一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质

摘要

本申请提供了一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质，其中，服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，遍历服务器中所有已存储的程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网接收和存储目标加工程序；若存在与第二程序名称相同的程序名称，且版本小于目标加工程序的版本，则接收目标加工程序并将目标加工程序进行存储；服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称和程序发送并存储至第二加工设备，根据目标加工程序进行半导体产品加工。采用上述方法，有利于提高半导体加工设备在使用加工程序进行产品加工的效率。

权利要求

1.一种程序共享方法，其特征在于，应用于半导体加工系统，所述半导体加工系统包括两个加工设备和服务器，三者通过局域网连接，所述方法包括：所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；

若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储；

在所述服务器接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除；

所述服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加工设备；

所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工；

所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，包括：所述第二加工设备通过局域网向所述服务器发送程序下载请求；

所述服务器响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其中，所述第四程序名称归属于所述第一程序名称；

所述服务器通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；

所述第二加工设备将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，所述方法包括：

所述第一加工设备运行加工程序进行晶圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；

所述第一加工设备将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除，包括：

所述服务器遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名称；

所述服务器将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。

4.一种程序共享系统，其特征在于，所述系统包括两个加工设备和服务器，其中，三者通过局域网连接；

所述服务器，用于响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；

若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储；

所述服务器，用于在接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，将所述已存储的加工程序进行删除；

所述服务器，用于响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加工设备；

所述第二加工设备，用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工；

所述第二加工设备，在用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中时，具体用于通过局域网向所述服务器发送程序下载请求；

所述服务器，用于响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其中，所述第四程序名称归属于所述第一程序名称；

所述服务器，用于通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；

所述第二加工设备，用于将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统包括：所述第一加工设备，用于在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，运行加工程序进行晶圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；

所述第一加工设备，用于将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述系统包括：所述服务器，在用于将所述已存储的加工程序进行删除时，具体用于遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名称；

所述服务器，用于将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。

7.一种计算机设备，其特征在于，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当计算机设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如权利要求1至3中任一所述的程序共享方法的步骤。

8.一种计算机可读存储介质，其特征在于，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至3中任意一项所述的程序共享方法的步骤。

说明书

一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质。

背景技术

[0002] 在进行半导体类产品加工时，相同机型或者相同设备组中的多个半导体加工设备可以使用相同的加工程序进行产品加工，同时每台半导体加工设备都有用于存储加工程序
的本地数据库，当设备需要使用加工程序进行产品加工时，需要从本地数据库中读取需要
的程序后运行。

[0003] 一个设备组中的一个加工设备可以通过运行更高版本的加工程序提高产品的加工效率，而现有技术中，在一个设备组中的多个加工设备采集其他设备中的更高版本的加
工程序时，只能对每个加工设备分别重复人工手动输入，从而增加了整个产品加工流程所
耗费的时间，降低了产品加工的效率。

发明内容

[0004] 有鉴于此，本发明的目的在于提供一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质，有利于提高半导体加工设备在使用加工程序进行产品加工的效率。

[0005] 第一方面，本申请实施例提供了一种程序共享方法，应用于半导体加工系统，所述半导体加工系统包括两个加工设备和服务器，三者通过局域网连接，所述方法包括：

[0006] 所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名
称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所述目
标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；

[0007] 若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序
进行存储；

[0008] 在所述服务器接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除；

[0009] 所述服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加工设备；

[0010] 所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工。

[0011] 可选地，在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，所述方法包括：

[0012] 所述第一加工设备运行加工程序进行晶圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；

[0013] 所述第一加工设备将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。

[0014] 可选地，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除，包括：

[0015] 所述服务器遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名
称；

[0016] 所述服务器将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。

[0017] 可选地，所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，包括：

[0018] 所述第二加工设备通过局域网向所述服务器发送程序下载请求；

[0019] 所述服务器响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其中，所述
第四程序名称归属于所述第一程序名称；

[0020] 所述服务器通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；

[0021] 所述第二加工设备将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。

[0022] 第二方面，本申请实施例提供了一种程序共享系统，所述系统包括两个加工设备和服务器，其中，三者通过局域网连接；

[0023] 所述服务器，用于响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程
序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所
述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；

[0024] 若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序
进行存储；

[0025] 所述服务器，用于在接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，将所述已存储的加工程序进行删除；

[0026] 所述服务器，用于响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加
工设备；

[0027] 所述第二加工设备，用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工。

[0028] 可选地，所述系统包括：

[0029] 所述第一加工设备，用于在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，运行加工程序进行晶圆加
工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；

