光伏电池及其制造方法、光伏组件

摘要

本申请实施例涉及太阳能领域，提供一种光伏电池及其制造方法、光伏组件，光伏电池包括：基底；第一减反射层，位于基底的一侧；第二减反射层，位于第一减反射层远离基底的一侧，第一减反射层包括第一氮氧化硅材料，第二减反射层包括第二氮氧化硅材料，沿垂直于第一减反射层指向第二减反射层方向的方向上，第一减反射层和第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势。本申请实施例至少有利于提高光伏电池对入射至光伏电池上的光的吸收率。

权利要求

1.一种光伏电池，其特征在于，包括：基底；

第一减反射层，位于所述基底的一侧；

第二减反射层，位于所述第一减反射层远离所述基底的一侧，所述第一减反射层包括第一氮氧化硅材料，所述第二减反射层包括第二氮氧化硅材料，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势。

2.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，所述第一减反射层中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9，所述第二减反射层中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9。

3.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，所述第一氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物，所述第二氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧化硅和氮化硅的含量比值呈增大趋势，另一者的氧化硅和氮化硅的含量比值呈减小趋势。

4.如权利要求3所述的光伏电池，其特征在于，所述第一减反射层中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0 1，所述第二减反射层中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0~ ~

1。

5.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素含量呈增大趋势，另一者的氧元素含量呈减小趋势，且所述第一减反射层和所述第二减反射层中氧元素与硅元素的含量比值不大于0.5。

6.如权利要求5所述的光伏电池，其特征在于，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氮元素含量呈增大趋势，另一者的氮元素含量呈减小趋势，且所述第一减反射层和所述第二减反射层中氮元素与硅元素的含量比值变化范围为1.05 1.33。

~

7.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，沿所述第一减反射层指向所述第二减反射层的方向上，所述第一减反射层的厚度为30nm 50nm，所述第二减反射层的厚度为30nm~ ~

50nm。

8.如权利要求1‑7任一项所述的光伏电池，其特征在于，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中的一者的折射率呈增大趋势，另一者的折射率呈减小趋势，且所述第一减反射层和所述第二减反射层的折射率的差值先呈减小趋势然后呈增大趋势。

9.如权利要求8所述的光伏电池，其特征在于，所述第一减反射层的折射率和所述第二减反射层的折射率的最大值为1.9 2.1，所述第一减反射层的折射率和所述第二减反射层~

的折射率的最小值为1.4 1.6。

~

10.如权利要求8所述的光伏电池，其特征在于，所述第一减反射层的折射率最高值与所述第二减反射层的折射率最高值相同，所述第一减反射层的折射率最低值与所述第二减反射层的折射率最低值相同。

11.一种光伏电池的制造方法，其特征在于，包括：提供基底；

在所述基底的一侧形成第一减反射层；

在所述第一减反射层远离所述基底的一侧形成第二减反射层，所述第一减反射层包括第一氮氧化硅材料，所述第二减反射层包括第二氮氧化硅材料，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势。

12.如权利要求11所述的制造方法，其特征在于，还包括：提供腔室，且沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，在所述腔室上依次设置第一进气口和第二进气口，且所述第一进气口和所述第二进气口的进气方向相反，所述基底位于所述第一进气口和所述第二进气口之间；

在所述腔室内形成所述第一减反射层的步骤包括：在所述基底的一侧沉积氮化硅材料，且在沉积过程中，打开所述第一进气口并关闭所述第二进气口；

在所述腔室内形成所述第二减反射层的步骤包括：在所述第一减反射层远离所述基底的一侧沉积氮化硅材料，且在沉积过程中，关闭所述第一进气口并打开所述第二进气口；

在形成所述第一减反射层的步骤和形成所述第二减反射层的步骤中，所述第一进气口和所述第二进气口提供的气体为至少包含氧元素的气体。

13.如权利要求12所述的制造方法，其特征在于，所述至少包含氧元素的气体包括氧气或者一氧化二氮。

14.如权利要求12所述的制造方法，其特征在于，所述第一进气口和所述第二进气口提供的气体相同。

15.如权利要求12所述的制造方法，其特征在于，所述第一进气口提供的气体的气体流量不高于150mL/s，所述第二进气口提供的气体的气体流量不高于150mL/s。

16.一种光伏组件，其特征在于，包括：电池串，由如权利要求1至10中任一项所述的光伏电池连接形成，或者由如权利要求11至15中任一项所述的制造方法制造的光伏电池连接形成；

封装胶膜，用于覆盖所述电池串的表面；

盖板，用于覆盖所述封装胶膜背离所述电池串的表面。

说明书

光伏电池及其制造方法、光伏组件

技术领域

[0001] 本申请实施例涉及太阳能领域，特别涉及一种光伏电池及其制造方法、光伏组件。

背景技术

[0002] 光伏电池对太阳光的反射率或吸收率是影响光伏电池光电转换效率的关键因素。目前业内光伏电池中常采用单层氮化硅、多层氮化硅或者氮化硅与其他材料膜层的叠层结
构作为减反射结构。

[0003] 然而，氮化硅膜层存在较大内应力，且在制备氮化硅膜层的工艺过程中由于氢元素的存在，会在氮化硅膜层中产生较多的缺陷，这些均会降低氮化硅膜层对光的吸收率，从
而降低光伏电池对光的吸收率。

