一种芯片基板清洁混合激光雕刻机

摘要

本发明公开了一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，包括主机机架，所述主机机架上设有移动吸附平台，所述移动吸附平台两侧分别设有前下侧混合激光组件和后下侧混合激光组件，所述前下侧混合激光组件和后下侧混合激光组件后侧分别设有前上侧混合激光组件和后上侧混合激光组件，所述主机机架底部设有电控箱。本发明可以两边四面同时进行雕刻清洁工作，效率高。直线电机与DDR马达配合吸附平台运动，定位精度高，速度快。混合激光组件基板残胶清洁效果好，本发明通过激光器功率检测，激光器每工作一段时间，可以由激光功率检测系统进行检测，监控激光器性能。

权利要求

1.一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，包括主机机架（1），其特征在于：所述主机机架（1）上设有移动吸附平台（2），所述移动吸附平台（2）两侧分别设有前下侧混合激光组件（5）和后下侧混合激光组件（6），所述前下侧混合激光组件（5）和后下侧混合激光组件（6）后侧分别设有前上侧混合激光组件（3）和后上侧混合激光组件（4），所述主机机架（1）底部设有电控箱（7）；

所述前上侧混合激光组件（3）和前下侧混合激光组件（5）与后上侧混合激光组件（4）和后下侧混合激光组件（6）沿着移动吸附平台（2）对称设置；

所述前上侧混合激光组件（3）和后上侧混合激光组件（4）结构相同，均包括安装箱，所述安装箱固定设于主机机架（1）上，所述安装箱上设有光纤激光器组件（10），所述安装箱设有CO2激光器组件（9），所述CO2激光器组件（9）设于光纤激光器组件（10）一侧，所述安装箱上设有自动调高组件（8），所述自动调高组件（8）底部设有吸尘口（12），所述吸尘口（12）顶部设有两个激光功率检测系统（13），所述吸尘口（12）前侧设有激光功率检测系统（13），所述安装箱上设有CCD视觉定位系统（11），所述CCD视觉定位系统（11）设于吸尘口（12）一侧；

所述前下侧混合激光组件（5）和后下侧混合激光组件（6）结构相同，均包括前下侧CO2激光器部件（14），所述前下侧CO2激光器部件（14）通过升降平台设置于主机机架（1）上，所述前下侧CO2激光器部件（14）设于移动吸附平台（2）前侧，所述前下侧CO2激光器部件（14）后侧设有前下侧光纤激光器部件（16）。

2.根据权利要求1所述一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，其特征在于：主机机架（1）上设有两个辅助组件，两个辅助组件分别设有移动吸附平台（2）两侧。

3.根据权利要求2所述一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，其特征在于：所述辅助组件包括扫刷吸尘部件（18）和吸尘切换部件（19），所述扫刷吸尘部件（18）设于吸尘切换部件（19）顶部。

4.根据权利要求1所述一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，其特征在于：所述移动吸附平台（2）包括直线电机（20），所述直线电机（20）设于主机机架（1）上，所述直线电机（20）设于前上侧混合激光组件（3）和前下侧混合激光组件（5）与后上侧混合激光组件（4）和后下侧混合激光组件（6）之间。

5.根据权利要求4所述一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，其特征在于：所述直线电机（20）顶部设有DDR马达（17），所述DDR马达（17）顶部设有吸附平台（15）。

说明书

一种芯片基板清洁混合激光雕刻机

技术领域

[0001] 本发明激光雕刻机技术领域，特别涉及一种芯片基板清洁混合激光雕刻机。

背景技术

[0002] 激光雕刻机能提高雕刻的效率，使被雕刻处的表面光滑、圆润，迅速地降低被雕刻的非金属材料的温度，减少被雕刻物的形变和内应力；根据激光光源的不同可以分为CO2非金属激光雕刻机和光纤金属雕刻机。CO2非金属激光雕刻机一般国内采用玻璃激光管较多，也有部分高端激光雕刻机采用CO2金属射频管。

[0003] 基板在生产过程中夹层粘接会有胶水溢出，会影响后面制作工艺，最终影响优质品的产出率。

[0004] 因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员有必要研发一种芯片基板清洁混合激光雕刻机。

