一种含胆酸-丁烯酸酯衍生物的成膜树脂、光刻胶组合物

摘要

本发明涉及一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂、光刻胶组合物，所述成膜树脂的共聚单体包括丙烯酸酯衍生物以及具有如下式(1)所示结构的含胆酸‑丁烯酸酯衍生物，其中，R1、R2分别独立的选自羟基或氢原子，R3取自C1‑10的直链或支链烷基、C1‑10的环烷基、叔丁氧羰基、含氧和/或硫的杂环中的一种。本发明将含胆酸‑丁烯酸酯衍生物与丙烯酸酯衍生物作为单体进行共聚得到成膜树脂，将其用于248nm及365nm的光刻胶组合物中可使光刻胶具有较好的耐热稳定性、良好的曝光宽容度，且光刻图案的分辨率较高、边缘粗糙度较低。

权利要求

1.一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，其特征在于，所述成膜树脂的共聚单体包括丙烯酸酯衍生物以及具有如下式（1）所示结构的含胆酸‑丁烯酸酯衍生物，，其中，R1、R2分别独立的选自羟基或氢原子；

其中，R3具有如下任意一种式（2）中所示结构：

，

式（2）中所示结构含有L1、L2的杂环表示所述含氧和/或硫的杂环，L1、L2分别独立的表示氧原子或硫原子，S1、S2表示环链段中碳原子个数，S1中碳原子个数为1~3、S2中碳原子个数为0 3；

~

其中 表示R3与氧的连接键。

2.根据权利要求1所述的一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，其特征在于，所述丙烯酸酯衍生物具有如下式（3）所示结构，

其中R4取自氢原子、C1‑10的直链或支链烷基、C1‑10的环烷基、含硅直链或支链基团；R5取自甲基或氢原子。

3.根据权利要求2所述的一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，其特征在于，所述R4具有如下任意一种式（4）中所示结构，

其中 表示R4与氧的连接键。

4.根据权利要求1所述的一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，其特征在于，采用所述共聚单体进行共聚后得到的所述成膜树脂其分子量为3000 20000 g/mol，分子量分布~为1.05 3.0。

~

5.一种包含根据权利要求1‑4任一项所述成膜树脂的光刻胶组合物。

6.根据权利要求5所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物包括如下质量百分数的原料：所述成膜树脂7 42%、光产酸剂0.01 4%、助剂0.1 1%、溶剂53 92.89%。

~ ~ ~ ~

7.根据权利要求6所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述产酸剂为硫鎓盐类化合物、碘鎓盐类化合物、三嗪类化合物、磺酸酯类化合物、对甲苯磺酸衍生物、重氮盐类化合物、重氮甲烷衍生物中的一种或多种。

8.根据权利要求6所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述助剂为三乙醇胺、三丙胺、正丁胺、三乙氧基乙醇胺、三辛胺、三丁胺、三甲氧乙氧甲氧乙基胺、四甲基氢氧化铵、聚季胺碱、9‑(2‑甲氧乙氧)甲基蒽、9‑蒽基甲基乙酸酯、重氮甲烷磺酰、金刚烷羧酸、双酚酸、O, O‑缩醛、N, O‑缩醛、片呐二醇类物质、邻苯二醛、邻苯二酚、苯甲酸酯的一种或多种；

所述溶剂为丙二醇单醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、二缩乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、双丙酮醇、γ‑丁内脂的一种或多种。

说明书

一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂、光刻胶组合物

技术领域

[0001] 本发明涉及高分子材料技术领域，具体涉及一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂、光刻胶组合物。

背景技术

[0002] 光刻胶广泛应用于分立器件、发光二极管(LED)、集成电路和薄膜晶体管液晶显示器(TFT‑LCD)等微电子制造领域，影响着信息工程、能源环保和国防事业等关键领域的推进，对高新技术产业创新和国民经济稳定发展起着十分重要的作用。

