一种角度调节装置及具有其的芯片测试机

摘要

本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种角度调节装置及具有其的芯片测试机。一种角度调节装置，包括：角度块组件，包括至少一个第一角度块和一个第二角度块，第一角度块具有第一斜面、第二角度块具有第二斜面，第一斜面和第二斜面的倾斜角不同；底座，设有第一角度块或第二角度块；转动块，转动设于底座上，转动块包括分设于相对两侧的接收面和调节面、以及轴线垂直于接收面设置的接收器，调节面适于与第一角度块的第一斜面或第二角度块的第二斜面贴合，以接收第一角度块或第二角度块施加的作用力，带动转动块转动，改变接收面角度，以便接收器接收光信号。本发明解决角度调节装置在连续调节中花费时间长、调整后角度精准度不高问题。

权利要求

1.一种角度调节装置，其特征在于，包括：

角度块组件，包括至少一个第一角度块（1）和一个第二角度块，所述第一角度块（1）具有第一斜面（15）、第二角度块具有第二斜面，所述第一斜面（15）和第二斜面的倾斜角不同；

底座，所述底座上设有第一角度块（1）或第二角度块；

转动块（3），转动设于所述底座上，所述转动块（3）包括分设于相对两侧的接收面（19）和调节面（14）、以及轴线垂直于所述接收面（19）设置的接收器，所述调节面（14）适于与所述第一角度块（1）的第一斜面（15）或第二角度块的第二斜面贴合，以接收所述第一角度块（1）或第二角度块施加的作用力，带动所述转动块（3）转动，改变所述接收面（19）的角度，以便所述接收器接收光信号；

所述底座包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，所述高度调节座上设有高度调节件（11），所述第一水平调节板上设有第一水平调节件（13），所述第二水平调节板上设有第二水平调节件（5），所述第一水平调节件（13）的轴线与第二水平调节件（5）的轴线垂直设置；

所述高度调节座包括活动座（9）和支撑座（10），所述高度调节件（11）设于所述支撑座（10）上，所述高度调节件（11）抵接在所述活动座（9）的斜面上。

2.根据权利要求1所述的角度调节装置，其特征在于，所述接收器为PD接收器（18）或光纤接收器（17）。

3.根据权利要求1所述的角度调节装置，其特征在于，所述调节面（14）与接收面（19）平行设置。

4.根据权利要求1所述的角度调节装置，其特征在于，所述第一角度块（1）或第二角度块设有至少一个固定孔和一个定位销孔，所述第一角度块（1）或第二角度块的第一定位销（29）穿过定位销孔、第一固定件（28）穿过第一固定孔以分别与所述底座连接。

5.根据权利要求1所述的角度调节装置，其特征在于，所述第一水平调节板包括第一固定板（8）和第一活动板（7），所述第一水平调节件（13）设于第一固定板（8）的伸出端（16）上，所述第一水平调节件（13）与第一活动板（7）的侧面抵接。

6.根据权利要求5所述的角度调节装置，其特征在于，所述第二水平调节板包括第二固定板（6）和第二活动板（4），所述第二水平调节件（5）设于第二固定板（6）的伸出端（16）上，所述第二水平调节件（5）与第二活动板（4）的侧面抵接。

7.一种芯片测试机，其特征在于，包括权利要求1‑6任一项所述的角度调节装置，还包括底板（12），所述底板（12）上并排设有两个所述角度调节装置。

8.根据权利要求7所述的芯片测试机，其特征在于，还包括测试平台，所述测试平台上放置有待检测Bar条（26），以及与所述待检测Bar条（26）对应设置的探针结构（22）。

说明书

一种角度调节装置及具有其的芯片测试机

技术领域

[0001] 本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种角度调节装置及具有其的芯片测试机。

背景技术

[0002] 芯片生产过程中，裂片机通过解理技术将Wafer(中文名为晶圆)裂片为一根根Bar条，或是将单根Bar条裂解为一颗颗chip(中文名为芯片)。具体的，Bar条可以看做为多个chip并排形成的单条，称之为一个Bar。

