本发明提供了一种半导体加工机械用零件的校正装置，涉及零件校正装置技术领域，包括：底座、固定部、夹持部、校正部和驱动部；所述底座底端面对称焊接有两个支撑板，且两个支撑板均与地面接触。因法兰B上呈环形阵列状焊接有三根辅助杆，且三根辅助杆均为圆柱形杆状结构；辅助杆与法兰A插接相连，且辅助杆的头端经过打磨处理；经过打磨处理后辅助杆的头端为半球形结构，且辅助杆组成了法兰B和法兰A连接时的引导结构以及法兰B放置时的支撑结构，从而一方面，可提高法兰B连接时的便捷性了，另一方面，在放置时通过辅助杆的支撑可避免法兰B与地面接触沾染灰尘，解决了首先，现有装置安装时不够便捷，且在维修拆卸时法兰上容易沾染灰尘的问题。
1.一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于，包括：底座（1）、固定部（2）、夹持部（3）、校正部（5）和驱动部（6）；所述底座（1）底端面对称焊接有两个支撑板（101），且两个支撑板（101）均与地面接触；所述固定部（2）由调整座（201）、固定桩（202）和把手（203）组成，且调整座（201）共设有四个；所述夹持部（3）由夹持座（301）、滑动杆A（302）、夹持块（303）、弹性件A（304）、受力块（305）和挡座（306）组成，且夹持座（301）通过螺栓固定连接在底座（1）上，并且夹持座（301）上对称焊接有两根滑动杆A（302）；两根滑动杆A（302）上滑动连接有夹持块（303），且夹持块（303）和夹持座（301）之间夹持有三个毛坯件（4）；所述校正部（5）共设有三个，且校正部（5）由座体（501）、滑动杆B（502）、法兰A（503）、法兰B（504）、连接杆A（505）、辅助杆（506）、校正头（507）、滑动杆C（508）、防护座（509）和弹性件B（510）组成，并且座体（501）通过螺栓固定连接在底座（1）上；所述座体（501）上滑动连接有滑动杆B（502），且滑动杆B（502）的尾端焊接有法兰A（503）；法兰A（503）上通过螺栓固定连接有法兰B（504），且法兰B（504）上焊接有连接杆A（505），并且连接杆A（505）上固定连接有校正头（507）；法兰B（504）上呈环形阵列状焊接有三根辅助杆（506），且三根辅助杆（506）均为圆柱形杆状结构；辅助杆（506）与法兰A（503）插接相连，且辅助杆（506）的头端经过打磨处理；经过打磨处理后辅助杆（506）的头端为半球形结构，且辅助杆（506）组成了法兰B（504）和法兰A（503）连接时的引导结构以及法兰B（504）放置时的支撑结构；所述驱动部（6）由电动伸缩杆（601）、连接座（602）、连接杆B（603）和辅助板（604）组成，且电动伸缩杆（601）通过螺栓固定连接在底座（1）上。
2.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：所述底座（1）顶端面对称焊接有两块限位板（102），且两块限位板（102）均为矩形板状结构；
两块限位板（102）均与座体（501）接触，且两块限位板（102）顶端面均经过打磨处理；经过打磨处理后限位板（102）的顶端面为弧形结构，且两块限位板（102）共同组成了座体（501）的辅助固定结构以及座体（501）安装时的引导结构。
3.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：四个所述调整座（201）均螺纹连接在底座（1）上，且每个所述调整座（201）上均插接有固定桩（202），并且固定桩（202）与泥土插接相连；每个调整座（201）上均对称焊接有两个把手（203），且把手（203）和调整座（201）共同组成了底座（1）的水平支撑调整结构以及固定桩（202）的拆卸结构。
