晶圆分导设备及其工作方法

摘要

本申请公开晶圆分导设备及其工作方法，所述晶圆分导设备的工作方法包括：在承载座上形成第一承载位，用以承载装有待分导晶圆的承载晶舟；承载于所述第一承载位的所述承载晶舟通过带移组件带动止移挡移动，以避让出用于分导承载于所述承载晶舟的分导臂移动的空间，其中所述止移挡被设置沿多个分导臂排列的方向延伸，所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述推导端移动路径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，其中每个所述分导臂与所述承载晶舟的第一放置槽的晶圆相对应；推动所述分导臂，进而分导出与被推动的所述分导臂相对应且位于所述承载晶舟的第一放置槽的所述晶圆。

权利要求

1.晶圆分导设备，用于将至少一晶圆分导出承载晶舟，所述承载晶舟具有第一入口、第一出口以及与所述第一入口和所述第一出口连通的第一存放空间，所述承载晶舟上形成所述第一存放空间的内壁上形成至少一组第一放置槽，其中所述第一放置槽沿横向延伸，且介于所述第一入口和所述第一出口之间，用以放置所述晶圆，其特征在于，所述晶圆分导设备包括：承载座，其中所述承载座形成第一承载位，用以承载所述承载晶舟；

分导组件，其中所述分导组件包括导向主体和多个间隔设置的分导臂，其中所述导向主体被设置于所述承载座，其中每个所述分导臂具有推导端，其中所述分导臂可平行滑动地设置在所述导向主体，其中每个所述分导臂与承载于所述承载晶舟的所述第一放置槽的所述晶圆相对应，以在任一所述分导臂被驱动而经由所述第一入口滑入所述第一存放空间后，位于所述第一放置槽的对应所述晶圆被所述分导臂推动，并随着所述分导臂持续地朝向所述第一出口滑动时，所述晶圆被从所述第一出口分导出；

防呆机构，其中所述防呆机构包括至少一止移挡和带移组件，所述止移挡被设置沿多个所述分导臂排列的方向延伸，所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述推导端移动路径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，以当所述带移组件带动所述止移挡移动时，所述止移挡移离所述推导端移动路径，从而允许所述推导端越过所述止移挡的位置，而伸入所述承载晶舟的所述第一存放空间，所述带移组件包括至少一滑动块、连杆和弹性件，所述止移挡和所述滑动块分别被固定于所述连杆的两端，并且所述弹性件设置于所述滑动块和所述承载座形成的阻挡壁之间，所述滑动块可沿与所述分导臂移动的方向垂直的横向方向滑动地设置于所述承载座。

2.根据权利要求1所述晶圆分导设备，其特征在于，所述承载座形成第二承载位，用以承载用以接收与所述第一出口对准的接收晶舟，其中所述接收晶舟具有第二入口、第二出口和与所述第二入口和所述第二出口连通的第二存放空间，所述承载晶舟上形成所述第二存放空间的内壁上形成至少一组第二放置槽，其中所述第二放置槽沿横向延伸，且介于所述第二入口和所述第二出口之间，其中所述第二入口和所述第一出口对准，其中所述接收晶舟被承载在所述第二承载位后，每条所述第二放置槽与所述第一放置槽对准。

3.根据权利要求2所述晶圆分导设备，其特征在于，所述防呆机构包括两个所述止移挡和两个所述带移组件，每个所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述推导端移动路径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，且移离所述推导端移动路径后的两个所述止移挡分别保持在所述分导臂的两侧，且移离所述推导端移动路径后的两个所述止移挡之间的间距被设置允许所述分导臂穿过。

4.根据权利要求1所述晶圆分导设备，其特征在于，所述防呆机构还包括至少一限位构件，其中所述限位构件被设置于所述承载座的所述第一承载位的边缘。

5.根据权利要求2所述晶圆分导设备，其特征在于，所述防呆机构还包括至少一限位构件，其中所述限位构件被设置于所述承载座的所述第一承载位的边缘，所述限位构件与所述带移组件的所述滑动块一起在所述第二承载位形成大小可调的卡口。

6.根据权利要求1所述晶圆分导设备，其特征在于，所述晶圆分导设备包括整体分导组件，所述整体分导组件包括整体分导件和多个排列于同一列的带动件，其中所述整体分导件形成一组避让通道，其中每个所述避让通道所处的高度与每个所述分导臂处于同一水平高度，以在所述分导臂沿着横向滑动时，每个所述分导臂分别能够通过对应的所述避让通道而自所述承载晶舟的所述第一入口进入所述第一存放空间，所述带动件被设置于所述分导组件的每个所述分导臂，且介于所述分导臂的所述推导端与所述整体分导件之间，其中所述带动件被设置于所述整体分导件移动的路径，以在所述整体分导件移动时，所述带动件能够随着所述整体分导件的移动而一起移动。

7.根据权利要求6所述晶圆分导设备，其特征在于，所述带动件被实施为设置于所述分导臂上凸起。

8.根据权利要求6所述晶圆分导设备，其特征在于，所述带动件可沿垂直于所述分导臂延伸方向伸缩地设置于所述分导臂。

9.根据权利要求1所述晶圆分导设备，其特征在于，所述导向主体包括本体和至少一第一限移结构，所述本体形成第一滑道，所述第一限移结构被设置于所述导向主体，所述导向主体定义与所述第一滑道连通的至少一出口，其中所述出口与所述第一入口连通，所述分导臂被可沿所述第一限移结构的延伸方向移动地安装于所述第一限移结构。

