一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统

摘要

本发明公开了一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其包括可并排放置若干半导体的测试台和测试台上方设置的用于测试半导体绝缘性的测试装置，测试装置包括位于测试台上方并排设置的若干蓄电池、位于若干蓄电池下方设置的若干电压表、与蓄电池和电压表分别通过导线电性连接的若干测试针。本发明通过设置的测试台和测试装置，利用若干测试口定位放置若干半导体，并利用测试轴同步带动每个测试口上方的四个测试针触压半导体，然后通过蓄电池为每个测试口处两外侧的测试针通入电流，再通过电压表测得中间两个测试针的电压，即可根据电阻率公式算得其绝缘性，其批量测试效率高，具有实用价值。

权利要求

1.一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：包括可并排放置若干半导体的测试台(100)和测试台(100)上方设置的用于测试半导体绝缘性的测试装置(200)，所述测试装置(200)包括位于测试台(100)上方并排设置的若干蓄电池(210)、位于若干蓄电池(210)下方设置的若干电压表(220)、与蓄电池(210)和电压表(220)分别通过导线电性连接的若干组测试针(230)以及用于驱动若干组测试针(230)在上翻状态和下翻状态之间切换的测试轴(240)和正反转电机(250)，所述测试针(230)呈柱形折弯结构且其一端粘接有转套(231)，所述转套(231)的中轴线方向与测试针(230)的粘接段中轴线方向垂直，所述转套(231)与测试轴(240)紧密套接配合，每组测试针为四个，测试台(100)的顶面且位于每组测试针(230)下方开设有测试口(101)，测试口(101)可定位放置半导体，所述测试台(100)顶面上安装有常开开关(211)，每个所述蓄电池(210)的负极与其正下方且位于最左侧的测试针(230)之间电性连接有输电导线(270)，所述常开开关(211)与若干蓄电池(210)的正极以及蓄电池(210)正下方位于最右侧的测试针(230)之间通过输电导线(270)电性连接，按压常开开关(211)可接通每个蓄电池(210)与其正极连接的测试针(230)，从而接通蓄电池(210)所在电路，每个所述电压表(220)的正负端与其正下方的一组测试针中的中间两个测试针(230)分别通过输电导线(270)连接，利用测试轴(240)同步带动每个测试口(101)上方的四个测试针(230)触压半导体，然后通过蓄电池(210)为每个测试口(101)处左右两侧的测试针(230)通入电流，再通过电压表(220)测得中间两个测试针(230)之间的电压值，通过所述电压值确定所述半导体的绝缘性。

2.根据权利要求1所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述测试轴(240)的一端与正反转电机(250)同轴连接，所述测试台(100)的顶面后方设置有与测试轴(240)两端插接的撑轴块(105)。

3.根据权利要求1所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述测试台(100)的顶面后方垂直设有固定板(104)，所述固定板(104)的前侧面通过螺栓固定连接有若干测试盒(260)，所述蓄电池(210)和电压表(220)置于测试盒(260)内。

4.根据权利要求3所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述测试盒(260)的前端面开口且卡接有盒盖(261)，所述盒盖(261)的下半段开设有观察口(2611)，所述测试盒(260)的底面后方开设有若干线孔(262)。

5.根据权利要求1所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述测试台(100)的前端中部开设有呈长方形空腔结构的出料槽(102)，所述出料槽(102)与若干所述测试口(101)在竖向上相连通，所述出料槽(102)内且位于每个测试口(101)的左右两侧均设置有用于将测试口(101)内半导体向外输送的拨料带(300)，所述拨料带(300)的循环移动方向与出料槽(102)的宽度方向呈垂直。

6.根据权利要求5所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述拨料带(300)的前后端内套设有套带环(310)，所述出料槽(102)的底面开设有向下贯穿的插孔(103)，所述套带环(310)的中心孔内紧密插接有销钉且销钉与插孔(103)插接并可旋转，其中拨料带(300)后端的套带环(310)下方同轴连接伺服电机(320)。

