动气缸206，设有冲击铲驱动气缸206通过铲刀杆207与角除胶铲刀209连接，所述铲刀杆207上设有转向插销气缸210。

[0072] 所述抬起步伐输送机构B 38包括晶托承托板B 3801，晶托承托板B 3801上末端设有晶托导向面B 3802，所述晶托承托板B 3801两侧分别设有抬起步伐输送机构B移栽气缸3806、清洗位移栽气缸B 3804；所述晶托承托板B 3801下方通过导柱导套C 3807与升降气缸C 3809连接；所述晶托承托板B 3801两端内侧设有导向组件；所述晶托承托板B 3801上还设有清洗位移栽安装板B 3803；所述抬起步伐输送机构B 38一端还设有清洗位气缸拖链B 3808。

[0073] 所述抬起步伐输送机构A 37包括晶托承托板A 3701，晶托承托板A 3701上前端设有晶托导向面A 3702，所述晶托承托板A 3701两侧分别设有抬起步伐输送机构A移栽气缸3706、清洗位移栽气缸A 3704；所述晶托承托板A 3701下方通过导柱导套B 3709与升降气缸B 3708连接；所述晶托承托板A 3701两端内侧设有导向组件；所述晶托承托板A 3701上还设有清洗位移栽安装板A 3703；所述抬起步伐输送机构A 37一端还设有清洗位气缸拖链A 3705。

[0074] 所述抬起步伐输送机构A 37与抬起步伐输送机构B 38安设时前端方向相反。

[0075] 所述成品晶托放置架27包括架体2701，架体2701上方设有U型晶托支架2702。成品晶托放置架27以抬起步伐上料，为成品晶托3放置工位。

[0076] 蒸箱机构为晶托3粘胶失效和运送的设备，蒸箱持续产生蒸胶所用蒸汽，设有压力传感器、温度传感器、液位传感器、安全阀、过压回水、过压报警、外壳双层保温等安全装置，并设有实时给水、定期排水、定期排污等常规配置，以保证在常压压力下，蒸箱能够稳定、安全、可控的持续运行。蒸箱机构设置的下料升降移栽结构21同上料升降移栽17结构相同，动作顺序与上料升降移栽17相反。上料升降移栽17和下料升降移栽结构21分别设置双层护罩罩壳，护罩罩壳上方设置轴流风机，在保证外表面不烫手的前提下，排除在内侧门开启时，流入到此箱体内的蒸汽，防止外侧门开启时蒸汽伤人的情况出现。

[0077] 蒸箱机构动作流程具体如下：

[0078] 1)上料升降移栽17上料待除胶晶托3；

[0079] 2)晶托输送链板机19定距输送，并在蒸箱内使粘胶失效，达到晶托3和粘胶自然分离；

[0080] 3)下料升降移栽21取料，等待抬起步伐输送机构A 37取料，完成一次循环。

[0081] 上料升降移栽17：由旋转180°、升降和水平移栽共3部分组成，旋转部分由回转电机1705配合齿轮驱动、升降和移栽均为气缸直线驱动。上料升降移栽17具体动作流程：初始状态为上料外门5打开，上料移栽板1711高位伸出等待上料。晶托3上料；移栽气缸1701缩回；上料外门5关闭，回转电机1705动作，移栽板1711旋转180°；上料内门5打开；移栽板1711高位伸出；升降气缸A1708缩回，晶托3落到蒸箱输送辊道上；移栽气缸1701缩回；上料内门5关闭；上料轴流风机6开启，上料升降移栽17箱内排出蒸汽；升降气缸A1708伸出，回转电机1705动作，移栽板1711反向旋转180°，同时上料外门5打开；移栽气缸1701伸出，搭于上料升降移栽托架4上，完成一次上料循环。

[0082] 五面除胶机构23采用钢架体支撑，配备了由X轴减速电机2304配合丝杠螺母的X轴行走机构、粘胶板推出组件、正Z轴(前后两把刀)、双Y轴(前后各两把刀)和双负Z轴(前后各两把刀)的配置，正Z、Y、负Z轴的入刀均采用气缸驱动，粘胶面中间入刀的方式。在晶托3定位的前提下，先是粘胶板夹抱气缸2302Z轴向下伸出到位，X轴向前运动3秒后，正Z轴气缸2301伸出到位，粘胶板夹抱气缸2302缩回原位，都到位后，双Y、双负Z轴的入刀气缸动作，此过程中X轴一直做进给来实现铲胶的行走动作，待双负Z轴头刀刚刚脱离铲胶面(负Z轴尾刀还未脱离铲胶面)时，X轴减速电机2304停止，然后反转，直至整个机构回原位。