10.根据权利要求9所述晶圆分导设备，其特征在于，所述分导组件包括至少一第一滑行控制结构，所述分导臂被固定连接于所述第一滑行控制结构。

11.根据权利要求10所述晶圆分导设备，其特征在于，所述第一滑行控制结构包括至少一控制销和至少一限位槽，所述限位槽形成于所述本体，并且所述限位槽于所述第一滑道连通，所述限位槽的延伸方向与所述分导臂的移动方向平行，所述限位槽用以限定所述控制销移动方向，所述控制销的一端连接于所述分导臂，而所述控制销远离所述分导臂的一端部伸出所述限位槽，以便操控者操作所述分导臂。

12.根据权利要求1、2、3或6‑11中任一所述晶圆分导设备，其特征在于，所述分导臂滑动的路径位于承载于所述承载晶舟中的所述晶圆的直径所在直线上。

13.如权利要求1‑12中任一所述晶圆分导设备的工作方法，其特征在于，所述晶圆分导设备的工作方法包括：

在承载座上形成第一承载位，用以承载装有待分导晶圆的承载晶舟；

承载于所述第一承载位的所述承载晶舟通过带移组件带动止移挡移动，以避让出用于分导承载于所述承载晶舟的分导臂移动的空间，其中所述止移挡被设置沿多个分导臂排列的方向延伸，所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述分导臂的推导端移动路径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，其中每个所述分导臂与所述承载晶舟的第一放置槽的晶圆相对应；

推动所述分导臂，进而分导出与被推动的所述分导臂相对应且位于所述承载晶舟的第一放置槽的所述晶圆。

说明书

晶圆分导设备及其工作方法

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及晶圆分导设备及其工作方法。

背景技术

[0002] 晶圆是指制作硅半导体电路所用硅晶片，其原始材料是硅，而晶舟盒是常用的晶圆储存装置。一般晶舟盒中会储存批量的晶圆，当一个晶舟内的所有晶圆被投入生产后，需
要对生产后的晶圆进行检测，以此对晶圆进行筛选，若晶舟中存在不合格的晶圆，则需要将
位于晶舟内的通过检测的产品分片出货，而批量的晶圆储存于晶舟中，位于晶圆中部和底
部的晶圆由于被顶部的晶圆遮挡住，因此需要人工将顶部的晶圆逐一取出才能将目标晶圆
移出其他晶舟中，效率低。

[0003] 晶舟的生产过程有许多不同的工艺，这些工艺会将晶圆处于不同的环境中，因此承载晶圆的晶舟也需要根据工艺环境的不同被分出。例如，晶舟在生产中需要进行烘烤，此
时普通的晶舟盒无法满足烘烤工艺中的温度需求，需要将位于普通晶舟盒内的部分晶圆转
移至烘烤工艺专用的晶舟盒中，若将晶舟盒内的晶圆一个一个分别导入专用晶舟盒的话，
效率过低，不利于生产。

[0004] 目前市场上出现了一些自动化分片和分导的机器，但是每个存储晶圆的晶舟存在长度以及高度上的差异，而晶圆受到很小的力就容易被损坏。因此，在将其导出时，导出装
置需要与晶圆对准，否则晶圆受力不均易破损，因而在使用这类自动化机器时，就需要花费
大量的时间对其进行调试，导致分导的效率低。

[0005] 此外，由于晶圆易碎，也就是说，承载与晶舟上的晶圆在受到很小的压力就会被损坏，因此，在分导的时候，需要防止晶圆损坏。

发明内容

[0006] 本发明的一个优势在于提供晶圆分导设备及其工作方法，所述晶圆分导设备能够将位于承载晶舟任一位置的晶圆分导出，且无需预先取出置放在晶舟盒中位于该晶圆上部
的其它晶圆，从而提高了分导的效率。

[0007] 本发明的另一个优势在于提供晶圆分导设备及其工作方法，本发明还设置一整体分导组件，所述整体分导组件可将所述承载晶舟中的至少两片晶圆同步地分导至一接收晶
舟。

[0008] 本发明的另一个优势在于提供晶圆分导设备及其工作方法，本发明还设置一整体分导组件，所述整体分导组件可将所述承载晶舟中的所述晶圆同步地一次分导至一接收晶
舟。

[0009] 本发明的另一个优势在于提供一种晶圆分导设备及其工作方法，其中所述晶圆分导设备能够防止被分导的晶圆因受力不均而破损。

[0010] 本发明的另一个优势在于提供一种晶圆分导设备及其工作方法，其中所述晶圆分导设备能够防止工作人员在没有将晶舟防止在正确位置的情况下，被误操作而使晶圆被压
损。

[0011] 本发明的一个优势在于提供晶圆分导设备及其工作方法，本发明还设置一限位构件，用以固定所述晶舟组件的位置，提高分导过程中晶舟的稳定性。

[0012] 本发明的一个优势在于提供晶圆分导设备，本发明还设置一防呆机构，在所述承载晶舟和所述接收晶舟任意不在预定位置时，所述防呆机构能够阻碍所述分导臂推动晶
圆，避免将晶圆导出，保护晶圆。

