划片机相机调度控制方法转让专利

申请号 : CN202211026678.8

文献号 : CN115114007B

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基本信息:

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法律信息:

相似专利:

发明人 : 吕孝袁李铖孙志超李诗文张宁宁

申请人 : 江苏京创先进电子科技有限公司

摘要 :

本发明揭示了一种划片机相机调度控制方法,包括以下步骤:申请步骤,执行步骤,释放步骤;所述申请步骤中,当同一时间接收有复数个事件码时,根据预置的事件码的优先级大小按照从大到小进行排序后存入内存中,所述划片机执行机构会由大到小逐级访问内存中的事件码并以此驱动相机执行完成相应的动作,同时将当前事件码从内存中释放,清除对应数据和相机状态变量清零,并且内存中的事件码按照优先级从大到小依次递补。本发明技术方案的优点主要体现在:相机响应速度快,调度快捷,提高了划片机的精度和速度。

权利要求 :

1.划片机相机调度控制方法,用于具有多工作平台的划片机,其特征在于:包括以下步骤:申请步骤,接收到由划片机控制单元输入的事件码,发送给划片机处理单元;

执行步骤,所述划片机处理单元根据所述事件码,驱动划片机执行机构完成相应的动作;

释放步骤,所述划片机执行机构驱动完成当前相机的事件码相应的动作后,清除对应数据和相机状态变量清零,等待后续指令;

所述申请步骤中,当同一时间接收有2个或2个以上事件码时,根据预置的事件码的优先级大小按照从大到小进行排序后存入内存中,所述划片机执行机构会由大到小逐级访问内存中的事件码并以此驱动相机执行完成相应的动作,同时将当前事件码从内存中释放,清除对应数据和相机状态变量清零,并且内存中的事件码按照优先级从大到小依次递补。

2.根据权利要求1所述的划片机相机调度控制方法,其特征在于:所述预置的事件码的优先级大小具体为:相机空闲:优先级为0;

相机自动对准:优先级为1;

相机进行刀痕检测:优先级为2;

相机手动对准:优先级为3;

相机暂停检查:优先级为4。

3.根据权利要求1所述的划片机相机调度控制方法,其特征在于:所述申请步骤中“接收到由划片机控制单元输入的事件码”具体包括,读取当前相机的状态变量;

比较接收到的事件码与正在执行的当前相机动作对应的事件码的优先级大小;

当接收到的事件码的优先级高于当前相机动作对应的事件码的优先级时,用来显示相机动作停止的标记赋值为正确, 所述划片机执行机构控制当前相机动作中断,并将所述接收到的事件码存入内存中,然后对内存中存储的所有的事件码按优先级大小按照从大到小重新排序;

当接收到的事件码的优先级低于当前相机动作对应的事件码的优先级时,所述用来显示相机动作停止的标记赋值为错误, 所述划片机执行机构控制当前相机动作继续,并将所述接收到的事件码存入内存中且将其排在内存中存储的所有的事件码最后位。

4.根据权利要求3所述的划片机相机调度控制方法,其特征在于:所述执行步骤具体为,判定所述当前相机的状态变量是否不为0;当其为0时,代表相机空闲;

当其不为0时,读取内存中最前位的事件码存入至当前相机的状态变量中并记录为当前相机动作对应的事件码;

所述划片机处理单元根据所述当前相机动作对应的事件码,驱动划片机执行机构完成相应的动作。

5.根据权利要求4所述的划片机相机调度控制方法,其特征在于:所述划片机执行机构执行过程中,实时判断所述用来显示相机动作停止的标记的赋值,当其为错误时,所述划片机执行机构控制当前相机动作继续,执行完毕后进入释放步骤;当其为正确时,所述划片机执行机构控制当前相机动作中断,将所述用来显示相机动作停止的标记的值置为错误后进入释放步骤。

6.根据权利要求5所述的划片机相机调度控制方法,其特征在于:所述释放步骤具体为,清除所述当前相机动作对应的事件码的对应数据;对内存中存储的所有的事件码按优先级大小按照从大到小重新排序;将当前相机的状态变量清零。

7.根据权利要求1所述的划片机相机调度控制方法,其特征在于:每个所述事件码设置一后缀,用于区分工作平台,并设置不同工作平台的优先等级。

8.根据权利要求7所述的划片机相机调度控制方法,其特征在于:所述申请步骤中,在根据预置的事件码的优先级大小按照从大到小进行排序之前,先根据不同工作平台的优先等级排序。

说明书 :

