一种晶圆检测设备

摘要

本发明提供了一种晶圆检测设备，包括相机，用于拍摄晶圆的光学图像；镜筒，连接于相机；镜组，设于镜筒内且用于在相机与晶圆之间形成图像传输光路；明场照明组件，连接于镜筒并用于在镜筒内部形成照射到晶圆上的明场照明光路；暗场照明组件，用于在镜筒外部形成照射到晶圆上的暗场照明光路；切换组件，设于镜筒内且切换组件能够移动至图像传输光路上以使相机能够拍摄明场照明组件照明时晶圆的光学图像，以及切换组件能够远离图像传输光路以使相机能够拍摄暗场照明组件照明时晶圆的光学图像。本申请提供的晶圆检测设备在只需使用一个镜筒就能够同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测，且结构简单、工作效率高。

权利要求

1.一种晶圆检测设备，用于对晶圆进行缺陷检测，其特征在于，所述晶圆检测设备包括：

相机，用于拍摄所述晶圆的光学图像；

镜筒，连接于所述相机；

镜组，设于所述镜筒内且用于在所述相机与所述晶圆之间形成图像传输光路；

明场照明组件，连接于所述镜筒并用于在所述镜筒内部形成照射到所述晶圆上的明场照明光路；

暗场照明组件，用于在所述镜筒外部形成照射到所述晶圆上的暗场照明光路；

切换组件，设于所述镜筒内且所述切换组件能够移动至所述图像传输光路上以使所述相机能够拍摄所述明场照明组件照明时所述晶圆的光学图像，以及，所述切换组件能够远离所述图像传输光路以使所述相机能够拍摄所述暗场照明组件照明时所述晶圆的光学图像；

所述镜筒内沿远离所述相机的方向依次设有第一容置空间、第二容置空间以及第三容置空间，所述镜组包括设于所述第一容置空间的筒镜以及设于所述第三容置空间的物镜，所述晶圆检测设备还包括连接于所述镜筒的切换室，所述切换室具有连通于所述第二容置空间的切换空间，所述切换组件安装于所述切换室中且能够移动至所述切换空间和所述第二容置空间；

所述明场照明组件具有用于供明场照明光路通过的明场照明空间，所述第二容置空间连通于所述明场照明空间且位于所述明场照明光路的出射方向，所述切换组件包括用于引导光路方向的分光元件，当所述切换组件置于所述第二容置空间时所述分光元件能够将所述明场照明光路引导至所述第三容置空间并出射至晶圆上；

所述晶圆检测设备还包括安装于所述切换室上的驱动组件，所述驱动组件连接于所述切换组件并用于驱动所述切换组件移动，所述切换组件包括第一安装座，所述第一安装座的中部开设有第一通孔，所述第一通孔的两侧壁上分别对称开设有第二通孔，所述第二通孔与所述明场照明光路的出射方向相对设置，所述分光元件设于所述第一通孔内。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换组件还包括设于所述第一安装座下方的第二安装座、活动设于所述第二安装座上的第一透镜、设于所述第一透镜底部的第三安装座、设于所述第三安装座内的第二透镜、以及设于所述第三安装座底部的底座，所述第三安装座的两侧分别设有一交叉滚子导轨，所述交叉滚子导轨用于所述第三安装座在所述底座上进行水平移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换组件还包括设于所述第一安装座上方的第四安装座、设于所述第四安装内的滤光片、以及设于所述第四安装座顶部的压板，所述分光元件、所述第一透镜、所述第二透镜以及所述滤光片同轴设置。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换组件还包括壳体以及调节面板，所述壳体罩设于所述第一安装座、所述第二安装座、所述第三安装座以及所述第四安装座的外围，所述壳体的两侧分别设有一转轴，每一所述转轴均与所述第一安装座的侧壁连接，所述调节面板上活动设有若干调节杆，所述调节杆与所述第一安装座的侧壁接触，所述调节杆和所述转轴用于调节所述分光元件的角度。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述驱动组件包括第一驱动电机、连接杆以及滑轨，所述第一驱动电机固设于所述切换室的外侧，所述连接杆的一端与所述第一驱动电机连接，另一端与所述调节面板连接，所述滑轨设于所述切换室的底部，所述壳体的两侧分别与所述滑轨连接，所述第一驱动电机用于通过所述连接杆驱动所述壳体在所述滑轨上进行水平移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述切换室的一侧壁上依次间隔设置有第一限位传感器、零点传感器以及第二限位传感器，所述壳体的一侧设有触发片，所述触发片用于在所述第一限位传感器与所述第二限位传感器之间进行移动，所述第一限位传感器、所述零点传感器以及所述第二限位传感器均与所述第一驱动电机电性连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述驱动组件包括第二驱动电机以及第三驱动电机，所述切换组件包括第一切换单元以及第二切换单元，所述第一切换单元与所述第二切换单元活动连接，所述第一切换单元包括所述分光元件，所述第二驱动电机与所述第一切换单元连接，所述第三驱动电机与所述第二切换单元连接，所述第二驱动电机用于驱动所述第一切换单元进行水平移动，所述第三驱动电机用于驱动所述第二切换单元进行水平移动。