[0013] 为达到本发明以上至少一个优势，本发明提供晶圆分导设备，用于将至少一晶圆分导出承载晶舟，所述承载晶舟具有第一入口、第一开口和与所述第一入口和所述第一开
口连通的第一存放空间，所述承载晶舟上形成所述第一存放空间的内壁上形成至少一组第
一放置槽，其中所述第一放置槽沿横向延伸，且介于所述第一入口和所述第一开口之间，用
以放置所述晶圆，所述晶圆分导设备包括：

[0014] 承载座，其中所述承载座形成第一承载位，用以承载所述承载晶舟；

[0015] 分导组件，其中所述分导组件包括多个间隔设置的分导臂和导向主体，其中所述分导臂具有推导端，其中所述导向主体被设置于所述承载座，其中每个所述分导臂可平行
滑动地设置在所述导向主体，其中每个所述分导臂与所述承载晶舟的所述第一放置槽的所
述晶圆相对应，以在任一所述分导臂被驱动而经由所述第一入口滑入所述第一存放空间
后，位于所述第一放置槽的对应所述晶圆被所述分导臂推动，并随着所述分导臂持续地朝
向所述第一开口滑动时，所述晶圆被从所述第一开口分导出；

[0016] 防呆机构，其中所述防呆机构包括至少一止移挡和带移组件，所述止移挡被设置沿多个所述分导臂排列的方向延伸，所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离
所述推导端移动路径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于
所述承载座，以当所述带移组件带动所述止移挡移动时，所述止移挡移离所述推导端移动
路径，从而允许所述推导端越过所述止移挡的位置，而伸入所述承载晶舟的所述第一存放
空间。

[0017] 根据本发明一实施例，所述承载座形成第二承载位，用以承载用以接收与所述第一开口对准的接收晶舟，其中所述接收晶舟具有第二入口、第二开口和与所述第二入口和
所述第二开口连通的第二存放空间，所述承载晶舟上形成所述第二存放空间的内壁上形成
至少一组第二放置槽，其中所述第二放置槽沿横向延伸，且介于所述第二入口和所述第二
开口之间，其中所述第二入口和所述第一开口对准，其中所述接收晶舟被承载在所述第二
承载位后，每条所述第二放置槽与所述第一放置槽对准。

[0018] 根据本发明一实施例，所述防呆机构包括两个所述止移挡和两个所述带移组件，每个所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述推导端移动路径的状态和
回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，且移离所述推导端
移动路径后的两个所述止移挡分别保持在所述分导臂的两侧，且移离所述推导端移动路径
后的两个所述止移挡之间的间距被设置允许所述分导臂穿过。

[0019] 根据本发明一实施例，所述带移组件包括至少一滑动块、连杆和弹性件，所述止移挡和所述滑动块分别被固定于所述连杆的两端，并且所述弹性件设置于所述滑动块和所述
承载座形成的阻挡壁之间，所述滑动块可沿与所述分导臂移动的方向垂直的横向方向滑动
地设置于所述承载座。

[0020] 根据本发明一实施例，所述防呆机构还包括至少一限位构件，其中所述限位构件被设置于所述承载座的所述第一承载位的边缘。

[0021] 根据本发明一实施例，所述限位构件与所述带移组件的所述滑动块一起在所述第二承载位形成大小可调的卡口。

[0022] 根据本发明一实施例，所述晶圆分导设备包括整体分导组件，所述整体分导组件包括整体分导件和多个排列于同一列的带动件，其中所述整体分导件形成一组避让通道，
其中每个所述避让通道所处的高度与每个所述分导臂处于同一水平高度，以在所述分导臂
沿着横向滑动时，每个所述分导臂分别能够通过对应的所述避让通道而自所述承载晶舟的
所述第一入口进入所述第一存放空间，所述带动件被设置于所述分导组件的每个所述分导
臂，且介于所述分导臂的所述推导端与所述整体分导件之间，其中所述带动件被设置于所
述整体分导件移动的路径，以在所述整体分导件移动时，所述带动件能够随着所述整体分
导件的移动而一起移动。

[0023] 根据本发明一实施例，所述带动件被实施为设置于所述分导臂上凸起。

[0024] 根据本发明一实施例，所述带动件可沿垂直于所述分导臂延伸方向伸缩地设置于所述分导臂。

[0025] 根据本发明一实施例，所述导向主体包括本体和至少一第一限移结构，所述本体形成第一滑道，所述第一限移结构被设置于所述导向主体，所述导向主体定义与所述第一
滑道连通的至少一出口，其中所述出口与所述第一入口连通，所述分导臂被可沿所述第一
限移结构的延伸方向移动地安装于所述第一限移结构。

[0026] 根据本发明一实施例，所述分导组件包括至少一第一滑行控制结构，所述分导臂被固定连接于所述第一滑行控制结构。

[0027] 根据本发明一实施例，所述第一滑行控制结构包括至少一控制销和至少一限位槽，所述限位槽形成于所述本体，并且所述限位槽于所述第一滑道连通。所述限位槽的延伸
方向与所述分导臂的移动方向平行，所述限位槽用以限定所述控制销移动方向，所述控制
销的一端连接于所述分导臂，而所述控制销远离所述分导臂的一端部伸出所述限位槽，以
便操控者操作所述分导臂。