[0003] 光刻胶主要由树脂、光致产酸剂、助剂及溶剂等组分构成，通过曝光、显影、刻蚀和去膜等工艺，将掩膜版上的图形转移到硅片等基板上。根据曝光前后光刻胶溶解度的变化，经过曝光和显影而使溶解度增加的是正性光刻胶，反之则是负性光刻胶，负性光刻胶由于溶胀效应导致分辨率较低。根据曝光光源和辐射源的不同，光刻胶又可分为紫外光刻胶、深紫外光刻胶(248nm光刻胶)、极紫外光刻胶(193nm和157nm光刻胶)、电子束胶、粒子束胶和X射线胶等。其中紫外光刻胶成膜树脂已经趋于成熟，而用于深紫外和极紫外的光刻胶仍处于研究阶段。以248nm深紫外光刻胶成膜树脂为例，国内仅有苏州瑞红和北京科华两家公司可以生产，因此，发展新的适用于248nm光源的光刻胶成膜树脂以及新的生产技术刻不容缓。同时，对于离子注入、等离子刻蚀、金属/介电层蒸镀等光刻技术来说，通常需要将显影后的基片置于对流烘箱或者热板上进行硬烘热处理。然而传统光刻胶树脂的耐热温度为135～140℃，当工艺要求需要更高温度时就会出现抗蚀图案变形失真的情况。

发明内容

[0004] 为了解决传统光刻胶树脂的耐热性差导致抗蚀图案变形失真的技术问题，而提供一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂、光刻胶组合物。本发明以胆酸‑丁烯酸酯衍生物作为单体聚合得到成膜树脂，所制得光刻胶组合物具有优异的耐热性以及较好的曝光宽容度，可提高光刻图案的分辨率、降低边缘粗糙度。

[0005] 为了达到以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

[0006] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括丙烯酸酯衍生物以及具有如下式(1)所示结构的含胆酸‑丁烯酸酯衍生物，

[0007]

[0008] 其中，R1、R2分别独立的选自羟基或氢原子，R3取自C1‑10的直链或支链烷基、C1‑10的环烷基、叔丁氧羰基、含氧和/或硫的杂环中的一种。

[0009] 优选地，R3具有如下任意一种式(2)中所示结构

[0010]

[0011] 式(2)中所示结构含有L1、L2的杂环表示所述含氧和/或硫的杂环，L1、L2分别独立的表示氧原子或硫原子，S1、S2表示环链段中碳原子个数，S1中碳原子个数为1～3、S2中碳原子个数为0～3；

[0012] 其中 表示R3与氧的连接键。

[0013] 进一步地，所述丙烯酸酯衍生物具有如下式(3)所示结构

[0014]

[0015] 其中R4取自氢原子、C1‑10的直链或支链烷基、C1‑10的环烷基、含硅直链或支链基团；R5取自甲基或氢原子。

[0016] 优选地，R4具有如下任意一种式(4)中所示结构

[0017]

[0018] 其中 表示R4与氧的连接键。

[0019] 进一步地，采用所述共聚单体进行共聚后得到的所述成膜树脂其分子量为3000～20000g/mol，分子量分布为1.05～3.0。

[0020] 本发明另一方面提供包含上述成膜树脂的光刻胶组合物。

[0021] 进一步地，所述光刻胶组合物包括如下质量百分数的原料：所述成膜树脂7～42％、光产酸剂0.01～4％、助剂0.1～1％、溶剂53～92.89％。

[0022] 再进一步地，所述产酸剂包括但不限于硫鎓盐类化合物、碘鎓盐类化合物、三嗪类化合物、磺酸酯类化合物、对甲苯磺酸衍生物、重氮盐类化合物、重氮甲烷衍生物中的一种或多种。

[0023] 再进一步地，所述助剂包括但不限于三乙醇胺、三丙胺、正丁胺、三乙氧基乙醇胺、三辛胺、三丁胺、三甲氧乙氧甲氧乙基胺、四甲基氢氧化铵、聚季胺碱、9‑(2‑甲氧乙氧)甲基蒽、9‑蒽基甲基乙酸酯、重氮甲烷磺酰、金刚烷羧酸、双酚酸、O,O‑缩醛、N,O‑缩醛、片呐二醇类物质、邻苯二醛、邻苯二酚、苯甲酸酯的一种或多种；

[0024] 所述溶剂包括但不限于丙二醇单醋酸酯、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、二缩乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、双丙酮醇、γ‑丁内脂的一种或多种。