[0030] 所述第一加工设备，用于将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。

[0031] 可选地，所述系统包括：

[0032] 所述服务器，在用于将所述已存储的加工程序进行删除时，具体用于遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程
序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名称；

[0033] 所述服务器，用于将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。

[0034] 可选地，所述系统包括：

[0035] 所述第二加工设备，在用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中时，具体用于通过局域网向所述服务器发送程序下
载请求；

[0036] 所述服务器，用于响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其
中，所述第四程序名称归属于所述第一程序名称；

[0037] 所述服务器，用于通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；

[0038] 所述第二加工设备，用于将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。

[0039] 第三方面，本申请实施例提供了一种计算机设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当计算机设备运行时，所述处理器与
所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行上述第一方面
中任一种可选地实施方式中所述的程序共享方法的步骤。

[0040] 第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行上述第一方面中任一种可选地
实施方式中所述的程序共享方法的步骤。

[0041] 本发明实施例提供的一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质，其中，所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储
的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则
通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所述目标加工
程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序，通过此步骤，可以将服务器
中未存储过的待上传加工程序存储至服务器中；若存在与所述第二程序名称相同的程序名
称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所
述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储，通过此步骤，将所需要的高版本加工程
序存储至服务器；在所述服务器接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储
后，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除，通过此步骤，将原本存储于服务器的较
低版本的加工程序进行了更新；所述服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所
述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发
送至所述第二加工设备；所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程
序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品
加工。采用上述方法，通过下载并运行与当前设备归属于同一设备组的加工程序，有利于提
高半导体加工设备在使用加工程序进行产品加工的效率。

[0042] 为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

[0043] 为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍， 应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是
对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据
这些附图获得其他相关的附图。

[0044] 图1示出了本发明实施例一所提供的一种程序共享方法的流程图；

[0045] 图2示出了本发明实施例一所提供的一种具体的实例的示意图；

[0046] 图3示出了本发明实施例二所提供的一种程序共享系统的结构示意图；

[0047] 图4示出了本发明实施例三所提供的一种计算机设备的结构示意图。

具体实施方式

[0048] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅
是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实
施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的
实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实
施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所
有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0049] 实施例一

[0050] 为便于对本申请进行理解，下面结合图1示出的本发明实施例一所提供的一种程序共享方法的流程图描述的内容对本申请实施例一进行详细说明。

[0051] 参见图1所述，图1示出了本发明实施例一所提供的一种程序共享方法的流程图，所述方法包括步骤S101 S105：
~

[0052] S101：所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程
序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所
述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序。

[0053] 具体的，当第一加工设备向服务器发送程序上传请求后，服务器接收该程序上传请求并响应该请求；服务器中建立有用于存储所有加工程序的存储空间，在响应程序上传
请求时，服务器遍历存储空间中所有的加工程序的程序名称，在这里，服务器可以顺序对存
储空间中的所有程序进行逐一识别，也可以通过将存储空间进行分区对每个存储区域中的
程序进行同时识别，或者将加工程序按照设备组、设备或者程序名称进行分组后，再对各组
程序进行识别。

[0054] 在服务器遍历存储空间中所有的加工程序的程序名称时，将与目标加工程序对应的第二程序名称与服务器中已存储的加工程序名称进行对比与匹配；若服务器中没有与目
标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网将目标加工程序上传至服务器
的存储空间中；上传过程中，可以采取将程序代码按照顺序单线程上传，也可以将程序代码
进行分包后多线程上传，在服务器接收到分包后的数据后，再按照分包的逆过程将程序代
码进行重组还原，以得到原始的程序代码。

[0055] 需要说明的是，服务器遍历存储空间中所有的加工程序的程序名称的方法和通过局域网接收所述目标加工程序的方法可以根据实际需要进行设定，在此不做具体限定，上
述具体说明是对本发明实施例一的示意性说明，并不对本发明实施例一形成限定。

[0056] S102：若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加
工程序进行存储。

[0057] 具体的，服务器将与目标加工程序对应的第二程序名称与服务器中已存储的加工程序名称进行对比与匹配时，若服务器中有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名
称，则继续对目标加工程序的版本和存储于服务器中与目标相同加工程序名称相同的程序
的版本进行对比；若目标加工程序的版本小于或等于存储于服务器中与目标相同加工程序
名称相同的程序的版本，则不对目标加工程序进行操作；若目标加工程序的版本大于存储
于服务器中与目标相同加工程序名称相同的程序的版本，则通过局域网接收目标加工程序
并存储至服务器的存储空间中。