4.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：所述夹持座（301）上通过螺栓固定连接有挡座（306），且挡座（306）为Z状结构，并且挡座（306）与毛坯件（4）的尾端接触。
5.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：两根所述滑动杆A（302）均为阶梯轴状结构，且每根滑动杆A（302）上均套接有一个弹性件A（304），并且两个弹性件A（304）共同组成了夹持块（303）的弹性复位结构。
6.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：所述法兰B（504）上滑动连接有两根滑动杆C（508），且两根滑动杆C（508）的头端均与防护座（509）相连接；防护座（509）为圆柱形管状结构，且防护座（509）套接在校正头（507）上；
两根滑动杆C（508）上均套接有一个弹性件B（510），且弹性件B（510）组成了滑动杆C（508）和防护座（509）的弹性伸展结构。
7.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：所述防护座（509）和校正头（507）与毛坯件（4）位置对正，且当滑动杆B（502）向前运动5cm时防护座（509）与毛坯件（4）接触，并且当滑动杆B（502）继续向前运动2cm校正头（507）与毛坯件（4）呈插接状。
8.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：所述夹持块（303）上焊接有受力块（305），且受力块（305）经过斜角处理；
所述电动伸缩杆（601）头端固定连接有连接座（602），且连接座（602）上焊接有三根连接杆B（603）；三根连接杆B（603）的头端均与辅助板（604）焊接相连，且当滑动杆B（502）向前运动2cm时辅助板（604）与受力块（305）的斜面接触，并且当滑动杆B（502）继续向前运动时毛坯件（4）呈夹持状。
9.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于： 三根所述连接杆B（603）均为圆柱形杆状结构，且连接杆B（603）与滑动杆B（502）位置对正，并且连接杆B（603）位于滑动杆B（502）上方20cm处。
10.如权利要求1所述一种半导体加工机械用零件的校正装置，其特征在于：所述连接座（602）为L形板状结构，且当滑动杆B（502）向前运动10cm时连接座（602）与座体（501）接触，并且连接座（602）组成了滑动杆C（508）的防护结构。
一种半导体加工机械用零件的校正装置
技术领域
[0001] 本发明涉及零件校正装置技术领域，特别涉及一种半导体加工机械用零件的校正装置。
背景技术
[0002] 半导体加工机械由多个零件组成，在半导体机械零件加工过程中需要使用校正装置进行校正，否则影响装配效果。
[0003] 然而，就目前传统零件的校正装置而言，首先，现有装置安装时不够便捷，且在维修拆卸时法兰上容易沾染灰尘；其次，现有装置不能够实现校正头的磕碰防护，当尖锐硬物与校正头碰撞后容易导致校正头的损坏。
发明内容
[0004] 有鉴于此，本发明提供一种半导体加工机械用零件的校正装置，其具有辅助杆，通过辅助杆的设置，一方面，能够提高法兰A和法兰B的安装效率，另一方面，在放置时可防止法兰B上沾染灰尘；
[0005] 还具有防护座，通过防护座的设置，可实现校正头的磕碰防护，且在校正时能够自动实现防护座的收纳。