发明内容

[0005] 本发明要解决的技术问题是提供一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，以解决基板在生产过程中夹层粘接会有胶水溢出，会影响后面制作工艺，最终影响优质品的产出率的问题。

[0006] 为了解决上述技术问题，本发明的技术方案为：

[0007] 一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，包括主机机架，所述主机机架上设有移动吸附平台，所述移动吸附平台两侧分别设有前下侧混合激光组件和后下侧混合激光组件，所述前下侧混合激光组件和后下侧混合激光组件后侧分别设有前上侧混合激光组件和后上侧混合激光组件，所述主机机架底部设有电控箱；

[0008] 所述前上侧混合激光组件和后上侧混合激光组件结构相同，均包括安装箱，所述安装箱固定设于主机机架上，所述安装箱上设有光纤激光器组件，所述安装箱设有CO2激光器组件，所述CO2激光器组件设于光纤激光器组件一侧，所述安装箱上设有自动调高组件，所述自动调高组件底部设有吸尘口，所述吸尘口顶部设有两个激光功率检测系统，所述吸尘口前侧设有激光功率检测系统，所述安装箱上设有CCD视觉定位系统，所述CCD视觉定位系统设于吸尘口一侧。

[0009] 优选的，所述前下侧混合激光组件和后下侧混合激光组件结构相同，均包括前下侧CO2激光器部件，所述前下侧CO2激光器部件通过升降平台设置于主机机架上，所述前下侧CO2激光器部件设于移动吸附平台前侧，所述前下侧CO2激光器部件后侧设有前下侧光纤激光器部件。

[0010] 优选的，主机机架上设有两个辅助组件，两个辅助组件分别设有移动吸附平台两侧。

[0011] 优选的，所述辅助组件包括扫刷吸尘部件和吸尘切换部件，所述扫刷吸尘部件设于吸尘切换部件顶部。

[0012] 优选的，所述前上侧混合激光组件和前下侧混合激光组件与后上侧混合激光组件和后下侧混合激光组件沿着移动吸附平台对称设置。

[0013] 优选的，所述移动吸附平台包括直线电机，所述直线电机设于主机机架上，所述直线电机设于前上侧混合激光组件和前下侧混合激光组件与后上侧混合激光组件和后下侧混合激光组件之间。

[0014] 优选的，所述直线电机顶部设有DDR马达，所述DDR马达顶部设有吸附平台。

[0015] 采用上述技术方案，具有以下有益效果：

[0016] 本发明可以两边四面同时进行雕刻清洁工作，效率高。直线电机与DDR马达配合吸附平台运动，定位精度高，速度快。混合激光组件基板残胶清洁效果好。

[0017] 本发明通过激光器功率检测，激光器每工作一段时间，可以由激光功率检测系统进行检测，监控激光器性能。

[0018] 本发明通过吸附平台四边清洁处理，设备运行周期内闲置时间，可以由清扫吸附部件对平台四周进行清洁。

[0019] 本发明具有自动对焦功能，对于不同厚度基板，由测高感应器对基板进行自动判定，自动调高组件自动调整上端混合激光组件CCD视觉定位系统和混合激光组件工作高度。

附图说明

[0020] 为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

[0021] 本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

[0022] 图1为本发明提供的整体结构示意图；

[0023] 图2为本发明提供的后上侧混合激光组件的结构示意图；

[0024] 图3为本发明提供的俯视图；

[0025] 图4为本发明提供的直线电机的立体图。

[0026] 图中：1、主机机架；2、移动吸附平台；3、前上侧混合激光组件；4、后上侧混合激光组件；5、前下侧混合激光组件；6、后下侧混合激光组件；7、电控箱；8、自动调高组件；9、CO2激光器组件；10、光纤激光器组件；11、CCD视觉定位系统；12、吸尘口；13、激光功率检测系统；14、前下侧CO2激光器部件；15、吸附平台；16、前下侧光纤激光器部件；17、DDR马达；18、扫刷吸尘部件；19、吸尘切换部件；20、直线电机。实施方式