[0058] S103：在所述服务器接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除。

[0059] 具体的，在将目标加工程序存储于服务器中后，服务器识别该目标加工程序的第二程序名称，将和第二程序名称相同的原本存储于服务器中的程序进行删除。

[0060] S104：所述服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加
工设备。

[0061] 具体的，当第二加工设备向服务器发送程序共享请求后，服务器接收该程序共享请求并响应该请求；由于同一设备组中存在至少一个加工设备，所以服务器会先在存储空
间中寻找第二加工设备归属于的设备组，然后将归属于该设备组中的所有设备上传且进行
保存的最高版本程序进行识别；由于同时存在至少一个程序，若服务器中仅有一个加工程
序，则将该程序的程序名称通过局域网发送至所述第二设备。

[0062] 若服务器中有多个最高版本程序，则对每个最高版本程序进行判断，若目标最高版本程序是由第二加工设备上传的，则将目标最高版本程序的程序名称通过局域网发送至
所述第二设备。

[0063] 若目标最高版本程序不是由第二加工设备上传的，则将最后上传至服务器的设备中的归属于相同设备组相同版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二设备，使得每
条程序名称对应的程序不满足同时具有属于相同设备组、相同设备和相同最高版本的情
况。

[0064] S105：所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工。

[0065] 具体的，第二加工设备接收服务器下发的加工程序，由于加工设备在进行产品加工时需要从本地数据库中调用需要的程序，所以在接收到加工程序后需要将该程序存储值
本地数据库的对应存储空间中，使得所述第二加工设备可以根据加工程序进行半导体产品
加工。

[0066] 在一个可行的实施方案中，在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，所述方法包括：

[0067] 所述第一加工设备运行加工程序进行晶圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据。

[0068] 具体的，由于硅在半导体产品的制作中是必不可少的，而晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，所以在根据加工程序进行产品加工时，会对晶圆进行
加工。

[0069] 所述第一加工设备将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。

[0070] 具体的，由于通过不同的加工程序的加工设备对相同产品进行加工时，得到的产品参数或者加工的时间不相同，所以需要对同一设备组中的所有机型中的加工程序进行更
新；在更新前需要确定能够更优进行产品加工的加工程序，所以需要通过历史运行后得到
的加工数据确定更优的加工程序。

[0071] 例如，可以选择在历史加工过程中，加工相同数量或者型号的产品消耗时间最短的加工程序，或者选择加工结束后得到的产品质量更高或者精确度更高的加工程序。

[0072] 需要说明的是，所述第一加工设备将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析的方法可以根据实际需要进行设定，在此不做具体限定，上述具体说明是对本发明实施例一
的示意性说明，并不对本发明实施例一形成限定。

[0073] 在一个可行的实施方案中，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除，包括：

[0074] 所述服务器遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名
称。

[0075] 所述服务器将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。

[0076] 具体的，服务器查找存储空间中所有已存储的程序名称，将与目标加工程序的程序名称相同的程序名称对应的程序进行删除，以使得服务器中具有相同程序名称的程序只
有一个。

[0077] 在一个可行的实施方案中，所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，包括：

[0078] 所述第二加工设备通过局域网向所述服务器发送程序下载请求。

[0079] 所述服务器响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其中，所述
第四程序名称归属于所述第一程序名称。

[0080] 所述服务器通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中。

[0081] 具体的，由于在加工设备中用于执行程序和对数据进行处理的模块为程序处理器，而程序处理器仅有数据处理的功能而没有存储数据的功能，所以在设备接收到程序时
需要先将数据存储于处理器缓存中，以供处理器对该程序进行存储或者执行。

[0082] 所述第二加工设备将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。

[0083] 具体的，对加工程序进行编号与命名，命名组成内容包括但不限于将设备、设备归属于的设备组、程序标号、版本等数据；编号方式包括但限于按下载时间编号、存储时间编
号等。

[0084] 需要说明的是，所述第二加工设备将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号的方法可以根据实际需要进行设定，在此不做具体限定，上述具体说明是对本发
明实施例一的示意性说明，并不对本发明实施例一形成限定。

[0085] 下面结合一个具体的实例来说明本发明所提供的方案，图2示出了本发明实施例一所提供的一种具体的实例的示意图，其中，所述实例中包括设备A、设备B、设备C和服务
器，所述设备A、设备B和设备C属于同一设备组，设备组编码为A0001；设备A的设备编码为
0001，存储有程序a01（版本1）和程序a02（版本1）；设备B的设备编码为0002，存储有程序a01
（版本1）和程序a02（版本1）；设备c的设备编码为0003，存储有程序a01（版本2）。

