一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程

摘要

本发明公开了一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程，其包括包括混料机和冷等静压机，混料机设有混料罐，冷等静压机设有工作缸，混料机与冷等静压机之间设有导轨，导轨滑动连接有输送板，导轨连接有第一液压缸，输送板上设有橡胶套，工作缸内固设有外壳，橡胶套上端设有开口，导轨固定连接有支撑架，支撑架上设有封口组件和吊装组件，封口组件连接有封闭开口的夹板，夹板包括左板和右板，吊装组件包括第二液压缸、第一竖杆和电磁夹块，第二液压缸固设于支撑架上，第二液压缸输出端与第一竖杆固定连接，第一竖杆与电磁夹块固定连接，电磁夹块与夹板相配合。本申请具有节省人力和时间成本，提高钼铌合金靶材生产效率的效果。

权利要求

1.一种低氧钼铌合金靶材生产线，包括混料机（1）和冷等静压机（2），其特征在于：所述混料机（1）设有混料罐（3），混料罐（3）设有排料管（4），冷等静压机（2）设有工作缸（5），混料机（1）与冷等静压机（2）之间设有导轨（6），导轨（6）滑动连接有输送板（7），导轨（6）连接有驱动输送板（7）移动的第一液压缸（8），输送板（7）上设有与排料管（4）相配合的橡胶套（9），工作缸（5）内固设有与橡胶套（9）相配合的外壳，橡胶套（9）上端设有开口，导轨（6）固定连接有支撑架（11），支撑架（11）上设有封口组件（12）和吊装组件（13），封口组件（12）连接有封闭开口的夹板（14），夹板（14）包括左板（15）和右板（16），左板（15）与右板（16）卡接，吊装组件（13）包括第二液压缸（17）、第一竖杆（18）和电磁夹块（19），第二液压缸（17）固设于支撑架（11）上，第二液压缸（17）输出端与第一竖杆（18）固定连接，第一竖杆（18）与电磁夹块（19）固定连接，电磁夹块（19）与夹板（14）相配合；所述支撑架（11）固定连接有竖板（20），竖板（20）转动连接有齿轮（21），第一竖杆（18）固定连接有与齿轮（21）相啮合的第一齿条（22），封口组件（12）包括锥形块、两个滚轮（24）、第一转杆（25）和第二转杆（26），锥形块上端部固定连接有第二竖杆（27），第二竖杆（27）固定连接有与齿轮（21）相啮合的第二齿条（28），支撑架（11）开设有与第二竖杆（27）相配合的限位槽（29），锥形块两侧设有与滚轮（24）相配合的倾斜部（30），第一转杆（25）上端部与滚轮（24）转动连接，第一转杆（25）下端部开设有与左板（15）相配合的第一卡槽（31）；第二转杆（26）上端部与另一个滚轮（24）转动连接，第二转杆（26）下端部开设有与右板（16）相配合的第二卡槽（32）；支撑架（11）固定连接有支撑板（33），第一转杆（25）和第二转杆（26）均与支撑板（33）转动连接，第一转杆（25）和第二转杆（26）之间固设有弹簧（34）；所述倾斜部（30）开设有与滚轮（24）相配合的定位槽（35）；所述左板（15）上端部沿长度方向固设有若干磁块（36），右板（16）上端部开设有若干与磁块（36）相配合的磁槽（37）。

2.根据权利要求1所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述输送板（7）设有定位套板（38），定位套板（38）设有与橡胶套（9）相配合的限位腔。

3.根据权利要求2所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述输送板（7）下端部固设有第一电机（39），第一电机（39）输出轴固定连接有菱形块（40），菱形块（40）两个锐角端分别转动连接有连接杆（41），输送板（7）滑动连接有第一滑板（42）和第二滑板（43），其中一个连接杆（41）与第一滑板（42）下端部转动连接，另外一个连接杆（41）与第二滑板（43）下端部转动连接，定位套板（38）包括相互配合的第一套板（44）和第二套板（45），第一套板（44）与第一滑板（42）固定连接，第二套板（45）与第二滑板（43）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述混料罐（3）设有加料口（46），混料机（1）固设有第二电机（47），第二电机（47）输出轴固定连接有位于混料罐（3）内的搅拌轴（48），搅拌轴（48）沿长度方向固设有若干固定环（49），相邻的固定环（49）之间设有螺旋搅拌片（50）。