说明书

一种晶圆检测设备

技术领域

[0001] 本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种晶圆检测设备。

背景技术

[0002] 晶圆是指制作硅半导体电路所用的晶片，其原始材料通常是硅。其制作工艺为，将高纯度的多晶硅溶解后，掺入硅晶体中，然后再慢慢拉出，以形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，以形成硅晶圆片，也就是晶圆。在晶圆制作的过程中，拉单晶、切片、磨片、抛光、增层、光刻、掺杂、热处理以及划片等一系列处理过程均可能使晶圆的表面产生缺陷。因此，为了防止存在缺陷的晶圆流入封装工序，需要借助晶圆检测设备来识别出晶圆表面的缺陷并分类、标记，以辅助晶圆分拣。

[0003] 其中，现有技术为了更全面的对晶圆进行检测，大部分都需要通过晶圆检测设备在明场环境下对晶圆进行检测，同时也需要在暗场环境下对晶圆进行检测，然而，现有的晶圆检测设备大部分都需要设置多个镜头组，然后通过不同的镜头组来分别对晶圆进行明场环境以及暗场环境的检测，使得检测过程复杂、同时检测成本较高，不利于晶圆的大规模生产。

发明内容

[0004] 基于此，本发明的目的是提供一种晶圆检测设备，以解决现有技术的晶圆检测设备大部分都需要设置多个镜头组，然后通过不同的镜头组来分别对晶圆进行明场环境以及暗场环境的检测，导致检测过程复杂、同时检测成本较高的问题。

[0005] 本发明实施例一方面提出了一种晶圆检测设备，用于对晶圆进行缺陷检测，所述晶圆检测设备包括：

[0006] 相机，用于拍摄所述晶圆的光学图像；

[0007] 镜筒，连接于所述相机；

[0008] 镜组，设于所述镜筒内且用于在所述相机与所述晶圆之间形成图像传输光路；

[0009] 明场照明组件，连接于所述镜筒并用于在所述镜筒内部形成照射到所述晶圆上的明场照明光路；

[0010] 暗场照明组件，用于在所述镜筒外部形成照射到所述晶圆上的暗场照明光路；

[0011] 切换组件，设于所述镜筒内且所述切换组件能够移动至所述图像传输光路上以使所述相机能够拍摄所述明场照明组件照明时所述晶圆的光学图像，以及，所述切换组件能够远离所述图像传输光路以使所述相机能够拍摄所述暗场照明组件照明时所述晶圆的光学图像。