[0003] 裂片机主要用于裂解Bar条，而芯片测试机用于在裂解前对Bar条上排列的单颗芯片的性能进行测试。测试过程中，测试平台上的探针通电后接通待测试Bar条，芯片内会出现直线型或斜线型的发光条，发光条的两端发出光信号，再由设于角度调节装置上的光纤(接收光信号)或PD(将接收到的光信号转换为电信号)接收光信号，根据光信号判断是否符合标准。通常传统的Bar条上的发光条(也就是芯片的发光条)是垂直的贯穿chip的前后端。随着当前高速率/大功率芯片的出现，出现了带有倾斜角度光波导的特殊芯片(例如：带有SOA放大功能的拐向光波导芯片)，发光条两端发出的光信号的角度会发生变化(背光端仍为垂直光波导，而正光端设计成带有固定角度的光波导)，角度调节装置上的光纤或PD的角度应随着光信号的角度的变化而变化。现有角度调节装置，往往是通过连续调节角度，同时还必须要保证调整后角度的精确度，这就存在角度调节时需要花费的调节时间长、调整后的角度精准度不高的问题。

发明内容

[0004] 因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的角度调节装置在连续调节过程中花费时间长、调整后的角度精准度不高的缺陷，从而提供一种角度调节装置及具有其的芯片测试机。

[0005] 为了解决上述问题，本发明提供了一种角度调节装置，包括：

[0006] 角度块组件，包括至少一个第一角度块和一个第二角度块，所述第一角度块具有第一斜面、第二角度块具有第二斜面，所述第一斜面和第二斜面的倾斜角不同；

[0007] 底座，所述底座上设有第一角度块或第二角度块；

[0008] 转动块，转动设于所述底座上，所述转动块包括分设于相对两侧的接收面和调节面、以及轴线垂直于所述接收面设置的接收器，所述调节面适于与所述第一角度块的第一斜面或第二角度块的第二斜面贴合，以接收所述第一角度块或第二角度块施加的作用力，带动所述转动块转动，改变所述接收面的角度，以便所述接收器接收光信号。

[0009] 可选地，所述接收器为PD接收器或光纤接收器。

[0010] 可选地，所述调节面与接收面平行设置。

[0011] 可选地，所述第一角度块或第二角度块设有至少一个固定孔和一个定位销孔，所述第一角度块或第二角度块的第一定位销穿过定位销孔、第一固定件穿过第一固定孔以分别与所述底座固定连接。

[0012] 可选地，所述底座包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，所述高度调节座上设有高度调节件，所述第一水平调节板上设有第一水平调节件，所述第二水平调节板上设有第二水平调节件，所述第一水平调节件的轴线与第二水平调节件的轴线垂直设置。