5.根据权利要求4所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：所述螺旋搅拌片（50）固设有与混料罐（3）内壁相配合的刮料板（51）。

6.一种低氧钼铌合金靶材工艺流程针对如权利要求1至5任一所述的一种低氧钼铌合金靶材生产线，其特征在于：

S1；将钼粉放在真空烧结炉中进行热处理以降低钼粉的氧含量，处理温度为1000‑1300℃，时间为0.5‑6h；

S2；将铌金属粉与钾金属的卤化物均匀混合得到混合粉；

S3；将步骤一中得到钼粉与步骤二得到的混合粉放入混料机（1）的混料罐（3）中混合，混合结束后将制得的钼铌合金粉倒入输送板（7）上的橡胶套（9）内，第一液压缸（8）带动输送板（7）移动到支撑架（11）下方，由封口组件（12）对橡胶套（9）的开口进行封口，再由第二液压缸（17）带动第一竖杆（18）下移，进而电磁夹块（19）卡在夹板（14）上，电磁夹块（19）通电后将夹板（14）和橡胶套（9）吊起，再通过第二液压缸（17）输出端伸长，将橡胶套（9）放入冷等静压机（2）工作缸（5）的外壳内，通过冷等静压压制成型；

S4；将压锭放在真空‑氢气两用烧结炉中进行热处理，在350～1200℃的还原性或惰性气氛下进行热处理，热处理时间0.5‑6h；在1200℃～1500℃真空下热处理以除去剩余钾金属的卤化物和氢气，根据真空泵的抽速不同，该时间为1～6h，此过程铌粉中的氧含量降低；

S5；对压锭进行真空抽气除杂，将除杂后的压锭通过热等静压压制，压制温度为1300‑

1500℃，压强大于100MPa，压制时间3～6h；

S6；压延和机械加工得到所需尺寸的溅射靶材，在得到钼铌烧结锭之后，对其进行压延加工，在轧制的情况下，轧制温度为500‑1500℃，每次工作比为10％‑30％。

说明书

一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程

技术领域

[0001] 本发明涉及合金靶材生产领域，尤其是涉及一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程。

背景技术

[0002] 钼铌合金板靶材具有高熔点，高温强度、高温韧性等优点，并且还具有抗热性能和导热导电性能较好，热膨胀系数小的特点。钼铌合金靶材在液晶显示、电极发光显示、荧光显示和触摸屏等领域被广泛使用。在钼铌合金靶材的生产过程中，钼铌合金的含氧量会影响氧化物的生成，氧化物会对钼铌合金靶材的使用性能造成不良影响，再生产时需要降低钼铌合金靶材中的含氧量。

[0003] 相关技术可参考公告号为CN104550979B的中国专利公开了一种钼铌合金靶材板的制备方法，将钼粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的钼粉；将铌粉放入气流磨中，通入氩气，调节气体压力得到三种粒度分布的铌粉；分别将钼粉与铌粉混合得到三种粒度分布的钼铌合金粉；将钼铌合金粉末压制成坯料，置于中频炉中氢气烧结，即得到钼铌合金靶材板。

[0004] 针对上述中的相关技术，发明人认为，使用上述制备方法生产钼铌合金靶材时，将钼铌合金粉制成坯料过程中，需要操作人员将混合后的钼铌合金粉倒入容器，装有钼铌合金粉的容器质量较大，操作人员再手动将容器移动至冷等静压机中，此过程中装有钼铌合金粉的容器较重，且钼铌合金粉的温度较高，将容器移动至冷等静压机时需要花费较多的人力物力和时间，导致钼铌合金靶材的生产效率不佳。

发明内容

[0005] 为了提高钼铌合金靶材的生产效率，本申请提供一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程。

