一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜

摘要

本发明提供一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜。该多接口安全型半导体设备配套用电气柜，包括电气柜主体和两排电缆进出线接头，两排所述电缆进出线接头均固定连接于电气柜主体顶部，每排所述电缆进出线接头一侧均设置有横板，所述横板顶部设置有一排弹性套。该多接口安全型半导体设备配套用电气柜，松开角度可以随意调整的弹性套后，收缩的橡皮筋会拉动弹性套，使弹性套移动将与电缆进出线接头插接的接线限位，避免多个电缆进出线接头插接的多个接线在电气柜主体顶部相互缠绕，保证工作人员快速的理出需要操作的电缆进出线接头插接的接线，提高工作人员操作电缆进出线接头的效率，保证电气柜主体的整体实用性。

权利要求

1.一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，包括电气柜主体（1）和两排电缆进出线接头（3），其特征在于：两排所述电缆进出线接头（3）均固定连接于电气柜主体（1）顶部，每排所述电缆进出线接头（3）一侧均设置有横板（4），所述横板（4）顶部设置有一排弹性套（5），所述弹性套（5）与电气柜主体（1）之间设置有橡皮筋（7），所述电气柜主体（1）顶部一侧设置有盖板（10），所述盖板（10）底部固定连接有两个弹性橡胶板（20），两个所述弹性橡胶板（20）分别设置于两排电缆进出线接头（3）顶部，所述电气柜主体（1）一侧固定连接有收纳管（17）；

所述电气柜主体（1）底部固定连接有底座（2），一排所述电缆进出线接头（3）由多个电缆进出线接头（3）组成，一排所述弹性套（5）由多个弹性套（5）组成，多个所述弹性套（5）与多个电缆进出线接头（3）一一对应；

所述横板（4）固定连接于电气柜主体（1）顶部，所述横板（4）顶部开设有多个圆槽（6），多个所述橡皮筋（7）分别贯穿多个圆槽（6）后与电气柜主体（1）固定连接；

所述橡皮筋（7）一端固定连接有圆板（8），所述圆板（8）顶部转动连接有软板（9），所述软板（9）固定连接于弹性套（5）底部；

所述电气柜主体（1）顶部开设有两个导向槽（13），两个所述导向槽（13）内部均设置有限位球（12），所述限位球（12）顶部固定连接有细杆（11），所述细杆（11）一端与盖板（10）固定连接；

所述收纳管（17）一侧开设有两个竖直限位槽（19），两个所述竖直限位槽（19）分别设置于两个限位球（12）底部，所述竖直限位槽（19）与限位球（12）相适配，所述收纳管（17）一侧开设有两个侧槽（18），两个所述侧槽（18）分别设置于两个弹性橡胶板（20）底部；

所述盖板（10）一侧固定连接有螺纹杆（14），所述螺纹杆（14）一侧设置有竖板（15），所述竖板（15）固定连接于电气柜主体（1）顶部远离盖板（10）的一侧，所述竖板（15）一侧开设有圆形槽（16），所述螺纹杆（14）外侧套设有螺帽。

2.根据权利要求1所述的一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，其特征在于：电气柜内部设置有换热风扇，换热风扇为调频风扇，调频风扇的转速可调；电气柜内还设置有音频采集麦克风和控制器，音频采集麦克风采集电气柜内的声音；音频采集麦克风采集的声音包括电气柜内电设备的励磁噪声、风扇转动的噪声、柜体共振噪声和线路摩擦的噪声；

音频采集麦克风连接控制器，音频采集麦克风将采集的音频数据发送至控制器；控制器对音频数据进行处理后根据处理结果调节调频风扇的转速。

3.根据权利要求2所述的一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，其特征在于：所述控制器还采集电气柜内设备的损耗功率，具体为电气柜内设置有电流检测器，电流检测器检测电气柜内所有线路的电流，得到n路线路中每一路的电流I1…In；同时每一路

2 2 2

的线路内阻是已知的，则可知电气柜内的设备的损耗功率P= I1·R1+ I2·R2+I3·R3+…+ 2

In·Rn；其中R1…Rn为线路的内阻。

4.根据权利要求3所述的一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，其特征在于：所述控制器对音频采集麦克风采集的音频数据处理的具体方式为：