[0028] 根据本发明一实施例，所述分导臂滑动的路径位于承载于所述承载晶舟中的所述晶圆的直径所在直线上。

[0029] 为达到以上至少一个目的，根据本发明的另一个方面，本发明提供晶圆分导设备的工作方法，所述晶圆分导设备的工作方法包括：

[0030] 在承载座上形成第一承载位，用以承载装有待分导晶圆的承载晶舟；

[0031] 承载于所述第一承载位的所述承载晶舟通过带移组件带动止移挡移动，以避让出用于分导承载于所述承载晶舟的分导臂移动的空间，其中所述止移挡被设置沿多个分导臂
排列的方向延伸，所述止移挡以能够被所述带移组件带动而能够在移离所述推导端移动路
径的状态和回复至所述推导端移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座，其中每
个所述分导臂与所述承载晶舟的第一放置槽的晶圆相对应；

[0032] 推动所述分导臂，进而分导出与被推动的所述分导臂相对应且位于所述承载晶舟的第一放置槽的所述晶圆。

附图说明

[0033] 图1示出了本发明所述承载组件的结构示意图。

[0034] 图2示出了本发明所述晶圆分导设备将晶圆从承载晶舟分导至接收晶舟的示意图。

[0035] 图3示出了图2中A部分的放大示意图。

[0036] 图4示出了本发明所述晶圆分导设备的立体图。

[0037] 图5示出了本发明所述晶圆分导设备的一个部分的结构示意图。

[0038] 图6示出了本发明所述晶圆分导设备的另一个部分的结构示意图。

[0039] 图7示出了本发明所述带动件处于能够阻挡所述带动件的一个状态下的示意图。

[0040] 图8示出了本发明所述带动件处于不能够阻挡所述带动件的一个状态下的示意图。

[0041] 图9示出了本发明所述晶圆分导设备的仰视图。

[0042] 图10示出了所述承载晶舟被承载于第一承载位时一个所述滑动块滑动的示意图。

[0043] 图11示出了所述接收晶舟被承载于第二承载位时另一个所述滑动块滑动的示意图。

具体实施方式

[0044] 以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定
的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背
离本发明的精神和范围的其他技术方案。

[0045] 本领域技术人员应理解的是，在本发明的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是
指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述
术语不能理解为对本发明的限制。

[0046] 可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。

[0047] 参考图1至图11，依本发明一较佳实施例的晶圆分导设备将在以下被详细地阐述，所述晶圆分导设备用以对承载于一晶舟组件内的至少一晶圆700进行分导。

[0048] 参考图1，所述晶舟组件包括一承载晶舟800和一接收晶舟900，所述承载晶舟800可拆卸地安装于所述接收晶舟900。所述承载晶舟800形成一第一入口801和一第一开口
802，并在所述第一入口801和所述第一开口802之间形成一第一存放空间8001，用以存放晶
圆700。所述接收晶舟900形成一第二入口901和一第二开口902，并在所述第二入口901和所
述第二开口902之间形成一第二存放空间9001，用以存放晶圆700。

[0049] 通过本实施例的所述晶圆分导设备，能够将位于所述承载晶舟800中的晶圆700分导至所述接收晶舟900，也可以将承载于所述接收晶舟900中的晶圆700导向所述承载晶舟
800。也就是说，只需要调整所述承载晶舟800和所述接收晶舟900相对于所述晶圆分导设备
的相对位置，就可以实现将所述承载晶舟800中的所述晶圆700导向所述接收晶舟900或将
所述接收晶舟900中的所述晶圆700导向所述承载晶舟800。

[0050] 为使本领域技术人员能够理解本发明的具体实施方式，本实施例中，仅以通过所述晶圆分导设备，将位于所述承载晶舟800中的所述晶圆700导向所述接收晶舟900为例进
行阐述。

[0051] 所述承载晶舟800上形成所述第一存放空间8001的内壁上形成至少一组第一放置槽803，其中所述第一放置槽803沿横向延伸，且介于所述第一入口801和所述第一开口802
之间，用以放置所述晶圆700。

[0052] 优选地，所述承载晶舟800在不同高度上形成多个水平且间隔预定距离的所述第一放置槽803，用以水平放置所述晶圆700。所述接收晶舟900在不同高度上形成多个水平且
间隔预定距离的一第二放置槽903，所述第二放置槽903朝着横向方向延伸，用以承载所述
晶圆700。

[0053] 值得一提的是，所述接收晶舟900和所述承载晶舟800的尺寸一致，且所述接收晶舟900上的每个所述第二放置槽903的延伸方向和所述承载晶舟800上的所述第一放置槽
803的延伸方向共线，以当放置在所述第一放置槽803上的所述晶圆700朝着所述接收晶舟
900的方向被推动后，所述晶圆700能够经由所述第一放置槽803而滑入所述第二放置槽
903。

[0054] 参考图6和图2，所述晶圆分导设备包括一分导组件10。所述分导组件10包括至少一分导臂11，其中所述分导臂11被设置能够沿横向方向移动。

[0055] 优选地，所述分导组件10包括多个所述分导臂11。多个所述分导臂11间隔地设置，且每个所述分导臂11被设置可单独地横向滑动。因此，在需要使用所述晶圆分导设备分导
承载于所述承载晶舟800中的所述晶圆700至所述接收晶舟900时，只需要将所述分导组件
10的至少一个所述分导臂11与所述承载晶舟800的所述第一入口801对准，所述承载晶舟
800的所述第一开口802和所述接收晶舟900的所述第二开口902对准。随后，随着所述分导
臂11被操作而横向移动而自所述第一入口801伸入所述第一存放空间8001，则承载在所述
第一放置槽803的所述晶圆700将被推入所述接收晶舟900的所述第二放置槽903。