[0012] 本发明的有益效果是：通过将相机连接在镜筒上，与此同时，在该镜筒的内部设置镜组以及切换组件，进一步的，还设置有暗场照明组件以及与上述镜筒连接的明场照明组件。在实际的检测过程中，当切换组件移动至图像传输光路上时，此时启用明场照明组件，并且该明场照明组件发射出的明场照明光路能够照射到晶圆上，从而能够使相机拍摄到晶圆处于明场照明环境下的光学图像，对应的，当切换组件远离上述图像传输光路时，此时启用暗场照明组件，并且该暗场照明组件发射出的暗场照明光路能够直接照射到晶圆上，从而能够使相机拍摄到晶圆处于暗场照明环境下的光学图像。本申请提供的晶圆检测设备在只需使用一个镜筒的前提下，就能够同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测，大幅简化了该晶圆检测设备的结构，另外，在分别对晶圆进行明场环境检测以及暗场环境检测的过程中，晶圆可以处于同一个检测工位上，从而对晶圆的移动需求较小，大幅简化了对晶圆的检测程序。

[0013] 优选的，所述镜筒内沿远离所述相机的方向依次设有第一容置空间、第二容置空间以及第三容置空间，所述镜组包括设于所述第一容置空间的筒镜以及设于所述第三容置空间的物镜，所述晶圆检测设备还包括连接于所述镜筒的切换室，所述切换室具有连通于所述第二容置空间的切换空间，所述切换组件安装于所述切换室中且能够移动至所述切换空间和所述第二容置空间。

[0014] 优选的，所述明场照明组件具有用于供明场照明光路通过的明场照明空间，所述第二容置空间连通于所述明场照明空间且位于所述明场照明光路的出射方向，所述切换组件包括用于引导光路方向的分光元件，当所述切换组件置于所述第二容置空间时所述分光元件能够将所述明场照明光路引导至所述第三容置空间并出射至晶圆上。

[0015] 优选的，所述晶圆检测设备还包括安装于所述切换室上的驱动组件，所述驱动组件连接于所述切换组件并用于驱动所述切换组件移动，所述切换组件包括第一安装座，所述第一安装座的中部开设有第一通孔，所述第一通孔的两侧壁上分别对称开设有第二通孔，所述第二通孔与所述明场照明光路的出射方向相对设置，所述分光元件设于所述第一通孔内。

[0016] 优选的，所述切换组件还包括设于所述第一安装座下方的第二安装座、活动设于所述第二安装座上的第一透镜、设于所述第一透镜底部的第三安装座、设于所述第三安装座内的第二透镜、以及设于所述第三安装座底部的底座，所述第三安装座的两侧分别设有一交叉滚子导轨，所述交叉滚子导轨用于所述第三安装座在所述底座上进行水平移动。

[0017] 优选的，所述切换组件还包括设于所述第一安装座上方的第四安装座、设于所述第四安装内的滤光片、以及设于所述第四安装座顶部的压板，所述分光元件、所述第一透镜、所述第二透镜以及所述滤光片同轴设置。

[0018] 优选的，所述切换组件还包括壳体以及调节面板，所述壳体罩设于所述第一安装座、所述第二安装座、所述第三安装座以及所述第四安装座的外围，所述壳体的两侧分别设有一转轴，每一所述转轴均与所述第一安装座的侧壁连接，所述调节面板上活动设有若干调节杆，所述调节杆与所述第一安装座的侧壁接触，所述调节杆和所述转轴用于调节所述分光元件的角度。

[0019] 优选的，所述驱动组件包括第一驱动电机、连接杆以及滑轨，所述第一驱动电机固设于所述切换室的外侧，所述连接杆的一端与所述第一驱动电机连接，另一端与所述调节面板连接，所述滑轨设于所述切换室的底部，所述壳体的两侧分别与所述滑轨连接，所述第一驱动电机用于通过所述连接杆驱动所述壳体在所述滑轨上进行水平移动。

