一种高速运动平台快速主动减振方法

摘要

本申请公开了一种高速运动平台快速主动减振方法，包括：获取运动平台的运动体当次运动的运动参数，并根据运动参数来确定减振装置的减振模式；基于减振模式控制减振装置的动作端与运动平台的运动体接触或与驱动运动体运动的驱动装置接触，以产生用于抑制运动体振动的接触摩擦力。采用这种主动摩擦的手段来实现减振，可以对运动体特定需要减振的阶段进行减振，而且减振前减振装置的动作端不用接触运动体或不用接触驱动装置，从而不会对运动体的运动形成干扰。再者，将运动体的运动参数与减振装置的控制进行关联，通过调节接触摩擦力大小，即可实现对运动体的惯性振动进行快速抑制。该设计的主动减振方法能够实现灵活且良好的振动抑制效果。

权利要求

1.一种高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，包括步骤：

S1，获取运动平台的运动体当次运动的运动参数，并根据所述运动参数来确定减振装置的减振模式；所述运动参数包括：所述运动体的速度、加速度和位移；所述减振模式确定所述减振装置的输出位移的大小、力的大小以及输出减振的时刻；所述减振装置响应控制装置信号时间为T1，所述减振装置接收到所述控制装置的信号作出的反应时间为T2，所述减振装置最大动行时间为T3，防止误差时间为T4，所述运动体从开始运动到要进行减速定位会产生惯性振动时的时间为Tp，当T1+T2+T3+T4＜Tp，为所述减振装置输出减振的时刻；

S2，基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与运动平台的运动体接触或与驱动运动体运动的驱动装置接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

其中，所述减振装置设置于所述运动体外，且所述减振装置的动作端可伸缩控制，该动作端在所述运动体处于运动状态时不与所述运动体或不与所述驱动装置接触。

2.根据权利要求1所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述S2具体为：基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与所述运动体接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

其中，所述减振装置的动作端的动作方向与所述运动体的运动方向正交。

3.根据权利要求1所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述S2具体包括：S21，控制位置检测装置获取运动体的位移信息；

S22，当根据所述位移信息判断到所述运动体移动至距离目标位置预设距离的准备位置时，基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端动作，以使得所述运动体移动至目标位置的同时所述减振装置的动作端与所述运动体或与所述驱动装置接触；

S23，控制所述减振装置的动作端与所述运动体或所述驱动装置接触直至所述运动体的惯性振动幅值小于预设幅值，其中，所述惯性震动幅值为根据位置检测装置的检测数据进行确定。

4.根据权利要求3所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述位置检测装置为绝对式光栅尺。

5.根据权利要求3所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述减振装置包括伸缩驱动装置；

所述驱动装置的伸缩部一端可与所述运动体接触或与所述驱动装置接触。

6.根据权利要求5所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述减振装置还包括缓冲结构；

所述缓冲结构安装于所述伸缩驱动装置的伸缩端，用于与所述运动体或与所述驱动装置接触。

7.根据权利要求5所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述伸缩驱动装置为直线电机装置、压电陶瓷装置、磁致伸缩装置、电动推杆装置、液压推杆装置或其它直线伸缩装置。

8.根据权利要求6所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述缓冲结构为铝合金垫块、黄铜块、油膜纸或其它接触缓冲结构。

9.根据权利要求1所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述驱动装置包括驱动电机以及丝杆；

所述丝杆枢接固定在所述运动平台的平台主体上，且所述丝杆活动穿过所述运动体，并与所述运动体螺纹配合；

所述驱动电机安装于所述平台主体，且输出轴与所述丝杆的一端连接。

10.根据权利要求9所述的高速运动平台快速主动减振方法，其特征在于，所述S2具体为：基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与所述驱动电机的输出轴接触或与所述丝杆接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