7.根据权利要求6所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述测试台(100)的底面且位于每对拨料带(300)之间悬置有收集盒(400)，所述收集盒(400)的前端延伸设有呈向上倾斜的引料台(401)，所述收集盒(400)和引料台(401)的长度均大于测试口(101)的长度，收集盒(400)和引料台(401)的宽度均大于测试口(101)的宽度，所述收集盒(400)的内腔中设置有用于支托半导体的托料板(420)和压簧(430)。

8.根据权利要求3所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述测试台(100)的后方中部水平延伸设有储备台(110)，所述固定板(104)的后端面且位于储备台(110)的两侧均设置有储备盒(500)，所述储备盒(500)呈长方体空腔结构且其顶面开设有便于手指捏着半导体放入到储备盒(500)中的指压口(503)，所述储备盒(500)的顶部前后端贯穿开设有置料口(502)，前端的置料口(502)便于拿取储备盒(500)顶部内的半导体，后端的置料口(502)便于转入半导体到储备盒(500)内。

9.根据权利要求8所述的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，其特征在于：所述储备盒(500)的内腔中设置有支托半导体的顶料板(510)和弹簧(520)，所述储备盒(500)的前端两侧边缘处设有套台(501)，所述储备台(110)的前端左右两侧设有与套台(501)套接的插柱(111)。

说明书

一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体器件专用设备制造技术领域，具体为一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统。

背景技术

[0002] 液晶半导体即液晶材料和半导体材料的结合。半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到广泛应用。半导体材料的电阻率是其一
个重要特性，关乎到其绝缘特性。直流四探针法是用于半导体材料电阻率测量的主要方法。
它是通过四个探针同时接触半导体表面，向最外侧两个探针通入电流，测得中间两个探针
间的电压，根据电阻率公式即可算得数值。现有测试大多通过测试员手动拿取探针接触单
个半导体进行测量，其测试效率慢，且准备半导体堆码和拿取不保险不快速，不利于大批量
的抽样测试。

发明内容

[0003] 本发明的目的在于提供一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

[0004] 为实现上述目的，本发明提供一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，包括可并排放置若干半导体的测试台和测试台上方设置的用于测试半导体绝缘性的测
试装置，所述测试装置包括位于测试台上方并排设置的若干蓄电池、位于若干蓄电池下方
设置的若干电压表、与蓄电池和电压表分别通过导线电性连接的若干测试针以及用于驱动
若干测试针在上翻状态和下翻状态之间切换的测试轴和正反转电机，所述测试台顶面上安
装有常开开关，每个所述蓄电池的负极与其正下方且位于最左侧的测试针之间电性连接有
输电导线，所述常开开关与若干蓄电池的正极以及蓄电池正下方位于最右侧的测试针通过
输电导线并联连接，每个所述电压表的正负端与其正下方的中间两个测试针分别通过输电
导线连接。

[0005] 作为本技术方案的进一步改进，所述测试台的顶面且位于每组若干测试针下方开设有测试口，所述测试针呈柱形折弯结构且其一端粘接有转套，所述转套的中轴线方向与
测试针的粘接段中轴线方向呈垂直，所述转套与测试轴紧密套接配合。

[0006] 作为本技术方案的进一步改进，所述测试轴的一端与正反转电机同轴连接，所述测试台的顶面后方设置有与测试轴两端插接的撑轴块。

[0007] 作为本技术方案的进一步改进，所述测试台的顶面后方垂直设有固定板，所述固定板的前侧面通过螺栓固定连接有若干测试盒，所述蓄电池和电压表置于测试盒内。

[0008] 作为本技术方案的进一步改进，所述测试盒的前端面开口且卡接有盒盖，所述盒盖的下半段开设有观察口，所述测试盒的底面后方开设有若干线孔。

[0009] 作为本技术方案的进一步改进，所述测试台的前端中部开设有呈长方形空腔结构的出料槽，所述出料槽与若干所述测试口在竖向上相连通，所述出料槽内且位于每个测试
口的左右两侧均设置有用于将测试口内半导体向外输送的拨料带，所述拨料带的循环移动
方向与出料槽的宽度方向呈垂直。