[0006] 第一方面，本申请提供一种低氧钼铌合金靶材生产线，采用如下的技术方案：

[0007] 一种低氧钼铌合金靶材生产线，包括混料机和冷等静压机，所述混料机设有混料罐，混料罐设有排料管，冷等静压机设有工作缸，混料机与冷等静压机之间设有导轨，导轨滑动连接有输送板，导轨连接有驱动输送板移动的第一液压缸，输送板上设有与排料管相配合的橡胶套，工作缸内固设有与橡胶套相配合的外壳，橡胶套上端设有开口，导轨固定连接有支撑架，支撑架上设有封口组件和吊装组件，封口组件连接有封闭开口的夹板，夹板包括左板和右板，左板与右板卡接，吊装组件包括第二液压缸、第一竖杆和电磁夹块，第二液压缸固设于支撑架上，第二液压缸输出端与第一竖杆固定连接，第一竖杆与电磁夹块固定连接，电磁夹块与夹板相配合。

[0008] 通过采用上述技术方案，将铌粉与钾金属的卤化物混合后得到混合粉，再将混合粉与真空烧结后的钼粉放入混料罐中制得钼铌合金粉。橡胶套置于输送板上，将钼铌合金粉倒入橡胶套内，第一液压缸带动输送板和橡胶套移动至支撑架下方，封口组件的左板与右板卡接将开口封闭，再由第二液压缸带动第一竖杆下移，进而电磁夹块卡在夹板上，电磁夹块通电后将夹板和橡胶套吊起，再通过第二液压缸输出端伸长，将橡胶套放入工作缸的外壳内。不需要操作人员手动对橡胶套进行搬移到工作缸内，节省了人力和时间成本，有利于提高钼铌合金靶材的生产效率。

[0009] 可选的，所述支撑架固定连接有竖板，竖板转动连接有齿轮，第一竖杆固定连接有与齿轮相啮合的第一齿条，封口组件包括锥形块、两个滚轮、第一转杆和第二转杆，锥形块上端部固定连接有第二竖杆，第二竖杆固定连接有与齿轮相啮合的第二齿条，支撑架开设有与第二竖杆相配合的限位槽，锥形块两侧设有与滚轮相配合的倾斜部，第一转杆上端部与滚轮转动连接，第一转杆下端部开设有与左板相配合的第一卡槽；第二转杆上端部与另一个滚轮转动连接，第二转杆下端部开设有与右板相配合的第二卡槽；支撑架固定连接有支撑板，第一转杆和第二转杆均与支撑板转动连接，第一转杆和第二转杆之间固设有弹簧。

[0010] 通过采用上述技术方案，封口组件在对橡胶套的开口进行封口处理时，第二液压缸带动第一竖杆上移，在齿轮的传动作用下，第二竖杆带动锥形块下移，倾斜部与滚轮抵触使得第一转杆绕支撑板转动，第二转杆绕支撑板转动；进而第一卡槽与第二卡槽逐渐靠近，左板与右板相互靠近卡接，将橡胶套开口封闭，锥形部再继续下移，使得左板和右板对橡胶套开口处进行夹紧，提高对橡胶套开口的封口和密封效果，不需要人工进行封口，且封口较为快捷，有利于节省人力和生产时间。

[0011] 可选的，所述倾斜部开设有与滚轮相配合的定位槽。

[0012] 通过采用上述技术方案，锥形块与滚轮抵触时，滚轮位于定位槽内，定位槽对滚轮进行限位，防止锥形块下移过程中滚轮发生偏斜，有利于保障对橡胶套开口的封口效果。

[0013] 可选的，所述左板上端部沿长度方向固设有若干磁块，右板上端部开设有若干与磁块相配合的磁槽。

[0014] 通过采用上述技术方案，磁块与磁槽相互吸附，便于保障左板与右板正对，加快左板与右板对橡胶套开口的封口速度，提高封口效果。

[0015] 可选的，所述输送板设有定位套板，定位套板设有与橡胶套相配合的限位腔。

[0016] 通过采用上述技术方案，定位套板便于对橡胶套进行限位，防止橡胶套随输送板移动过程中发生倾倒，便于保障橡胶套的使用效果。

[0017] 可选的，所述输送板下端部固设有第一电机，第一电机输出轴固定连接有菱形块，菱形块两个锐角端分别转动连接有连接杆，输送板滑动连接有第一滑板和第二滑板，其中一个连接杆的与第一滑板下端部转动连接，另外一个连接杆与第二滑板下端部转动连接，定位套板包括相互配合的第一套板和第二套板，第一套板与第一滑板固定连接，第二套板与第二滑板固定连接。