[0020] 优选的，所述切换室的一侧壁上依次间隔设置有第一限位传感器、零点传感器以及第二限位传感器，所述触发片用于在所述第一限位传感器与所述第二限位传感器之间进行移动，所述壳体的一侧设有触发片，所述第一限位传感器、所述零点传感器以及所述第二限位传感器均与所述第一驱动电机电性连接。

[0021] 优选的，所述驱动组件包括第二驱动电机以及第三驱动电机，所述切换组件包括第一切换单元以及第二切换单元，所述第一切换单元与所述第二切换单元活动连接，所述第一切换单元包括所述分光元件，所述第二驱动电机与所述第一切换单元连接，所述第三驱动电机与所述第二切换单元连接，所述第二驱动电机用于驱动所述所述第一切换单元进行水平移动，所述第三驱动电机用于驱动所述第二切换单元进行水平移动。

[0022] 本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

[0023] 图1为本发明第一实施例提供的晶圆检测设备的结构示意图；

[0024] 图2为本发明第一实施例提供的晶圆检测设备的剖视图；

[0025] 图3为本发明第一实施例提供的晶圆检测设备中的切换组件与驱动组件的安装示意图；

[0026] 图4为本发明第一实施例提供的晶圆检测设备中的切换组件与驱动组件的安装剖视图；

[0027] 图5为本发明第一实施例提供的晶圆检测设备在明场检测环境下的光路示意图；

[0028] 图6为本发明第一实施例提供的晶圆检测设备在暗场检测环境下的光路示意图；

[0029] 图7为本发明第二实施例提供的晶圆检测设备的结构示意图。

[0030] 如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

[0031] 为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的若干实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。

[0032] 需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

[0033] 除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

[0034] 现有技术为了更全面的对晶圆进行检测，大部分都需要通过晶圆检测设备在明场环境下对晶圆进行检测，同时也需要在暗场环境下对晶圆进行检测，然而，现有的晶圆检测设备大部分都需要设置多个镜头组，然后通过不同的镜头组来分别对晶圆进行明场环境以及暗场环境的检测，使得检测过程复杂、同时检测成本较高，不利于晶圆的大规模生产。

[0035] 请参阅图1至图7，所示为本发明第一实施例提供的晶圆检测设备，本实施例提供的晶圆检测设备在只需使用一个镜筒的前提下，就能够同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测，大幅简化了该晶圆检测设备的结构，另外，在分别对晶圆进行明场环境检测以及暗场环境检测的过程中，晶圆可以处于同一个检测工位上，从而对晶圆的移动需求较小，大幅简化了对晶圆的检测程序。

[0036] 具体的，本实施例提供的晶圆检测设备用于对晶圆进行缺陷检测，具体的，该晶圆检测设备包括：

[0037] 相机10，用于拍摄所述晶圆的光学图像；

[0038] 镜筒20，连接于相机10；

[0039] 镜组30，设于镜筒20内且用于在相机10与晶圆之间形成图像传输光路；

[0040] 明场照明组件40，连接于镜筒20并用于在镜筒20内部形成照射到所述晶圆上的明场照明光路；

[0041] 暗场照明组件，用于在镜筒20外部形成照射到所述晶圆上的暗场照明光路；

[0042] 切换组件50，设于镜筒20内且切换组件50能够移动至所述图像传输光路上以使相机10能够拍摄所述明场照明组件照明时所述晶圆的光学图像，以及，切换组件50能够远离所述图像传输光路以使相机10能够拍摄所述暗场照明组件照明时所述晶圆的光学图像。

[0043] 其中，如图1至图2所示，需要说明的是，本实施例提供的晶圆检测设备的主体结构为一个镜筒20，该镜筒20设置为内部是空心的中空结构，进一步的，为了便于拍摄晶圆的光学图像，在该镜筒20的一个端口处固定安装有相机10，其中，相机10的镜头设置在镜筒20的端口处。另外，在本实施例中，为了便于光路的传输，在镜筒20的内部设置有镜组30，实施时，该镜组30用于形成图像传输光路，用于将从晶圆上反射出的光线传输至相机10的镜头处，以使相机清晰的拍摄晶圆的光学图像。