[0027] 下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

[0028] 参见图1‑4所示，本发明的一种芯片基板清洁混合激光雕刻机，包括主机机架1，所述主机机架1上设有移动吸附平台2，所述移动吸附平台2两侧分别设有前下侧混合激光组件5和后下侧混合激光组件6，所述前下侧混合激光组件5和后下侧混合激光组件6后侧分别设有前上侧混合激光组件3和后上侧混合激光组件4，所述主机机架1底部设有电控箱7；前下侧混合激光组件5和后下侧混合激光组件6的结构相同且呈镜像分布；前上侧混合激光组件3和后上侧混合激光组件4的结构相同且呈镜像分布。

[0029] 由于前上侧混合激光组件3和后上侧混合激光组件4的结构相同，以前上侧混合激光组件3的结构进行阐述。所述前上侧混合激光组件3包括安装箱，所述安装箱固定设于主机机架1上，所述安装箱上设有光纤激光器组件10，所述安装箱设有CO2激光器组件9，所述CO2激光器组件9设于光纤激光器组件10一侧，所述安装箱上设有自动调高组件8，所述自动调高组件8底部设有吸尘口12，所述吸尘口12顶部设有两个激光功率检测系统13，所述吸尘口12前侧设有激光功率检测系统13，所述安装箱上设有CCD视觉定位系统11，所述CCD视觉定位系统11设于吸尘口12一侧。

[0030] 由于前下侧混合激光组件5和后下侧混合激光组件6的结构相同，以前下侧混合激光组件5的结构进行阐述。所述前下侧混合激光组件5包括前下侧CO2激光器部件14，所述前下侧CO2激光器部件14通过升降平台设置于主机机架1上，所述前下侧CO2激光器部件14设于移动吸附平台2前侧，所述前下侧CO2激光器部件14后侧设有前下侧光纤激光器部件16。

[0031] 优选的，主机机架1上设有两个辅助组件，两个辅助组件分别设有移动吸附平台2两侧。

[0032] 优选的，所述辅助组件包括扫刷吸尘部件18和吸尘切换部件19，所述扫刷吸尘部件18设于吸尘切换部件19顶部。

[0033] 优选的，所述前上侧混合激光组件3和前下侧混合激光组件5与后上侧混合激光组件4和后下侧混合激光组件6沿着移动吸附平台2对称设置。

[0034] 优选的，所述移动吸附平台2包括直线电机20，所述直线电机20设于主机机架1上，所述直线电机20设于前上侧混合激光组件3和前下侧混合激光组件5与后上侧混合激光组件4和后下侧混合激光组件6之间。

[0035] 优选的，所述直线电机20顶部设有DDR马达17，所述DDR马达17顶部设有吸附平台15。

[0036] 工作原理：基板由吸附平台15吸附，由直线电机20移动到后上侧混合激光组件4和CCD视觉定位系统11下，基板还处于前上侧混合激光组件3、前下侧混合激光组件5、后上侧混合激光组件4、后下侧混合激光组件6中，通过CCD视觉定位系统11、前上侧混合激光组件3、后上侧混合激光组件4、前下侧混合激光组件5和后下侧混合激光组件6共同做运算处理，对基板正面反面进板角度进行运算并校准到正确进板位置，直线电机20移动前下侧CO2激光器部件14和后下侧CO2激光器部件的位置，由前下侧CO2激光器部件14、后下侧CO2激光器部件和光纤激光器组件10对基板前后两边四面同时进行雕刻，同时吸尘口12进行除尘工作，雕刻完成后；移动到前下侧光纤激光器部件16和后下侧光纤激光器部件位置，进行二次清洁处理；经过CO2激光器和光纤激光器各四次覆盖单边长度雕刻处理后，回到CCD视觉定位系统11的位置，由DDR马达17旋转90°后，由CCD视觉定位系统11再次定位另外两边四面，循环上面步骤完成后面雕刻工序，雕刻全部完成后，吸附平台15移动到出板位置，完成一个工作循环。

[0037] 以上结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但本发明不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本发明原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本发明的保护范围内。