发明内容

[0004] 本申请实施例提供一种光伏电池及其制造方法、光伏组件，至少有利于提高光伏电池对光的吸收率。

[0005] 根据本申请一些实施例，本申请实施例一方面提供一种光伏电池，包括：基底；第一减反射层，位于所述基底的一侧；第二减反射层，位于所述第一减反射层远离所述基底的
一侧，所述第一减反射层包括第一氮氧化硅材料，所述第二减反射层包括第二氮氧化硅材
料，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层
和所述第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，另一者的氧元素和
氮元素的含量比值呈减小趋势。

[0006] 在一些实施例中，所述第一减反射层中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9，所述第二减反射层中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9。

[0007] 在一些实施例中，所述第一氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物，所述第二氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反
射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧化硅和氮化硅的含
量比值呈增大趋势，另一者的氧化硅和氮化硅的含量比值呈减小趋势。

[0008] 在一些实施例中，所述第一减反射层中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0~
1，所述第二减反射层中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0 1。
~

[0009] 在一些实施例中，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素含量呈增大趋势，另一者的氧
元素含量呈减小趋势，且所述第一减反射层和所述第二减反射层中氧元素与硅元素的含量
比值不大于0.5。

[0010] 在一些实施例中，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氮元素含量呈增大趋势，另一者的氮
元素含量呈减小趋势，且所述第一减反射层和所述第二减反射层中氧元素与硅元素的含量
比值变化范围为1.05 1.33。
~

[0011] 在一些实施例中，沿所述第一减反射层指向所述第二减反射层的方向上，所述第一减反射层的厚度为30nm 50nm，所述第二减反射层的厚度为30nm 50nm。
~ ~

[0012] 在一些实施例中，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中的一者的折射率呈增大趋势，另一者的折射
率呈减小趋势，且所述第一减反射层和所述第二减反射层的折射率的差值先呈减小趋势然
后呈增大趋势。

[0013] 在一些实施例中，所述第一减反射层的折射率和所述第二减反射层的折射率的最大值为1.9 2.1，所述第一减反射层的折射率和所述第二减反射层的折射率的最小值为1.4
~
1.6。
~

[0014] 在一些实施例中，所述第一减反射层的折射率最高值与所述第二减反射层的折射率最高值相同，所述第一减反射层的折射率最低值与所述第二减反射层的折射率最低值相
同。

[0015] 根据本申请一些实施例，本申请实施例另一方面还提供一种光伏电池的制造方法，包括：提供基底；在所述基底的一侧形成第一减反射层；在所述第一减反射层远离所述
基底的一侧形成第二减反射层，所述第一减反射层包括第一氮氧化硅材料，所述第二减反
射层包括第二氮氧化硅材料，沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方
向上，所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大
趋势，另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势。

[0016] 在一些实施例中，光伏电池的制造方法还包括：提供腔室，且沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上，在所述腔室上依次设置第一进气口和第二进
气口，且所述第一进气口和所述第二进气口的进气方向相反，所述基底位于所述第一进气
口和所述第二进气口之间；在所述腔室内形成所述第一减反射层的步骤包括：在所述基底
的一侧沉积氮化硅材料，且在沉积过程中，打开所述第一进气口并关闭所述第二进气口；在
所述腔室内形成所述第二减反射层的步骤包括：在所述第一减反射层远离所述基底的一侧
沉积氮化硅材料，且在沉积过程中，关闭所述第一进气口并打开所述第二进气口；在形成所
述第一减反射层的步骤和形成所述第二减反射层的步骤中，所述第一进气口和所述第二进
气口提供的气体为至少包含氧元素的气体。

[0017] 在一些实施例中，所述至少包含氧元素的气体包括氧气或者一氧化二氮。

[0018] 在一些实施例中，所述第一进气口和所述第二进气口提供的气体相同。

[0019] 在一些实施例中，所述第一进气口提供的气体的气体流量不高于150mL/s，所述第二进气口提供的气体的气体流量不高于150mL/s。

[0020] 根据本申请一些实施例，本申请实施例又一方面还提供一种光伏组件，包括：电池串，由上述任一项所述的光伏电池连接形成，或者由上述任一项所述的制造方法制造的光
伏电池连接形成；封装胶膜，用于覆盖所述电池串的表面；盖板，用于覆盖所述封装胶膜背
离所述电池串的表面。

[0021] 本申请实施例提供的技术方案至少具有以下优点：

[0022] 在基底上堆叠有第一减反射层和第二减反射层，且沿垂直于第一减反射层指向第二减反射层方向的方向上，设计第一减反射层和第二减反射层中氧元素和氮元素的含量逐
渐变化，以使得第一减反射层和第二减反射层中氧元素和氮元素的含量比值逐渐变化，则
沿垂直于第一减反射层指向第二减反射层方向的方向上，第一减反射层和第二减反射层对
光的折射率的大小逐渐变化，且第一减反射层和第二减反射层对光的折射率的大小的变化
趋势不同，从而有利于增大光在第一减反射层和第二减反射层中发生全反射的概率，以及
降低入射至第一减反射层和第二减反射层中的光经过一次或多次折射进入空气中的概率，
从而极大的减少入射至光伏组件上的光的损失，提高光伏组件对入射至光伏组件上的光的
吸收率。

附图说明

[0023] 一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除
非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