[0018] 通过采用上述技术方案，电磁夹块将橡胶套吊起放入工作缸过程中，第一电机输出端转动，带动菱形块转动带动两个连接杆移动，进而菱形块转动可带动第一滑板和第二滑板相互靠近或远离，设置第一电机、菱形块和两个连接杆，便于将橡胶套穿过输送板放入工作缸内。

[0019] 可选的，所述混料罐设有加料口，混料机固设有第二电机，第二电机输出轴固定连接有位于混料罐内的搅拌轴，搅拌轴沿长度方向固设有若干固定环，相邻的固定环之间设有螺旋搅拌片。

[0020] 通过采用上述技术方案，混合粉与钼粉在混料罐中进行混合时，第二电机带动搅拌轴转动，使得所有螺旋搅拌片对混合粉与钼粉进行搅拌，有利于提高钼铌合金粉的均匀性与充分性。

[0021] 可选的，所述螺旋搅拌片固设有与混料罐内壁相配合的刮料板。

[0022] 通过采用上述技术方案，螺旋搅拌片转动过程中，刮料板与混料罐内壁贴合，便于将混料罐内壁上的物料刮下，有利于进一步提高混合粉与钼粉的混合充分性。

[0023] 第二方面，本申请提供一种低氧钼铌合金靶材的工艺流程，采用如下的技术方案：

[0024] 一种低氧钼铌合金靶材的工艺流程，包括：

[0025] S1；将钼粉放在真空烧结炉中进行热处理以降低钼粉的氧含量，处理温度为1000‑1300℃，时间为0.5‑6h；

[0026] S2；将铌金属粉与钾金属的卤化物均匀混合得到混合粉；

[0027] S3；将步骤一中得到钼粉与步骤二得到的混合粉放入混料机的混料罐中混合，混合结束后将制得的钼铌合金粉倒入输送板上的橡胶套内，第一液压缸带动输送板移动到支撑架下方，由封口组件对橡胶套的开口进行封口，再由第二液压缸带动第一竖杆下移，进而电磁夹块卡在夹板上，电磁夹块通电后将夹板和橡胶套吊起，再通过第二液压缸输出端伸长，将橡胶套放入冷等静压机工作缸的外壳内，通过冷等静压压制成型；

[0028] S4；将压锭放在真空‑氢气两用烧结炉中进行热处理，在350～1200℃的还原性或惰性气氛下进行热处理，热处理时间0.5‑6h；在1200℃～1500℃真空下热处理以除去剩余钾金属的卤化物和氢气，根据真空泵的抽速不同，该时间为1～6h，此过程铌粉中的氧含量降低；

[0029] S5；对压锭进行真空抽气除杂，将除杂后的压锭通过热等静压压制，压制温度为1300‑1500℃，压强大于100MPa，压制时间3～6h；

[0030] S6；压延和机械加工得到所需尺寸的溅射靶材，在得到钼铌烧结锭之后，对其进行压延加工，在轧制的情况下，轧制温度为500‑1500℃，每次工作比为10％‑30％。

[0031] 综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

[0032] 1.将铌粉与钾金属的卤化物混合后得到混合粉，再将混合粉与真空烧结后的钼粉放入混料罐中制得钼铌合金粉。橡胶套置于输送板上，将钼铌合金粉倒入橡胶套内，第一液压缸带动输送板和橡胶套移动至支撑架下方，封口组件的左板与右板卡接将开口封闭，再由第二液压缸带动第一竖杆下移，进而电磁夹块卡在夹板上，电磁夹块通电后将夹板和橡胶套吊起，再通过第二液压缸输出端伸长，将橡胶套放入工作缸的外壳内。不需要操作人员手动对橡胶套进行搬移到工作缸内，节省了人力和时间成本，有利于提高钼铌合金靶材的生产效率；