[0086] 步骤一：将设备A、设备B和设备C中的程序按照上述描述顺序依次上传，基于本发明实施例一提供的上传方法，可以得到服务器中按照上传时间现后顺序存储的程序为（为
了便于区分，将程序以“设备编码+设备组编码+程序名+版本”的形式编号）：
0001A0001a011、0001A0001a021、0002A0001a011、0002A0001a021和0003A0001a012。

[0087] 步骤二：将具有相同程序名的最高版本的程序对设备A、设备B和设备C进行显示，由于程序a01的最高版本为版本2，且该版本只是由设备C上传的，所以将程序编号为
0003A0001a012的程序对所有设备进行显示。

[0088] 步骤三：由于程序a02的最高版本为版本1，而版本1在上传前同时已存储于设备A和设备B中，所以服务器再将程序a02版本1在对设备A和设备B进行显示时，显示本设备存储
的程序，即对设备A显示0001A0001a021，对设备B显示0002A0001a021；但由于设备C中并未
存储有程序a02的任何版本程序，所以将程序a02中最后上传至服务器程序0002A0001a021
对设备C进行显示。

[0089] 步骤四：响应用户对程序编号的选中与下载指令，将服务器中与该程序编号对应的程序进行下载并保存至各设备的本地数据库中。

[0090] 实施例二

[0091] 参见图3所示，图3示出了本发明实施例二所提供的一种程序共享系统的结构示意图，其中，如图3所示，本发明实施例二所提供的一种程序共享系统300包括两个加工设备和
服务器301，其中，三者通过局域网连接；

[0092] 所述服务器301，用于响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的
程序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，
所述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；

[0093] 若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序
进行存储；

[0094] 所述服务器301，用于在接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，将所述已存储的加工程序进行删除；

[0095] 所述服务器301，用于响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二
加工设备；

[0096] 所述第二加工设备302，用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加
工。

[0097] 在一个可行的实施方案中，所述系统包括：

[0098] 所述第一加工设备303，用于在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，运行加工程序进行晶
圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；

[0099] 所述第一加工设备303，用于将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。

[0100] 在一个可行的实施方案中，所述系统包括：

[0101] 所述服务器301，在用于将所述已存储的加工程序进行删除时，具体用于遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三
程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名称；

[0102] 所述服务器301，用于将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。

[0103] 在一个可行的实施方案中，所述系统包括：

[0104] 所述第二加工设备302，在用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中时，具体用于通过局域网向所述服务器发送程
序下载请求；

[0105] 所述服务器301，用于响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，
其中，所述第四程序名称归属于所述第一程序名称；

[0106] 所述服务器301，用于通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；

[0107] 所述第二加工设备302，用于将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。

[0108] 实施例三

[0109] 基于同一申请构思，参见图4所示，图4示出了本发明实施例三所提供的一种计算机设备的结构示意图，其中，如图4所示，本申请实施例三所提供的一种计算机设备400包
括：

[0110] 处理器401、存储器402和总线403，所述存储器402存储有所述处理器401可执行的机器可读指令，当计算机设备400运行时，所述处理器401与所述存储器402之间通过所述总
线403进行通信，所述机器可读指令被所述处理器401运行时执行上述实施例一所示的一种
程序共享方法的步骤。

[0111] 实施例四

[0112] 基于同一申请构思，本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行上述实施例中
任一项所述的一种程序共享方法的步骤。

[0113] 所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统和装置的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

[0114] 本发明实施例所提供的进行程序共享的计算机程序产品，包括存储了程序代码的计算机可读存储介质，所述程序代码包括的指令可用于执行前面方法实施例中所述的方
法，具体实现可参见方法实施例，在此不再赘述。

[0115] 本发明实施例所提供的一种程序共享的系统可以为设备上的特定硬件或者安装于设备上的软件或固件等。本发明实施例所提供的系统，其实现原理及产生的技术效果和
前述方法实施例相同，为简要描述，系统实施例部分未提及之处，可参考前述方法实施例中
相应内容。所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，前述描述的系
统、装置和单元的具体工作过程，均可以参考上述方法实施例中的对应过程，在此不再赘
述。

[0116] 在本发明所提供的实施例中，应该理解到，所揭露装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻
辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可
以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间
的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连
接，可以是电性，机械或其它的形式。

[0117] 所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个
网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目
的。

[0118] 另外，在本发明提供的实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

[0119] 所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说
对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计
算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个
人计算机，服务器，或者网络设备等）执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。
而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM，Read‑Only Memory）、随机存取存
储器（RAM，Random Access Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

[0120] 应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释，此外，术语“第
一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0121] 最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发
明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员
在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻
易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使
相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围。都应涵盖在本发明的保护
范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。