[0025] 有益技术效果：

[0026] 本发明将含胆酸‑丁烯酸酯衍生物与丙烯酸酯衍生物作为单体进行共聚得到成膜树脂，通过引入胆酸基团来提高侧链的空间位阻以降低酸扩散速度，从而提高溶解反差，降低图像的边缘粗糙度；另外通过对含胆酸‑丁烯酸酯衍生物双键位置进行改进能够提高成膜树脂的耐热性和稳定性，将其用于248nm及365nm的光刻胶组合物中可使光刻胶具有较好的耐热稳定性、良好的曝光宽容度，且光刻图案的分辨率较高、边缘粗糙度较低。

附图说明

[0027] 图1为光刻胶1A光刻显影后的光刻图案的SEM图。

[0028] 图2为光刻胶2B光刻显影后的光刻图案的SEM图。

具体实施方式

[0029] 下面将结合本发明的实施例和附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0030] 除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的数值不限制本发明的范围。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法应当被视为说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。

[0031] 以下实施例中未注明具体条件的实验方法，通常按照国家标准测定；若没有相应的国家标准，则按照通用的国际标准、或相关企业提出的标准要求进行。除非另有说明，否则所有的份数为重量份，所有的百分比为重量百分比。

[0032] 实施例1

[0033] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括化合物①和丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0034]

[0035] 聚合反应过程为：向装有回流冷凝管的100mL三口烧瓶中加入4.21g化合物①、2.21g丙烯酸甲酯、0.32g自由基引发剂偶氮二异氰酸酯(AIBN)和40mL溶剂甲苯；然后在N2保护下，90℃的反应温度下搅拌反应30h；待反应结束后，用石油醚提纯产物，重复三次，将产物放入烘箱中干燥即得本实施例成膜树脂，记为成膜树脂1。

[0036] 对成膜树脂1进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂1的重均分子量为18461g/mol，分子量分布为1.79。

[0037] 本实施例中化合物①的制备策略为：胆酸(CA)与1,4‑氧杂硫烷‑2‑醇(该化合物参照JP2008041008A专利中化合物21的制备)通过酯化反应(反应温度25℃、反应时间24小时)获得如下酯结构化合物α：

[0038]

[0039] 然后在三氯甲烷中先加入化合物α，冰水浴至0℃搅拌下加入反‑丁烯酰氯(CAS号10487‑71‑5)以及缚酸剂三乙胺，化合物α、(E)‑丁‑2‑烯酸(CAS号107‑93‑7)、三乙胺的摩尔比为1:1.5:1.5，于0℃下搅拌反应2h，然后缓慢升温至室温25℃下继续反应20h，反应结束后依次进行饱和食盐水、1mol/L盐酸、5wt％碳酸钠溶液、饱和食盐水洗涤，无水硫酸钠干燥，对产物进行减压蒸馏去除溶剂后重结晶制得本实施例的化合物①。(文献参考：胡祥正等，《胆酸甲酯(甲基)丙烯酰基衍生物的合成》，[J].2006年第14卷第3期258‑260页)[0040] 实施例2

[0041] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括化合物②和丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0042]

[0043] 聚合反应过程为：向装有回流冷凝管的100mL三口烧瓶中加入4.77g化合物②、2.81g丙烯酸甲酯、0.32g自由基引发剂偶氮二异氰酸酯(AIBN)和40mL溶剂甲苯；然后在N2保护下，90℃的反应温度下搅拌反应30h；待反应结束后，用石油醚提纯产物，重复三次，将产物放入烘箱中干燥即得本实施例成膜树脂，记为成膜树脂2。

[0044] 对成膜树脂2进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂2的重均分子量为18430g/mol，分子量分布为1.82。

[0045] 本实施例中化合物②的制备方法与实施例1中相同，不同之处在于：

[0046]

[0047] (其中，化合物 参照JP2008041008A专利中化合物20的制备)。

[0048] 将化合物β与反‑丁烯酰氯在缚酸剂三乙胺的存在下进行反应制得本实施例的化合物②(制备过程与实施例1中相同)。

[0049] 实施例3

[0050] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括化合物③和丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0051]