[0024] 图1为本申请一实施例提供的光伏电池的结构示意图；

[0025] 图2至图5为入射至本申请一实施例提供的第二减反射层上的光的四种传播路线的示意图；

[0026] 图6为本申请一实施例提供的第一减反射层或第二减反射层的折射率随第一减反射层或第二减反射层的材料成分变化而变化的折线图；

[0027] 图7至8为本申请另一实施例提供的光伏电池的制造方法各步骤对应的结构示意图；

[0028] 图9为本申请又一实施例提供的光伏组件的结构示意图。

具体实施方式

[0029] 由背景技术可知，光伏电池对光的吸收率有待提高。

[0030] 本申请实施提供一种光伏电池，沿垂直于第一减反射层指向第二减反射层方向的方向上，第一减反射层和第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，
另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势，如此，沿垂直于第一减反射层指向第二
减反射层方向的方向上，有利于使得第一减反射层和第二减反射层对光的折射率的大小均
会呈现渐变的现象，且第一减反射层和第二减反射层对光的折射率的大小的变化趋势不
同，从而有利于增大光在第一减反射层和第二减反射层中发生全反射的概率，以及降低入
射至第一减反射层和第二减反射层中的光经过一次或多次折射进入空气中的概率，从而极
大的减少入射至光伏组件上的光的损失，提高光伏组件对入射至光伏组件上的光的吸收
率。

[0031] 下面将结合附图对本申请的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本申请各实施例中，为了使读者更好地理解本申请实施例而提出了许多
技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实
现本申请实施例所要求保护的技术方案。

[0032] 本申请一实施例提供一种光伏电池，以下将结合附图对本申请一实施例提供的光伏电池进行详细说明。图1为本申请一实施例提供的光伏电池的结构示意图；图2至图5为入
射至本申请一实施例提供的第二减反射层上的光的四种传播路线的示意图；图6为本申请
一实施例提供的第一减反射层或第二减反射层的折射率随第一减反射层或第二减反射层
的材料成分变化而变化的折线图。需要说明的是，便于图示，图1至图5中未示意出光伏电池
中的发射极、隧穿膜层、钝化膜层以及电极等结构。

[0033] 参考图1至图5，光伏电池包括：基底100；第一减反射层101，位于基底100的一侧；第二减反射层102，位于第一减反射层101远离基底100的一侧。其中，沿垂直于第一减反射
层101指向第二减反射层102方向的方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102中的一
者的折射率呈增大趋势，另一者的折射率呈减小趋势，且第一减反射层101和第二减反射层
102的折射率的差值先呈减小趋势然后呈增大趋势。

[0034] 可以理解的是，在一些实施例中，某一参数呈增大趋势指的是该参数逐渐增大，即在变化过程中，该参数一直是逐渐增大的形势；某一参数呈减小趋势指的是该参数逐渐减
小，即在变化过程中，该参数一直是逐渐减小的形势。在另一些实施例中，某一参数呈增大
趋势指的是在变化过程中，该参数整体呈增大的形势，在局部的变化过程中，该参数可以是
呈逐渐减小的形势；某一参数呈减小趋势指的是在变化过程中，该参数整体呈减小的形势，
在局部的变化过程中，该参数可以是呈逐渐增大的形势。在其他实施例中，某一参数呈增大
趋势可以是该参数逐渐增大，某一参数呈减小趋势可以是整体呈减小的形势，在局部的变
化过程中，该参数是呈逐渐增大的形势；或者，某一参数呈增大趋势可以是整体呈增大的形
势，在局部的变化过程中，该参数是呈逐渐减小的形势，某一参数呈减小趋势指的是该参数
逐渐减小。

[0035] 例如，在一些实施例中，第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率呈增大趋势指的是：第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率逐渐增大；即
在变化过程中，第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率一直是逐渐增大的
形势；第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率呈减小趋势指的是：第一减
反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率逐渐减小，即在变化过程中，第一减反射
层101和第二减反射层102中的一者的折射率一直是逐渐减小的形势。在另一些实施例中，
第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率呈增大趋势指的是：在变化过程
中，该折射率整体呈增大的形势，在局部的变化过程中，该折射率可以是呈逐渐减小的形
势；第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率呈减小趋势指的是：在变化过
程中，该折射率整体呈减小的形势，在局部的变化过程中，该折射率可以是呈逐渐增大的形
势。在其他实施例中，折射率呈增大趋势可以是该折射率逐渐增大，折射率呈减小趋势可以
是整体呈减小的形势，在局部的变化过程中，该折射率是呈逐渐增大的形势；或者，折射率
呈增大趋势可以是整体呈增大的形势，在局部的变化过程中，该折射率是呈逐渐减小的形
势，折射率呈减小趋势指的是该折射率逐渐减小。

[0036] 需要说明的是，若存在堆叠的第一介质层和第二介质层，且第一介质层的折射率低于第二介质层的折射率，第一介质层具有相对于第二介质层的临界角，当光从折射率较
高的第二介质层中入射至折射率较低的第一介质层上，若光线在传播至第二介质层和第一
介质层相接触处的入射角大于等于该临界角，折射光线将会消失，所有的入射光线将被反
射至第二介质层中而不折射进第一介质层中，该光学现象称为全反射（total internal 
reflection，TIR）。其中，在全反射现象中，光刚好发生全反射，即光线的折射角为90度时光
线的入射角为临界角。在一些实施例中，第一介质层可以包括减反射层和/或钝化层，第二
介质层可以包括减反射层和/或钝化层。

[0037] 此外，第一介质层的折射率和第二介质层的折射率之间的差值越大，第一介质层相对于第二介质层的临界角越小，光线从第二介质层传播至第一介质层的过程中，越容易
发生全反射现象，即光线越容易在第二介质层在发生反射，越不容易折射进第一介质层中。