[0044] 另外，在本实施例中，如图2所示，为了能够使该晶圆检测设备在使用一个镜筒20的前提下，同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测，本实施例提供的晶圆检测设备还包括明场照明组件40、暗场照明组件以及用于切换明场检测环境和暗场检测环境的切换组件50，实施时，切换组件50设置在镜筒20的内部，并且能够靠近和远离镜筒20内部的图像传输光路。

[0045] 具体的，在本实施例中，如图2所示，需要指出的是，在镜筒20内沿远离相机10的方向依次设有第一容置空间21、第二容置空间22以及第三容置空间23，进一步的，镜组30包括设于第一容置空间21的筒镜31以及设于第三容置空间23的物镜32，对应的，如图2所示，该晶圆检测设备还包括连接于镜筒20的切换室60，该切换室60具有连通于第二容置空间22的切换空间61，切换组件50安装于切换室60中且能够移动至切换空间61和第二容置空间22。

[0046] 其中，需要说明的是，镜筒20内部的图像传输光路成型于上述第一容置空间21、第二容置空间22以及第三容置空间23内，其中，第一容置空间21用于安装筒镜31，并且与切换室60的顶部连通，第三容置空间23用于安装物镜32，并且与切换室60的底部连通，第二容置空间22用于活动存放切换组件50，即切换组件50活动安装在第二容置空间22的内部，又因为切换室60具有与第二容置空间22连通的切换空间61，从而能够进一步使切换组件50移动至切换空间61内，进而能够最终使切换组件50在切换空间61与第二容置空间22两者之间进行往复平移运动。

[0047] 进一步的，在本实施例中，如图3至图5所示，需要说明的是，为了能够满足对晶圆的明场环境检测，本实施例提供的明场照明组件40具有用于供明场照明光路通过的明场照明空间41，对应的，第二容置空间22连通于明场照明空间41且位于上述明场照明光路的出射方向，从而能够使第二容置空间22接收到明场照明组件40从明场照明空间41发射出的光线。进一步的，切换组件50包括用于引导光路方向的分光元件51，优选的，在本实施例中，分光元件51设置为PBS棱镜，在实际的工作过程中，该分光元件51能够接收到明场照明组件40从明场照明空间41发射出的光线，并将明场照明组件40发射出的光线折射至第三容置空间23内，即折射至第三容置空间23内的物镜32上，再通过物镜32透射至晶圆上。因此，在本实施例中，当切换组件50置于第二容置空间22时分光元件51能够将上述明场照明光路引导至第三容置空间23并出射至晶圆上，该明场照明光路再从晶圆上反射至第三容置空间23内，并依次穿过物镜32、分光元件51以及筒镜31，最终到达相机10的镜头处，以使相机10拍摄晶圆的光学图像，以有效的完成晶圆在明场环境下的检测。

[0048] 其中，在本实施例中，如图3所示，还需要指出的是，为了便于切换组件50在切换室60与第二容置空间22两者之间进行往复移动，本实施例提供的晶圆检测设备还包括安装于切换室60上的驱动组件70，实施时，驱动组件70连接于切换组件50并用于驱动切换组件50移动。具体的，如图4所示，在本实施例中，切换组件50包括第一安装座52，在第一安装座52的中部开设有第一通孔，在第一通孔的两侧壁上分别对称开设有第二通孔，并且该第二通孔与上述明场照明光路的出射方向相对设置，安装时，分光元件51设于上述第一通孔内，并且分光元件51相对上述第二通孔倾斜设置，从而能够使分光元件51接收从上述第二通孔入射的明场照明光路，并将该明场照明光路反射至第三容置空间23内，并到达晶圆上。