其中，所述减振装置的动作端的动作方向与所述驱动电机的输出轴的轴向方向正交，或与所述丝杆的轴向方向正交。

说明书

一种高速运动平台快速主动减振方法

技术领域

[0001] 本申请涉及机械装置技术领域，尤其涉及一种高速运动平台快速主动减振方法。

背景技术

[0002] 高速运动平台装置是微电子制造中的核心装置之一，由于高速运动平台装置中的运动平台在其定位过程通常伴随有惯性振动，因此，如何实现对惯性振动的快速抑制是提升操作效率与微电子制造发展的关键问题。

[0003] 目前，面对高速运动平台装置的振动问题，常采用控制方法或添加减振结构进行减振。控制方法对于高速运动条件下的平台减振问题仍具有调参复杂、适应性差的问题。而添加减振结构的方式通常为被动减振方式，其对高速运动平台装置的振动抑制效果并不理想。

发明内容

[0004] 有鉴于此，本申请的目的是提供一种高速运动平台快速主动减振方法，具有灵活且良好的振动抑制效果。

[0005] 为达到上述技术目的，本申请提供了一种高速运动平台快速主动减振方法，包括步骤：

[0006] S1，获取运动平台的运动体当次运动的运动参数，并根据所述运动参数来确定减振装置的减振模式；

[0007] S2，基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与运动平台的运动体接触或与驱动运动体运动的驱动装置接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

[0008] 其中，所述减振装置设置于所述运动体外，且所述减振装置的动作端可伸缩控制，该动作端在所述运动体处于运动状态时不与所述运动体或不与所述驱动装置接触。

[0009] 进一步地，所述S2具体为：

[0010] 基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与所述运动体接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

[0011] 其中，所述减振装置的动作端的动作方向与所述运动体的运动方向正交。

[0012] 进一步地，所述S2具体包括：

[0013] S21，控制位置检测装置获取运动体的位移信息；

[0014] S22，当根据所述位移信息判断到所述运动体移动至距离目标位置预设距离的准备位置时，基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端动作，以使得所述运动体移动至目标位置的同时所述减振装置的动作端与所述运动体或与所述驱动装置接触；

[0015] S23，控制所述减振装置的动作端与所述运动体或所述驱动装置接触直至所述运动体的惯性振动幅值小于预设幅值，其中，所述惯性震动幅值为根据位置检测装置的检测数据进行确定。

