一种镀膜载物台

摘要

本发明涉及一种镀膜载物台，包括转动安装的转轴，转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件。本发明提供的上述方案，能够直接对被镀膜工件进行加热，可以实现对被镀膜工件温度的精确控制。

权利要求

1.一种镀膜载物台，其特征在于：包括转动安装的转轴，转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件；

转轴沿其长度方向升降式装配，转轴与调节其进行升降的升降调节组件相连接，转轴与偏压组件相连接；加热组件包括载物台下侧设置的加热盘，加热盘的下表面上设置有内导电环和外导电环，内导电环的下端延伸至外导电环的下端下侧，内、外导电环和转轴同心布置，内、外导电环分别与加热电源的正、负端电连接；

还包括A、B接电件，A、B接电件通过A、B绝缘件固定安装在镀膜腔室上，A接电件位于B接电件的上侧，A接电件和外导电环外壁面之间通过A电刷组件进行电连接， B接电件和内导电环外壁面之间通过B电刷组件进行电连接，A、B接电件分别与加热电源的正、负端电连接；

载物台包括载物台本体和载物台本体上设置的托盘，载物台的下表面上设置用于安装加热盘的环形槽，加热盘为陶瓷加热盘；

偏压组件包括C接电件，C接电件通过C绝缘件固定安装在升降座上，C接电件和转轴的外表面之间通过C电刷组件进行电连接，C接电件与偏压电源相连接；

镀膜腔室包括底板，底板的下侧设置有升降座，升降座升降式安装在底板上，底板上设置有通孔，转轴通过轴承组件和绝缘件转动安装在升降座上，转轴的上端穿过通孔延伸至镀膜腔室内，转轴的轴身和通孔的孔壁呈分离状，升降座和底板之间的转轴轴身上套设有可进行伸缩的密封管，密封管的两端分别与底板、升降座固定连接；

转轴的下端端部设置有驱动轮，驱动轮通过传动带与升降座上设置的驱动电机相连接，升降调节组件包括升降调节气缸，升降调节气缸的缸体部和升降座固定装配，升降调节气缸的活塞杆与底板固定连接，密封管为波纹管。

说明书

一种镀膜载物台

技术领域

[0001] 本发明涉及真空镀膜设备领域，具体涉及一种镀膜载物台。

背景技术

[0002] 磁控溅射设备作为一种真空镀膜设备，可以制备高性能的金属涂层、非金属图层以及其他外观装饰膜层，制备的膜层具备均匀性好、致密性好、耐腐蚀等诸多优点，可广泛应用于军工和民用的多个领域，具体行业包括航空航天、半导体行业、纺织业、交通运输业、制造业等等。磁控溅射设备是通过氩离子去轰击靶材表面，将靶材材料溅射出来，使其附着在被镀膜工件表面；同时通过对工件施加负偏压，来增加离子的能量，使其更好的附着在工件表面，从而增加膜层的结合力。镀膜的过程中，温度的控制对膜层的性能也至关重要。传统的溅射镀膜设备需通过多个模块分别来实现载物台的加偏压、加热、旋转、升降。而加热也仅仅只是对腔体内部空间环境进行加热，加热时间过长，并且也无法精确把控镀膜工件的真实温度，导致整个镀膜过程，工件的真实温度得不到精确控制，从而影响整个膜层的性能，严重会导致产品报废。

发明内容

[0003] 本发明的目的是提供一种真空镀膜载物台，其可以用于解决上述技术问题。

[0004] 本发明采取的技术方案具体如下：

[0005] 一种镀膜载物台，其特征在于：包括转动安装的转轴，转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件。

[0006] 进一步的方案为：转轴沿其长度方向升降式装配，转轴与调节其进行升降的升降调节组件相连接。

[0007] 转轴与偏压组件相连接。

[0008] 转轴延伸至镀膜腔室外的端部与升降调节组件和/或偏压组件相连接。

[0009] 加热组件包括载物台下侧设置的加热盘，加热盘的下表面上设置有内导电环和外导电环，内导电环的下端延伸至外导电环的下端下侧，内、外导电环和转轴同心布置，内、外导电环分别与加热电源的正、负端电连接。

[0010] 还包括A、B接电件，A、B接电件通过A、B绝缘件固定安装在镀膜腔室上，A接电件位于B接电件的上侧，载物台旋转、升降过程中A接电件和外导电环外壁面之间通过A电刷组件进行电连接，载物台旋转、升降过程中B接电件和内导电环外壁面之间通过B电刷组件进行电连接，A、B接电件分别与加热电源的正、负端电连接。

[0011] 载物台包括载物台本体和载物台本体上设置的托盘，载物台的下表面上设置用于安装加热盘的环形槽，加热盘为陶瓷加热盘。

[0012] 镀膜腔室包括底板，底板的下侧设置有升降座，升降座升降式安装在底板上，底板上设置有通孔，转轴通过轴承组件和绝缘件转动安装在升降座上，转轴的上端穿过通孔延伸至镀膜腔室内，转轴的轴身和通孔的孔壁呈分离状，升降座和底板之间的转轴轴身上套设有可进行伸缩的密封管，密封管的两端分别与底板、升降座固定连接，转轴延伸至升降座下侧的端部与偏压组件和/或转动调节件相连接。

