本发明涉及一种大面积AOI线扫相机机构，通过对X、Y、Z轴进行微调的同时，还能通过转轴带动整体进行任意角度的旋转，基于此设置，将转轴通过联轴器连接在伺服电机上，通过控制伺服电机的转动来控制转轴的转动以控制整体的旋转角度，可以对晶圆的制作过程进行全程的追踪，因此只需要一个机构就能完成一个晶圆制作点的整个过程追踪检测。
1.一种大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，包括：镜头座，该镜头座的中间部具有安装CCD镜头的镜头安装孔；
在镜头座右侧端面设置有与Z轴调节板固定的镜头座固定孔；
Z轴调节板，在所述Z轴调节板上端设置有用于与镜头座固定的Z轴固定孔，Z轴固定孔的上部设置有上端开放的Z轴限位孔；
在所述Z轴调节板的中间部设置有调节滑块，在调节滑块的下部设置有多组间距等同的Z轴调节孔；
在所述Z轴调节板的上部且位于Z轴调节板左侧设置有Z轴凸台面，所述Z轴固定孔设置在Z轴凸台面处，在Z轴凸台面的下部设置有Z轴限位面，在所述Z轴凸台面的上部设置有Y轴调节板的Z轴匹配面；
所述镜头座的右侧与Z轴凸台面对接，Z轴限位面用于定位镜头座与Z轴调节板的安装位置，对接好后由镜头座螺丝穿过Z轴固定孔固定在镜头座固定孔内；
所述Y轴调节板的下部具有一槽面，所述槽面与所述滑轨面匹配安装，且所述Y轴调节板沿所述滑轨面滑动以进行所述Y轴调节板的Y向位置调整；
所述Y轴调节板的右侧端面设置有X轴调节块固定孔以及Z轴调节板的Z轴位置限位孔，所述X轴调节块通过调节块螺丝将调节块固定在Y轴调节板上，Z轴匹配面与Y轴调节板的右侧端面匹配对接，然后用Z轴限位螺丝由Z轴限位孔穿入固定在Z轴位置限位孔内；
所述X轴调节块中间部具有U型凹槽，且U型凹槽两侧的调节臂上分别设置有调节X轴调节板X向位置的X轴调节孔；
X轴调节板，该X轴调节板的中间部具有十字形的相机座安装槽，相机座固定在相机安装槽中，在X轴调节板的上部设置有X轴调整块；
所述X轴调整块安装在U型凹槽内，通过X轴调节螺丝穿过X轴调节孔以限制X轴调整块在U型凹槽内的位置达到调整X轴调节板X向调节；
任意角度调节板，任意角度调节板左侧面板的中间部设置有Z轴调节槽，在Z轴调节槽的下部设置有任意角度调节板固定孔；所述调节滑块安装在Z轴调节槽内，并通过Z轴调节螺钉穿过不同位置的Z轴调节孔固定在任意角度调节板固定孔内以达到Z轴调节板的Z向调节；
所述任意角度调节板的下部设置有任意角度调节块，该任意角度调节块内部设置有沿Y向的任意角度调节通孔，转轴穿入任意角度调节通孔内，通过转动转轴带动整体旋转以达到任意角度调节。
2.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，所述CCD镜头上部设置有螺纹段，通过将CCD镜头上部的螺纹段拧入镜头座固定孔内设置的镜头座螺纹段，并延伸至Y轴调节板的中间部的镜头固定座内。
3.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，所述Y轴调节板上设置有多个Y向调节孔，Y向调节孔的调节孔距为3‑30mm，在镜头座上设置有Y向调节限位孔，Y向调节限位螺丝由Y向调节孔穿入固定在Y向调节限位孔内部，当所述Y轴调节板沿Y向调整时，所述Y轴调节板沿所述滑轨面滑动，Y向调节孔的调节孔距限制其Y向移动的距离，其限位由Y向调节限位螺丝限制，以在限定的调节孔距内进行所述Y轴调节板的Y向位置调整。
4.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，所述U型凹槽的宽距为
30‑100mm，所述X轴调整块的宽度为20mm。