[0033] 2.封口组件在对橡胶套的开口进行封口处理时，第二液压缸带动第一竖杆上移，在齿轮的传动作用下，第二竖杆带动锥形块下移，倾斜部与滚轮抵触使得第一转杆绕支撑板转动，第二转杆绕支撑板转动；进而第一卡槽与第二卡槽逐渐靠近，左板与右板相互靠近卡接，将橡胶套开口封闭，锥形部再继续下移，使得左板和右板对橡胶套开口处进行夹紧，提高对橡胶套开口的封口和密封效果，不需要人工进行封口，且封口较为快捷，有利于节省人力和生产时间；

[0034] 3.电磁夹块将橡胶套吊起放入工作缸过程中，第一电机输出端转动，带动菱形块转动带动两个连接杆移动，进而菱形块转动可带动第一滑板和第二滑板相互靠近或远离，设置第一电机、菱形块和两个连接杆，便于将橡胶套穿过输送板放入工作缸内。

附图说明

[0035] 图1是本申请实施例一种低氧钼铌合金靶材生产线的整体结构示意图。

[0036] 图2旨在突显搅拌轴与螺旋搅拌片的结构示意图。

[0037] 图3是图1中A部分的放大示意图。

[0038] 图4旨在突显第一电机、菱形块、连接杆的结构示意图。

[0039] 附图标记说明：1、混料机；2、冷等静压机；3、混料罐；4、排料管；5、工作缸；6、导轨；7、输送板；8、第一液压缸；9、橡胶套；11、支撑架；12、封口组件；13、吊装组件；14、夹板；15、左板；16、右板；17、第二液压缸；18、第一竖杆；19、电磁夹块；20、竖板；21、齿轮；22、第一齿条；24、滚轮；25、第一转杆；26、第二转杆；27、第二竖杆；28、第二齿条；29、限位槽；30、倾斜部；31、第一卡槽；32、第二卡槽；33、支撑板；34、弹簧；35、定位槽；36、磁块；37、磁槽；38、定位套板；39、第一电机；40、菱形块；41、连接杆；42、第一滑板；43、第二滑板；44、第一套板；
45、第二套板；46、加料口；47、第二电机；48、搅拌轴；49、固定环；50、螺旋搅拌片；51、刮料板。

具体实施方式

[0040] 以下结合全部附图对本申请作进一步详细说明。

[0041] 本申请实施例公开一种低氧钼铌合金靶材生产线。实施例

[0042] 参照图1，一种低氧钼铌合金靶材生产线，包括混料机1和冷等静压机2，混料机1设有混料罐3，混料机1固定连接有第一支腿。混料罐3设有加料口46和排料管4，对钼铌合金靶材进行生产时，操作人员先将铌粉与钾金属的卤化物混合后得到混合粉，再将混合粉与真空烧结后的钼粉从加料口46出加入混料机1的混料罐3中进行混合，制备出钼铌合金粉。

[0043] 参照图1和图2，混料机1连接有第二电机47，第二电机47固定于第一支腿上，混合粉与真空烧结后的钼粉从加料口46加入混料罐3中时，操作人员启动第二电机47。第二电机47输出轴固定连接有位于混料罐3内的搅拌轴48，第二电机47输出轴转动带动搅拌轴48转动，搅拌轴48沿长度方向固设有多个固定环49，相邻的固定环49之间设有螺旋搅拌片50。进而使得所有螺旋搅拌片50转动，螺旋搅拌片50在转动过程中对混合粉与钼粉进行搅拌，使得混合粉与钼粉混合的较为均匀充分，可提高所制得的钼铌合金粉的均匀性与充分性。

[0044] 参照图1和图2，螺旋搅拌片50随搅拌轴48转动过程中，螺旋搅拌片50靠近混料罐3内壁的一端固定有刮料板51，刮料板51与混料罐3内壁贴合，刮料板51将混料罐3内壁上的物料刮下，减少混料罐3内壁物料残留，可进一步提高混合粉与钼粉的混合充分性。