[0049] 另外，在本实施例中，如图4所示，还需要指出的是，为了进一步提升该晶圆检测设备对晶圆的检测精度，本实施例提供的切换组件50还包括设于第一安装座52下方的第二安装座53、活动设于第二安装座53上的第一透镜54、设于第一透镜54底部的第三安装座55、设于第三安装座55内的第二透镜56、以及设于第三安装座55底部的底座57，在第三安装座55的两侧分别设有一交叉滚子导轨80，交叉滚子导轨80用于第三安装座55在底座57上进行水平移动，以调整第二透镜56的水平位置。

[0050] 其中，需要说明的是，在本实施例中，优选的，上述第一透镜54设置为HWP（半波片），上述第二透镜56设置为WST透镜，具体的，第二安装座53固定安装在第一安装座52的底部，且第二安装座53与第一安装座52的中部相互连通，优选的，在本实施例中，第二安装座53设置为旋转座，第一透镜54安装在该旋转座上，该旋转座能够带动第一透镜54进行转动，以调节第一透镜54的角度。另外，在本实施例中，第一透镜54的底部低压在第三安装座55的顶部，对应的，将第二透镜56安装在第三安装座55上，且第三安装座55与第二安装座53相互连通，与此同时，通过在第三安装座55的两侧分别设有一交叉滚子导轨80，交叉滚子导轨80用于第三安装座55在底座57上进行水平移动，以调整第二透镜56的水平位置。在本实施例中，可以理解的是，本实施例提供的晶圆检测设备在进行晶圆的检测之前，可通过上述第二安装座53调节第一透镜54的角度，与此同时，可通过第三安装座55调节第二透镜56的水平位置，以最终使经过分光元件51、第一透镜54以及第二透镜56的光线汇聚于同一光路上，提升晶圆的检测精度。

[0051] 进一步的，在本实施例中，如图3所示，还需要指出的是，本实施例提供的切换组件50还包括设于第一安装座52上方的第四安装座58、设于第四安装58内的滤光片59、以及设于第四安装座58顶部的压板，实施时，分光元件51、第一透镜54、第二透镜56以及滤光片59同轴设置，从而能够使光路顺利的通过。

[0052] 另外，在本实施例中，需要说明的是，为了便于对分光元件51安装角度的调节，如图3所示，本实施例提供的切换组件50还包括壳体90以及调节面板100，安装时，壳体90罩设于第一安装座52、第二安装座53、第三安装座55以及第四安装座58的外围，在壳体90的两侧分别设有一转轴110，每一转轴110均与第一安装座52的侧壁连接，在调节面板100上活动设有若干调节杆101，调节杆101与第一安装座52的侧壁接触，调节杆101和转轴110用于调节分光元件51的角度。使用时，可通过调节杆101挤压第一安装座52的侧壁，以使第一安装座52能够通过其两侧的转轴110相对于壳体90进行转动，第一安装座52转动的同时带动安装在其内部的分光元件51进行转动，从而能够有效的调整分光元件51的角度。

[0053] 另外，在本实施例中，如图3所示，为了便于切换组件50在切换空间61与第二容置空间22两者之间进行往复运动，本实施例提供的驱动组件70包括第一驱动电机71、连接杆72以及滑轨73，安装时，第一驱动电机71固设于切换室60的外侧，连接杆72的一端与第一驱动电机71连接，另一端与调节面板100连接，滑轨73设于切换室60的底部，壳体90的两侧分别与滑轨73连接，第一驱动电机71用于通过连接杆72驱动壳体90在滑轨73上进行水平移动，从而能够驱动切换组件进行水平移动。

[0054] 在此基础之上，如图3所示，为了能够有效的自动控制切换组件50的移动距离，在切换室60的一侧壁上依次间隔设置有第一限位传感器62、零点传感器63以及第二限位传感器64，壳体90的一侧设有触发片91，使用时，触发片91用于在第一限位传感器62与第二限位传感器64之间进行移动，且第一限位传感器62、零点传感器63以及第二限位传感器64均与第一驱动电机71的控制器电性连接在一起。