5.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，所述X轴调节块左侧设置有调节块凸台，在所述调节块凸台处设置有贯穿X轴调节块的调节块固定孔，调节块螺丝穿过调节块固定孔固定在X轴调节块固定孔内，将所述X轴调节块与所述Y轴调节板固定。
6.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，所述X轴调节板的右侧且位于所述X轴调整块的两侧设置有调整块限位槽，调整块限位槽的宽度为30‑100mm。
7.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，在所述任意角度调节板上且位于Z轴调节槽上部设置有调整块限位杆，所述调整块限位杆位于调整块限位槽内，且所述调整块限位杆的直径为20mm。
8.根据权利要求1所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，所述X轴调节板上且位于十字形相机座安装槽，位于相机座安装槽的四角设置有固定相机座的相机座固定孔，所述相机座由相机座螺丝穿过相机座上设置的相机座通孔至相机座固定孔中使相机座与所述X轴调节板固定，所述相机座上设置有相机。
9.根据权利要求8所述的大面积AOI线扫相机机构，其特征在于，所述相机和CCD镜头处于同一轴线上。
一种大面积AOI线扫相机机构
技术领域
[0001] 本发明涉及晶圆制作辅助技术领域，具体为一种大面积AOI线扫相机机构。
背景技术
[0002] 晶圆制作时，需要使用相机来扫描整个制作过程，以剔除制作过程中的废品，现有的相机一般设置在固定位置，不能进行位置调整，或者固定在具有三维移动的移动机构上，
但是，一般晶圆制作时，X\Y\Z轴的移动以微移为主，但是由于晶圆制作时，要在晶圆制作好
后在设置第二个相机对晶圆进行外观检测，才能真正的剔除废品的目的。
发明内容
[0003] 有鉴于此，本发明的目的在于提供一种大面积AOI线扫相机机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0004] 为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
[0005] 一种大面积AOI线扫相机机构，包括：
[0006] 镜头座，该镜头座的中间部具有安装CCD镜头的镜头安装孔；
[0007] 在镜头座上面设置有滑轨面；
[0008] 在镜头座右侧端面设置有与Z轴调节板固定的镜头座固定孔；
[0009] Z轴调节板，在所述Z轴调节板上端设置有用于与镜头座固定的Z轴固定孔，Z轴固定孔的上部设置有上端开放的Z轴限位孔；
[0010] 在所述Z轴调节板的中间部设置有调节滑块，在调节滑块的下部设置有多组间距等同的Z轴调节孔；
[0011] 在所述Z轴调节板的上部且位于Z轴调节板左侧设置有Z轴凸台面，所述Z轴固定孔设置在Z轴凸台面处，在Z轴凸台面的下部设置有Z轴限位面，在所述Z轴凸台面的上部设置
有Y轴调节板的Z轴匹配面；
[0012] 所述镜头座的右侧与Z轴凸台面对接，Z轴限位面用于定位镜头座与Z轴调节板的安装位置，对接好后由镜头座螺丝穿过Z轴固定孔固定在镜头座固定孔内；
[0013] 所述Y轴调节板的下部具有一槽面，所述槽面与所述滑轨面匹配安装，且所述Y轴调节板沿所述滑轨面滑动以进行所述Y轴调节板的Y向位置调整；
[0014] 所述Y轴调节板的中间部设置有镜头固定座；
[0015] 所述Y轴调节板的右侧端面设置有X轴调节块固定孔以及Z轴调节板的Z轴位置限位孔，所述X轴调节块通过调节块螺丝将调节块固定在Y轴调节板上，Z轴匹配面与Y轴调节
板的右侧端面匹配对接，然后用Z轴限位螺丝由Z轴限位孔穿入固定在Z轴位置限位孔内；
[0016] 所述X轴调节块中间部具有U型凹槽，且U型凹槽两侧的调节臂上分别设置有调节X轴调节板X向位置的X轴调节孔；