[0038] 其中，沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102之间的折射率之差先呈减小趋势然后呈增大趋势，则沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102相接触的界面
处的临界角会先呈增大趋势然后呈减小趋势。可以理解的是，第一减反射层101和第二减反
射层102相接触的界面处的临界角为该界面处的第一减反射层101相对于第二减反射层102
的临界角。需要说明的是，前述已经详细描述了关于“呈增大趋势”、“呈增大趋势所包含的
具体情形”、“呈减小趋势”以及“呈减小趋势所包含的具体情形”，在此对折射率之差呈增大
趋势的相关描述和折射率之差呈减小趋势的相关描述不做赘述。

[0039] 在上述前提下，光从第二减反射层102远离第一减反射层101的一侧入射，依次在第二减反射层102、第一减反射层101以及基底100中传播的情况可以分为以下四种情形：

[0040] 需要说明的是，为了便于后续的说明，图2至图5中以沿方向X上，第一减反射层101的折射率大小的变化趋势为由低到高，第二减反射层102的折射率大小的变化趋势为由高
到低为示例，在实际应用中，沿方向X上，第一减反射层101的折射率大小的变化趋势可以为
由高到低，第二减反射层102的折射率大小的变化趋势可以为由低到高。

[0041] 情形一：参考图2，光入射至第二减反射层102的折射率较高处，光第一次从第二减反射层102中入射至第二减反射层102与第一减反射层101相接触的A位置时，光在A处的入
射角为β，第一减反射层101在A处相对于第二减反射层102的临界角小于等于入射角β。

[0042] 由于入射角β大于等于A处第一减反射层101相对于第二减反射层102的临界角，则光会在第二减反射层102层中发生全反射。沿方向X上，第一减反射层101的折射率呈增大趋
势，第二减反射层102的折射率呈减小趋势，则第一减反射层101的折射率和第二减反射层
102的折射率的差值会呈减小趋势，使得第一减反射层101和第二减反射层102相接触处的
临界角呈增大趋势，则存在光在第二减反射层102中经过几次全反射后，例如，光从第二减
反射层102中入射至第二减反射层102与第一减反射层101相接触的B位置时，入射角β小于B
处第一减反射层101相对于第二减反射层102的临界角，第二减反射层102中的光会折射进
第一减反射层101中。

[0043] 光在B处发生折射时，是从折射率高的第二减反射层102进入折射率低的第一减反射层101，则折射角Ψ大于入射角β，由于沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102
相接触处的临界角先呈增大趋势然后呈减小趋势，则在该光后续的传播过程中，再次从第
一减反射层101中传播至第一减反射层101与第二减反射层102相接触处时，有利于使得此
处的入射角Ψ大于此处第一减反射层101和第二减反射层102之间的临界角，因而该光容易
在第一减反射层101中发生全反射，不容易折射进第二减反射层102中。此外，沿方向X上，第
二减反射层102中的光在B处之后入射至第一减反射层101和第二减反射层102相接触处时，
也有利于使得此处的入射角Ψ大于此处第一减反射层101和第二减反射层102之间的临界
角，因而光容易在第一减反射层101发生全反射，不容易折射进第二减反射层102中。需要说
明的是，前述已经详细描述了关于“呈增大趋势”以及“呈增大趋势”所包含的具体情形，在
此对临界角呈增大趋势的相关描述和临界角呈减小趋势的相关描述不做赘述。

[0044] 由上述分析可知，在情形一中，从第二减反射层102远离第一减反射层101的一侧入射的光大部分都依次在第二减反射层102和第一减反射层101发生全反射，然后最终被基
底100充分吸收，降低入射至光伏电池中的光最终传播至光伏电池外的概率，从而有利于提
高光伏电池对光的吸收率。

[0045] 情形二：参考图3，光入射至第二减反射层102的折射率较高处，光第一次从第二减反射层102中入射至第二减反射层102与第一减反射层101相接触的A位置时，光在A处的入
射角为β，第一减反射层101在A处相对于第二减反射层102的临界角大于入射角β。

[0046] 由于入射角β小于A处第一减反射层101相对于第二减反射层102的临界角，则光会在第二减反射层102中发生反射和折射，即部分光会从第二减反射层102中折射进第一减反
射层101中。折射进第一减反射层101中的光部分会直接被基底100吸收，部分会反射至第一
减反射层101与第二减反射层102相接触处，例如C处。

[0047] 由前述第一减反射层101的折射率的变化趋势和第二减反射层102的折射率的变化趋势可知，C处第一减反射层101和第二减反射层102之间的折射率之差小于A处第一减反
射层101和第二减反射层102之间的折射率之差。由于光从第一减反射层101向第二减反射
层102中传播时，第一减反射层101和第二减反射层102之间的折射率之差越来越小，则折射
角越来越小，即角Ψ与角β之间的差值大于角Ψ与角δ之间的差值，则C处的折射角δ大于A处
入射角β，有利于增大角δ大于第二减反射层102与空气之间的临界角的概率，从而有利于降
低光从第二减反射层102层折射进空气中的概率，以提高入射光经过第一减反射层101和第
二减反射层102的反射与折射进入基底100中的概率，从而有利于提高光伏电池对光的吸收
率。