[0010] 作为本技术方案的进一步改进，所述拨料带的前后端内套设有套带环，所述出料槽的底面开设有向下贯穿的插孔，所述套带环的中心孔内紧密插接有销钉且销钉与插孔插
接并可旋转，其中拨料带后端的套带环下方同轴连接伺服电机。

[0011] 作为本技术方案的进一步改进，所述测试台的底面且位于每对拨料带之间悬置有收集盒，所述收集盒的前端延伸设有呈向上倾斜的引料台，所述收集盒和引料台的长宽均
大于测试口的长宽，所述收集盒的内腔中设置有用于支托半导体的托料板和压簧。

[0012] 作为本技术方案的进一步改进，所述测试台的后方中部水平延伸设有储备台，所述固定板的后端面且位于储备台的两侧均设置有储备盒，所述储备盒呈长方体空腔结构且
其顶面开设有指压口，所述储备盒的顶部前后端贯穿开设有置料口。

[0013] 作为本技术方案的进一步改进，所述储备盒的内腔中设置有支托半导体的顶料板和弹簧，所述储备盒的前端两侧边缘处设有套台，所述储备台的前端左右两侧设有与套台
套接的插柱。

[0014] 与现有技术相比，本发明的有益效果：

[0015] 1、该用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统中，通过设置的测试台和测试装置，利用若干测试口定位放置若干半导体，并利用测试轴同步带动每个测试口上方的
四个测试针触压半导体，然后通过蓄电池为每个测试口处两外侧的测试针通入电流，再通
过电压表测得中间两个测试针的电压，即可根据电阻率公式算得，从而快速判断处半导体
的绝缘性，其批量测试效率高，具有实用价值。

[0016] 2、该用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统中，通过再测试台内设置的拨料带，启动伺服电机驱动测试口两侧的一对拨料带循环运动，而带动半导体滑出测试台，
进而落入收集盒内，消除测试员堆码半导体的工序，增加半导体收纳的安全性。

[0017] 3、该用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统中，通过在测试台前端下方设置的若干收集盒，利用倾斜的引料台引导从出料槽前端口滑出的半导体，顺利滑落入收
集盒内，并利用收集盒的内腔中设置的用于支托半导体的托料板和压簧，使得半导体缓慢
滑落入收集盒内，避免发生振荡而损坏。

附图说明

[0018] 图1为实施例1的整体装配结构示意图之一；

[0019] 图2为实施例1的整体装配结构示意图之二；

[0020] 图3为实施例1的测试装置装配结构示意图；

[0021] 图4为实施例1的测试台结构示意图；

[0022] 图5为实施例1的测试台内部装配图；

[0023] 图6为实施例1的测试台局部剖视图；

[0024] 图7为实施例1的测试装置局部拆分图；

[0025] 图8为实施例1的测试针结构示意图；

[0026] 图9为实施例1的拨料带装配结构示意图；

[0027] 图10为实施例1的收集盒拆分图；

[0028] 图11为实施例1的测试台背面装配结构示意图；

[0029] 图12为实施例1的测试台背面结构示意图；

[0030] 图13为实施例1的储备盒装配结构示意图；

[0031] 图14为实施例1的储备盒长拆分图。

[0032] 图中各个标号意义为：

[0033] 100、测试台；101、测试口；102、出料槽；103、插孔；104、固定板；105、撑轴块；

[0034] 110、储备台；111、插柱；

[0035] 200、测试装置；210、蓄电池；211、常开开关；220、电压表；230、测试针；231、转套；240、测试轴；250、正反转电机；

[0036] 260、测试盒；261、盒盖；2611、观察口；262、线孔；270、输电导线；

[0037] 300、拨料带；310、套带环；320、伺服电机；

[0038] 400、收集盒；401、引料台；402、插条；420、托料板；430、压簧；440、卡条；

[0039] 500、储备盒；501、套台；502、置料口；503、指压口；504、指槽；

[0040] 510、顶料板；520、弹簧。

具体实施方式

[0041] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例，都属于本发明保护的范围。

[0042] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心轴”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简
化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和
操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，在本发明的描述中，“若干”的含义是两个或
两个以上，除非另有明确具体的限定。