[0045] 参照图1，冷等静压机2设有高压工作缸5，混料机1与冷等静压机2之间安装有导轨6，导轨6的两端固定连接有第二支腿。导轨6的一端位于混料罐3下方，导轨6的另一端位于工作缸5上方，导轨6滑动连接有输送板7，导轨6靠近混料机1的一端固定连接有第一液压缸
8，第一液压缸8输出端与输送板7固定连接，第一液压缸8可驱动输送板7沿导轨6长度方向移动。

[0046] 参照图1和图3，输送板7上设有与排料管4相配合的橡胶套9，输送板7设有定位套板38，定位套板38设有与橡胶套9相配合的限位腔。混料罐3中的钼铌合金粉制备完成后，操作人员将橡胶套9放置于定位套板38的限位腔内，定位套板38对橡胶套9进行限位，防止橡胶套9随输送板7移动过程中发生倾倒，便于保障橡胶套9的使用效果。再启动第一液压缸8，第一液压缸8输出端收缩，带动输送板7移动至混料罐3下方。橡胶套9上端设有开口，将排料管4与橡胶套9的开口正对，进而将钼铌合金粉经排料管4倒入橡胶套9内。

[0047] 参照图1和图3，导轨6固定连接有支撑架11，橡胶套9内装好钼铌合金粉后，第一液压缸8输出端伸长，带动输送板7和橡胶套9移动至支撑架11下方。支撑架11上设有封口组件12和吊装组件13，封口组件12连接有封闭开口的夹板14。吊装组件13包括第二液压缸17、第一竖杆18和电磁夹块19，第二液压缸17固设于支撑架11上，第二液压缸17输出端与第一竖杆18固定连接，第一竖杆18下端部与电磁夹块19固定连接，电磁夹块19与夹板14相配合。夹块采用磁吸性金属材料，电磁夹块19为电磁铁，电磁铁是通电产生电磁的一种装置，在通电时有磁性，断电后磁性随之消失。

[0048] 参照图1和图3，支撑架11固定连接有竖板20，竖板20转动连接有齿轮21，第一竖杆18固定连接有与齿轮21相啮合的第一齿条22。封口组件12包括锥形块、两个滚轮24、第一转杆25和第二转杆26，锥形块上端部固定连接有第二竖杆27，第二竖杆27固定连接有与齿轮
21相啮合的第二齿条28，第一齿条22与第二齿条28均竖直设置，支撑架11开设有与第二竖杆27相配合的限位槽29。封口组件12在对橡胶套9的开口进行封口处理时，第一液压缸8带动输送板7移动到锥形块正下方，第二液压缸17输出轴收缩，带动第一竖杆18上移，在齿轮
21的传动作用下，第二竖杆27带动锥形块下移。

[0049] 参照图3，第一转杆25上端部与滚轮24转动连接，第二转杆26上端部与另一个滚轮24转动连接；锥形块两侧设有与滚轮24相配合的倾斜部30，倾斜部30开设有与滚轮24相配合的定位槽35。锥形块逐渐下移过程中，锥形块与滚轮24抵触时，滚轮24位于倾斜部30的定位槽35内，定位槽35对滚轮24进行限位，防止锥形块下移过程中滚轮24发生偏斜。

[0050] 参照图3，夹板14包括左板15和右板16，第一转杆25下端部开设有与左板15相配合的第一卡槽31；第二转杆26下端部开设有与右板16相配合的第二卡槽32；支撑架11固定连接有支撑板33，第一转杆25和第二转杆26均与支撑板33转动连接，第一转杆25和第二转杆26分别转动连接于支撑板33的两端。锥形块继续下移时，进而使得第一转杆25绕支撑板33转动，第二转杆26绕支撑板33转动，使得第一卡槽31与第二卡槽32相互靠近。左板15位于第一卡槽31内，右板16位于第二卡槽32内，进而第一卡槽31与第二卡槽32逐渐靠近，左板15与右板16相互靠近。