[0006] 本发明提供了一种半导体加工机械用零件的校正装置，具体包括：底座、固定部、夹持部、校正部和驱动部；所述底座底端面对称焊接有两个支撑板，且两个支撑板均与地面接触；所述固定部由调整座、固定桩和把手组成，且调整座共设有四个；所述夹持部由夹持座、滑动杆A、夹持块、弹性件A、受力块和挡座组成，且夹持座通过螺栓固定连接在底座上，并且夹持座上对称焊接有两根滑动杆A；两根滑动杆A上滑动连接有夹持块，且夹持块和夹持座之间夹持有三个毛坯件；所述校正部共设有三个，且校正部由座体、滑动杆B、法兰A、法兰B、连接杆A、辅助杆、校正头、滑动杆C、防护座和弹性件B组成，并且座体通过螺栓固定连接在底座上；所述座体上滑动连接有滑动杆B，且滑动杆B的尾端焊接有法兰A；法兰A上通过螺栓固定连接有法兰B，且法兰B上焊接有连接杆A，并且连接杆A上固定连接有校正头；法兰B上呈环形阵列状焊接有三根辅助杆，且三根辅助杆均为圆柱形杆状结构；辅助杆与法兰A插接相连，且辅助杆的头端经过打磨处理；经过打磨处理后辅助杆的头端为半球形结构，且辅助杆组成了法兰B和法兰A连接时的引导结构以及法兰B放置时的支撑结构；所述驱动部由电动伸缩杆、连接座、连接杆B和辅助板组成，且电动伸缩杆通过螺栓固定连接在底座上。
[0007] 可选地，所述底座顶端面对称焊接有两块限位板，且两块限位板均为矩形板状结构；
[0008] 两块限位板均与座体接触，且两块限位板顶端面均经过打磨处理；经过打磨处理后限位板的顶端面为弧形结构，且两块限位板共同组成了座体的辅助固定结构以及座体安装时的引导结构。
[0009] 可选地，四个所述调整座均螺纹连接在底座上，且每个所述调整座上均插接有固定桩，并且固定桩与泥土插接相连；每个调整座上均对称焊接有两个把手，且把手和调整座共同组成了底座的水平支撑调整结构以及固定桩的拆卸结构。
[0010] 可选地，所述夹持座上通过螺栓固定连接有挡座，且挡座为Z状结构，并且挡座与毛坯件的尾端接触。
[0011] 可选地，两根所述滑动杆A均为阶梯轴状结构，且每根滑动杆A上均套接有一个弹性件A，并且两个弹性件A共同组成了夹持块的弹性复位结构。
[0012] 可选地，所述法兰B上滑动连接有两根滑动杆C，且两根滑动杆C的头端均与防护座相连接；防护座为圆柱形管状结构，且防护座套接在校正头上；
[0013] 两根滑动杆C上均套接有一个弹性件B，且弹性件B组成了滑动杆C和防护座的弹性伸展结构。
[0014] 可选地，所述防护座和校正头与毛坯件位置对正，且当滑动杆B向前运动5cm时防护座与毛坯件接触，并且当滑动杆B继续向前运动2cm校正头与毛坯件呈插接状。
[0015] 可选地，所述夹持块上焊接有受力块，且受力块经过斜角处理；
[0016] 所述电动伸缩杆头端固定连接有连接座，且连接座上焊接有三根连接杆B；三根连接杆B的头端均与辅助板焊接相连，且当滑动杆B向前运动2cm时辅助板与受力块的斜面接触，并且当滑动杆B继续向前运动时毛坯件呈夹持状。
[0017] 可选地， 三根所述连接杆B均为圆柱形杆状结构，且连接杆B与滑动杆B位置对正，并且连接杆B位于滑动杆B上方20cm处。
[0018] 可选地，所述连接座为L形板状结构，且当滑动杆B向前运动10cm时连接座与座体接触，并且连接座组成了滑动杆C的防护结构。
[0019] 有益效果
[0020] 通过固定部的设置，因四个调整座均螺纹连接在调整座上，且每个调整座上均插接有固定桩，并且固定桩与泥土插接相连；每个调整座上均对称焊接有两个把手，且把手和调整座共同组成了底座的水平支撑调整结构以及固定桩的拆卸结构，从而在转动调整座的时候一方面，能够实现底座的水平支撑调整，另一方面，在转动调整座的时候在调整座的推动下可将固定桩从泥土中抽出，与现有装置相对比，本申请通过固定部的设置可实现底座的水平调整，且实现底座水平调整的结构还能够方便固定桩的拆卸。
[0021] 通过辅助杆的设置，因法兰B上呈环形阵列状焊接有三根辅助杆，且三根辅助杆均为圆柱形杆状结构；辅助杆与法兰A插接相连，且辅助杆的头端经过打磨处理；经过打磨处理后辅助杆的头端为半球形结构，且辅助杆组成了法兰B和法兰A连接时的引导结构以及法兰B放置时的支撑结构，从而一方面，可提高法兰B连接时的便捷性了，另一方面，在放置时通过辅助杆的支撑可避免法兰B与地面接触沾染灰尘。