[0013] 偏压组件包括C接电件，C接电件通过C绝缘件固定安装在升降座上，C接电件和转轴的外表面之间通过C电刷组件进行电连接，C接电件与偏压电源相连接。

[0014] 转轴的下端端部设置有驱动轮，驱动轮通过传动带与升降座上设置的驱动电机相连接，升降调节组件包括各个升降调节气缸，升降调节气缸的缸体部和升降座固定装配，升降调节气缸的活塞杆与底板固定连接，密封管为波纹管。

[0015] 本发明提供的上述方案，能够直接对被镀膜工件进行加热，可以实现对被镀膜工件温度的精确控制。

附图说明

[0016] 图1为本发明的剖视结构示意图。

[0017] 图2为载物台和加热组件的装配结构示意图。

[0018] 图3为转轴的结构示意图。

[0019] 图4为升降调节组件的结构示意图。

[0020] 附图标号和部件对应关系如下。

[0021] 00‑工件、10‑转轴、11‑驱动轮、12‑绝缘件、13‑C导电件、14‑密封管、20‑升降座、21‑升降调节气缸、30‑底板、41‑载物台本体、42‑托盘、50‑加热盘、51‑外导电环、52‑内导电环、53‑A导电件、54‑B导电件、55‑A绝缘件、56‑B绝缘件。

具体实施方式

[0022] 为了使本发明的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本发明进行具体说明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本发明的一种或几种具体的实施方式，并不对本发明具体请求的保护范围进行严格限定。如在本文中所使用，术语“平行”和“垂直”不限于其严格的几何定义，而是包括对于机加工或人类误差合理和不一致性的容限。

[0023] 如图1～4所示，一种镀膜载物台，包括转动安装的转轴10，转轴10延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件00的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件00的加热组件。转轴10沿其长度方向升降式装配，转轴10与调节其进行升降的升降调节组件相连接。转轴10与偏压组件相连接。本发明提供的上述方案，能够直接对被镀膜工件00进行加热，可以实现对被镀膜工件00温度的精确控制。并且将载物台的加偏压、加热、旋转、升降集成为一体式结构，结构更加紧凑，功能也更加多样性。

[0024] 详细的操作为，如图2所示，加热组件包括载物台下侧设置的加热盘50，加热盘50的下表面上设置有内导电环52和外导电环51，内导电环52的下端延伸至外导电环51的下端下侧，内、外导电环52、51和转轴10同心布置，内、外导电环52、51分别与加热电源的正、负端电连接。还包括A、B接电件53、54，A、B接电件53、54通过A、B绝缘件55、56固定安装在镀膜腔室上，A接电件53位于B接电件54的上侧，载物台旋转、升降过程中A接电件53和外导电环51外壁面之间通过A电刷组件进行电连接，载物台旋转、升降过程中B接电件54和内导电环52外壁面之间通过B电刷组件进行电连接，A、B接电件53、54分别与加热电源的正、负端电连接。内、外导电环52、51具体的可以为铜导电环，A、B电刷组件具体的可以为碳刷导电组件，B接电件54的内径小于A接电件53的内径，从满足转动、升降时的导电需求，保证供电的可靠性。A、B接电件53、54之间的间距根据转轴10升降高度的范围进行选择。A、B、C接电件具体可以为铜环构成，加热电源具体为220V电源。

[0025] 载物台包括载物台本体41和载物台本体41上设置的托盘42，具体操作时，载物台本体41和托盘42都为紫铜材料，并且载物台本体41和托盘42直接面接触，从而实现导电。载物台的下表面上设置用于安装加热盘50的环形槽，加热盘50为陶瓷加热盘50。转轴10具体可以为磁流体旋转轴10。转轴10延伸至镀膜腔室外的端部与升降调节组件和/或偏压组件相连接。镀膜腔室包括底板30，底板30的下侧设置有升降座20，升降座20升降式安装在底板30上，底板30上设置有通孔，转轴10通过轴承组件和绝缘件12转动安装在升降座20上，转轴
10的上端穿过通孔延伸至镀膜腔室内，转轴10的轴身和通孔的孔壁呈分离状，升降座20和底板30之间的转轴10轴身上套设有可进行伸缩的密封管14，密封管14的两端分别与底板
30、升降座20固定（密封）连接，转轴10延伸至升降座20下侧的端部与偏压组件和/或转动调节件相连接。转轴10的下端端部设置有驱动轮11，驱动轮11通过传动带与升降座20上设置的驱动电机相连接，升降调节组件包括各个升降调节气缸21，升降调节气缸21的缸体部和升降座20固定装配，升降调节气缸21的活塞杆与底板30固定连接，密封管14为波纹管。偏压组件包括C接电件13，C接电件13通过C绝缘件12固定安装在升降座20上，C接电件13和转轴
10的外表面之间通过C电刷组件进行电连接，C接电件13与偏压电源相连接。具体如图3、4所示。各个升降调节气缸21同步调节升降座20进行升降。

[0026] 本发明提供的上述方案，可实现被镀膜工件00的加偏压、加热、旋转、升降等多种功能，满足真空镀膜的不同需求，保证真空镀膜的质量。

[0027] 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、机构以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。