[0017] X轴调节板，该X轴调节板的中间部具有十字形的相机座安装槽，相机座固定在相机安装槽中，在X轴调节板的上部设置有X轴调整块；
[0018] 所述X轴调整块安装在U型凹槽内，通过X轴调节螺丝穿过X轴调节孔以限制X轴调整块在U型凹槽内的位置达到调整X轴调节板X向调节；
[0019] 任意角度调节板，任意角度调节板左侧面板的中间部设置有Z轴调节槽，在Z轴调节槽的下部设置有任意角度调节板固定孔；所述调节滑块安装在Z轴调节槽内，并通过Z轴
调节螺钉穿过不同位置的Z轴调节孔固定在任意角度调节板固定孔内以达到Z轴调节板的Z
向调节；
[0020] 所述任意角度调节板的下部设置有任意角度调节块，该任意角度调节块内部设置有沿Y向的任意角度调节通孔，转轴穿入任意角度调节通孔内，通过转动转轴带动整体旋转
以达到任意角度调节。
[0021] 进一步地，所述CCD镜头上部设置有螺纹段，通过将CCD镜头上部的螺纹段拧入镜头座固定孔内设置的镜头座螺纹段，并延伸至Y轴调节板的中间部的镜头固定座内。
[0022] 进一步地，所述Y轴调节板上设置有多个Y向调节孔，Y向调节孔的调节孔距为3‑30mm，在镜头座上设置有Y向调节限位孔，Y向调节限位螺丝由Y向调节孔穿入固定在Y向调
节限位孔内部，当所述Y轴调节板沿Y向调整时，所述Y轴调节板沿所述滑轨面滑动，Y向调节
孔的调节孔距限制其Y向移动的距离，其限位由Y向调节限位螺丝限制，以在限定的调节孔
距内进行所述Y轴调节板的Y向位置调整。
[0023] 进一步地，所述U型凹槽的宽距为30‑100mm，所述X轴调整块的宽度为20mm。
[0024] 进一步地，所述X轴调节块左侧设置有调节块凸台，在所述调节块凸台处设置有贯穿X轴调节块的调节块固定孔，调节块螺丝穿过调节块固定孔固定在X轴调节块固定孔内，
将所述X轴调节块与所述Y轴调节板固定。
[0025] 进一步地，所述X轴调节板的右侧且位于所述X轴调整块的两侧设置有调整块限位槽，调整块限位槽的宽度为30‑100mm。
[0026] 进一步地，在所述任意角度调节板上且位于Z轴调节槽上部设置有调整块限位杆，所述调整块限位杆位于调整块限位槽内，且所述调整块限位杆的直径为20mm。
[0027] 进一步地，所述X轴调节板上且位于十字形相机座安装槽，位于相机座安装槽的四角设置有固定相机座的相机座固定孔，所述相机座由相机座螺丝穿过相机座上设置的相机
座通孔至相机座固定孔中使相机座与所述X轴调节板固定，所述相机座上设置有相机。
[0028] 进一步地，所述相机和CCD镜头处于同一轴线上。
[0029] 本申请可以通过对X、Y、Z轴进行微调的同时，还能通过转轴带动整体进行任意角度的旋转，基于此设置，将转轴通过联轴器连接在伺服电机上，通过控制伺服电机的转动来
控制转轴的转动以控制整体的旋转角度，可以对晶圆的制作过程进行全程的追踪，因此只
需要一个机构就能完成一个晶圆制作点的整个过程追踪检测。
[0030] 由于晶圆的制作都是流水线式制作，且每一个制作点均是同步工作，因此，可以通过一个转轴带动多个本申请的相机机构同时工作。
附图说明
[0031] 图1为本发明AOI线扫相机机构的爆炸式结构示意图；
[0032] 图2为本发明AOI线扫相机机构的部分爆炸式结构示意图；
[0033] 图3为本发明中AOI线扫相机机构的安装结构示意图；
[0034] 图4为本发明中任意角度调节板的结构示意图。
具体实施方式
[0035] 以下结合附图对本发明进行详细的描述，参照图1至图4，附图1标明了各个零件参考的位置关系和轴坐标关系，图3标明了轴坐标关系。
[0036] 本发明提供了一种大面积AOI线扫相机机构，包括：
[0037] 镜头座110，该镜头座110的中间部具有安装CCD镜头100的镜头安装孔；
[0038] 在镜头座110上面设置有滑轨面111；
