[0016] 将生长用坩埚盖表面去油清洗干净,将AlN专用高温粘接胶适量涂抹在坩埚盖上,再将籽晶的背面压在高温胶上,左右上下移动将胶中气泡排出。将四周多出的高温胶除去,清洁周边后,在拼接籽晶周边加上特制夹具,上紧夹具螺丝给拼接籽晶预置适量的压应力,以防止升温后接缝膨胀裂开。夹具厚度要求略小于t0,材料可采用耐高温的钨W、钼Mo或钽Ta。高温胶固化后,撕去蓝膜,籽晶表面去胶清洗后待用;
[0017] 最后,采用温度翻转技术技术进行后继接继生长。正常PVT晶体生长都是温度上低下高的正向温场,以保证源粉在高温下升华到低温籽晶处结晶。但是在升温过程中,正向温场会出现两个问题:1、杂质优先升华并在籽晶上沉积,影响后续的形核;2、未达合适温度就进行结晶,初期结晶质量差。本发明在升温过程中采用上高下低的反向倒温场来解决该问题。在AlN晶体生长的过程中,采用多段式生长的方法,首先通过控制坩埚在温场中的位置的方法提升坩埚顶部温度达到1800℃‑2200℃之间,并保持2‑10h,同时使源粉处的温度低于坩埚顶部的温度50℃‑200℃。在这一阶段保护籽晶同时使粘接胶粘接更加牢固,之后改变坩埚在温场中的位置进行温度翻转,使得坩埚顶部的温度低于源粉处的温度50℃‑200℃,再进行50h‑100h的长时间生长。
[0018] 具体的操作步骤为:
[0019] (1)在生长所用坩埚盖上挖孔,在AlN晶体生长设备中利用自发形核的方法得到尺寸较小的AlN小单晶。
[0020] (2)将得到的AlN小单晶双面研磨抛光,再利用单晶定向设备对小单晶进行切割解理,获得小的六棱柱或长方体籽晶小单元。
[0021] (3)将小的六棱柱或长方体籽晶小单元依次拼接在蓝膜上,得到尺寸较大的AlN籽晶,用胶带对其周围加以固定。
[0022] (4)将其背面利用晶体粘接胶粘接在坩埚盖上,固化后去除表面的蓝膜及周围固定的胶带,对其进行清洗去油,清洁周边后,在拼接籽晶周边加上特制夹具。
[0023] (5)将其放入AlN晶体生长设备中进行生长,通过温度翻转技术在升温初期保护籽晶,之后调整坩埚位置进行长时间生长。
[0024] 由此得到大尺寸高质量AlN晶体。
[0025] 与现有技术相比,本发明的有益效果是:
[0026] 本发明提出了一种利用尺寸易扩大的拼接籽晶技术制备大尺寸AlN单晶的方法,克服了原有技术难以同时得到尺寸较大且质量较高的AlN晶体。在扩大AlN单晶的尺寸同时提高AlN晶体的质量,并且这一方法比较简单,有利于实现低成本AlN晶体的制备,是一种可以得到大尺寸高质量AlN晶体的生长装置及工艺。
附图说明
[0027] 图1是晶体的拼接单元示意图。
[0028] 图2是本发明方法中通过自发形核得到AlN晶体的装置结构示意图;
[0029] 其中,1—自发形核得到的AlN小单晶,2—自发形核所用坩埚盖。
[0030] 图3是采用本发明方法获得大尺寸AlN籽晶的装置结构示意图;
[0031] 其中,3—拼接得到的AlN籽晶,4—夹具,5—晶体生长所用坩埚盖。
具体实施方式
[0032] 下面结合附图,通过实施例进一步描述本发明,但不以任何方式限制本发明的范围。
[0033] 本发明提出了一种物理气相传输法制备大尺寸高质量AlN单晶的新技术。
[0034] 制备过程包括两部分,现用自发形核在坩埚盖上获得小的单晶,对其工艺处理后再粘接作为正式生长的籽晶小单元。具体实施时,制备大尺寸高质量AlN单晶的装置包括:坩埚、AlN源粉、蓝膜、AlN专用高温粘接胶、研磨抛光设备、线切割机、耐高温夹具、单晶定向仪和PVT生长设备。图2是本发明提供的通过自发形核得到小尺寸AlN单晶的装置结构示意图,其中,1为自发形核得到的AlN单晶,2为坩埚盖;图3是采用本发明方法获得大尺寸AlN籽晶的装置结构示意图。其中,3为拼接得到的AlN晶体,4为预置的夹具,5为晶体生长所用坩埚盖。