[0048] 情形三：参考图4，光入射至第二减反射层102的折射率较低处，光第一次从第一减反射层101中入射至第一减反射层101与基底100相接触的D位置时，光在D处的入射角为Ψ，
第二减反射层102在E处相对于第一减反射层101的临界角小于等于入射角Ψ。

[0049] 情形四：参考图5，光入射至第二减反射层102的折射率较低处，光第一次从第一减反射层101中入射至第一减反射层101与基底100相接触的D位置时，光在D处的入射角为Ψ，
第二减反射层102在E处相对于第一减反射层101的临界角大于入射角Ψ。

[0050] 对于情形三和情形四，光由空气中折射进第二减反射层102，由于第二减反射层102的折射率低于第一减反射层101的折射率，则光势必会从第二减反射层102中折射进第
一减反射层101中，无论是如情形三中第二减反射层102在E处相对于第一减反射层101的临
界角小于等于入射角Ψ，光会在第一减反射层101中经过一段时间的全反射，不会折射进第
二减反射层102中，然后被基底100吸收，还是如情形四，第二减反射层102在E处相对于第一
减反射层101的临界角大于入射角Ψ，在第一减反射层101和第二减反射层102的相接触处，
部分光发生反射进入第一减反射层101中，然后从第一减反射层101中折射进基底100中。可
见，情形三和情形四中，大部分光均会传播至基底100中，且沿与方向X平行且相反的方向
上，基底100与第一减反射层101之间的折射率之差呈增大趋势，则基底100与第一减反射层
101之间的临界角呈减小趋势，有利于增大光在基底100中的发生全反射的概率，降低光从
基底100中折射出来最终进入空气中的概率，从而极大的减少入射至光伏组件上的光的损
失，提高光伏组件对光的吸收率。

[0051] 此外，情形三中，在光传播进基底100中时，由于沿光的传播方向，即沿与方向X平行且与方向X相反的方向上，第一减反射层101的折射率呈减小趋势，即基底100的折射率与
第一减反射层101的折射率之差呈增大趋势，光从基底100中折射进第一减反射层101中的
概率越来越小，从而有利于降低传播至光伏电池中的光再次传播至空气中的概率。情形四
中，在第一减反射层101和第二减反射层102的相接触处，虽然部分光会从第一减反射层101
中折射进第二减反射层102中，但由于沿与方向X平行且与方向X相反的方向上，第二减反射
层102的折射率呈增大趋势，则光从第二减反射层102中折射进空气中的概率越来越小，从
而也有利于降低传播至光伏电池中的光再次传播至空气中的概率。

[0052] 由上述四种情形的分析可知，设计沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层102方向的方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率呈增大趋势，
另一者的折射率呈减小趋势，且第一减反射层101和第二减反射层102的折射率的差值先呈
减小趋势然后呈增大趋势的光伏电池，有利于增大光在第一减反射层101和/或第二减反射
层102和/或基底100中发生全反射的概率，以及降低光在第一减反射层101和/或第二减反
射层102和/或基底100中经过一次或多次折射进入空气中的概率，从而极大的降低入射至
光伏组件上的光的损失，提高光伏组件对光的吸收率。

[0053] 在一些实施例中，第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的折射率的最大值为1.9 2.1，第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的折射率的最小值为1.4
~ ~
1.6，即第一减反射层101的折射率的最大值的变化范围与第二减反射层102的折射率的最
大值的变化范围相同，第一减反射层101的折射率的最小值的变化范围与第二减反射层102
的折射率的最小值的变化范围相同。如此，有利于避免第一减反射层101和第二减反射层
102的折射率之差过大，避免光在第一减反射层101或第二减反射层102中发生的全反射次
数过多，造成不必要的光损失，从而有利于提高光传播至基底100中的概率，以提高基底100
对光的吸收率。

[0054] 在一些实施例中，第一减反射层101的折射率最高值与第二减反射层102的折射率最高值相同，第一减反射层101的折射率最低值与第二减反射层102的折射率最低值相同。
如此，沿方向X上，有利于控制第一减反射层101的折射率由最低值渐变为最高值的幅度与
第二减反射层102的折射率由最高值渐变为最低值的幅度一致，从而有利于使得第一减反
射层101和第二减反射层102的折射率之差的变化更平缓，譬如在接近第一减反射层101和
第二减反射层102的中心区域时，第一减反射层101和第二减反射层102的折射率之差几乎
为零，沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102的折射率之差先平缓的减小，减小
至第一减反射层101和第二减反射层102的折射率之差为零时，第一减反射层101和第二减
反射层102的折射率之差再平缓的增大。此外，第一减反射层101和第二减反射层102的折射
率之差的变化更平缓有利于进一步降低光从光伏电池中折射进空气中的概率，从而有利于
进一步提高光伏电池对光的吸收率。

[0055] 在一些实施例中，第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的折射率的最高值均可以为2.1，第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的折射率的最低值均可以
为1.5。