[0043] 实施例1

[0044] 请参阅图1‑图14所示，本发明提供一种用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统，包括可并排放置若干半导体的测试台100和测试台100上方设置的用于测试半导体
绝缘性的测试装置200，即通过测试台整齐摆放若干半导体，以对其同步进行绝缘性测试，
提高测试效率。测试装置200包括位于测试台100上方并排设置的若干蓄电池210、位于若干
蓄电池210下方设置的若干电压表220、与蓄电池210和电压表220分别通过导线电性连接的
若干测试针230以及用于驱动若干测试针230在上翻状态和下翻状态之间切换的测试轴240
和正反转电机250，主要利用直流四探针法测量半导体的电阻率，其测试原理是:用四根金
属探针按间距S排成一条直线，并以一定压力压在半导体材料上时，在最外侧的两根探针间
通过电流I，则在中间两个探针间产生电位差V，根据公式 可计算出材料的电阻
率，从而电阻率高则可判断出半导体绝缘性能好。测试装置200通过蓄电池210为正反转电
机250提供电力，而驱动测试轴240带动若干测试针230上下翻转，进而与测试台100上摆放
的若干半导体接触释放电流和通过电压表测量电压。测试台100顶面上安装有常开开关
211，常开开关211的触点为断开状态，需工作人员按压使得触点接通电路。测试针230为导
电金属材质制成，且外侧包套有硅胶套，用于绝缘防止工作人员触电。每个蓄电池210的负
极与其正下方且位于最左侧的测试针230之间电性连接有输电导线270，即常开开关211不
接通时，此测试针230没有电流，避免触电发生。常开开关211与若干蓄电池210的正极以及
蓄电池210正下方位于最右侧的测试针230通过输电导线270并联连接，每个电压表220的正
负端与其正下方的中间两个测试针230分别通过输电导线270连接。即按压常开开关211即
可接通每个蓄电池210与其正极连接的测试针230，当蓄电池210正负极两端连接的测试针
230同步触压半导体后，即可形成完整电路，使得电流在半导体中流通，经过位于中间的两
个测试针230时，形成电压值，被电压表220检测出来，即可读取。

[0045] 具体的，测试台100的顶面且位于每组若干测试针230下方开设有测试口101，用于放入半导体进行定位而让若干测试针230同步被测试针230触压。测试针230呈柱形折弯结
构且其一端粘接有转套231，转套231和测试轴240均为塑料材质，避免各测试针230上的电
流相通，而影响测试的准确性。转套231的中轴线方向与测试针230的粘接段中轴线方向呈
垂直，转套231与测试轴240紧密套接配合，测试轴240的轴向与测试台100的长度方向相同。
测试轴240的一端与正反转电机250同轴连接，测试台100的顶面后方设置有与测试轴240两
端插接的撑轴块105，从而支撑着测试轴240稳定旋转和正反转电机250稳定工作。

[0046] 进一步的，测试台100的顶面后方垂直设有固定板104，固定板104的前侧面通过螺栓固定连接有若干测试盒260，蓄电池210和电压表220置于测试盒260内，测试盒260的中层
设有隔板，起到隔开效果。测试盒260的前端面开口且卡接有盒盖261，起到密封效果。盒盖
261的下半段开设有观察口2611，用于透过观察口2611而观察电压表220测试数值。测试盒
260的底面后方开设有若干线孔262，且线孔262贯穿测试盒260中层的隔板，以便蓄电池210
正负极连接的输电导线270穿过，而与测试针230连接。

[0047] 除此之外，测试台100的前端中部开设有呈长方形空腔结构的出料槽102，出料槽102与若干测试口101在竖向上相连通，以便放入测试口101内的半导体能从出料槽102被移
出进而被集中收集。出料槽102内且位于每个测试口101的左右两侧均设置有用于将测试口
101内半导体向外输送的拨料带300，拨料带300的循环移动方向与出料槽102的宽度方向呈
垂直，从而利用拨料带300循环移动夹着半导体从出料槽102前端口移出，其自动取料，节省
了时间。