[0056] 优选地，所述分导臂11滑动的路径位于承载于所述承载晶舟800中的所述晶圆700的直径所在直线上，这样一来，能够使所述晶圆700受力均匀。

[0057] 参考图2，所述分导组件10包括一导向主体12。所述导向主体12形成至少一第一滑道1201，所述分导臂11被可横向滑动地设置于所述第一滑道1201。

[0058] 所述导向主体12包括一本体121和至少一第一限移结构122。所述本体121形成所述第一滑道1201，所述第一限移结构122被设置于所述本体121，用以限定所述分导臂11移
动，所述分导臂11被可沿所述第一限移结构122的延伸方向移动地安装于所述第一限移结
构122。所述导向主体12定义与所述第一滑道1201连通的至少一出口12201，通过所述出口
12201与所述第一入口801连通，所述分导臂11通过所述第一入口801被设置能够沿水平方
向移进或移出所述第一滑道1201。

[0059] 这样一来，在所述分导臂11推动所述晶圆700沿所述第二存放空间9001移动时，将位于所述承载晶舟800的所述晶圆700移送至所述接收晶舟900。

[0060] 值得一提的是，所述分导臂11能够沿所述第一滑道1201滑动的距离大于所述承载晶舟800的宽度，以便所述晶圆700能够被完全分导至所述接收晶舟900。

[0061] 优选地，所述本体121具有两侧壁，其中两个所述侧壁相对的一侧都横向设置一凹槽，用以定义所述第一滑道1201。

[0062] 所述分导臂11两侧可横向滑动地设置在两所述凹槽，以引导所述分导臂11沿横向滑动。

[0063] 参考图2、图4，优选地，所述分导组件10还包括至少一第一滑行控制结构13，所述分导臂11被固定连接于所述第一滑行控制结构13，用以控制所述分导臂11的滑行距离。

[0064] 具体地，所述第一滑行控制结构13包括至少一第一控制销131和至少一第一限位槽132，所述第一限位槽132形成于所述本体121，并且所述第一限位槽132于所述第一滑道
1201连通。所述第一限位槽132的延伸方向与所述分导臂11的移动方向平行，所述第一限位
槽132用以限定所述第一控制销131移动方向，所述第一控制销131的一端连接于所述分导
臂11，而所述第一控制销131远离所述分导臂11的一端部伸出所述第一限位槽132，以便操
控者操作所述分导臂11。

[0065] 在一个变形实施例中，所述第一滑行控制结构13包括一驱动单元 ，其中所述驱动单元被设置为一气缸、液压缸或任一能够驱动所述分导臂11横向移动的组件。

[0066] 值得一提的是，由于所述分导臂11设置多个，并且所述分导臂11分别安装于所述第一滑道1201的不同水平高度。这样一来，处于不同水平高度的所述晶圆700各自能够被与
其水平高度相同的所述分导臂11单独地分导出。且在分导时，不需要移除位于所述晶圆700
上部的所有其它晶圆。

[0067] 可以理解的是，通过操作者控制所述第一控制销131沿所述第一限位槽132向靠近所述出口12201的一侧移动，所述第一控制销131带动所述分导臂11经由所述承载晶舟800
向所述接收晶舟900移动，由此将位于所述承载晶舟800的所述晶圆700转移所述接收晶舟
900。并且根据实际需求，利用不同水平高度的所述分导臂11，将不同水平位置的所述晶圆
700导出。

[0068] 参考图2、图3和图6，进一步地，所述晶圆分导设备还包括一整体分导组件20。

[0069] 所述整体分导组件20被可横向滑动地设置在所述分导臂11移动的路径上，其中所述整体分导组件20上设置至少一避让通道201，如图6所示，其中每个所述避让通道201所处
的高度与每个所述分导臂11处于同一水平高度，以在所述分导臂11沿着横向滑动时，每个
所述分导臂11分别能够通过对应的所述避让通道201而自所述承载晶舟800的所述第一入
口801进入所述第一存放空间8001，进而将位于所述第一存放空间8001的所述晶圆700推导
至所述接收晶舟900的所述第二存放空间9001。

[0070] 具体参考图6，所述整体分导组件20包括一整体分导件21和一带动件22，其中所述整体分导件21形成横向的所述避让通道201。所述带动件22被设置于所述分导组件10的每
个所述分导臂11，且介于所述分导臂11的所述推导端111与所述整体分导件21之间，此外，
在所述带动件22 被设置于所述整体分导件21移动的路径上。

[0071] 优选地，所述整体分导组件20包括多个排列于同一列的所述带动件22，也就是说，每个所述带动件22距离所述分导臂11的所述推导端111的距离相同，以在所述整体分导件
21移动时，所述带动件22能够随着所述整体分导件21的移动而一起移动，进而使得所有的
所述分导臂11同步地推动位于所述承载晶舟800中的所述晶圆移动至所述接收晶舟900。这
样一来，所述晶圆分导设备能够将位于所述承载晶舟800中的所述晶圆700，一次性地全部
分导至所述接收晶舟900。