[0016] 进一步地，所述位置检测装置为绝对式光栅尺。

[0017] 进一步地，所述减振装置包括伸缩驱动装置；

[0018] 所述驱动装置的伸缩部一端可与所述运动体接触或与所述驱动装置接触。

[0019] 进一步地，所述减振装置还包括缓冲结构；

[0020] 所述缓冲结构安装于所述伸缩驱动装置的伸缩端，用于与所述运动体或与所述驱动装置接触。

[0021] 进一步地，所述伸缩驱动装置为直线电机装置、压电陶瓷装置、磁致伸缩装置、电动推杆装置、液压推杆装置或其它直线伸缩装置。

[0022] 进一步地，所述缓冲结构为铝合金垫块、黄铜块、油膜纸或其它接触缓冲结构。

[0023] 进一步地，所述驱动装置包括驱动电机以及丝杆；

[0024] 所述丝杆枢接固定在所述运动平台的平台主体上，且所述丝杆活动穿过所述运动体，并与所述运动体螺纹配合；

[0025] 所述驱动电机安装于所述平台主体，且输出轴与所述丝杆的一端连接。

[0026] 进一步地，所述S2具体为：

[0027] 基于所述减振模式控制所述减振装置的动作端与所述驱动电机的输出轴接触或与所述丝杆接触，以产生用于抑制所述运动体振动的接触摩擦力；

[0028] 其中，所述减振装置的动作端的动作方向与所述驱动电机的输出轴的轴向方向正交，或与所述丝杆的轴向方向正交。

[0029] 从以上技术方案可以看出，本申请提供的高速运动平台快速主动减振方法。其中，减振装置被设计为在需要对运动体进行振动抑制的时候，其动作端才动作至与运动体接触或与驱动装置接触，通过产生的接触摩擦力来抑制运动体的振动。采用这种主动摩擦的手段来实现减振，可以对运动体特定需要减振的阶段进行减振，而且减振前减振装置的动作端不用接触运动体或不用接触驱动装置，从而不会对运动体的运动形成干扰。再者，将运动体的运动参数与接触摩擦力的调整进行关联，通过运动体的运动参数来确定减振模式，再基于该减振模式来调整减振装置的动作端与运动体或与驱动装置接触产生的接触摩擦力，以便通过合适的接触摩擦力对运动体的惯性振动进行反向抑制，也即是通过调节接触摩擦力大小，即可实现对运动体的惯性振动进行快速抑制。

[0030] 上述设计的高速运动平台快速主动减振方法，具有如下有益效果：

[0031] 1、使得构建的平台系统结构简单，通过减振装置的动作端与运动体接触或与驱动装置接触来产生与运动体运动方向相反的摩擦作用力，利用主动摩擦手段实现振动抑制，该振动抑制方式可以对惯性振动始终产生反向的抑制作用，不会引起增加惯性振动的作用，能够有效解决大行程高速高加速的运动体的惯性振动问题，具有显著的抑制作用与效果。

[0032] 2、不进行振动抑制时，减振装置的动作端不用接触运动体或驱动装置，不会干涉运动体的运动，保证运动体运动的精确性。

[0033] 3、基于运动体的运动参数来控制减振装置与运动体或与驱动装置接触产生的摩擦作用力，可以对不同运动条件下产生的各种惯性振动进行有效地抑制，只要通过合适的摩擦作用力就可以灵活地产生适应性的动态减振作用，具有动态灵活的减振作用。

附图说明

[0034] 为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

[0035] 图1为本申请中提供的基于高速运动平台快速主动减振方法构建的运动平台系统的整体结构示意图；

[0036] 图2为本申请中提供的运动平台系统不带有控制装置的结构示意图；

[0037] 图3为本申请中提供的运动平台系统的运动体运动至准备位置时与减振装置的配合示意图；

[0038] 图4为本申请中提供的运动平台系统的运动体运动至目标位置时与减振装置的配合示意图；

[0039] 图5为本申请中提供的运动平台系统的减振作用流程图；

[0040] 图6为本申请中提供的一种高速运动平台快速主动减振方法的实施例一流程示意图；

[0041] 图7为本申请中提供的一种高速运动平台快速主动减振方法的实施例二流程示意图；

[0042] 图中：100、固定机架；200、减振装置；300、运动平台；301、运动体；302、丝杆；400、位置检测装置；500、控制装置。

具体实施方式

[0043] 下面将结合附图对本申请实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请实施例保护的范围。

[0044] 在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0045] 在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可更换连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

[0046] 本申请实施例公开了一种高速运动平台快速主动减振方法。

[0047] 请参阅图6、图1以及图3所示，本申请实施例中提供的一种高速运动平台快速主动减振方法的一个实施例包括步骤：

[0048] S1，获取运动平台的运动体当次运动的运动参数，并根据运动参数来确定减振装置的减振模式。

[0049] S2，基于减振模式控制减振装置的动作端与运动平台的运动体接触或与驱动运动体运动的驱动装置接触，以产生用于抑制运动体振动的接触摩擦力。

[0050] 其中，减振装置设置于运动体外，且减振装置的动作端可伸缩控制，该动作端在运动体处于运动状态时不与运动体或不与驱动装置接触。

[0051] 执行本申请该主动减振方法的主体为控制装置500，该控制装置500可以是PLC控制装置、计算机等，不做限制。

[0052] 就运动平台300的结构组成来说，可以是包括平台主体、运动体301以及驱动装置，驱动装置安装于平台主体上，且与运动体301连接，用于带动运动体301运动。

[0053] 该控制装置500可与运动平台300通信连接，用于根据运动指令通过控制驱动装置以带动运动体301运动，运动指令可以是由作业人员经过操作控制装置500的操作界面而产生或者通过后台终端产生并发送给控制装置500，不做限制。