[0039] 在镜头座110右侧端面设置有与Z轴调节板102固定的镜头座固定孔124；
[0040] Z轴调节板102，在所述Z轴调节板102上端设置有用于与镜头座110固定的Z轴固定孔107，Z轴固定孔107的上部设置有上端开放的Z轴限位孔106；
[0041] 在所述Z轴调节板102的中间部设置有调节滑块122，在调节滑块122的下部设置有多组间距等同的Z轴调节孔103；
[0042] 在所述Z轴调节板102的上部且位于Z轴调节板102左侧设置有Z轴凸台面104，所述Z轴固定孔107设置在Z轴凸台面104处，在Z轴凸台面104的下部设置有Z轴限位面141，在所
述Z轴凸台面104的上部设置有Y轴调节板115的Z轴匹配面105；
[0043] 所述镜头座110的右侧与Z轴凸台面104对接，Z轴限位面141用于定位镜头座110与Z轴调节板102的安装位置，对接好后由镜头座螺丝穿过Z轴固定孔107固定在镜头座固定孔
124内；
[0044] 所述Y轴调节板115的下部具有一槽面113，所述槽面113与所述滑轨面111匹配安装，且所述Y轴调节板115沿所述滑轨面111滑动以进行所述Y轴调节板115的Y向位置调整；
[0045] 所述Y轴调节板115的中间部设置有镜头固定座114；
[0046] 所述Y轴调节板115的右侧端面设置有X轴调节块固定孔125以及Z轴调节板102的Z轴位置限位孔126，所述X轴调节块118通过调节块螺丝将X轴调节块固定在Y轴调节板115
上，Z轴匹配面105与Y轴调节板115的右侧端面匹配对接，然后用Z轴限位螺丝由Z轴限位孔
106穿入固定在Z轴位置限位孔126内；
[0047] 所述X轴调节块118中间部具有U型凹槽119，且U型凹槽119两侧的调节臂上分别设置有调节X轴调节板127X向位置的X轴调节孔120；
[0048] X轴调节板127，该X轴调节板127的中间部具有十字形的相机座安装槽135，相机座固定在相机座安装槽135中，在X轴调节板127的上部设置有X轴调整块128；
[0049] 所述X轴调整块128安装在U型凹槽119内，通过X轴调节螺丝穿过X轴调节孔120以限制X轴调整块128在U型凹槽119内的位置达到调整X轴调节板127的X向调节；
[0050] 任意角度调节板131，任意角度调节板131左侧面板的中间部设置有Z轴调节槽138，在Z轴调节槽138的下部设置有任意角度调节板固定孔139；所述调节滑块122安装在Z
轴调节槽138内，并通过Z轴调节螺钉穿过不同位置的Z轴调节孔103固定在任意角度调节板
固定孔139内以达到Z轴调节板102的Z向调节；
[0051] 所述任意角度调节板131的下部设置有任意角度调节块129，该任意角度调节块129内部设置有沿Y向的任意角度调节通孔，转轴132穿入任意角度调节通孔内，通过转动转
轴132带动整体旋转以达到任意角度调节。
[0052] 在上述中，所述CCD镜头100上部设置有螺纹段101，通过将CCD镜头100上部的螺纹段101拧入镜头座固定孔124内设置的镜头座螺纹段109，并延伸至Y轴调节板115的中间部
的镜头固定座114内。
[0053] 在上述中，所述Y轴调节板115上设置有多个Y向调节孔116，Y向调节孔116的调节孔距为3‑30mm，在镜头座110上设置有Y向调节限位孔136，Y向调节限位螺丝由Y向调节孔
116穿入固定在Y向调节限位孔136内部，当所述Y轴调节板115沿Y向调整时，所述Y轴调节板
115沿所述滑轨面111滑动，Y向调节孔116的调节孔距限制其Y向移动的距离，其限位由Y向
调节限位螺丝限制，以在限定的调节孔距内进行所述Y轴调节板115的Y向位置调整。
[0054] 在上述中，所述U型凹槽119的宽距为30‑100mm，所述X轴调整块128的宽度为20mm。