控制器首先将音频数据进行分割，即将音频数据分割为长度为1‑5s的音频片段；

然后将分割后的音频片段进行变换，得到频域的音频频谱；

将得到的音频频谱进行频段分割，扣除线路内自身工作电信号的工作频率以及该工作电信号的工作频率的2‑4倍频的频率，从而扣除励磁噪声的影响；进一步从音频频谱中扣除风扇转速对应的频率以及风扇自身的共振频率范围，从而去除风扇转动的影响；

将处理后的音频频谱进行音频能量计算，得到音频片段的能量A0；预先在控制器内存储有线路摩擦噪声的特征频率范围，将处理后的音频频谱在线路摩擦噪声特征频率范围内的强度进行计算得到线路摩擦噪声能量A1；

处理器计算风扇转速的方法为：风扇转速：

R=k1·P+k2·EXP(k3·A1)‑k4·EXP[k5·(A0‑A1)]；

其中k1、k2、k3、k4、k5为经验系数。

说明书

一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜

技术领域

[0001] 本发明涉及一种电气柜，具体为一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，属于半导体技术领域。

背景技术

[0002] 电力半导体设备，是导电性介于良导电体与绝缘体之间特性的电力设备，能够对电力进行产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换的作用，使用作用丰富的电源柜对电力半导体设备进行展开，能够实现如便于分片配置电源、控制故障范围、快速找出故障点并及时加以排除、便于分片安排线路检修等优点，因此对电源柜进行优化和改进也是半导体设备生产者竞争力提升的一大核心方向；

[0003] 例如申请号为：201920813595.0的发明公开了一种电源控制柜，包括：柜体、柜门、安装板以及电气组件；所述柜体与柜门围成一中空腔体；所述安装板竖直设于中空腔体内，并将中空腔体前后分隔成第一柜体腔和第二柜体腔；所述第一柜体腔包括上下设置的第三柜体腔和第四柜体腔；所述电气组件分布于第一柜体腔和第二柜体腔内；所述柜门包括分别与第二柜体腔、第三柜体腔和第四柜体腔对应的第二柜门，第三柜门和第四柜门。本发明的电源控制柜空间分布合理，散热效果更好，同时移动方便。

[0004] 例如申请号为：202110653096.1的发明公开了一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；所述柜体上设置有柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接，并至少用于闭合或断开所述总进线断路器，所述第一门锁还分别经总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与总进线断路器、第二门锁机械连锁。本发明电源柜内部的功能模块布局合理，实现了对柜体内部线缆的隐藏式布局，使得内部结构更加整齐，便于后期维护和维修；

[0005] 上述两种电源柜都通过设置有多接口提高电源柜的实用性，但是多接口集中在一起，很容易出现接线相互缠绕的情况，导致使用者不能够快速地理出需要操作的接线，导致工作人员的工作效率降低，影响电源柜整体的实用性。

发明内容

[0006] 本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，以解决现有技术中多接口集中在一起，很容易出现接线相互缠绕的情况，导致使用者不能够快速地理出需要操作的接线，导致工作人员的工作效率降低，影响电源柜整体的实用性的问题。

[0007] 为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

[0008] 一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，包括电气柜主体和两排电缆进出线接头，两排所述电缆进出线接头均固定连接于电气柜主体顶部，每排所述电缆进出线接头一侧均设置有横板，所述横板顶部设置有一排弹性套，所述弹性套与电气柜主体之间设置有橡皮筋，所述电气柜主体顶部一侧设置有盖板，所述盖板底部固定连接有两个弹性橡胶板，两个所述弹性橡胶板分别设置于两排电缆进出线接头顶部，所述电气柜主体一侧固定连接有收纳管。

[0009] 优选的，所述电气柜主体底部固定连接有底座，一排所述电缆进出线接头由多个电缆进出线接头组成，一排所述弹性套由多个弹性套组成，多个所述弹性套与多个电缆进出线接头一一对应，在电缆进出线接头一侧设置有弹性套，通过弹性套对电缆进出线接头连接的接线限位，保证电缆进出线接头的实用性。

[0010] 优选的，所述横板固定连接于电气柜主体顶部，所述横板顶部开设有多个圆槽，多个所述橡皮筋分别贯穿多个圆槽后与电气柜主体固定连接，在弹性套与电气柜主体之间设置有橡皮筋，保证弹性套及时的复位，保证弹性套对电缆进出线接头连接的接线的限位作用。