[0052] 聚合反应过程为：向装有回流冷凝管的100mL三口烧瓶中加入4.0g化合物③、2.57g丙烯酸甲酯、0.32g自由基引发剂偶氮二异氰酸酯(AIBN)和40mL溶剂甲苯；然后在N2保护下，90℃的反应温度下搅拌反应30h；待反应结束后，用石油醚提纯产物，重复三次，将产物放入烘箱中干燥即得本实施例成膜树脂，记为成膜树脂3。

[0053] 对成膜树脂3进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂3的重均分子量为17948g/mol，分子量分布为1.73。

[0054] 本实施例中化合物③的制备方法与实施例1中相同，不同之处在于：

[0055]

[0056] (其中，1,4‑二噁烷‑2‑醇参照JP2008041008A专利中化合物20的制备)[0057] 将化合物γ与反‑丁烯酰氯在缚酸剂三乙胺的存在下进行反应制得本实施例的化合物②(制备过程与实施例1中相同)。

[0058] 实施例4

[0059] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括化合物①和丙烯酸甲酯，聚合反应式同实施例1，聚合反应过程为：聚合反应过程为：向装有回流冷凝管的100mL三口烧瓶中加入2.72g化合物①、2.65g丙烯酸甲酯、0.32g自由基引发剂偶氮二异氰酸酯(AIBN)和40mL溶剂甲苯；然后在N2保护下，90℃的反应温度下搅拌反应30h；待反应结束后，用石油醚提纯产物，重复三次，将产物放入烘箱中干燥即得本实施例成膜树脂，记为成膜树脂4。

[0060] 对成膜树脂4进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂4的重均分子量为16239g/mol，分子量分布为1.77。

[0061] 实施例5

[0062] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括化合物①和丙烯酸甲酯，聚合反应式同实施例1，聚合反应过程为：聚合反应过程为：向装有回流冷凝管的100mL三口烧瓶中加入2.60g化合物①、5.32g丙烯酸甲酯、0.32g自由基引发剂偶氮二异氰酸酯(AIBN)和40mL溶剂甲苯；然后在N2保护下，90℃的反应温度下搅拌反应30h；待反应结束后，用石油醚提纯产物，重复三次，将产物放入烘箱中干燥即得本实施例成膜树脂，记为成膜树脂5。

[0063] 对成膜树脂5进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂5的重均分子量为14170g/mol，分子量分布为1.86。

[0064] 实施例6

[0065] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括丁烯酸胆酸叔丁酯化合物④和丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0066]

[0067] 聚合反应过程为：向装有回流冷凝管的100mL三口烧瓶中加入4.13g丁烯酸胆酸叔丁酯化合物④、2.20g丙烯酸甲酯、0.32g自由基引发剂偶氮二异氰酸酯(AIBN)和40mL溶剂甲苯；然后在N2保护下，90℃的反应温度下搅拌反应30h；待反应结束后，用石油醚提纯产物，重复三次，将产物放入烘箱中干燥即得本实施例成膜树脂，记为成膜树脂6。

[0068] 对成膜树脂6进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂6的重均分子量为17215g/mol，分子量分布为1.87。

[0069] 本实施例中化合物④的制备方法与实施例1中相同，不同之处在于：与胆酸上的羧基进行酯化反应的是叔丁醇。

[0070] 实施例7

[0071] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括丁烯酸胆酸叔丁酯化合物④和丙烯酸甲酯，聚合反应式同实施例6，聚合反应过程同实施例6，不同之处在于两种单体的用量为：2.50g丁烯酸胆酸叔丁酯化合物④、2.50g丙烯酸甲酯。本实施例成膜树脂记为成膜树脂7。

[0072] 对成膜树脂7进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂7的重均分子量为15174g/mol，分子量分布为1.90。

[0073] 实施例8

[0074] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括丁烯酸胆酸叔丁酯化合物④和丙烯酸甲酯，聚合反应式同实施例6，聚合反应过程同实施例6，不同之处在于两种单体的用量为：1.24g丁烯酸胆酸叔丁酯化合物④、2.80g丙烯酸甲酯。本实施例成膜树脂记为成膜树脂8。

[0075] 对成膜树脂8进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂8的重均分子量为14163g/mol，分子量分布为1.77。

[0076] 实施例9

[0077] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括丁烯酸胆酸甲酯化合物⑤丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0078]