[0055] 在上述中，所述X轴调节块118左侧设置有调节块凸台117，在所述调节块凸台117处设置有贯穿X轴调节块118的调节块固定孔121，调节块螺丝穿过调节块固定孔121固定在
X轴调节块固定孔125内，将所述X轴调节块118与所述Y轴调节板115固定。
[0056] 在上述中，所述X轴调节板127的右侧且位于所述X轴调整块128的两侧设置有调整块限位槽134，调整块限位槽134的宽度为30‑100mm。
[0057] 在上述中，在所述任意角度调节板131上且位于Z轴调节槽138上部设置有调整块限位杆140，所述调整块限位杆140位于调整块限位槽134内，且所述调整块限位杆140的直
径为20mm。
[0058] 在上述中，所述X轴调节板127上且位于十字形相机座安装槽135，位于相机座安装槽135的四角设置有固定相机座的相机座固定孔137，所述相机座由相机座螺丝穿过相机座
上设置的相机座通孔至相机座固定孔137中使相机座与所述X轴调节板127固定，所述相机
座上设置有相机133。
[0059] 在上述中，所述相机和CCD镜头100处于同一轴线上。
[0060] 在进行安装时，
[0061] 所述调节滑块122安装在Z轴调节槽138内，并通过Z轴调节螺钉穿过不同位置的Z轴调节孔103固定在任意角度调节板固定孔139内以达到Z轴调节板102的Z向调节和固定；
[0062] 所述镜头座110的右侧与Z轴凸台面104对接，Z轴限位面141用于定位镜头座110与Z轴调节板102的安装位置；
[0063] 所述槽面113与所述滑轨面111匹配安装，且所述Y轴调节板115沿所述滑轨面111滑动以进行所述Y轴调节板115的Y向位置调整；
[0064] 所述X轴调节块118通过调节块螺丝将调节块固定在Y轴调节板115上，Z轴匹配面105与Y轴调节板115的右侧端面匹配对接，然后用Z轴限位螺丝由Z轴限位孔106穿入固定在
Z轴位置限位孔126内；
[0065] 所述X轴调整块128安装在U型凹槽119内，通过X轴调节螺丝穿过X轴调节孔120以限制X轴调整块128在U型凹槽119内的位置达到调整X轴调节板127X向调节；
[0066] 所述调节滑块122安装在Z轴调节槽138内，并通过Z轴调节螺钉穿过不同位置的Z轴调节孔103固定在任意角度调节板固定孔139内以达到Z轴调节板102的Z向调节；
[0067] 所述任意角度调节板131的下部设置有任意角度调节块129，该任意角度调节块129内部设置有沿Y向的任意角度调节通孔，转轴132穿入任意角度调节通孔内，通过转动转
轴132带动整体旋转以达到任意角度调节。
[0068] 本申请可以通过对X、Y、Z轴进行微调的同时，还能通过转轴132带动整体进行任意角度的旋转，基于此设置，将转轴132通过联轴器连接在伺服电机上，通过控制伺服电机的
转动来控制转轴132的转动以控制整体的旋转角度，可以对晶圆的制作过程进行全程的追
踪，因此只需要一个机构就能完成一个晶圆制作点的整个过程追踪检测。
[0069] 由于晶圆的制作都是流水线式制作，且每一个制作点均是同步工作，因此，可以通过一个转轴132带动多个本申请的相机机构同时工作。
[0070] 本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应
当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技
术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将
上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构
思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。