[0011] 优选的，所述橡皮筋一端固定连接有圆板，所述圆板顶部转动连接有软板，所述软板固定连接于弹性套底部，在橡皮筋与弹性套之间设置有圆板和软板，保证弹性套操作的灵活，提高弹性套工作的效率。

[0012] 优选的，所述电气柜主体顶部开设有两个导向槽，两个所述导向槽内部均设置有限位球，所述限位球顶部固定连接有细杆，所述细杆一端与盖板固定连接，在盖板与电气柜主体之间设置有限位球，通过限位球限制盖板的移动，保证盖板工作的效率。

[0013] 优选的，所述收纳管一侧开设有两个竖直限位槽，两个所述竖直限位槽分别设置于两个限位球底部，所述竖直限位槽与限位球相适配，在限位球底部设置有竖直限位槽，保证盖板收起的效率，所述收纳管一侧开设有两个侧槽，两个所述侧槽分别设置于两个弹性橡胶板底部，在收纳管一侧开设有侧槽，通过侧槽与收纳管配合，保证盖板收纳到收纳管内部。

[0014] 优选的，所述盖板一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆一侧设置有竖板，所述竖板固定连接于电气柜主体顶部远离盖板的一侧，所述竖板一侧开设有圆形槽，所述螺纹杆外侧套设有螺帽，通过螺纹杆对盖板进行固定，保证盖板固定的牢固。

[0015] 电气柜内部设置有换热风扇，换热风扇为调频风扇，调频风扇的转速可调；电气柜内还设置有音频采集麦克风和控制器，音频采集麦克风采集电气柜内的声音；音频采集麦克风采集的声音包括电气柜内电设备的励磁噪声、风扇转动的噪声、柜体共振噪声和线路摩擦的噪声；

[0016] 音频采集麦克风连接控制器，音频采集麦克风将采集的音频数据发送至控制器；控制器对音频数据进行处理后根据处理结果调节调频风扇的转速。

[0017] 控制器还采集电气柜内设备的损耗功率，具体为电气柜内设置有电流检测器，电流检测器检测电气柜内所有线路的电流，得到n路线路中每一路的电流I1…In；同时每一路2 2 2
的线路内阻是已知的，则可知电气柜内的设备的损耗功率P＝I1·R1+I2·R2+I3·R3+…+
2
In·Rn；其中R1…Rn为线路的内阻。

[0018] 控制器对音频采集麦克风采集的音频数据处理的具体方式为：

[0019] 控制器首先将音频数据进行分割，即将音频数据分割为长度为1‑5s的音频片段；

[0020] 然后将分割后的音频片段进行变换，得到频域的音频频谱；

[0021] 将得到的音频频谱进行频段分割，扣除线路内自身工作电信号的工作频率以及该工作电信号的工作频率的2‑4倍频的频率，从而扣除励磁噪声的影响；进一步从音频频谱中扣除风扇转速对应的频率以及风扇自身的共振频率范围，从而去除风扇转动的影响；

[0022] 将处理后的音频频谱进行音频能量计算，得到音频片段的能量A0；预先在控制器内存储有线路摩擦噪声的特征频率范围，将处理后的音频频谱在线路摩擦噪声特征频率范围内的强度进行计算得到线路摩擦噪声能量A1；

[0023] 处理器计算风扇转速的方法为：风扇转速：

[0024] R＝k1·P+k2·EXP(k3·A1)‑k4·EXP[k5·(A0‑A1)]；

[0025] 其中k1、k2、k3、k4、k5为经验系数。

[0026] 本发明提供了一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜，其具备的有益效果如下：

[0027] 1、该多接口安全型半导体设备配套用电气柜，松开角度可以随意调整的弹性套后，收缩的橡皮筋会拉动弹性套，使弹性套移动将与电缆进出线接头插接的接线限位，避免多个电缆进出线接头插接的多个接线在电气柜主体顶部相互缠绕，保证工作人员快速的理出需要操作的电缆进出线接头插接的接线，提高工作人员操作电缆进出线接头的效率，保证电气柜主体的整体实用性。