[0013] 可选地，所述高度调节座包括活动座和支撑座，所述高度调节件设于所述支撑座上，所述高度调节件抵接在所述活动座的斜面上。

[0014] 可选地，所述第一水平调节板包括第一固定板和第一活动板，所述第一水平调节件设于第一固定板的伸出端上，所述第一水平调节件与第一活动板的侧面抵接。

[0015] 可选地，所述第二水平调节板包括第二固定板和第二活动板，所述第二水平调节件设于第二固定板的伸出端上，所述第二水平调节件与第二活动板的侧面抵接。

[0016] 一种芯片测试机，包括上述的角度调节装置，还包括底板，所述底板上并排设有两个所述角度调节装置。

[0017] 可选地，还包括测试平台，所述测试平台上放置有待检测Bar条，以及与所述待检测Bar条对应设置的探针结构。

[0018] 本发明技术方案，具有如下优点：

[0019] 1.本发明提供的角度调节装置，包括：角度块组件，包括至少一个第一角度块或一个第二角度块，第一角度块具有第一斜面、第二角度块具有第二斜面，第一斜面和第二斜面的倾斜角不同；底座，所述底座上设有第一角度块或第二角度块；转动块，转动设于底座上，转动块包括分设于相对两侧的接收面和调节面、以及轴线垂直于接收面设置的接收器，调节面适于与第一角度块的第一斜面或第二角度块的第二斜面贴合，以接收第一角度块或第二角度块施加的作用力，带动转动块转动，改变接收面的角度，以便接收器接收光信号。底座上设有转动块、以及与转动块的调节面贴合的第一角度块或第二角度块。当检测不同规格或材质的Bar条上的芯片时，芯片的发光带所形成的正光端的倾斜角度会发生变化，意味着光信号的角度发生偏移时，需要调节接收器的角度，根据厂家在生产中得出的正光端的倾斜角度，仅需第二角度块替换第一角度块(或第一角度块替换第二角度块)，使转动块的调节面与第一斜面或第二斜面贴合，即可改变接收面的角度，使接收器随接收面改变角度，以接收到光信号。相较于连续角度调节的方式，本申请提供的角度调节方法仅通过更换角度块调节角度，调节时间短，角度块的斜面具有精度高的优势。

[0020] 2.本发明提供的角度调节装置，接收器为PD接收器或光纤接收器，PD接收器将光信号转换为电信号传送到信号放大采集板进行数据采集，进行电特性数据计算处理并根据判定条件进行电特性等级分类；光纤接收器将接收到的光谱曲线数据送入到光谱仪中进行光谱信号分析，根据光谱测试数据的结果判定是否满足产品的品质要求，进行产品等级分类。

[0021] 3.本发明提供的角度调节装置，调节面与接收面平行设置，调节面与第一斜面或第二斜面贴合，接收器的轴线与接收面垂直，以通过第一角度块或第二角度块调节接收器的角度。

[0022] 4.本发明提供的角度调节装置，所述第一角度块或第二角度块设有至少一个固定孔和一个定位销孔，所述第一角度块或第二角度块的第一定位销穿过定位销孔、第一固定件穿过第一固定孔以分别与所述底座固定连接，当更换好角度块后，将第一定位销穿入定位销孔中以限制角度块的移动，第一固定件穿过第一固定孔实现第一角度块或第二角度块与底座固定连接。

[0023] 5.本发明提供的角度调节装置，底座包括自下而上沿高度方向依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，高度调节座上设有高度调节件，以通过高度调节件调节高度调节座的整体高度。第一水平调节板上设有第一水平调节件，第二水平调节件板上设有第二水平调节件，第一水平调节件的轴线与第二水平调节件的轴线垂直设置，以通过第一水平调节件、第二水平调节件调节水平面内两个垂直方向的位置。

[0024] 6.本发明提供的角度调节装置，高度调节座包括活动座和支撑座，高度调节件设于支撑座上，高度调节件抵接在活动座的斜面上，通过高度调节件调节斜面以使活动座沿高度方向进行移动，进而调节底座上设置的角度块和转动块的高度。

[0025] 7.本发明提供的角度调节装置，第一水平调节板包括第一固定板和第一活动板，第一水平调节件设于第一固定板的伸出端上，第一水平调节件与第一活动板的侧面抵接，以通过第一水平件调节第一活动板的位置，使第一固定板和第一活动板间出现相对移动，进而调节底座上设置的角度块和转动块的水平位置。

[0026] 8.本发明提供的角度调节装置，第二水平调节板包括第二固定板和第二活动板，第二水平调节件设于第二固定板的伸出端上，第二水平调节件与第二活动板的侧面抵接，以通过第二水平件调节第二活动板的位置，使第二固定板和第二活动板间出现相对移动，进而调节底座上设置的角度块和转动块的水平位置。

[0027] 9.本发明提供的芯片测试机，由于采用了上述任一项所述的角度调节装置，因此具有上述任一项所述的优点。还包括底板和测试平台，底板上并排设有两个角度调节装置，测试平台上放置有待检测Bar条，以及与待检测Bar条对应设置的探针结构，当探针结构通电后与待检测Bar条接触，待检测Bar条上的芯片会形成斜线型发光条，发光条两端发出光信号，底板上设置的一个角度调节装置采集到光信号后，移动测试平台，再通过另一角度调节装置采集光信号。