[0056] 在一些实施例中，沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层102方向的方向X上，第一减反射层101包括第一氮氧化硅材料，第二减反射层102包括第二氮氧化硅材料，第
一减反射层101和第二减反射层102中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，另一
者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势。由于氮氧化硅材料中氧元素和氮元素的含量
比值越高，氮氧化硅材料的折射率越低，则沿方向X上，由于氮氧化硅材料中氧元素和氮元
素的含量比值的变化，第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的折射率呈增大趋
势，另一者的折射率呈减小趋势。需要说明的是，前述已经详细描述了关于“呈增大趋势”、
“呈增大趋势所包含的具体情形”、“呈减小趋势”以及“呈减小趋势所包含的具体情形”，在
此对氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势的相关描述和氧元素和氮元素的含量比值呈
减小趋势的相关描述不做赘述。需要说明的是，为了便于后续的说明，以沿方向X上，第一减
反射层101中氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势，第二减反射层102中氧元素和氮元素
的含量比值呈增大趋势为示例，即沿方向X上，第一减反射层101的折射率呈增大趋势，第二
减反射层102的折射率呈减小趋势，在实际应用中，沿方向X上，可以是第一减反射层101中
氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，第二减反射层102中氧元素和氮元素的含量比值
呈减小趋势。

[0057] 在一些实施例中，第一减反射层101包括第一氮氧化硅材料，第二减反射层102包括第二氮氧化硅材料，沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层102方向的方向X上，第
一减反射层101和第二减反射层102中一者的氧元素含量呈增大趋势，另一者的氧元素含量
呈减小趋势，且第一减反射层101和第二减反射层102中氧元素与硅元素的含量比值不大于
0.5，如此，有利于进一步保证第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的折射率呈相
反的变化趋势。在一个例子中，第一减反射层101和第二减反射层102中氧元素与硅元素的
含量比值不大于0.43。需要说明的是，前述已经详细描述了关于“呈增大趋势”、“呈增大趋
势所包含的具体情形”、“呈减小趋势”以及“呈减小趋势所包含的具体情形”，在此对氧元素
含量呈增大趋势的相关描述和氧元素含量呈减小趋势的相关描述不做赘述。

[0058] 需要说明的是，本公开实施例中以“沿方向X上，第一减反射层101中的氧元素含量呈减小趋势，使得第一减反射层101中的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势，以使第一
减反射层101的折射率呈增大趋势；第二减反射层102中的氧元素含量呈增大趋势，使得第
二减反射层102中的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，以使第二减反射层102的折射
率呈减小趋势”为示例，在实际应用中，沿方向X上，可以是：第一减反射层101中的氧元素含
量呈增大趋势，第二减反射层102中的氧元素含量呈减小趋势。

[0059] 在一些实施例中，第一减反射层101包括第一氮氧化硅材料，第二减反射层102包括第二氮氧化硅材料，沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层102方向的方向X上，第
一减反射层101和第二减反射层102中一者的氮元素含量呈增大趋势，另一者的氮元素含量
呈减小趋势，且第一减反射层101和第二减反射层102中氮元素与硅元素的含量比值变化范
围为1.05 1.33，如此，有利于进一步保证第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的
~
折射率呈相反的变化趋势。需要说明的是，前述已经详细描述了关于“呈增大趋势”、“呈增
大趋势所包含的具体情形”、“呈减小趋势”以及“呈减小趋势所包含的具体情形”，在此对氮
元素含量呈增大趋势的相关描述和氮元素含量呈减小趋势的相关描述不做赘述。

[0060] 需要说明的是，在一些实施例中，沿方向X上，可以是第一减反射层101和第二减反射层102中一者的氧元素含量和氮元素含量均呈增大趋势，另一者的氧元素含量和氮元素
含量均呈减小趋势；在另一些实施例中，沿方向X上，可以仅是第一减反射层101和第二减反
射层102中一者的氮元素含量均呈增大趋势，仅是另一者的氮元素含量呈减小趋势。前述两
种实施例中，沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102中一者的氧元素含量和/或
氮元素含量呈增大趋势，均会使得其氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，以使其折射
率呈减小趋势；第一减反射层101和第二减反射层102中另一者的氧元素含量和/或氮元素
含量呈减小趋势，均会使得其氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势，以使其折射率呈增
大趋势。

[0061] 本公开实施例中以“沿方向X上，第一减反射层101中的氧元素含量和氮元素含量均呈减小趋势，使得第一减反射层101中的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势，以使第
一减反射层101的折射率呈增大趋势；第二减反射层102中的氧元素含量和氮元素含量均呈
增大趋势，使得第二减反射层102中的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，以使第二减
反射层102的折射率呈减小趋势”为示例，在实际应用中，沿方向X上，可以是：第一减反射层
101中的氧元素含量和氮元素含量均呈增大趋势，第二减反射层102中的氧元素含量和氮元
素含量均呈减小趋势。

[0062] 在一些实施例中，第一减反射层101中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9，第二减反射层102中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9。需要说明的是，沿方向X上，第一
减反射层101中的氧元素含量是呈减小趋势的，则存在第一减反射层101中的部分区域不存
在氧元素，仅以氮元素和硅元素构成，因而存在第一减反射层101中氧元素和氮元素的含量
比值为0的情况，同理，存在第二减反射层102中的部分区域不存在氧元素，仅以氮元素和硅
元素构成，因而存在第二减反射层102中氧元素和氮元素的含量比值为0的情况。

[0063] 在一些实施例中，第一氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物，第二氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物，沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层102方向的
方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102中一者的氧化硅和氮化硅的含量比值呈增
大趋势，另一者的氧化硅和氮化硅的含量比值呈减小趋势。

[0064] 本公开实施例中以“沿方向X上，第一减反射层101中的氧化硅和氮化硅的含量比值呈减小趋势，使得第一减反射层101中的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势，以使第
一减反射层101的折射率呈增大趋势；第二减反射层102中的氧化硅和氮化硅的含量比值呈
增大趋势，使得第二减反射层102中的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，以使第二减
反射层102的折射率呈减小趋势”为示例，在实际应用中，沿方向X上，可以是：第一减反射层
101中的氧化硅和氮化硅的含量比值呈增大趋势，第二减反射层102中的氧化硅和氮化硅的
含量比值呈减小趋势。