[0054] 就步骤S1来说：具体的，控制装置500与减振装置200通信连接，用于获取运动体301的运动参数，并根据运动参数确定减振装置200的减振模式，该运动参数即指的当次的运动体301运动时的相关运动参数，由于运动体301每次的运动都会基于不同的运动指令而有相应的运动参数，因此，基于每次运动体301运动相关的运动参数来确定/设定减振装置
200的减振模式。就该运动参数来说，包括设定速度、设定加速度、设定位移。该运动参数的获取/确定可以通过解析运动指令实现。控制装置500在确定好运动参数之后，即可基于设定好的设定速度、设定加速度以及设定位移通过驱动装置控制运动体301进行运动，使得运动体301按设定速度、设定加速度以及设定位移运动至指定目标位置，进而完成当次运动。
控制装置500在确定了该运动参数的时，也就是确定了运动体301当次的运动状态，进而就能够基于运动状态与减振模式的对应关系来确定减振模式，其中运动状态与减振模式之间的关系可以基于历史试验数据总结得到，具体不做限制。

[0055] 通过确定好减振模式来确定减振装置200的动作端应该输出多大位移、多大力以及在什么时刻开始输出减振‑‑也即是在什么时刻产生振动，进而保证减振装置200能够对当次对应的运动参数下的运动体301有较为合适的减振效果，能够使得减振装置200更好的适配当次运动体301的减振。

[0056] 就步骤S2来说，在需要进行振动抑制时，控制装置500基于减振模式，控制减振装置200的动作端与运动体301接触或与驱动装置接触，以产生用于抑制运动体301振动的接触摩擦力。本申请这一设计的方案中，减振装置200即可通过与运动体301的接触作用来直接抑制运动体301的惯性振动，亦可通过与驱动运动体301运动的驱动装置接触来间接抑制运动的惯性振动。

[0057] 从以上技术方案可以看出，本申请提供的高速运动平台快速主动减振方法。其中，减振装置200被设计为在需要对运动体301进行振动抑制的时候，其动作端才动作至与运动体301接触或与驱动装置接触，通过产生的接触摩擦力来抑制运动体301的振动。采用这种主动摩擦的手段来实现减振，可以对运动体301特定需要减振的阶段进行减振，而且减振前减振装置200的动作端不用接触运动体301或不用接触驱动装置，从而不会对运动体301的运动形成干扰。再者，将运动体301的运动参数与接触摩擦力的调整进行关联，通过运动体301的运动参数来确定减振模式，再基于该减振模式来调整减振装置200的动作端与运动体
301或与驱动装置接触产生的接触摩擦力，以便通过合适的接触摩擦力对运动体301的惯性振动进行反向抑制，也即是通过调节接触摩擦力大小，即可实现对运动体301的惯性振动进行快速抑制。

[0058] 上述设计的高速运动平台快速主动减振方法，具有如下有益效果：

[0059] 1、使得构建的平台系统结构简单，通过减振装置200的动作端与运动体301接触或与驱动装置接触来产生与运动体301运动方向相反的摩擦作用力，利用主动摩擦手段实现振动抑制，该振动抑制方式可以对惯性振动始终产生反向的抑制作用，不会引起增加惯性振动的作用，能够有效解决大行程高速高加速的运动体301的惯性振动问题，具有显著的抑制作用与效果，减少运动平台300振动衰减时间，提高工作效率。

[0060] 2、不进行振动抑制时，减振装置200的动作端不用接触运动体301或驱动装置，不会干涉运动体301的运动，保证运动体301运动的精确性。

[0061] 3、基于运动体301的运动参数来控制减振装置200与运动体301或与驱动装置接触产生的摩擦作用力，可以对不同运动条件下产生的各种惯性振动进行有效地抑制，只要通过合适的摩擦作用力就可以灵活地产生适应性的动态减振作用，具有动态灵活的减振作用。

[0062] 以上为本申请实施例提供的一种高速运动平台快速主动减振方法的实施例一，以下为本申请实施例提供的一种高速运动平台快速主动减振方法的实施例二，具体请参阅图1至图5以及图7。