[0048] 具体的，拨料带300的前后端内套设有套带环310，出料槽102的底面开设有向下贯穿的插孔103，套带环310的中心孔内紧密插接有销钉且销钉与插孔103插接并可旋转，使得
拨料带300绷紧输送半导体。其中拨料带300后端的套带环310下方同轴连接伺服电机320，
伺服电机320与测试台100底面通过螺栓固定连接，从而稳定驱动套带环310旋转，利用其与
拨料带300的摩擦力而带动拨料带300循环运动。

[0049] 进一步的，测试台100的底面且位于每对拨料带300之间悬置有收集盒400，收集盒400的顶端两侧设有插条横截面呈方形的402，插条402的外侧卡接有横截面呈L型的卡条
440，卡条440竖直段顶部与测试台100底面通过螺栓固定连接，从而收集盒400能快速的在
两个相对的卡条440之间抽拉，便于集中收集测试后的半导体。收集盒400的前端延伸设有
呈向上倾斜的引料台401，收集盒400和引料台401的长宽均大于测试口101的长宽，引料台
401用于引导从出料槽102前端口滑出的半导体，顺利滑落入收集盒400内。收集盒400的内
腔中设置有用于支托半导体的托料板420和压簧430，压簧430粘接于托料板420的底面中
心，从而利用压簧430的弹力顶着托料板420支托着收集盒400内的若干半导体，使得半导体
缓慢滑落入收集盒400内，避免发生振荡而损坏。

[0050] 除此之外，测试台100的后方中部水平延伸设有储备台110，固定板104的后端面且位于储备台110的两侧均设置有储备盒500，储备台110用于放置加工成型的液晶半导体，而
后装入储备盒500内，并放置在固定板104后，且露出固定板104顶部，以便测试员拿取半导
体进行摆放，再同步测试其绝缘性。储备盒500呈长方体空腔结构且其顶面开设有指压口
503，其便于工作人员手指捏着半导体放入到储备盒500中。储备盒500的顶部前后端贯穿开
设有置料口502，其前端的置料口502便于测试员拿取储备盒500顶部内的半导体，其后端的
置料口502便于储备台110旁的工作人员转入半导体到储备盒500内。

[0051] 具体的，储备盒500的内腔中设置有支托半导体的顶料板510和弹簧520，弹簧520的顶部与顶料板510的底面中心粘接，通过顶料板510顶着半导体若干至储备盒500顶端口，
以便拿取。储备盒500的前端两侧边缘处设有套台501，储备台110的前端左右两侧设有与套
台501套接的插柱111，套台501的顶面中心贯穿开设有与插柱111插接的通孔，使得储备盒
500放置稳定。储备盒500的前端面竖向中线上开设有指槽504，指槽504贯穿储备盒500顶
端，利于测试员手指从指槽504卡入储备盒500内而拿取半导体进行测试。

[0052] 本发明的用于液晶半导体绝缘性测试的绝缘特性测试系统在使用时，工作人员先将若干液晶半导体材料放入储备盒500内，然后测试员从中拿取半导体并放入测试口101
内，再启动正反转电机250正转而驱动测试轴240带动若干测试针230旋转，直至测试针230
头触压到半导体后停止，此时再按下常开开关211使其闭合而接通蓄电池210所在电路，使
得电流经过每个半导体上最外侧的两个测试针230而流过半导体，从而经过位于中间的两
个测试针230时，形成电压值，被电压表220检测出来，测试员通过读取电压值而确定半导体
的绝缘性，其操作便捷，再启动若干伺服电机320驱动若干测试口101两侧的拨料带300循环
运动，而夹着半导体滑出出料槽102内，进而落入收集盒400中被集中收集，其对半导体的拿
取、测试和收纳有序的进行，具有实用价值。

[0053] 以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明
的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种
变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所
附的权利要求书及其等效物界定。