[0035] 自发形核所用坩埚用于通过自发形核得到小尺寸AlN单晶;蓝膜用于将同一形状籽晶小单元进行无缝拼接;AlN专用高温粘接胶用于将AlN晶体粘接在坩埚盖上;研磨抛光设备用于将AlN小单晶通过研磨抛光获得AlN籽晶小单元;线切割机用于将自发形核AlN晶体进行切割;耐高温夹具在拼接单元外围预置,用于提供压应力,缓解升温过程热膨胀差异导致的籽晶单元间缝隙的增大;单晶定向仪用于确定AlN单晶小单元的晶体的a方向(即晶向指数为[11‑20]的晶向和晶体的m方向(即晶向指数为[1‑100]的晶向;PVT生长设备用于采用PVT生长方法生成AlN晶体。首先利用单晶定向仪对自发形核AlN晶体进行定向,之后利用线切割机对其进行切割,切割后再进行研磨抛光,再将获得的六棱柱或长方体晶体粘接在蓝膜上,之后将其整体用高温粘接胶粘接在生长所用坩埚盖上。外侧放置夹具固定。完成籽晶的粘接后进行氮化铝晶体的生长。
[0036] 图2是本发明提供的通过自发形核得到小尺寸AlN单晶的装置结构示意图,其中:
[0037] (1)坩埚的高度可以选择60mm‑150mm之间,坩埚盖的厚度可以选在5mm‑7mm之间。直径需与坩埚整体相匹配。坩埚的材料可以选择钨坩埚以及碳化钽坩埚等多种材料。
[0038] (2)在坩埚盖上挖孔,孔的尺寸可以在5mm‑15mm之间,孔的高度可以在5mm‑7mm之间。孔的个数可以为1‑5个。
[0039] (3)自发形核得到尺寸较小的AlN单晶过程中,生长温度在1800℃‑2200℃之间,生长压强在300Torr‑900Torr之间。
[0040] (4)切割研磨抛光自发形核AlN小单晶正反面,要求处理完成后晶体正面光亮,无肉眼可见划痕,厚度t=t0±1μm,t0=0.5‑2mm,处理后表面需保证为晶体的c面[即晶面指数为(0002)的晶面],它与晶体的a方向(即晶向指数为[11‑20]的晶向和晶体的m方向(即晶向指数为[1‑100]的晶向)之间的夹角均需在90°±0.5°之间
[0041] 图3是本发明提供的获得大尺寸AlN籽晶装置结构示意图,其中:
[0042] (1)通过侧面单晶定向并对侧面进行解理,先用单晶定向仪确定晶体的a方向(即晶向指数为[11‑20]的晶向和晶体的m方向(即晶向指数为[1‑100]的晶向);按单晶定向的方向,通过线切割或压裂解理等方法切割侧面,获得侧面为a面或m面的六棱柱或长方体籽晶单元,拼接单元如图1所示。同一形状的籽晶小单元的几何尺寸保持相同,边长尺寸偏差<10%;
[0043] (2)晶体粘接的过程中,使用的晶体粘接胶种类可以是AlN粘接胶,环氧树脂粘接胶等多种成分的粘接胶。将同一形状的籽晶小单元进行无缝拼接,将蓝膜或类似的胶带展开绷紧固定,根据PVT生长用坩埚内径尺寸l0,确定拼接最大尺寸L
[0044] (3)夹具厚度要求略小于t0,材料可采用耐高温的钨W、钼Mo或钽Ta。高温胶固化后,撕去蓝膜,籽晶表面去胶清洗后待用。
[0045] 具体实施时,利用上述装置制备大尺寸高质量AlN单晶包括如下步骤:
[0046] (1)在生长所用坩埚盖上挖孔,在AlN晶体生长设备中利用自发形核的方法得到尺寸较小的AlN单晶。
[0047] (2)将得到的AlN小单晶双面研磨抛光,再利用单晶定向设备对晶体进行切割解理,获得小的六棱柱或长方体籽晶小单元。
[0048] (3)将小的六棱柱或长方体籽晶小单元依次拼接在蓝膜上,得到尺寸较大的AlN晶体,用胶带对其周围加以固定。
[0049] (4)将其背面利用晶体粘接胶粘接在坩埚盖上,固化后去除表面的蓝膜及周围固定的胶带,对其进行清洗去油,清洁周边后,在拼接籽晶周边加上特制夹具。
[0050] (5)将其放入AlN晶体生长设备中进行生长,通过温度翻转技术在升温初期保护籽晶,之后调整坩埚位置进行长时间生长。
[0051] 下列几种方案为采用本发明制备大尺寸高质量AlN单晶的实施例,其具体异同如下面的表格所示。
[0052] 表1本发明制备大尺寸高质量AlN单晶的三个实施例
[0053]
[0054]
[0055] 具体如下:
[0056] 实施例一:在侧面为a面的籽晶单元上拼接籽晶后利用电阻式加热方法生长大尺寸高质量AlN晶体。
[0057] 具体的制备过程如下:
[0058] (1)准备一个高度为100mm,直径为55mm的高纯钨坩埚,在直径为55mm的高纯钨坩埚盖中心挖出一个直径为5mm的圆孔,孔的深度为5mm。之后在坩埚内放入3kg源粉,放入电阻式AlN晶体生长炉中进行50h的生长,生长温度为2000℃,生长压强为300Torr。