划片机相机调度控制方法

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体器件领域,尤其是一种划片机相机调度控制方法。

背景技术

[0002] 划片机是半导体器件集成电路生产中用于后道加工工序不可或缺的设备,其主要功能是将半导体芯片切割成一个个独立的单独芯片元件。而且近年来,芯片的封装工艺在不断优化发展,芯片颗粒的外形也不仅限于方形,晶圆制作生产工艺流程也是越来越多元化,对划片机的加工方法要求越来越高。
[0003] 目前对晶圆划片机的划片精度和速度越来越高,因此划片机一般采用的方式是提供两个工作平台,例如中国专利CN202120082219.6所揭示的,两个工作平台可以同时分别处理2个划片工序,处理效率大大提高。又如中国专利CN202210661975.3、202121135980.8、201620917380.X所揭示的,划片机对于所有的工序会通过一个高清相机进行拍摄切割道来进行切割定位。但是由于两个工作平台是同时在工作,因此对于相机调度的快捷有效是非常有必要的,对于划片速度的影响很大。

发明内容

[0004] 本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题,提供一种高效的划片机相机调度控制方法。
[0005] 本发明的目的通过以下技术方案来实现:
[0006] 一种划片机相机调度控制方法,用于具有多工作平台的划片机,其包括以下步骤:
[0007] 申请步骤,接收到由划片机控制单元输入的事件码,发送给划片机处理单元;
[0008] 执行步骤,所述划片机处理单元根据所述事件码,驱动划片机执行机构完成相应的动作;
[0009] 释放步骤,所述划片机执行机构驱动完成当前相机的事件码相应的动作后,清除对应数据和相机状态变量清零,等待后续指令;
[0010] 所述申请步骤中,当同一时间接收有复数个事件码时,根据预置的事件码的优先级大小按照从大到小进行排序后存入内存中,所述划片机执行机构会由大到小逐级访问内存中的事件码并以此驱动相机执行完成相应的动作,同时将当前事件码从内存中释放,清除对应数据和相机状态变量清零,并且内存中的事件码按照优先级从大到小依次递补。
[0011] 优选的,所述预置的事件码的优先级大小具体为:
[0012] 相机空闲:优先级为0;
[0013] 相机自动对准:优先级为1;
[0014] 相机进行刀痕检测:优先级为2;
[0015] 相机手动对准:优先级为3;
[0016] 相机暂停检查:优先级为4。
[0017] 优选的,所述申请步骤中“接收到由划片机控制单元输入的事件码”具体包括,[0018] 读取当前相机的状态变量;
[0019] 比较接收到的事件码与正在执行的当前相机动作对应的事件码的优先级大小;
[0020] 当接收到的事件码的优先级高于当前相机动作对应的事件码的优先级时,用来显示相机动作停止的标记赋值为正确, 所述划片机执行机构控制当前相机动作中断,并将所述接收到的事件码存入内存中,然后对内存中存储的所有的事件码按优先级大小按照从大到小重新排序;
[0021] 当接收到的事件码的优先级低于当前相机动作对应的事件码的优先级时,所述用来显示相机动作停止的标记赋值为错误, 所述划片机执行机构控制当前相机动作继续,并将所述接收到的事件码存入内存中且将其排在内存中存储的所有的事件码最后位。
[0022] 优选的,所述执行步骤具体为,
[0023] 判定当前相机的状态变量是否不为0;当其为0时,代表相机空闲;
[0024] 当其不为0时,读取内存中最前位的事件码存入至当前相机的状态变量中并记录为当前相机动作对应的事件码;
[0025] 所述划片机处理单元根据所述当前相机动作对应的事件码,驱动划片机执行机构完成相应的动作。
[0026] 优选的,所述划片机执行机构执行过程中,实时判断所述用来显示相机动作停止的标记的赋值,当其为错误时,所述划片机执行机构控制当前相机动作继续,执行完毕后进入释放步骤;当其为正确时,所述划片机执行机构控制当前相机动作中断,将所述用来显示相机动作停止的标记的值置为错误后进入释放步骤。
[0027] 优选的,所述释放步骤具体为,清除所述当前相机动作对应的事件码的对应数据;对内存中存储的所有的事件码按优先级大小按照从大到小重新排序;将当前相机的状态变量清零。
[0028] 优选的,每个所述事件码设置一后缀,用于区分工作平台,并设置不同工作平台的优先等级。
[0029] 优选的,所述申请步骤中,在根据预置的事件码的优先级大小按照从大到小进行排序之前,先根据不同工作平台的优先等级排序。
[0030] 本发明技术方案的优点主要体现在:划片机多平台在同一时间接收有复数个事件码时,根据预置的平台等级、事件码的优先级进行排序后存入内存中,所述划片机执行机构会由大到小逐级访问内存中的事件码并以此驱动相机执行完成相应的动作,同时将当前事件码从内存中释放,清除对应数据和相机状态变量清零,并且内存中的事件码按照优先级从大到小依次递补。采用本发明方法的相机响应速度快且有序,调度快捷,提高了划片机的精度和速度。

附图说明

[0031] 图1是本发明划片机相机调度控制方法的申请步骤的流程示意图;
[0032] 图2是本发明划片机相机调度控制方法的执行步骤的流程示意图;
[0033] 图3是本发明划片机相机调度控制方法的释放步骤的流程示意图。