[0028] 2、该多接口安全型半导体设备配套用电气柜，将盖板固定在电气柜主体顶部，此时盖板固定的两个弹性橡胶板设置在两排电缆进出线接头顶部，通过具有弹性的弹性橡胶板包裹电缆进出线接头，对电缆进出线接头进行保护，避免灰尘杂质落到电缆进出线接头内部，保证电缆进出线接头的使用寿命。

[0029] 3、电气柜内部的调频风扇的转速可调；电气柜内还设置音频采集麦克风和控制器，音频采集麦克风采集电气柜内的声音；音频采集麦克风连接控制器，音频采集麦克风将采集的音频数据发送至控制器；控制器对音频数据进行处理后根据处理结果和电气柜内的损耗功率调节调频风扇的转速。

附图说明

[0030] 图1为本发明的整体结构示意图；

[0031] 图2为本发明弹性套的结构示意图；

[0032] 图3为本发明横板的结构示意图；

[0033] 图4为本发明收纳管的结构示意图；

[0034] 图5为本发明盖板的结构示意图；

[0035] 图6为本发明另一个实施例的结构示意图。

[0036] 图7为本发明另一个实施例的结构示意图。

[0037] 图中：1、电气柜主体；2、底座；3、电缆进出线接头；4、横板；5、弹性套；6、圆槽；7、橡皮筋；8、圆板；9、软板；10、盖板；11、细杆；12、限位球；13、导向槽；14、螺纹杆；15、竖板；16、圆形槽；17、收纳管；18、侧槽；19、竖直限位槽；20、弹性橡胶板。

具体实施方式

[0038] 实施例1：

[0039] 请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实施例提供的一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜包括电气柜主体1和两排电缆进出线接头3，两排电缆进出线接头3均固定连接于电气柜主体1顶部，每排电缆进出线接头3一侧均设置有横板4，横板4固定连接于电气柜主体1顶部，横板4顶部开设有多个圆槽6，多个橡皮筋7分别贯穿多个圆槽6后与电气柜主体1固定连接，横板4顶部设置有一排弹性套5，电气柜主体1底部固定连接有底座2，一排电缆进出线接头3由多个电缆进出线接头3组成，一排弹性套5由多个弹性套5组成，多个弹性套5与多个电缆进出线接头3一一对应，弹性套5与电气柜主体1之间设置有橡皮筋7，橡皮筋7一端固定连接有圆板8，圆板8顶部转动连接有软板9，软板9固定连接于弹性套5底部，电气柜主体1顶部一侧设置有盖板10，盖板10底部固定连接有两个弹性橡胶板20，两个弹性橡胶板
20分别设置于两排电缆进出线接头3顶部，电气柜主体1一侧固定连接有收纳管17。

[0040] 具体的，在电气柜主体1顶部设置有多个电缆进出线接头3，当需要使用相应的电缆进出线接头3与接线连接时，拉动电缆进出线接头3一侧设置的弹性套5，将接线贯穿弹性套5后与电缆进出线接头3插接，随后松开弹性套5，并且弹性套5底部通过软板9转动连接有圆板8，而且在横板4开设的圆槽6内部设置有橡皮筋7，并且橡皮筋7与圆板8固定连接，因此松开角度可以随意调整的弹性套5后，收缩的橡皮筋7会拉动弹性套5，使弹性套5移动将与电缆进出线接头3插接的接线限位，避免多个电缆进出线接头3插接的多个接线在电气柜主体1顶部相互缠绕，保证工作人员快速的理出需要操作的电缆进出线接头3插接的接线，提高工作人员操作电缆进出线接头3的效率，保证电气柜主体1的整体实用性。

[0041] 请再次参阅图1、图4和图5，电气柜主体1顶部开设有两个导向槽13，两个导向槽13内部均设置有限位球12，限位球12顶部固定连接有细杆11，细杆11一端与盖板10固定连接，收纳管17一侧开设有两个竖直限位槽19，两个竖直限位槽19分别设置于两个限位球12底部，竖直限位槽19与限位球12相适配，收纳管17一侧开设有两个侧槽18，两个侧槽18分别设置于两个弹性橡胶板20底部，盖板10一侧固定连接有螺纹杆14，螺纹杆14一侧设置有竖板15，竖板15固定连接于电气柜主体1顶部远离盖板10的一侧，竖板15一侧开设有圆形槽16，螺纹杆14外侧套设有螺帽。