[0055] 其中，需要说明的是，本实施例会将上述第一限位传感器62、零点传感器63以及第二限位传感器64分别与第一驱动电机71的控制器电性连接在一起，另外，本实施例还会预先在第一驱动电机71的控制器内设置好切换组件50的移动行程。例如第一限位传感器62与第二限位传感器64之间的距离设置为100厘米，设置切换组件50的移动行程为90厘米，当触发片91由第一限位传感器62的一端朝向第二限位传感器64的一端移动时，触发片91会经过位于中心的零点传感器63，当触发片91经过零点传感器63时，此时零点传感器63会给第一驱动电机71的控制器发送触发信号，以使第一驱动电机71只继续驱动切换组件50移动45厘米就立即停止，从而能够有效的控制切换组件50的移动行程，使切换组件50位于设定好的位置上。

[0056] 使用时，通过将相机10连接在镜筒20上，与此同时，在该镜筒20的内部设置镜组30以及切换组件50，进一步的，还设置有暗场照明组件以及与上述镜筒20连接的明场照明组件40。在实际的检测过程中，当切换组件50移动至图像传输光路上时，此时启用明场照明组件40，并且该明场照明组件40发射出的明场照明光路能够照射到晶圆上，从而能够使相机10拍摄到晶圆处于明场照明环境下的光学图像，对应的，当切换组件50远离上述图像传输光路时，此时启用暗场照明组件，并且该暗场照明组件发射出的暗场照明光路能够直接照射到晶圆上，从而能够使相机10拍摄到晶圆处于暗场照明环境下的光学图像。本申请提供的晶圆检测设备在只需使用一个镜筒20的前提下，就能够同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测，大幅简化了该晶圆检测设备的结构，另外，在分别对晶圆进行明场环境检测以及暗场环境检测的过程中，晶圆可以处于同一个检测工位上，从而对晶圆的移动需求较小，大幅简化了对晶圆的检测程序。

[0057] 需要说明的是，上述的实施过程只是为了说明本申请的可实施性，但这并不代表本申请的晶圆检测设备只有上述唯一一种实施流程，相反的，只要能够将本申请的晶圆检测设备实施起来，都可以被纳入本申请的可行实施方案。

[0058] 本发明第二实施例也提供了一种晶圆检测设备，本实施例提供的晶圆检测设备与上述第一实施例提供的晶圆检测设备的不同之处在于：

[0059] 本实施例提供的驱动组件70包括第二驱动电机74以及第三驱动电机75，对应的，切换组件50包括第一切换单元（图未示，可参考第一实施例）以及第二切换单元（图未示，可参考第一实施例），安装时，第一切换单元与第二切换单元活动连接，第一切换单元包括分光元件51，第二驱动电机74与第一切换单元连接，第三驱动电机75与第二切换单元连接，第二驱动电机74用于驱动第一切换单元进行水平移动，第三驱动电机75用于驱动第二切换单元进行水平移动。

[0060] 其中，如图7所示，需要说明的是，本实施例通过设置两个驱动电机，即上述第二驱动电机74和第三驱动电机75，对应的，将切换组件50拆分为第一切换单元以及第二切换单元。具体的，本实施例通过第二驱动电机74驱动第一切换单元移动，通过第三驱动电机75驱动第二切换单元移动，从而能够使第一切换单元与第二切换单元进行相对移动，提升了对切换组件50的控制效率。

[0061] 综上所述，本发明上述实施例当中的晶圆检测设备在只需使用一个镜筒20的前提下，就能够同时满足对晶圆的明场环境检测以及暗场环境检测，大幅简化了该晶圆检测设备的结构，另外，在分别对晶圆进行明场环境检测以及暗场环境检测的过程中，晶圆可以处于同一个检测工位上，从而对晶圆的移动需求较小，大幅简化了对晶圆的检测程序。

[0062] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

[0063] 以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。