一种高转换效率和宽频带简单结构硅纳米线光偏振转换器

摘要

本发明涉及一种高转换效率和宽频带简单结构硅纳米线光偏振转换器，包括：自下而上依次层叠设置的硅基衬底、掩埋氧化硅层和偏振转换部件，其中，偏振转换部件包括平行设置的渐变式硅纳米线波导和均匀硅纳米线波导。渐变式硅纳米线通过操控有效模折射率发生非线性变化，而改变TE模电场的振幅和方向，从而实现偏振态的转换。将耦合模理论应用于非均匀不对称波导，转换的TM模通过均匀硅纳米线耦合并输出。该转换器具有高转换效率和宽工作频带特性，而且结构简单紧凑，通过一步光刻和刻蚀技术即可实现。