[0072] 在一个实施例中，所述带动件22被实施为设置于所述分导臂11上凸起，以在所述整体分导件21朝向所述承载晶舟800移动时，所述整体分导件21逐渐地靠近所述带动件22，
从而使所述整体分导件21带动所述带动件22一同滑动，进而使得所有的所述分导臂11一同
同步地推动位于所述承载晶舟800中的所述晶圆移动至所述接收晶舟900。由此将位于所述
承载晶舟800中的所述晶圆700全部一次性地分导至所述接收晶舟900。

[0073] 优选地，所述带动件22可沿垂直于所述分导臂11延伸方向伸缩地设置于所述分导臂11。这样一来，当只需要分导所述承载晶舟800中的至少两片所述晶圆700至所述接收晶
舟900时，可以将与需要分导的晶圆相对应的分导臂11上的所述带动件22伸出，而其余所述
带动件22收缩于对应的所述分导臂11，进而在所述整体分导件21移动时，带有收缩的所述
带动件22的所述分导臂11能够避让出所述整体分导件21滑移的空间；而带有伸出的所述带
动件22的所述分导臂11能够被所述整体分导件21带动而朝向所述承载晶舟800的所述第一
存放空间8001滑动，进而使对应的至少两片所述晶圆700被同步地分导至所述接收晶舟
900。

[0074] 优选地，所述带动件22被设置为一伸缩销结构，具体地包括一弹簧和一伸缩销，其中所述弹簧被套设于所述伸缩销，并且所述伸缩销凸出的部分形成所述凸起。当所述伸缩
销处于收缩状态时，所述伸缩销整体被藏于所述分导臂11。

[0075] 所述整体分导组件20还包括一推动臂23，如图3、图7和图8所示。所述导向主体12的所述本体121设置一与所述第一滑道1201平行的一第二滑道1202，其中所述整体分导件
21被固定于所述推动臂23的端部，且所述推动臂23可滑动地设置于所述第二滑道1202。这
样一来，在所述推动臂23被推动时，所述整体分导件21将也会水平滑动，直到所述带动件22
带动所有的所述分导臂11一起推动位于所述承载晶舟800中的晶圆运动。

[0076] 值得一提的是，所述整体分导件21的尺寸被设置适于从所述承载晶舟800的所述第一入口801滑入所述第一存放空间8001。

[0077] 在一个变形实施例中，所述整体分导组件20的所述整体分导件21包括一分导主体211和一整体分导板212，其中所述分导主体211形成所述第二滑道1202，其中所述整体分导
板212形成所述避让通道201。

[0078] 参考图5，优选地，所述整体分导组件20还包括至少一第二滑行控制结构24，所述推动臂23被可控地连接于所述第二滑行控制结构24，用以控制所述推动臂23相对于所述本
体121移动距离，以此控制整体所述分导臂11的滑行距离。

[0079] 具体地，所述第二滑行控制结构24形成至少一第二滑槽241和至少一第二限位销242，所述第二滑槽241形成于所述本体121。所述第二滑槽241所述第一滑道1201连通，所述
第二滑槽241的延伸方向与所述分导臂11的移动方向平行，所述第二限位销242的一端连接
于所述推动臂23，所述第二限位销242远离所述推动臂23的一端伸出所述第二滑槽241，以
便操作者操控所述第二限位销242，通过控制所述推动臂23以此控制整体所述分导臂11的
滑行距离。

[0080] 参考图4，在一优选实施例中，所述整体分导组件20还包括至少一整体复位组件25，所述整体复位组件25安装于所述本体121，所述整体复位组件25用以将整体所述分导臂
11复位。

[0081] 参考图4，所述整体复位组件25包括一拨动件251，所述拨动件251安装于所述本体121。所述拨动件251具有一初始位置，在所述初始位置时，所述拨动件251被设置于所述本
体121靠近所述出口12201的一端部。所述拨动件251将靠近所述出口12201的所有所述第一
控制销131推至远离所述出口12201的一端部，用以整体复位所述分导臂11。这样一来，所述
拨动件251从所述初始位置向远离所述承载晶舟800的一端部移动，以将靠近所述承载晶舟
800的所述第一控制销131推至远离所述承载晶舟800的一端部，以此实现所有所述分导臂
11复位。

[0082] 所述整体复位组件25还包括至少一滑动复位槽252，所述拨动件251被可移动地设置于所述滑动复位槽252，所述滑动复位槽252被设置于所述拨动件251和所述导向主体12
之间，用以限定所述拨动件251移动。

[0083] 所述滑动复位槽252可被实施为第三凹槽和凸起，所述凸起被安装于所述第三凹槽，以限定所述拨动件251移动。

[0084] 在一个实施例中，所述凸起被设置于所述拨动件251靠近所述导向主体12的一侧，所述第三凹槽形成于所述导向主体12靠近所述拨动件251的一侧。

[0085] 可以理解的是，通过操作者控制所述第一控制销131沿所述第一限位槽132向靠近所述出口12201的一侧移动，所述分导臂11通过所述避让通道201向所述第一存放空间8001
方向移动，以使所述分导臂11推动所述晶圆700由所述承载晶舟800移动至所述接收晶舟
900。操作者可控制不同高度的所述分导臂11移动，以转移不同高度的所述晶圆700。而操作
者控制所述第二限位销242沿所述第二滑槽241向靠近所述出口12201的一侧移动，所述第
二限位销242带动所述推动臂23向靠近所述出口12201方向移动，随后，所述推动臂23推动
所述整体分导件21由所述承载晶舟800向所述接收晶舟900移动，在所述带动件22的作用
下，所述带动件22带动贯穿所述避让通道201的所有所述分导臂11将所述承载晶舟800的中
所述晶圆700整体转移至所述接收晶舟900。所述晶圆分导设备即可以实现单独分片的目的
还可以实现整体转移的操作。