[0079] 聚合反应过程同实施例6，不同之处在于两种单体的用量为：1.63g丁烯酸胆酸甲酯化合物⑤、1.43g丙烯酸甲酯。本实施例成膜树脂记为成膜树脂9。

[0080] 对成膜树脂9进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂9的重均分子量为15365g/mol，分子量分布为1.81。

[0081] 本实施例中化合物⑤的制备方法与实施例1中相同，不同之处在于：与胆酸上的羧基进行酯化反应的是甲醇。

[0082] 实施例10

[0083] 一种含胆酸‑丁烯酸酯衍生物的成膜树脂，所述成膜树脂的共聚单体包括丁烯酸胆酸甲酯化合物⑥和丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0084]

[0085] 聚合反应过程同实施例6，不同之处在于两种单体的用量为：2.52g丁烯酸胆酸甲酯化合物⑥、2.30g丙烯酸甲酯。本实施例成膜树脂记为成膜树脂10。

[0086] 对成膜树脂10进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得成膜树脂10的重均分子量为15476g/mol，分子量分布为1.74。

[0087] 本实施例中化合物⑥的制备方法与实施例1中相同，不同之处在于：与胆酸上的羧基进行酯化反应的是环己醇。

[0088] 对比例1

[0089] 本对比例的成膜树脂的共聚单体包括化合物⑦和丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0090]

[0091] 聚合反应过程同实施例3，本对比例产物记为对比成膜树脂3‑1。

[0092] 对对比成膜树脂3‑1进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得对比成膜树脂3‑1的重均分子量为13784g/mol，分子量分布为1.78。

[0093] 本实施例中化合物⑦的制备方法与实施例1中相同，不同之处在于反应原材料为甲基丙烯酰氯(CAS号920‑46‑7)与化合物γ进行反应。

[0094] 对比例2

[0095] 本对比例的成膜树脂的共聚单体包括化合物⑧和丙烯酸甲酯，聚合反应式如下：

[0096]

[0097] 聚合反应过程同实施例3，本对比例产物记为对比成膜树脂3‑2。

[0098] 对对比成膜树脂3‑2进行GPC(凝胶渗透色谱)测试，结果表明，所得对比成膜树脂3‑2的重均分子量为14283g/mol，分子量分布为1.8。

[0099] 本实施例中化合物⑧的制备方法与实施例1中相同，不同之处在于：与胆酸上的羧基进行酯化反应的是3‑羟基‑四氢吡喃‑4‑酮。

[0100] 实施例11

[0101] 分别采用上述实施例1‑4、实施例6、实施例9‑10的成膜树脂(对应为成膜树脂1‑4、6、9‑10)以及对比例1‑2的成膜树脂(对比成膜树脂3‑1、3‑2)，共9种成膜树脂用于制备
248nm光刻胶组合物A，制备的光刻胶组合物分别对应记为光刻胶1A、光刻胶2A、光刻胶3A、光刻胶4A、光刻胶6A、光刻胶9A、光刻胶10A、对比光刻胶3‑1A、对比光刻胶3‑2A。

[0102] 248nm光刻胶组合物原料包括：成膜树脂15％、二苯基碘鎓樟脑磺酸盐0.4％，三辛胺0.1％，二缩乙二醇甲醚84.50％；将上述原料混合后置于机械振动器上，于室温下振荡10～24小时使混合物充分溶解，用0.2μm过滤器过滤一遍，再用0.05μm过滤器过滤两遍，得到9种液态248nm光刻胶组合物。

[0103] 实施例12

[0104] 分别采用上述实施例1‑4、实施例6、实施例9‑10的成膜树脂(对应为成膜树脂1‑4、6、9‑10)以及对比例1‑2的成膜树脂(对比成膜树脂3‑1、3‑2)，共9种成膜树脂用于制备
365nm光刻胶组合物B，制备的光刻胶组合物分别对应记为光刻胶1B、光刻胶2B、光刻胶3B、光刻胶4B、光刻胶6B、光刻胶9B、光刻胶10B、对比光刻胶3‑1B、对比光刻胶3‑2B。