[0051] 参照图1和图3，左板15上端部沿长度方向固设有多个磁块36，右板16上端部开设有多个与磁块36相配合的磁槽37。左板15与右板16配合对橡胶套9进行封口，左板15与右板16相互靠近时，左板15下端部与橡胶套9一侧抵触，右板16下端部与橡胶套9另一侧接触。左板15上的磁块36与右板16上的磁槽37相吸附，可保障左板15与右板16正对，加快左板15与右板16对橡胶套9开口的封口速度，提高封口效果。进而左板15与右板16相互吸附，磁块36插入磁槽37内，同时左板15与第一卡槽31分离，右板16与第二卡槽32分离。橡胶套9位于左板15下端部与右板16下端部之间，锥形块继续下移，左板15与右板16对橡胶套9开口处进行夹紧，完成左板15与右板16的卡接以及对橡胶套9的封口，对橡胶套9的封口效果较好。不需要人工进行封口，且封口较为快捷，节省了人力和生产时间，有利于提高生产效率。

[0052] 参照图1和图3，在完成对橡胶套9开口的封口后，操作第二液压缸17的输出端伸长，带动第一竖杆18下移，使得第二竖杆27带动锥形块上移，锥形块逐渐与两个滚轮24分离。第一转杆25和第二转杆26之间固设有弹簧34，弹簧34的两端分别固定连接于第一转杆25上端部和第二转杆26上端部。弹簧34在初始状态时，两个滚轮24相互靠近但存在间距，锥形块与滚轮24分离过程中，弹簧34逐渐恢复原状，进而第一转杆25和第二转杆26复位，进行下一次封口操作。

[0053] 参照图1和图3，再由第一液压缸8带动输送板7将橡胶套9移动至电磁夹块19下方，再使得第二液压缸17输出端伸长，带动第一竖杆18下移，进而电磁夹块19卡在夹板14上，电磁夹块19通电后将夹板14和橡胶套9吊起，开始进行将橡胶套9放入工作缸5的操作过程。

[0054] 参照图3和图4，定位套板38包括相互配合的第一套板44和第二套板45，第一套板44与第一滑板42固定连接，第二套板45与第二滑板43固定连接。输送板7下端部固定有第一电机39，第一电机39输出轴固定连接有菱形块40，菱形块40两个锐角端分别转动连接有连接杆41，输送板7滑动连接有第一滑板42和第二滑板43，其中一个连接杆41的与第一滑板42下端部转动连接，另外一个连接杆41与第二滑板43下端部转动连接。

[0055] 参照图3和图4，当电磁夹块19将橡胶套9吊起放入工作缸5（参照图1）过程中，第一电机39输出端转动，带动菱形块40转动带动两个连接杆41移动，进而菱形块40转动可带动第一滑板42和第二滑板43相互靠近或远离。

[0056] 参照图1和图4，当第一电机39输出轴正转时，菱形块40顺时针转动，进而第一滑板42和第二滑板43相互远离，第一套板44与第二套板45分离，进而在第二液压缸17的驱动作用下，将橡胶套9穿过输送板7放入工作缸5内。工作缸5内固设有与橡胶套9相配合的外壳，再通过第二液压缸17输出端伸长，将装有钼铌合金粉的橡胶套9与工作缸5内的外壳相对应，将橡胶套9放入工作缸5的外壳内。电磁夹块19再进行断电，电磁夹块19与夹板14分离，第二液压缸17输出端收缩，进而带动电磁夹块19移出工作缸5。不需要操作人员手动对橡胶套9进行搬移到工作缸5内，节省了人力和时间成本，有利于提高钼铌合金靶材的生产效率。

[0057] 参照图1和图4，当橡胶套9放入工作缸5内后，第二液压缸17带动电磁夹块19（参照图3）移动到输送板7上方，第一电机39输出轴反转，带动菱形块40逆时针转动，进而第一滑板42和第二滑板43相互靠近，第一套板44和第二套板45相互靠近。正常状态下，工作缸5的液体位于工作缸5和外壳内。橡胶套9放入外壳内时，外壳对橡胶套9进行限位，外壳内壁与橡胶套9之间存在间隙，进而液体流动将间隙充满。