[0022] 通过防护座的设置，因法兰B上滑动连接有两根滑动杆C，且两根滑动杆C的头端均与防护座相连接；防护座为圆柱形管状结构，且防护座套接在校正头上；两根滑动杆C上均套接有一个弹性件B，且弹性件B组成了滑动杆C和防护座的弹性伸展结构，此时通过防护座可实现校正头的磕碰防护。
[0023] 通过校正部和夹持部的设置，第一，因夹持块上焊接有受力块，且受力块经过斜角处理；电动伸缩杆头端固定连接有连接座，且连接座上焊接有三根连接杆B；三根连接杆B的头端均与辅助板焊接相连，且当滑动杆B向前运动2cm时辅助板与受力块的斜面接触，并且当滑动杆B继续向前运动时毛坯件呈夹持状，从而可实现毛坯件的自动夹持；
[0024] 第二，因防护座和校正头与毛坯件位置对正，且当滑动杆B向前运动5cm时防护座与毛坯件接触，并且当滑动杆B继续向前运动2cm校正头与毛坯件呈插接状，从而也就实现了防护座的自动收纳以及毛坯件的校正。
[0025] 通过驱动部的设置，第一，因三根连接杆B均为圆柱形杆状结构，且连接杆B与滑动杆B位置对正，并且连接杆B位于滑动杆B上方20cm处，从而通过连接杆B可实现滑动杆B的磕碰防护；
[0026] 第二，因连接座为L形板状结构，且当滑动杆B向前运动10cm时连接座与座体接触，并且连接座组成了滑动杆C的防护结构，从而可防止电动伸缩杆伸展长度过长而导致滑动杆C损坏。
附图说明
[0027] 为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。
[0028] 下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
[0029] 在附图中：
[0030] 图1是本发明的轴视结构示意图；
[0031] 图2是本发明的右视结构示意图；
[0032] 图3是本发明图2的A处放大构示意图；
[0033] 图4是本发明图1另一方向上的轴视结构示意图；
[0034] 图5是本发明的俯视结构示意图；
[0035] 图6是本发明图5的B处放大结构示意图；
[0036] 图7是本发明局部剖开后的轴视结构示意图；
[0037] 图8是本发明图7的C处放大结构示意图；
[0038] 图9是本发明校正部的轴视拆分放大结构示意图。
[0039] 附图标记列表
[0040] 1、底座；101、支撑板；102、限位板；2、固定部；201、调整座；202、固定桩；203、把手；3、夹持部；301、夹持座；302、滑动杆A；303、夹持块；304、弹性件A；305、受力块；306、挡座；4、毛坯件；5、校正部；501、座体；502、滑动杆B；503、法兰A；504、法兰B；505、连接杆A；506、辅助杆；507、校正头；508、滑动杆C；509、防护座；510、弹性件B；6、驱动部；601、电动伸缩杆；602、连接座；603、连接杆B；604、辅助板。
具体实施方式
[0041] 为了使得本发明的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本发明的具体实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。
[0042] 实施例：请参考图1至图9：
[0043] 本发明提出了一种半导体加工机械用零件的校正装置，包括：底座1、固定部2、夹持部3、校正部5和驱动部6；
[0044] 底座1底端面对称焊接有两个支撑板101，且两个支撑板101均与地面接触；
[0045] 固定部2由调整座201、固定桩202和把手203组成，且调整座201共设有四个；