[0065] 在一些实施例中，沿方向X上，第二减反射层102的反射率随第二减反射层102中的氧化硅和氮化硅的含量比值的增大而逐渐增大的趋势如图6所示，且沿平行于方向X且与方
向X相反的方向上，第一减反射层101的反射率随第一减反射层101中的氧化硅和氮化硅的
含量比值的增大而逐渐增大的趋势也如图6所示。

[0066] 在一些实施例中，第一减反射层101中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0~
1，第二减反射层102中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0 1。需要说明的是，沿方向X
~
上，第一减反射层101中的氧化硅的含量是呈减小趋势的，则存在第一减反射层101中的部
分区域不存在氧化硅，仅以氮化硅构成，因而存在第一减反射层101中氧化硅和氮化硅的含
量比值为0的情况，同理，存在第二减反射层102中的部分区域不存在氧化硅，仅以氮化硅构
成，因而存在第二减反射层102中氧化硅和氮化硅的含量比值为0的情况。

[0067] 在一些实施例中，继续参考图1，沿第一减反射层101指向第二减反射层102的方向Y上，第一减反射层101和第二减反射层102的厚度为30nm 50nm。
~

[0068] 综上所述，第一减反射层101和第二减反射层102相互配合，且沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层102方向的方向X上，设计第一减反射层101和第二减反射层102
中氧元素和/或氮元素的含量逐渐变化，以使得第一减反射层101和第二减反射层102中氧
元素和/或氮元素的含量比值逐渐变化，则沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层
102方向的方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102对光的折射率的大小均逐渐变
化，且第一减反射层101和第二减反射层102对光的折射率的大小的变化趋势不同，从而有
利于增大光在第一减反射层101和第二减反射层102中发生全反射的概率，以及降低入射至
第一减反射层101和第二减反射层102中的光经过一次或多次折射进入空气中的概率，从而
极大的减少入射至光伏组件上的光的损失，提高光伏组件对入射至光伏组件上的光的吸收
率。

[0069] 本申请另一实施例还提供一种光伏电池的制造方法，用于制造上述实施例提供的光伏电池。以下将结合附图对本申请另一实施例提供的光伏电池的制造方法进行详细说
明，需要说明的是，与前述实施例相对应的部分，在此不做赘述。图7至8为本申请另一实施
例提供的光伏电池的制造方法各步骤对应的结构示意图。

[0070] 参考图7至图8，光伏电池的制造方法包括：提供基底100；在基底100的一侧形成第一减反射层101；在第一减反射层101远离基底100的一侧形成第二减反射层102，第一减反
射层101包括第一氮氧化硅材料，第二减反射层102包括第二氮氧化硅材料，沿垂直于第一
减反射层101指向第二减反射层102方向的方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102
中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈
减小趋势。如此，有利于使得沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的
折射率呈增大趋势，另一者的折射率呈减小趋势，且第一减反射层101和第二减反射层102
的折射率的差值先呈减小趋势然后呈增大趋势，从而有利于提高光伏电池对光的吸收率。

[0071] 在一些实施例中，光伏电池的制造方法还可以包括如下步骤：

[0072] 结合参考图1和参考图7，提供腔室103，且沿垂直于第一减反射层101指向第二减反射层102方向的方向X上，在腔室上依次设置第一进气口113和第二进气口123，且第一进
气口113和第二进气口123的进气方向相反，基底100位于第一进气口113和第二进气口123
之间。

[0073] 需要说明的是，腔室103上还设置有第三进气口133，用于提供形成氮化硅膜层的气体。在一些实施例中，第三进气口用于同时提供形成氮化硅膜层的氮源气体和硅源气体。
在其他实施例中，腔室在具有第三进气口的同时还可以具有第四进气口，其中，第三进气口
和第四进气口中的一者用于提供形成氮化硅膜层的氮源气体，第三进气口和第四进气口中
的另一者用于提供形成氮化硅膜层的硅源气体。

[0074] 继续参考图7，在腔室103内形成第一减反射层101的步骤包括：在基底100的一侧沉积氮化硅材料，且在沉积过程中，打开第一进气口113并关闭第二进气口123；参考图8，在
腔室103内形成第二减反射层102的步骤包括：在第一减反射层101远离基底100的一侧沉积
氮化硅材料，且在沉积过程中，关闭第一进气口113并打开第二进气口123。其中，在形成第
一减反射层101的步骤和形成第二减反射层102的步骤中，第一进气口113和第二进气口123
提供的气体为至少包含氧元素的气体，且第三进气口133一直处于打开状态，用于提供沉积
氮化硅材料的氮源气体和硅源气体。

[0075] 由于在形成第一减反射层101时，第一进气口113处于打开状态且第二进气口123处于关闭状态，则在形成第一减反射层101的过程中，第一减反射层101中越远离第一进气
口113的区域中至少包含氧元素的气体的含量越少，因而有利于形成沿方向X上，氧元素含
量逐渐减少的第一减反射层101，从而使得第一减反射层101的折射率沿方向X上呈增大趋
势。同理，在形成第二减反射层102时，第一进气口113处于关闭状态且第二进气口123处于
打开状态，则在形成第二减反射层102的过程中，第二减反射层102中越远离第二进气口123
的区域中至少包含氧元素的气体的含量越少，因而有利于形成沿方向X上，氧元素含量逐渐
增加的第二减反射层102，从而使得第二减反射层102的折射率沿方向X上呈减小趋势。