[0083] 五面除胶机构23动作具体说明：粘胶板夹抱气缸2302伸出到位；X轴减速电机2304启动，3秒后；正Z轴气缸2301伸出到位，粘胶板夹抱气缸2302缩回到位；Y轴气缸2306、双Z轴气缸伸出到位；正Z轴气缸2301、Y轴气缸2306、负Z轴气缸2307气缸状态保持不变；X轴减速电机2304停转；Y轴气缸2306、双Z轴气缸回原位；正Z轴气缸2301回原位，完成一次晶托5面除胶。

[0084] 角除胶抛光机构24由两个机构组成，晶托角除胶机构2402和五面抛光机构2403组成，两个机构共用一套架体和导轨。此工位晶托3定位完成后，机构开始运行，抛光机构2403运行3秒后，角除胶机构2402开始运行，抛光机构2403运行至晶托3末端时等待，带四角除胶完毕后，角除胶机构2402先启动回程，3秒后抛光机构2403启动回程，回程中，抛光机构2403会进行第2次抛光，直至回原位后停止抛光。角除胶抛光机构24动作说明：晶托3定位后，抛光X轴及抛光X轴减速电机2410启动；3秒后，角除胶X轴伺服电机2409启动，到达第一对角除胶位后停止，开始角除胶；角除胶X轴伺服电机2409启动，到达第二对角除胶位后停止，开始角除胶；角除胶结束后，角除胶机构2402直接回原位；角除胶机构2402回程3秒时，抛光X轴减速电机2410启动回程，直至回原位，完成一次循环。

[0085] 清洗机构25采用钢架支撑，无杆气缸A 2504为动力源，环形增压窄角喷嘴2506为冲洗部件，0.7MPa自吸泵为水源动力，对晶托3进行冲洗动作。令为使晶托3T型槽内能冲洗干净，特别设计了由水下推进器电机2508驱动配合异形退火钢丝刷头2509组合的T型槽内刷洗工艺，这样使晶托3表面及T型槽内都能达到彻底的清洁。清洗机构25动作流程：无杆气缸A 2504启动，水下推进器电机2508启动；无杆气缸A 2504反向启动；无杆气缸A 2504停止，水下推进器电机2508停止，完成一次动作循环。

[0086] 烘干机构26采用钢架支撑，无杆气缸B 2604为动力源，四面框架结构风刀，配合热烘干机出热风而对晶托3进行烘干操作。烘干机构26具体动作说明：无杆气缸B 2604启动；无杆气缸B 2604反向启动；无杆气缸B 2604停止，完成一次动作循环。

[0087] 晶托放置工装34采用钢结构支撑，待晶托3有有无料检测开关3405发令后，通过双U型槽3402定位晶托3下底面和下侧面，再由双侧旋转夹紧缸3403做竖向拉紧动作，从而实现对晶托3的全面定位。

[0088] 粘胶板推出组件将粘胶板推入粘胶板导向口并到达第一对对滚轮的滚齿之后，采用两对对滚轮做动力及导向，两对对滚轮之间上侧设压轮3004，压轮3004下方设置粘胶板底面和两侧面铲刀3013，这样保证了粘胶板除胶时可以顺利前进，直至除胶完毕。

[0089] 粘胶板除胶机构30具体动作说明：收到晶托3五面除胶机构23的X轴启动信号后，驱动电机3008启动；粘胶板经过第一对对滚轮；铲刀驱动气缸3011伸出到位，带动铲刀进给凸轮3012运动，最终使铲刀3013到位，开始除胶；粘胶板经过第二对对滚轮后，驱动电机3008停止，等待下次除胶。

[0090] 粘胶板滑落机构29采用钢架支撑，在粘胶板除胶机构29将粘胶板除胶完毕并送出后，进入粘胶板滑落机构29，粘胶板滑落机构29作用是将粘胶板导向并滑落，最后落入粘胶板回收小车28中。