[0086] 进一步地，所述晶圆分导设备还包括一承载座30。所述承载座30形成一第一承载位和一第二承载位，其中所述第一承载位用以承载所述承载晶舟800，其中所述第二承载位
用以承载所述接收晶舟900。

[0087] 所述分导组件10安装于所述承载座30，所述承载座30用以支撑所述晶舟组件和所述分导组件10以及所述整体分导组件20。

[0088] 参考图2、图4、图5，图9和图10，尤其可以参考5和图9，进一步地，所述晶圆分导设备还包括至少一防呆机构40。所述防呆机构40包括至少一止移挡41和一带移组件42。所述
止移挡41被设置沿多个所述分导臂11排列的方向延伸，具体地，在至少一个实施例中，所述
止移挡41被设置沿竖直方向延伸。所述止移挡41以能够被所述带移组件42带动而能够在移
离所述推导端111移动路径的状态和回复至所述推导端111移动路径的状态之间切换的方
式设置于所述承载座30。因此，当所述带移组件42带动所述止移挡41移动时，所述止移挡41
移离所述推导端111移动路径，从而允许所述推导端111越过所述止移挡41的位置，而伸入
所述承载晶舟800的所述第一存放空间8001。

[0089] 优选地，所述带移组件42被设置在所述第一承载位的边缘，以在所述承载晶舟800被放置在所述第一承载位时，触动所述带移组件42带动所述止移挡41运动。

[0090] 具体地，在一个实施例中，所述带移组件42包括至少一滑动块421、一连杆422和一弹性件423。所述止移挡41和所述滑动块421分别被固定于所述连杆422的两端，并且所述弹
性件423设置于所述滑动块421和所述承载座30形成的阻挡壁之间。

[0091] 所述滑动块421可沿与所述分导臂11移动的方向垂直的横向方向滑动地设置于所述承载座30。也就是说，当所述滑动块421被推动而朝向所述承载座30的边缘移动时，所述
弹性件423被压缩，同时，端部被固定于所述滑动块421的所述连杆422也被带动，进而使得
止移挡41能够在移离所述推导端111移动路径的状态和回复至所述推导端111移动路径的
状态之间切换。

[0092] 所述滑动块421被设置在所述第二承载位的边界或所述第一承载位的边界，优选地，所述滑动块421被设置在所述第二承载位的边界，且在所述接收晶舟900被放置在所述
第二承载位时，所述滑动块421被所述接收晶舟900挤开，而朝向所述承载座30的边缘滑动，
相应地，所述弹性件423被压缩而使所述滑动块421压紧所述接收晶舟900。与此同时，所述
止移挡41在所述连杆422的带动下，也相应地移离所述推导端111移动路径，进而允许所述
分导臂11分导所述承载晶舟800中的所述晶圆700。

[0093] 可以理解的是，由于只有当所述接收晶舟900被对应地放置在所述第二承载位时，所述止移挡41才会移离所述推导端111移动路径。而在所述第二承载位没有放置所述接收
晶舟900时，由于所述分导臂11的所述推导端111被所述止移挡41阻挡而无法伸入所述第一
存放空间8001，故而，所述防呆机构40能够有效地防止用户在忘记放置所述承载晶舟800的
情况下操作所述分导臂11。这样一来，就能够防止在没有所述承载晶舟800的情况下，操作
所述分导臂11所导致的晶圆700从所述承载晶舟800掉落。

[0094] 优选地，所述防呆机构40包括两所述止移挡41和两所述带移组件42，每个所述止移挡41以能够被所述带移组件42带动而能够在移离所述推导端111移动路径的状态和回复
至所述推导端111移动路径的状态之间切换的方式设置于所述承载座30。且移离所述推导
端111移动路径后的两个所述止移挡41分别保持在所述分导臂11的两侧，且移离所述推导
端111移动路径后的两个所述止移挡41之间的间距被设置允许所述分导臂11穿过。移离所
述推导端111移动路径后，两个所述止移挡41之间的间距被设置允许所述整体分导件21穿
过。

[0095] 这样一来，只有当所述承载晶舟800和所述接收晶舟900同时分别承载在所述第一承载位和所述第二承载位时，所述分导臂11和/或所述整体分导件21才能够被允许操作。这
样可以有效地避免在所述第一承载位没有承载所述承载晶舟800和/或所述第二承载位没
有承载所述接收晶舟900的情况下，操作人员误操作，进而保护所述晶圆700。

[0096] 所述承载座30上形成至少一滑动通槽301，所述滑动块421可滑动地设置于所述滑动通槽301，以使所述滑动块421能够沿着所述滑动通槽301的延伸方向滑动。也就是说，所
述滑动通槽301的延伸方向被设置与所述滑动块421的滑动方向一致，并且所述滑动通槽
301被设置贯穿所述承载座30的顶部和底部。所述带移组件42被设置于所述承载座30的底
部，以防止所述带移组件42的联动造成对所述承载晶舟800和/或所述接收晶舟900干涉。