[0063] 基于上述实施例一的方案：

[0064] 进一步地，步骤S2具体为：

[0065] 基于减振模式控制减振装置的动作端与运动体接触，以产生用于抑制运动体振动的接触摩擦力；其中，减振装置的动作端的动作方向与运动体的运动方向正交。

[0066] 以减振装置200的动作端与运动体301接触实现振动抑制为例，为了使得振动抑制效果更好，减振装置200的动作端的动作方向设计为与运动体301的运动方向正交，也即是减振装置200的动作端的动作方向与运动体301的运动方向进行90°正交分布。减振装置200的动作端按照运动体301的运动方向切向的运动接触到平台输出端时可产生与运动体301运动方向相反的摩擦作用力，该减振方式可以对惯性振动始终产生反向的抑振作用，不会引起增大惯性振动的作用，减振装置200发挥的减振作用更持续稳定。就减振装置200的安装布置来说，也就可以安装布置在与运动体301运动方向正交的方向上，具体的，减振装置200可以通过一个固定机架100进行固定，该机架结构可以是类似龙门架，架固在运动平台
300上，具体不做限制，而减振装置200沿Z轴方向倒装在固定机架100上，并使得自身动作端的动作方向与运动体301的X轴运动方向相交即可。通过添加Z轴方向作用力接触到X轴向运动的运动体301上，改变运动体301X轴向摩擦阻力大小，通过调节减振装置200输出合适的作用力即可可以实现快速的抑制作用，最终实现对高速运动平台300惯性振动的快速抑制。

[0067] 进一步地，步骤S2具体包括：

[0068] S21，控制位置检测装置获取运动体的位移信息。也即是位置检测装置400实时检测运动体301的位置并反馈控制装置500。

[0069] S22，当根据位移信息判断到运动体移动至距离目标位置预设距离的准备位置时，基于减振模式控制减振装置的动作端动作，以使得运动体移动至目标位置的同时减振装置的动作端与运动体或与驱动装置接触。

[0070] S23，控制减振装置的动作端与运动体或驱动装置接触直至运动体的惯性振动幅值小于预设幅值，其中，惯性震动幅值为根据位置检测装置的检测数据进行确定。

[0071] 本申请所设计的减振装置200进行减振时，其动作端需要从不接触运动平台300的位置运动至接触运动平台300的位置，并对运动平台300进行作用，从而抑制运动体301的惯性振动。因此，对于减振装置200的减振作用时机也非常重要。

[0072] 为此，控制装置500具体用于在根据位置检测装置400的反馈信息判断到运动体301移动至距离目标位置预设距离的准备位置时，控制减振装置200的动作端动作，以使得运动体301移动至目标位置的同时减振装置200的动作端与运动体301或与驱动装置接触。
也即是运动体301运动至如图3所示的准备位置时，即可启动减振装置200，控制减振装置
200的动作端往靠近运动体301的方向运动，在运动体301运动至如图4所示的目标位置时，此时减振装置200的动作端也同步运动到位，进而实现运动体301运动到目标位置的同时，减振装置200同步对运动体301产生振动抑制作用，进一步提升快速抑制效果，提高振动抑制效率。本实施例中，预设距离不仅要考虑运动体301的运动参数，还要综合考虑电信号传递时间，其中电信号传递时间的考虑也即是考虑从采集到运动平台300的运动情况到传递给控制装置500的时间以及控制装置500发出信号到减振装收到信号进行动作的时间。具体的，以减振装置200响应控制装置500信号的时间为T1，自身接到控制装置500的信号作出的反应时间为T2，减振装置200最大动行时间为T3，预留一定的灵活保障以防止时间误差的时间T4，为了保证能够实现前述这一准确时机的振动抑制作用，这四个时间总和需要再一定的限定范围内，也即是T1+T2+T3+T4＜运动体301从开始运动到要进行减速定位会产生惯性振动时的时间Tp。