[0091] 抛光机构2403采用钢板支撑，减速电机301为动力，通过同步带及带轮的联动机构带动侧面和底面抛光钢丝轮303、上平面抛光钢丝304轮进行抛光动作。

[0092] 角除胶机构2402采用钢框架支撑，正反丝杠驱动步进电机203配合正反旋向丝杠202做正负Y轴方向的进给除胶，对于单面除胶机构方面，采用除胶铲刀转向步进电机205配合除胶铲刀转向伞齿轮204作为铲刀杆207水平转向的动力，转动到位后由转向插销气缸
210固定住位置，再进行正负Y轴方向同时进给除胶，离角部5mm处除胶铲刀转向步进电机
205停止，冲击铲驱动气缸206开始工作，因冲击铲驱动气缸206行程只有5mm，可以快速切换伸缩，形成冲击动作，对角部胶进行快速冲击数次，以达到清理角部顽固粘胶的目的，对于此角的另外一边，除胶原理相同，进给动作变为由正反旋向丝杠202进给，清理完此角的另外一边后，角除胶铲刀209由X轴方向再进给5mm，达到角根部，此后由除胶铲刀转向步进电机205反转，对角部胶进行一次推出动作，此角清胶宣告完成。角除胶机构2402，每次清理2个角，4个角共清理2次。角除胶机构2402动作流程：X轴运行到位；双Y轴进给清胶；离角部
5mm处，除胶铲刀转向步进电机205停止；Y轴冲击铲驱动气缸206启动，对角部角冲击数次；Y轴反转退出刀具；X轴反转到位，Y轴旋转并正向移动到位；X轴进给到离角部5mm处，正反丝杠驱动步进电机203停止；Y轴冲击铲驱动气缸206启动，对角部角冲击数次；X轴进给5mm；Y轴反转，刮胶X轴运行至下一角处；以相同工艺进行下一角部除胶。

[0093] 抬起步伐输送机构B 38：其下部采用升降气缸C 3809配合导柱导套C 3807的形式，实现晶托3在清洗和烘干工位上晶托3的抬起动作，上部采用水平推拉气缸配合导轨滑块的形式，实现晶托3从蒸箱下料移栽位‑五面除胶位、五面除胶位‑抛光角除胶位、抛光角除胶位‑清洗位共三个晶托3的输送。清洗位工作时，下部无抬起步伐输送机构B 38，清洗位的抬起步伐为此抬起步伐输送机构B 38的副输送机构，抬起步伐输送机构B 38在清洗位无料时需要移栽伸出并做移步动作，清洗位工作时清洗位移栽缩回除胶仓中待命。抬起步伐输送机构B 38动作循环具体为：蒸箱机构的下料外门13、除胶主门、除胶尾门同时打开；抬起步伐输送机构B 38低位整体向蒸箱方向伸出到位，同时清洗位移栽气缸B 3804伸出到位；升降气缸C 3809伸出到位，顶起下料升降移栽位、五面除胶位和抛光角除胶位晶托3；清洗位无料情况下，抬起步伐输送机构B移栽气缸3806缩回到位，蒸箱机构的下料外门13、除胶主门关闭；升降气缸C 3809缩回到位，放置三个晶托3；清洗位移栽气缸B 3804缩回；除胶尾门关闭，一次循环动作结束。

[0094] 抬起步伐输送机构A 37；其下部采用升降气缸B 3708配合导柱导套B 3709的形式，实现晶托3在清洗和烘干工位上晶托3的抬起动作，上部采用水平推拉气缸配合导轨滑块的形式，实现晶托3从清洗‑烘干、烘干‑成品晶托放置架27的输送。清洗位工作时，下部无抬起步伐输送机构A 37，清洗位的抬起步伐为此抬起步伐输送机构A 37的副输送机构，抬起步伐输送机构A 37在晶托3清洗完毕需要移栽时伸出并做移步动作，清洗位工作时则缩回藏于烘干仓中待命，抬起步伐输送机构A 37动作循环具体如下：清洗位尾门打开；清洗位移栽气缸A 3704伸出到位,同时烘干尾门打开；升降气缸B 3708伸出到位，顶起清洗和烘干位晶托3；抬起步伐输送机构A移栽气缸3706伸出到位，清洗位尾门关闭；升降气缸B 3708缩回到位，分别放置清洗和烘干位晶3托到烘干位和成品晶托放置架27工位；清洗位移栽气缸A 3704缩回；抬起步伐输送机构A移栽气缸3706缩回到位；烘干尾门关闭，一次循环动作结束。

[0095] 虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。