[0046] 夹持部3由夹持座301、滑动杆A302、夹持块303、弹性件A304、受力块305和挡座306组成，且夹持座301通过螺栓固定连接在底座1上，并且夹持座301上对称焊接有两根滑动杆A302；两根滑动杆A302上滑动连接有夹持块303，且夹持块303和夹持座301之间夹持有三个毛坯件4；
[0047] 校正部5共设有三个，且校正部5由座体501、滑动杆B502、法兰A503、法兰B504、连接杆A505、辅助杆506、校正头507、滑动杆C508、防护座509和弹性件B510组成，并且座体501通过螺栓固定连接在底座1上；
[0048] 驱动部6由电动伸缩杆601、连接座602、连接杆B603和辅助板604组成，且电动伸缩杆601通过螺栓固定连接在底座1上。
[0049] 此外，根据本发明的实施例，如图2和图3所示，底座1顶端面对称焊接有两块限位板102，且两块限位板102均为矩形板状结构；
[0050] 两块限位板102均与座体501接触，且两块限位板102顶端面均经过打磨处理；经过打磨处理后限位板102的顶端面为弧形结构，且两块限位板102共同组成了座体501的辅助固定结构以及座体501安装时的引导结构，从而可提高限位板102安装时的便捷性，且能够提高限位板102安装后的稳固性。
[0051] 此外，根据本发明的实施例，如图1所示，四个调整座201均螺纹连接在底座1上，且每个调整座201上均插接有固定桩202，并且固定桩202与泥土插接相连；每个调整座201上均对称焊接有两个把手203，且把手203和调整座201共同组成了底座1的水平支撑调整结构以及固定桩202的拆卸结构，从而在转动调整座201的时候一方面，能够实现底座1的水平支撑调整，另一方面，在转动调整座201的时候在调整座201的推动下可将固定桩202从泥土中抽出。
[0052] 此外，根据本发明的实施例，如图2所示，夹持座301上通过螺栓固定连接有挡座306，且挡座306为Z状结构，并且挡座306与毛坯件4的尾端接触，从而通过挡座306可实现毛坯件4放置时的位置快速找准。
[0053] 此外，根据本发明的实施例，如图2所示，两根滑动杆A302均为阶梯轴状结构，且每根滑动杆A302上均套接有一个弹性件A304，并且两个弹性件A304共同组成了夹持块303的弹性复位结构，那么也就提高了毛坯件4切换的效率。
[0054] 此外，根据本发明的实施例，如图9所示，座体501上滑动连接有滑动杆B502，且滑动杆B502的尾端焊接有法兰A503；法兰A503上通过螺栓固定连接有法兰B504，且法兰B504上焊接有连接杆A505，并且连接杆A505上固定连接有校正头507；
[0055] 法兰B504上呈环形阵列状焊接有三根辅助杆506，且三根辅助杆506均为圆柱形杆状结构；辅助杆506与法兰A503插接相连，且辅助杆506的头端经过打磨处理；经过打磨处理后辅助杆506的头端为半球形结构，且辅助杆506组成了法兰B504和法兰A503连接时的引导结构以及法兰B504放置时的支撑结构，从而一方面，可提高法兰B504连接时的便捷性了，另一方面，在放置时通过辅助杆506的支撑可避免法兰B504与地面接触沾染灰尘。
[0056] 此外，根据本发明的实施例，如图9所示，法兰B504上滑动连接有两根滑动杆C508，且两根滑动杆C508的头端均与防护座509相连接；防护座509为圆柱形管状结构，且防护座509套接在校正头507上；
[0057] 两根滑动杆C508上均套接有一个弹性件B510，且弹性件B510组成了滑动杆C508和防护座509的弹性伸展结构，此时通过防护座509可实现校正头507的磕碰防护。
[0058] 此外，根据本发明的实施例，如图7所示，防护座509和校正头507与毛坯件4位置对正，且当滑动杆B502向前运动5cm时防护座509与毛坯件4接触，并且当滑动杆B502继续向前运动2cm校正头507与毛坯件4呈插接状，从而也就实现了防护座509的自动收纳以及毛坯件4的校正。