[0073] 本申请中，就步骤S3中的惯性震动幅值来说，控制装置500根据位置检测装置400的反馈信息实时确定运动体301的惯性振动幅值，实现对运动体301惯性振动幅值的实时检测，利用该实时检测的惯性振动幅值，能够提供减振装置200的减振作用是否到位判断依据。控制装置500具体控制减振装置200的动作端与运动体301或驱动装置接触直至运动体301的惯性振动幅值小于预设幅值。进行振动抑制时，实时通过位置检测装置400的反馈信息来确定运动体301的惯性振动幅度与预设振动幅度值的关系，从而能够更加准确地完成减振。

[0074] 进一步地，位置检测装置400可以采用绝对式光栅尺装置，具有非常好的检测精度以及反应速度，能够很大程度地提高减振准确性。当然，不仅仅局限于采用绝对式光栅尺装置，也可以采用其它高精度高反应速度的位置检测模组进行替换使用，具体不做限制。

[0075] 进一步地，就减振装置200结构组成来说，包括伸缩驱动装置；驱动装置的伸缩部一端可与运动体301接触或与驱动装置接触，形成减振装置200的动作端。具体的，伸缩驱动装置可以为直线电机装置、压电陶瓷装置、磁致伸缩装置、电动推杆装置、液压推杆装置或其它直线伸缩装置。

[0076] 进一步地，减振装置200还包括缓冲结构，缓冲结构安装于伸缩驱动装置的伸缩端，用于与运动体301或与驱动装置接触。缓冲结构的设置可以使得伸缩驱动装置与运动体301或与驱动装置之间实现更加良好的接触，起到缓冲保护作用。缓冲结构可以为铝合金垫块、黄铜块、油膜纸或其它接触缓冲结构。本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，不做限制。

[0077] 进一步地，就驱动装置的结构组成来说，可以是包括驱动电机以及丝杆302，其中丝杆302枢接固定在平台主体上，且丝杆302活动穿过运动体301，并与运动体301螺纹配合，而驱动电机安装于平台主体，且输出轴与丝杆302的一端连接。也即是，控制装置500通过控制驱动电机的旋转来带动丝杆302转动，进而带动运动体301运动，实现对运动体301的运动控制。当然驱动装置的结构还可以是其它结构组成，能够驱使运动体301运动即可，具体不做限制。

[0078] 进一步地，以减振装置200的动作端与驱动装置接触为例：

[0079] 步骤S2具体为：

[0080] 基于减振模式控制减振装置的动作端与驱动电机的输出轴接触或与丝杆接触，以产生用于抑制运动体振动的接触摩擦力；其中，为了实现更好的振动抑制效果，减振装置200的动作端的动作方向与驱动电机的输出轴的轴向方向正交，或与丝杆302的轴向方向正交。

[0081] 如图5所示，基于本申请该方法设计的运动平台系统的减振流程可以如下：

[0082] 控制装置500响应于运动指令，向运动平台300的驱动装置输入位移、速度以及加速度，通过驱动装置来控制运动体301在X轴方向运动。

[0083] 运动体301开始运动，控制装置500的减振调节机制获取运动体301的运动参数来对减振装置200的减振作用进行动态调整，也即是确定减振装置200的减振模式，同时，位置检测装置400实时反馈运动体301的位置h1。当控制装置500判断到运动体301到达与目标位置相距X的准备位置时‑‑也即是|H‑h1|＝X，启动减振装置200，控制减振装置200的动作端开始运动。

[0084] 当运动体301到达目标位置时，减振装置200的动作端刚好与运动体301或与驱动装置接触，同步实现对运动体301的振动抑制作用，过程中，控制装置500基于位置检测装置400的反馈信息实时监测运动体301的惯性振动幅值，当控制装置500判断到惯性振动幅值小于或等于预设幅值e时‑‑也即是|H‑h2|≤e，控制装置500发出指令，停止减振，驱动减振装置200的动作端复位。

[0085] 以上对本申请所提供的一种高速运动平台快速主动减振方法进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本申请实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。