[0105] 365nm光刻胶组合物原料包括：成膜树脂10％，2‑(4‑甲氧基苯基)‑4,6‑二(三氯甲基)‑1,3,5‑三嗪0.6％，三辛胺0.1％，二缩乙二醇甲醚89.30％；将上述原料混合后置于机械振动器上，于室温下振荡10～24小时使混合物充分溶解，用0.2μm过滤器过滤一遍，再用0.05μm过滤器过滤两遍，得到9种液态365nm光刻胶组合物。

[0106] 对以上得到的光刻胶进行光刻分辨率测试、边缘粗糙度测试、热力学性能测试、曝光宽容度(EL)测试，结果见表1和表2。

[0107] 248nm光刻分辨率和边缘粗糙度测试：将以上9种248nm光刻胶组合物置于硅片上，以3000转/分钟的速度旋涂成8μm的膜，在100℃热板上烘烤150s后，用248nm曝光机进行曝光。曝光后在110℃的热板上烘烤90s，最后在2.38％的四甲基氢氧化铵显影液中显影60s，烘干后得到光刻图案。

[0108] 用扫描电子显微镜(SEM)测试图案的分辨率和边缘粗糙度(LER)。

[0109] 365nm光刻分辨率和边缘粗糙度测试：将以上9种365nm光刻胶组合物置于硅片上，以3000转/分钟的速度旋涂成8μm的膜，在100℃热板上烘烤150s后，用365nm曝光机进行曝光。曝光后在110℃的热板上烘烤90s，最后在2.38％的四甲基氢氧化铵显影液中显影60s，烘干后得到光刻图案。使用扫描电子显微镜(SEM)测试图案的分辨率和边缘粗糙度(LER)。

[0110] 曝光宽容度(EL)的计算：将线宽1.5μm的1:1线与空间的光刻图案的曝光量设为最佳曝光量Eopt，计算线宽为1.5μm的±10％(1.35μm和1.65μm)时的曝光量。再计算出下式定义的EL值。

[0111] EL(％)＝[〔(线的线宽为1.65μm的曝光量)‑(线的线宽为1.25μm的曝光量)〕/Eopt]×100。

[0112] 光刻胶组合物的热力学性能测试：将上述18种光刻胶组合物分散在在预先清洗过的玻璃片上形成直径为2mm，厚度为0.3mm的液体薄膜。将盖玻片防置在液膜上以确保无氧条件。随后曝光3分钟，得到固化后的光刻胶薄膜。在氮气保护下分别采用热重分析仪和差示扫描量热仪进行测试，测试样品取5‑10mg，升温速度为5℃/min，以质量损失5％时的温度表示为初始分解温度(T5％)，以Tg表示玻璃化转变温度。

[0113] 表1 248nm光刻胶组合物性能

[0114]  分辨率(μm) LER(％) T5％(℃) Tg(℃) EL(％)
光刻胶1A 0.3 <3 237.5 84.7 19.7
光刻胶2A 0.3 <3 246.7 87.3 19.4
光刻胶3A 0.3 <3 234.8 82.1 19.5
对比光刻胶3‑1A 0.3 <3 229.4 79.8 19.1
对比光刻胶3‑2A 0.3 <3 226.6 80.4 19.3
光刻胶4A 0.3 <3 235.2 82.7 19.4
光刻胶6A 0.3 <3 215.7 86.1 19.6
光刻胶9A 0.3 <3 210.2 79.0 19.6
光刻胶10A 0.3 <3 231.5 85.2 19.5

[0115] 表2 365nm光刻胶组合物性能

[0116]

[0117]

[0118] 由表1和表2可知，所制备的248nm光刻胶组合物和365nm光刻胶组合物的热稳定性较好。相较于采用实施例3成膜树脂的光刻胶3A，采用对比例1成膜树脂制得的对比光刻胶3‑1A在质量损失为5％时的温度相对较低，且玻璃化转变温度也相对较低，这说明采用本发明的成膜树脂制成的光刻胶具有更高的耐热稳定性。采用实施例1成膜树脂制成的光刻胶
1A与采用实施例2成膜树脂制成的光刻胶2B的光刻图案分别如图1、图2所示，由图中可知，所得光刻图案分辨率高、边缘粗糙度低。

[0119] 以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。