具体实施方式

[0034] 本发明的目的、优点和特点,将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本发明技术方案的典型范例,凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案,均落在本发明要求保护的范围之内。
[0035] 下面结合附图对本发明揭示的划片机相机调度控制方法进行阐述,用于具有多工作平台的划片机,如附图1至附图3所示,其包括以下步骤:
[0036] 申请步骤,接收到由划片机控制单元输入的事件码,发送给划片机处理单元;
[0037] 执行步骤,所述划片机处理单元根据所述事件码,驱动划片机执行机构完成相应的动作;
[0038] 释放步骤,所述划片机执行机构驱动完成当前相机的事件码相应的动作后,清除对应数据和相机状态变量清零,等待后续指令。
[0039] 具体来讲,本发明的特点在于:所述申请步骤中,当同一时间接收有复数个事件码时,根据预置的事件码的优先级大小按照从大到小进行排序后存入内存中,所述划片机执行机构会由大到小逐级访问内存中的事件码并以此驱动相机执行完成相应的动作,同时将当前事件码从内存中释放,清除对应数据和相机状态变量清零,并且内存中的事件码按照优先级从大到小依次递补。
[0040] 具体设置所述预置的事件码的优先级大小为:
[0041] 相机空闲(Stan By):优先级为0;
[0042] 相机自动对准(ALigment): 优先级为1;
[0043] 相机进行刀痕检测(KerfCheck):优先级为2;
[0044] 相机手动对准(ManuAlign):优先级为3;
[0045] 相机暂停检查(PauseCheck):优先级为4。
[0046] 具体如图1所示,所述申请步骤中“接收到由划片机控制单元输入的事件码”包括:
[0047] 读取当前相机的状态变量CurMicStatus;
[0048] 比较接收到的事件码ID_Req与正在执行的当前相机动作对应的事件码ID_NOW的优先级大小;
[0049] 当接收到的事件码ID_Req的优先级高于当前相机动作对应的事件码ID_NOW的优先级时,用来显示相机动作停止的标记MicroInterRupt赋值为正确, 所述划片机执行机构控制当前相机动作中断,并将接收到的事件码ID_Req存入内存Vec_MicRequest中,然后对内存中存储的所有的事件码按优先级大小按照从大到小重新排序;
[0050] 当接收到的事件码ID_Req的优先级低于当前相机动作对应的事件码ID_NOW的优先级时,所述标记MicroInterRupt赋值为错误, 所述划片机执行机构控制当前相机动作继续,并将接收到的事件码ID_Req存入内存Vec_MicRequest中且将其排在内存中存储的所有的事件码最后位。
[0051] 本发明中,所述内存Vec_MicRequest为不定长度的向量,存储着申请的相机事件并经排序后,高优先级的ID在最前(最高位)。
[0052] 本发明优选实施例中划片机包括2个工作平台,所以本发明中,每个所述事件码设置一后缀,例如Tab1、Tab2,用于区分工作平台,并设置不同工作平台的优先等级。所述申请步骤中,在根据预置的事件码的优先级大小按照从大到小进行排序之前,还会先根据不同工作平台的优先等级排序,具体来说,例如当优先级相同时,后缀Tab1的事件码的优先等级高于后缀Tab2的事件码的优先等级。如此设置的原因在于:工作平台的使用功能不同,例如可以设置为工作平台1主要用于时间较长的划片动作,工作平台2主要用于时间较短的检查动作。当然,本领域技术人员所熟知,其他的分配方式也是运行的,或者多平台设置相应多后缀的方式也是运行的。
[0053] 如图2所示,所述执行步骤具体为:
[0054] 判定当前相机的状态变量CurMicStatus是否不为0;当该状态变量CurMicStatus为0时,代表相机空闲;
[0055] 当该状态变量CurMicStatus不为0时,读取内存中最前位的事件码存入至相机的状态变量CurMicStatus中并记录为当前相机动作对应的事件码ID_NOW;
[0056] 所述划片机处理单元根据所述当前相机动作对应的事件码ID_NOW,驱动划片机执行机构完成相应的动作EVENT。
[0057] 优选的,所述划片机执行机构执行过程中,实时判断所述标记MicroInterRupt的赋值,当其为错误时,所述划片机执行机构控制当前相机动作继续,执行完毕后进入释放步骤;当其为正确时,所述划片机执行机构控制当前相机动作中断,将所述标记MicroInterRupt的值置为错误后进入释放步骤。
[0058] 如图3所示,所述释放步骤具体为,清除当前相机动作对应的事件码ID_NOW的对应数据;对内存中存储的所有的事件码按优先级大小按照从大到小重新排序;将相机状态变量CurMicStatus清零。
[0059] 本发明尚有多种实施方式,凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案,均落在本发明的保护范围之内。