[0059] (2)将自发形核得到AlN单晶双面研磨抛光时,晶体厚度为1mm。使用单晶定向设备进行晶体定向后,晶体侧面切割解理成底为正六边形的六棱柱或长方体,6个侧面为(11‑20)晶面,底面正六边形的尺寸为5mm。
[0060] (3)将小的底为正六边形的六棱柱或长方体晶体依次拼接在蓝膜上,得到尺寸为60mm的AlN籽晶,用胶带对其周围加以固定。将其背面利用AlN粘接胶粘接在直径为63mm的坩埚盖上,固化后去除表面的蓝膜及周围固定的胶带,对其进行清洗去油,清洁周边后,在拼接籽晶周边加上特制夹具。
[0061] (4)将其放入电阻加热式AlN晶体生长炉中进行生长,升温阶段保持坩埚顶部温度高于源粉处温度200℃,之后调整坩埚位置,使坩埚顶部温度低于源粉处温度100℃开始长时间生长。生长温度为2100℃,生长压强为500Torr,生长时间为100h。之后完成大尺寸高质量AlN晶体制备。
[0062] 实施例二:在侧面为m面的籽晶单元上拼接籽晶后利用感应式加热方法生长大尺寸高质量AlN晶体。
[0063] 具体的制备过程如下:
[0064] (1)准备一个高度为130mm,直径为55mm的高纯钨坩埚,在直径为55mm的高纯钨坩埚盖中心等距离地挖出五个直径为5mm的圆孔,孔的深度为5mm。之后在坩埚内放入3kg源粉,放入电阻式AlN晶体生长炉中进行60h的生长,生长温度为2100℃,生长压强为400Torr。
[0065] (2)将自发形核得到AlN单晶双面研磨抛光时,晶体厚度为2mm。使用单晶定向设备进行晶体定向后,晶体侧面切割解理成正六边形,6个侧面必须严格为(1‑100)晶面,底面正六边形的尺寸为5mm。
[0066] (3)将小的正六边形晶体依次拼接在蓝膜上,得到尺寸为100mm的AlN籽晶,用胶带对其周围加以固定。将其背面利用AlN粘接胶粘接在直径为103mm的坩埚盖上,固化后去除表面的蓝膜及周围固定的胶带,对其进行清洗去油,清洁周边后,在拼接籽晶周边加上特制夹具。
[0067] (4)将其放入感应加热式AlN晶体生长炉中进行生长,升温阶段保持坩埚顶部温度高于源粉处温度150℃,之后调整坩埚位置,使坩埚顶部温度低于源粉处温度100℃开始长时间生长。生长温度为2050℃,生长压强为700Torr,生长时间为80h。之后完成大尺寸高质量AlN晶体制备.
[0068] 实施例三:在侧面为a面的籽晶单元上拼接籽晶后利用电阻式加热方法生长大尺寸高质量AlN晶体。
[0069] 具体的制备过程如下:
[0070] (1)准备一个高度为100mm,直径为55mm的高纯坦坩埚,在直径为55mm的高纯坦坩埚盖中心挖出一个直径为15mm的圆孔,孔的深度为5mm。之后在坩埚内放入3kg源粉,放入感应式AlN晶体生长炉中进行50h的生长,生长温度为2000℃,生长压强为700Torr。
[0071] (2)将自发形核得到AlN单晶双面研磨抛光时,晶体厚度为2mm。使用单晶定向设备进行晶体定向后,晶体侧面切割解理成六棱柱或长方体,6个侧面必须严格为(11‑20)晶面,底面正六边形的尺寸为5mm。
[0072] (3)将小的正六边形晶体依次拼接在蓝膜上,得到尺寸为200mm的AlN籽晶,用胶带对其周围加以固定。将其背面利用AlN粘接胶粘接在直径为203mm的坩埚盖上,固化后去除表面的蓝膜及周围固定的胶带,对其进行清洗去油清洁周边后,在拼接籽晶周边加上特制夹具,。
[0073] (4)将其放入电阻加热式AlN晶体生长炉中进行生长,升温阶段保持坩埚顶部温度高于源粉处温度100℃,之后调整坩埚位置,使坩埚顶部温度低于源粉处温度200℃开始长时间生长。生长温度为2150℃,生长压强为800Torr,生长时间为100h。之后完成大尺寸高质量AlN晶体制备。
[0074] 需要注意的是,公布实施例的目的在于帮助进一步理解本发明,但是本领域的技术人员可以理解:在不脱离本发明及及所附权利要求的精神和范围内,各种替换和修改都是可能的。因此,本发明不应局限于实施例所公开的内容,本发明要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。