[0059] 此外，根据本发明的实施例，如图2和图7所示，夹持块303上焊接有受力块305，且受力块305经过斜角处理；
[0060] 电动伸缩杆601头端固定连接有连接座602，且连接座602上焊接有三根连接杆B603；三根连接杆B603的头端均与辅助板604焊接相连，且当滑动杆B502向前运动2cm时辅助板604与受力块305的斜面接触，并且当滑动杆B502继续向前运动时毛坯件4呈夹持状，从而可实现毛坯件4的自动夹持。
[0061] 此外，根据本发明的实施例，如图2和图7所示， 三根连接杆B603均为圆柱形杆状结构，且连接杆B603与滑动杆B502位置对正，并且连接杆B603位于滑动杆B502上方20cm处，从而通过连接杆B603可实现滑动杆B502的磕碰防护。
[0062] 此外，根据本发明的实施例，如图2和图7所示，连接座602为L形板状结构，且当滑动杆B502向前运动10cm时连接座602与座体501接触，并且连接座602组成了滑动杆C508的防护结构，从而可防止电动伸缩杆601伸展长度过长而导致滑动杆C508损坏。
[0063] 本实施例的具体使用方式与作用：
[0064] 在固定的时候，首先转动调整座201实现底座1的水平调整，调整好后将固定桩202插入调整座201内并将固定桩202钉入泥土中完成固定；
[0065] 在拆卸固定桩202的时候，螺旋转动调整座201，当调整座201向上移动的时候就可以将固定桩202从泥土中抽出；
[0066] 在放置毛坯件4的时候，因夹持座301上通过螺栓固定连接有挡座306，且挡座306为Z状结构，并且挡座306与毛坯件4的尾端接触，从而通过挡座306可实现毛坯件4放置时的位置快速找准；
[0067] 在校正时，驱动电动伸缩杆601伸展，此时滑动杆B502向前移动，当滑动杆B502向前运动2cm时辅助板604与受力块305的斜面接触，当电动伸缩杆601继续伸展时，在辅助板604的挤压下受力块305夹持块303向下运动完成毛坯件4的夹持；当滑动杆B502向前运动
5cm时防护座509与毛坯件4接触，当滑动杆B502继续运动时可实现防护座509的自动收缩，当滑动杆B502继续向前运动2cm校正头507与毛坯件4呈插接状，从而也就实现了防护座509的自动收纳以及毛坯件4的校正；
[0068] 在使用过程中，第一，因三根连接杆B603均为圆柱形杆状结构，且连接杆B603与滑动杆B502位置对正，并且连接杆B603位于滑动杆B502上方20cm处，从而通过连接杆B603可实现滑动杆B502的磕碰防护；第二，因连接座602为L形板状结构，且当滑动杆B502向前运动10cm时连接座602与座体501接触，并且连接座602组成了滑动杆C508的防护结构，从而可防止电动伸缩杆601伸展长度过长而导致滑动杆C508损坏；
[0069] 在维修时，因法兰B504上呈环形阵列状焊接有三根辅助杆506，且三根辅助杆506均为圆柱形杆状结构；辅助杆506与法兰A503插接相连，且辅助杆506的头端经过打磨处理；经过打磨处理后辅助杆506的头端为半球形结构，且辅助杆506组成了法兰B504和法兰A503连接时的引导结构以及法兰B504放置时的支撑结构，从而一方面，可提高法兰B504连接时的便捷性了，另一方面，在放置时通过辅助杆506的支撑可避免法兰B504与地面接触沾染灰尘。
[0070] 最后，需要说明的是，本发明在描述各个构件的位置及其之间的配合关系等时，通常会以一个/一对构件举例而言，然而本领域技术人员应该理解的是，这样的位置、配合关系等，同样适用于其他构件/其他成对的构件。
[0071] 以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发明的保护范围由所附的权利要求确定。