附图说明

[0028] 为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0029] 图1为本发明的实施方式中提供的并排设置的两个角度调节装置的结构示意图；

[0030] 图2为本发明的实施方式中提供的并排设置的两个角度调节装置的结构示意图；

[0031] 图3为本发明实施方式中提供的角度调节装置的结构示意图；

[0032] 图4为本发明实施方式中提供的第一水平调节板和第二水平调节板连接的结构示意图；

[0033] 图5为本发明实施方式中提供的第一角度块的结构示意图；

[0034] 图6为本发明实施方式中提供的测试平台、并排设置的两个角度调节装置的结构示意图；

[0035] 图7为本发明实施方式中提供的待检测Bar条的结构示意图。

[0036] 附图标记说明：1、第一角度块；2、弧形槽；3、转动块；4、第二活动板；5、第二水平调节件；6、第二固定板；7、第一活动板；8、第一固定板；9、活动座；10、支撑座；11、高度调节件；12、底板；13、第一水平调节件；14、调节面；15、第一斜面；16、伸出端；17、光纤接收器；18、PD接收器；19、接收面；20、第三固定件；21、放置板；22、探针结构；23、芯片；24、通电端；25、发光条；26、待检测Bar条；27、基准面；28、第一固定件；29、第一定位销；30、第二固定件；31、第二定位销；32、正光端面；33、背光端；34、正光端。

具体实施方式

[0037] 下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0038] 在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0039] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0040] 此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

[0041] 如图1－图7所示的角度调节装置的一种具体实施方式，包括：底座、角度块组件，其中，角度块组件包括一个第一角度块1和一个第二角度块，第一角度块1具有分设于两侧的第一斜面15和基准面27、第二角度块具有分设于两侧的第二斜面和基准面27，第一斜面15和第二斜面的倾斜角不同，底座上设有第一角度块1和转动块3。每一角度块均设有一个固定孔和两个定位销孔，通过第一定位销29对角度块进行定位、第一固定件28与底座固定连接。具体的，第一固定件28为螺栓。

[0042] 如图图1、图2和图3所示，转动块3包括分设于相对两侧的接收面19和调节面14、以及轴线垂直于接收面19设置的接收器。具体的，接收器为PD接收器18，其中，调节面14和接收面19平行设置，PD接收器18卡设在转动块3上。转动块3的调节面14与第一角度块1的第一斜面15贴合，以接收第一角度块1施加的作用力。为限制转动块3的移动，转动块3上设有两个对称设置的弧形槽2，底座上设有第二定位销31，第二定位销31穿入弧形槽2中与底座转动连接。具体的，第二定位销31为螺杆。两个弧形槽2对称的中心位置设有通孔，第二固定件30穿过通孔使转动块3与底座固定连接。如图1、图2和图3所示，为便于分析光信号是否符合要求，PD接收器18连接有信号放大采集板、光纤接收器17连接有光谱仪对采集到的电特性曲线和光谱曲线进行分析和判断，转动块3的横截面为“L”形。

[0043] 如图1、图2、图3和图4所示，底座包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板。如图1、图2所示，高度调节座包括活动座9、支撑座10和高度调节件11，其中，高度调节件11设于支撑座10上，且高度调节件11抵接在活动座9的斜面上，通过转动高度调节件11的伸进或伸出与活动座9斜面的不同位置接触，以调节活动座9的高度，改变转动块3和角度块的高度。具体的，高度调节件11为微分头。

[0044] 如图1、图2、图3和图4所示，第一水平调节板包括滑动连接的第一固定板8和第一活动板7，其中，第一固定板8上设有“L”形的伸出端16，伸出端16上设有第一水平调节件13，第一水平调节件13与第一活动板7的侧面抵接，转动第一水平调节件13的调节杆推动第一活动板7相对于第一固定板8的移动。具体的，第一水平调节件13为微分头。为固定调节后的第一活动板7和第一固定板8，第一水平调节板上还设有第三固定件20，转动第三固定件20与第一活动板7进行固定。