[0058] 参照图1和图3，工作缸5封闭后，冷等静压机2的液压系统对工作缸5的液体施加压力，对橡胶套9内的钼铌合金粉进行压制，得到钼铌合金压锭。且此过程中，装有钼铌合金粉的高温橡胶套9不会与人体接触，避免高温对人体造成烫伤，且操作人员不会与钼铌合金粉接触，避免了钼铌合金粉对人的呼吸系统造成危害，有利于提高生产时的安全性。

[0059] 本申请实施例一种低氧钼铌合金靶材生产线的实施原理为：对钼铌合金靶材进行生产时，操作人员先将铌粉与钾金属的卤化物混合后得到混合粉，再将混合粉与真空烧结后的钼粉从加入混料罐3中进行混合，制备出钼铌合金粉。操作人员将橡胶套9放置于定位套板38内，再使第一液压缸8输出端收缩，带动输送板7移动至混料罐3下方。将钼铌合金粉经排料管4倒入橡胶套9内。再由第一液压缸8带动输送板7移动到锥形块正下方，第二液压缸17输出轴收缩，带动第一竖杆18上移，在齿轮21的传动作用下，第二竖杆27带动锥形块下移。进而左板15与右板16配合对橡胶套9进行封口，左板15与右板16相互吸附，磁块36插入磁槽37内，同时左板15与第一卡槽31分离，右板16与第二卡槽32分离。橡胶套9位于左板15下端部与右板16下端部之间，锥形块继续下移，左板15与右板16对橡胶套9开口处进行夹紧，完成对橡胶套9的封口。再由第一液压缸8带动输送板7将橡胶套9移动至电磁夹块19下方，再使得第二液压缸17输出端伸长，带动第一竖杆18下移，进而电磁夹块19卡在夹板14上，电磁夹块19通电后将夹板14和橡胶套9吊起，再通过第二液压缸17输出端伸长，将橡胶套9放入工作缸5的外壳内。不需要操作人员手动对橡胶套9进行搬移到工作缸5内，节省了人力和时间成本，有利于提高钼铌合金靶材的生产效率。

[0060] 本申请实施例还公开一种低氧钼铌合金靶材的工艺流程。

[0061] 一种低氧钼铌合金靶材的工艺流程，包括：

[0062] S1；将钼粉放在真空烧结炉中进行热处理以降低钼粉的氧含量，处理温度为1000‑1300℃，时间为0.5‑6h；

[0063] S2；将铌金属粉与钾金属的卤化物均匀混合得到混合粉；

[0064] S3；将步骤一中得到钼粉与步骤二得到的混合粉放入混料机1的混料罐3中混合，混合结束后将制得的钼铌合金粉倒入输送板7上的橡胶套9内，第一液压缸8带动输送板7移动到支撑架11下方，由封口组件12对橡胶套9的开口进行封口，再由第二液压缸17带动第一竖杆18下移，进而电磁夹块19卡在夹板14上，电磁夹块19通电后将夹板14和橡胶套9吊起，再通过第二液压缸17输出端伸长，将橡胶套9放入冷等静压机2工作缸5的外壳内，通过冷等静压压制成型；

[0065] S4；将压锭放在真空‑氢气两用烧结炉中进行热处理，在350～1200℃的还原性或惰性气氛下进行热处理，热处理时间0.5‑6h；在1200℃～1500℃真空下热处理以除去剩余钾金属的卤化物和氢气，根据真空泵的抽速不同，该时间为1～6h，此过程铌粉中的氧含量降低；

[0066] S5；对压锭进行真空抽气除杂，将除杂后的压锭通过热等静压压制，压制温度为1300‑1500℃，压强大于100MPa，压制时间3～6h；

[0067] S6；压延和机械加工得到所需尺寸的溅射靶材，在得到钼铌烧结锭之后，对其进行压延加工，在轧制的情况下，轧制温度为500‑1500℃，每次工作比为10％‑30％。

[0068] 以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。