[0097] 所述防呆机构40还包括至少一限位构件43，其中所述限位构件43被设置于所述承载座30的所述第一承载位的边缘和/或所述第二承载位的边缘。所述限位构件43与所述带
移组件42的所述滑动块421一起在所述第一承载位和/或所述第二承载位形成大小可调的
卡口，以当所述承载晶舟800和/或所述接收晶舟900被放置在对应的所述第一车载位和/或
所述第二承载位时，能够将所述承载晶舟800和/或所述接收晶舟900卡在对应的位置。这样
一来，能够使所述承载晶舟800上的所述第一放置槽803和所述接收晶舟900上与所述第一
放置槽803同一高度的所述第二放置槽903在所述晶圆700滑动的方向上对准，这样一来，能
够保证所述晶圆700在从所述承载晶舟800滑向所述接收晶舟900的过程中，不会因为所述
第二放置槽903与所述第一放置槽803没有对准而受阻而压坏。

[0098] 换句话说，在本实施例中，设置所述防呆机构40能够有助于所述第一放置槽803和所述第二放置槽903的对准。

[0099] 所述限位构件43包括一固定块431，其中所述固定块431被固定在所述第一承载位的边缘和/或所述第二承载位的边缘。

[0100] 参考图9、10和图11，优选地，所述限位构件43包括一活动块431A、一弹簧432和一滑杆433，其中所述活动块431A被设置于所述第一承载位的边缘和/或所述第二承载位的边
缘，其中所述滑杆433被设置于所述承载座30，其中所述弹簧432被压缩地保持在所述活动
块431A和所述承载座30上的挡块之间，以能够使所述活动块431A在回复到所述第一承载位
的边缘和/或所述第二承载位的边缘的状态和远离所述第一承载位的边缘和/或所述第二
承载位的边缘的位置转换，其中在所述活动块431A远离所述第一承载位的边缘和/或所述
第二承载位的边缘的位置时，所述承载晶舟800或所述接收晶舟900被夹紧。

[0101] 优选地，所述限位构件43和所述滑动块421环绕在所述第一承载位边缘和/或所述第二承载位的边缘，以使所述承载晶舟800和所述接收晶舟900能够被所述限位构件43和所
述滑动块421导向与所述分导臂11相对应的位置。也就是说，所述防呆机构40也被定义为一
导准机构。

[0102] 优选地，所述防呆机构40设置两个所述限位构件43，其中一个所述限位构件43被设置于与一个所述滑动块421相对的位置，以与所述滑动块421形成一个大小可调的所述卡
口，而另一个所述限位构件43被设置于与另一个所述滑动块421相对的位置，以与另一个所
述滑动块421形成另一个大小可调的所述卡口。

[0103] 当所述承载晶舟800和所述接收晶舟900都放置在所述第一承载位和所述第二承载位时，两个所述滑动块421分别被所述承载晶舟800和所述接收晶舟900挤压，而朝向所述
承载座30的边缘移动，一方面，所述止移挡41将被所述带移组件42带动而移离所述推导端
111移动路径，为所述分导臂11的让出滑动的空间；另外一方面，所述承载晶舟800和所述接
收晶舟900将都被卡在对应的所述第一承载位和所述第二承载位，进而保证所述第二放置
槽903与所述第一放置槽803对准。

[0104] 根据本发明的另一个方面，本发明还提供一种晶圆分导设备的工作方法，所述晶圆分导设备的工作方法包括：

[0105] 在所述承载座30上形成一第一承载位，用以承载装有待分导晶圆的所述承载晶舟800；

[0106] 承载于所述第一承载位的所述承载晶舟800通过一带移组件42带动所述止移挡41移动，以避让出用于分导承载于所述承载晶舟800的所述分导臂11移动的空间，其中所述止
移挡41被设置沿多个所述分导臂11排列的方向延伸，所述止移挡41以能够被所述带移组件
42带动而能够在移离所述推导端111移动路径的状态和回复至所述推导端111移动路径的
状态之间切换的方式设置于所述承载座30，其中每个所述分导臂11与所述承载晶舟800的
所述第一放置槽803的所述晶圆700相对应；

[0107] 推动所述分导臂11，进而分导出与被推动的所述分导臂11相对应且位于所述承载晶舟800的所述第一放置槽803的所述晶圆700。

[0108] 根据本发明的又一个方面，借助所述防呆机构40能够使所述接收晶舟900和所述承载晶舟800在所述承载座30上与所述分导组件10的所述分导臂11移动路径对准。具体地，
当所述接收晶舟900和所述承载晶舟800同时分别放置在所述第一承载位和所述第二承载
位时，所述带移组件42的所述滑动块421和所述限位构件43能够将所述承载晶舟800和所述
接收晶舟900导向与所述分导臂11移动路径对准的位置。

[0109] 这样一来，在一个优选实施例中，所述分导臂11在滑动的过程时，所述分导臂11滑动的路径始终可以保持在位于承载于所述承载晶舟800中的所述晶圆700的直径所在直线
上。这样一来，位于所述承载晶舟800中的所述晶圆700不会因为受力不均而受损。

[0110] 本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的优势已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在
实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。