[0045] 如图1、图2、图3和图4所示，第二水平调节板包括滑动连接的第二固定板6和第二活动板4，其中，第二固定板6上设有“L”形的伸出端16，伸出端16上设有第二水平调节件5，第二水平调节件5的轴线与第一水平调节件13的轴线垂直设置，第二水平调节件5与第二活动板4的侧面抵接，转动第二水平调节件5的调节杆推动第二活动板4相对于第二固定板6的移动。具体的，第二水平调节件5为微分头。为固定调节后的第二活动板4和第二固定板6，第二水平调节板上还设有第三固定件20，转动第三固定件20与第二活动板4进行固定。

[0046] 还提供了一种芯片测试机，如图1、图2和图6所示，包括底板12，底板12上并排设有两个角度调节装置，底板12与支撑座10固定连接，其中，一个角度调节装置的接收器为PD接收器18、另外一个角度调节装置的接收器为光纤接收器17。如图6和图7所示，还包括与底板12对应设置的测试平台，以及驱动测试平台进行移动的动力机构，其中，测试平台上设有放置板21，放置板21上设有待检测Bar条26、以及设于待检测Bar条26正上方的探针结构22，具体的，待检测Bar条26设有两个间隔设置的芯片23，每一芯片23设有三个通电端24，每一通电端24对应探针结构22的一根探针。探针结构22的三根探针下降分别与待检测Bar条26的一个芯片23的三个通电端24接触，当探针与通电端24接通后，芯片23会出现发光条25，发光条25的正光端34和背光端33分别发出光信号。

[0047] 具体实施过程中，根据待检测芯片23的正光端34的倾斜光波导角度，制作好一组角度块组(如，角度块组的第一角度块1的第一斜面15的角度为8°、第二角度块的第二斜面的角度为10°)。实际测试过程中，由于待检测芯片23的不同规格(如，厚度、高度、尺寸等)、材质不同，发光条25的正光端34的角度会出现变化，根据正光端34的倾斜光波导角度更换相应的角度块，以通过第一定位销29进行定位、第一固定件28固定，使垂直于转动块3接收面19的接收器的轴线与正光端34的轴线平行，即，PD接收器18或光纤接收器17轴线与待检测芯片23的正光端34的横截面垂直(PD或光纤探头与待检测芯片23的光波导角度一致)。更换完角度块后，驱动机构驱动测试平台移动至设有PD接收器18的光信号接收区域，使基准面27始终与正光端面32平行，调节面14与接收面19、接收面19与正光端34的横截面始终保持平行状态。当发现待检测芯片23的正光端34的轴线与PD接收器18的中心轴线有偏移时(两条轴线平行但不重合)，现场人员通过高度调节件11对高度进行微调节，第一水平调节件13、第二水平调节件5在水平面内沿垂直设置的两个方向进行微调节，PD接收器18的中心轴线与发光条25的正光端34的中心轴线重合。待全部位置调整完成后，探针下降、通电使同一芯片23的发光条25发出光信号，发光条25的正光端34和背光端33分别发出光信号，此时的光谱耦合峰值最高最佳，PD接收器18以最大效率地接收正光端34传出的光信号。当PD接收器18接收完光信号后，测试平台移动至光纤接收器17的光信号接收区域，进行高度和水平方向微调、以最大效率接收光信号。

[0048] 作为替代的实施方式，角度块组件还可设有第三角度块、第四角度块、第五角度块等角度块，每一角度块的斜面分别具有不同角度的倾斜角，以根据发光条倾斜角的不同按需进行选择。

[0049] 作为替代的实施方式，高度调节件11、第一水平调节件13、第二水平调节件5还可为螺栓等。

[0050] 作为替代的实施方式，待检测Bar条26还可设置有3个、4个甚至更多个间隔设置的芯片23。

[0051] 显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。