[0076] 在一些实施例中，至少包含氧元素的气体包括氧气或者一氧化二氮气体。若至少包含氧元素的气体为一氧化二氮气体，则在形成第一减反射层101的过程中，第一减反射层
101中越远离处于打开状态的第一进气口113的区域中的一氧化二氮气体的含量越少，因而
有利于形成沿方向X上，氧元素含量和氮元素含量均逐渐减少的第一减反射层101，从而使
得第一减反射层101的折射率沿方向X上呈增大趋势。同理，在形成第二减反射层102的过程
中，第二减反射层102中越远离处于打开状态的第二进气口123的区域中的一氧化二氮气体
的含量越少，因而有利于形成沿方向X上，氧元素含量和氮元素含量均逐渐增加的第二减反
射层102，从而使得第二减反射层102的折射率沿方向X上呈减小趋势。

[0077] 在其他实施例中，第一进气口和第二进气口提供的气体也可以为包含氮元素但不包含氧元素的气体，通过改变第一减反射层和第二减反射层不同区域中氮元素的含量的不
同，改变第一减反射层和第二减反射层不同区域的折射率。

[0078] 在一些实施例中，第一进气口113和第二进气口123提供的气体相同，如此，有利于控制第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的折射率的最大值相同，且有利于控制
第一减反射层101的折射率和第二减反射层102的折射率的最小值相同。

[0079] 在其他实施例中，第一进气口提供的气体与第二进气口提供的气体也可以不同，例如，第一进气口提供的气体可以为氧气，第二进气口提供的气体可以为一氧化氮气体。

[0080] 在一些实施例中，第一进气口113提供的气体的气体流量不高于150mL/s，第二进气口123提供的气体的气体流量不高于150mL/s。如此，有利于避免在形成第一减反射层101
和第二减反射层102的过程中提供过多的至少包含氧元素的气体，避免第一减反射层101和
第二减反射层102中的氧元素和/或氮元素的含量过高，使得第一减反射层101和第二减反
射层102中的氧元素和氮元素的含量比值过高，以避免第一减反射层101的折射率和第二减
反射层102的折射率过低。由于第一减反射层101的折射率和/或第二减反射层102的折射率
过低，不利于光在第一减反射层101和第二减反射层102中发生全反射，光容易从第一减反
射层101和第二减反射层102中反射进空气中，造成不必要的光损失。因而，避免在形成第一
减反射层101和第二减反射层102的过程中提供过多的至少包含氧元素的气体，以避免第一
减反射层101和第二减反射层102的折射率之差过大，有利于避免不必要的光损失，从而有
利于提高光伏电池对光的吸收率。

[0081] 综上所述，形成的光伏电池中，沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势，另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈
减小趋势，如此，有利于使得沿方向X上，第一减反射层101和第二减反射层102中的一者的
折射率呈增大趋势，另一者的折射率呈减小趋势，且第一减反射层101和第二减反射层102
的折射率的差值先呈减小趋势然后呈增大趋势，从而有利于提高光伏电池对光的吸收率。

[0082] 本申请又一实施例还提供一种光伏组件，光伏组件用于将接收的光能转化为电能。图9为本申请又一实施例提供的光伏组件的结构示意图。

[0083] 参考图9，光伏组件包括电池串（未标示）、封装胶膜140以及盖板150；电池串由多个光伏电池130连接形成，光伏电池130可以为前述的任一光伏电池，或者可以为前述的任
一光伏电池的制备方法制备的光伏电池，相邻光伏电池130之间通过导电带（未图示）电连
接，同时，相邻光伏电池130之间的位置关系既可以是部分层叠，也可以是相互拼接；封装胶
膜140可以为乙烯‑乙酸乙烯共聚物（EVA）胶膜、聚乙烯辛烯共弹性体（POE）胶膜或者聚对苯
二甲酸乙二醇酯（PET）胶膜等有机封装胶膜，封装胶膜140覆盖在电池串的表面以密封；盖
板150可以为玻璃盖板或塑料盖板等透明或半透明盖板，盖板150覆盖在封装胶膜140背离
电池串的表面。

[0084] 在一些实施例中，盖板150上设置有陷光结构以增加入射光的利用率，不同盖板150的陷光结构可以不同。光伏组件具有较高的电流收集能力和较低的载流子复合率，可实
现较高的光电转换效率；同时，光伏组件正面呈现暗蓝色甚至黑色，可应用于更多场景中。

[0085] 在一些实施例中，封装胶膜140和盖板150仅位于光伏电池130的前表面，避免位于后表面的封装胶膜140和盖板150对较弱的光线造成进一步阻隔和削弱；同时，光伏组件还
可以采用侧边全包围式封装，即采用封装胶膜140完全包覆光伏组件的侧边，以防止光伏组
件在层压过程中发生层压偏移的现象，以及避免外部环境通过光伏组件的侧边影响光伏电
池的性能，例如水汽侵入。

[0086] 本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本申请的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本申请实施例的精神
和范围。任何本领域技术人员，在不脱离本申请实施例的精神和范围内，均可作各自更动与
修改，因此本申请实施例的保护范围应当以权利要求限定的范围为准。