[0042] 具体的，当电气柜主体1顶部的电缆进出线接头3长期不使用时，将盖板10一侧固定的螺纹杆14外侧的螺帽旋转卸掉后，推动盖板10，使螺纹杆14插入竖板15开设的圆形槽16内部，再将螺帽旋转到螺纹杆14外侧，即可将盖板10固定在电气柜主体1顶部，此时盖板
10固定的两个弹性橡胶板20设置在两排电缆进出线接头3顶部，通过具有弹性的弹性橡胶板20包裹电缆进出线接头3，对电缆进出线接头3进行保护，避免灰尘杂质落到电缆进出线接头3内部，保证电缆进出线接头3的使用寿命；

[0043] 并且在电气柜主体1一侧固定连接有收纳管17，当不需要盖板10时，将盖板10拉动，使盖板10底部通过细杆11固定的限位球12移动，当限位球12离开电气柜主体1开设的导向槽13内部后，即可将盖板10插入收纳管17内部，并且收纳管17开设有侧槽18收纳弹性橡胶板20，并且收纳管17开设有竖直限位槽19收纳细杆11和限位球12，保证盖板10快速的收纳到收纳管17内部。

[0044] 实施例2：

[0045] 请参阅图6和图7，本实施例与实施例1的区别在于，本实施例中设置两排电缆进出线接头3均固定连接于电气柜主体1一侧，电缆进出线接头3倾斜向下设置，使得灰尘不易进入电气柜内部；

[0046] 每排电缆进出线接头3一侧均设置有横板4，横板4开设有多个圆槽6，多个橡皮筋7分别贯穿多个圆槽6后与电气柜主体1固定连接，横板4设置有一排弹性套5，电气柜主体1底部固定连接有底座2，一排电缆进出线接头3由多个电缆进出线接头3组成，一排弹性套5由多个弹性套5组成，多个弹性套5与多个电缆进出线接头3一一对应，弹性套5与电气柜主体1之间设置有橡皮筋7，橡皮筋7一端固定连接有圆板8，圆板8顶部转动连接有软板9，软板9固定连接于弹性套5底部。附图中的橡皮筋等部件未示出，其设置方式如附图3所示。

[0047] 实施例3：

[0048] 电气柜内部设置有换热风扇，换热风扇为调频风扇，调频风扇的转速可调；电气柜内还设置有音频采集麦克风和控制器，音频采集麦克风采集电气柜内的声音；音频采集麦克风采集的声音包括电气柜内电设备的励磁噪声、风扇转动的噪声、柜体共振噪声和线路摩擦的噪声；

[0049] 音频采集麦克风连接控制器，音频采集麦克风将采集的音频数据发送至控制器；控制器对音频数据进行处理后根据处理结果调节调频风扇的转速。

[0050] 控制器还采集电气柜内设备的损耗功率，具体为电气柜内设置有电流检测器，电流检测器检测电气柜内所有线路的电流，得到n路线路中每一路的电流I1…In；同时每一路2 2 2
的线路内阻是已知的，则可知电气柜内的设备的损耗功率P＝I1·R1+I2·R2+I3·R3+…+
2
In·Rn；其中R1…Rn为线路的内阻。

[0051] 控制器对音频采集麦克风采集的音频数据处理的具体方式为：

[0052] 控制器首先将音频数据进行分割，即将音频数据分割为长度为1‑5s的音频片段；

[0053] 然后将分割后的音频片段进行变换，得到频域的音频频谱；

[0054] 将得到的音频频谱进行频段分割，扣除线路内自身工作电信号的工作频率以及该工作电信号的工作频率的2‑4倍频的频率，从而扣除励磁噪声的影响；进一步从音频频谱中扣除风扇转速对应的频率以及风扇自身的共振频率范围，从而去除风扇转动的影响；

[0055] 将处理后的音频频谱进行音频能量计算，得到音频片段的能量A0；预先在控制器内存储有线路摩擦噪声的特征频率范围，将处理后的音频频谱在线路摩擦噪声特征频率范围内的强度进行计算得到线路摩擦噪声能量A1；

[0056] 处理器计算风扇转速的方法为：风扇转速：

[0057] R＝k1·P+k2·EXP(k3·A1)‑k4·EXP[k5·(A0‑A1)]；

[0058] 其中k1、k2、k3、k4、k5为经验系数。

[0059] 以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。