一种极紫外光源原位偏振检测装置

摘要

本发明提供了一种极紫外光源原位偏振检测装置，包括偏振检测腔体、固定板、调节台、偏振测试机构和活动座，所述固定板、调节台和偏振测试机构均设置在偏振检测腔体内部，所述固定板安装在调节台上，所述偏振测试机构安装在固定板表面。本发明通过使用偏振检测腔体、固定板、调节台和偏振测试机构，能够让模拟光或极紫外光进入偏振检测真空腔体中，然后根据需要对固定板和调节台进行调节，从而调整偏振测试机构的工作状态，而偏振测试机构能够准确的测量偏振性质。本发明采用若干块反射镜的方式测量极紫外光偏振特性，其支持全波段，测量精度高，非单脉冲形式，适应性强。

权利要求

1.一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，包括偏振检测腔体（1）、固定板（16）、调节台（17）、偏振测试机构和活动座（9）；

所述固定板（16）、调节台（17）和偏振测试机构均设置在偏振检测腔体（1）内部；

所述固定板（16）安装在调节台（17）上；

所述偏振测试机构安装在固定板（16）表面；

所述偏振测试机构包括U型支撑架（5）、检偏器转轴（6）、反射镜组件（7）和旋转台（8）；

所述活动座（9）滑动安装在固定板（16）表面；

所述U型支撑架（5）固定安装在活动座（9）表面；

所述检偏器转轴（6）与U型支撑架（5）转动连接；

所述旋转台（8）与检偏器转轴（6）一端固定连接；

所述反射镜组件（7）安装在检偏器转轴（6）的中段。

2.根据权利要求1所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述偏振检测腔体（1）两端开设有同轴设置的法兰口（101）。

3.根据权利要求1所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述偏振测试机构还包括第一位移台（4）和第二位移台（401）；

所述第一位移台（4）和第二位移台（401）分别位于检偏器转轴（6）两端；

所述第一位移台（4）一端安装有前定位荧光靶（2），另一端安装有前光阑孔（3）；

所述第二位移台（401）一端安装有后光阑孔（10），另一端安装有后定位荧光靶（11）。

4.根据权利要求3所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述第一位移台（4）和第二位移台（401）均与固定板（16）滑动连接，且沿检偏器转轴（6）径向滑动设置。

5.根据权利要求3所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述偏振测试机构还包括第三位移台（402），所述第三位移台（402）位于第二位移台（401）远离检偏器转轴（6）的一侧；

所述第三位移台（402）一端安装有强光强探测器（12），另一端安装有弱光强探测器（13）。

6.根据权利要求5所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述第三位移台（402）与固定板（16）滑动连接，且沿检偏器转轴（6）径向滑动设置。

7.根据权利要求1所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述偏振检测腔体（1）两端还开设有观察窗（15）。

8.根据权利要求7所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述偏振检测腔体（1）两侧还安装有监控器（14），所述监控器（14）位于观察窗（15）外侧。

9.根据权利要求1‑8任一项所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述检偏器转轴（6）包括前轴（601）、反射镜架（602）和后轴（603）；

所述反射镜架（602）两端分别与前轴（601）和后轴（603）固定连接；

所述前轴（601）和后轴（603）均与U型支撑架（5）转动连接，且沿轴向设置有贯通的通孔；

所述反射镜架（602）沿前轴（601）的径向凸起；

所述反射镜组件（7）安装在反射镜架（602）上。

10.根据权利要求9所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述前轴（601）和后轴（603）表面均安装有同轴设置的轴承（18），所述轴承（18）安装在U型支撑架（5）上。

11.根据权利要求9所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述反射镜组件（7）包括若干第一反射镜（701）、若干第一框架（702）、若干第二反射镜（703）、若干第二框架（704）、若干调节板（705）、若干第一调节螺钉（706）和若干第二调节螺钉（707）；

所述第一反射镜（701）安装在第一框架（702）上，所述第一框架（702）安装在反射镜架（602）上，两个所述第一反射镜（701）沿检偏器转轴（6）的轴向对称设置，且对称面垂直于检偏器转轴（6）的轴向；

所述第二反射镜（703）安装在第二框架（704）上，两个所述第二反射镜（703）沿检偏器转轴（6）的轴向对称设置，且对称面垂直于检偏器转轴（6）的轴向，所述第二框架（704）与调节板（705）通过第一调节螺钉（706）和第二调节螺钉（707）连接，所述调节板（705）安装在反射镜架（602）上；

所述第一调节螺钉（706）与调节板（705）螺纹连接，与所述第二框架（704）抵接；

所述调节板（705）和第二框架（704）均与第二调节螺钉（707）螺纹连接。

12.根据权利要求1所述的一种极紫外光源原位偏振检测装置，其特征在于，所述调节台（17）为六轴的调节台（17）。

说明书

一种极紫外光源原位偏振检测装置

技术领域

[0001] 本发明属于紫外光检测技术领域，特别涉及一种极紫外光源原位偏振检测装置。

背景技术

[0002] 极紫外光是指电磁波谱中波长从121纳米到10纳米的电磁辐射；极紫外光是研究材料科学和纳米科学必不可少的工具。很多物理和化学过程在本质上都是原子和分子过程，比如臭氧层空洞的形成涉及到大气上层臭氧分子（O3）的淬灭机制，雾霾的形成涉及到污染物分子（SO2、CO等）聚集过程，燃烧过程涉及到氧原子或氧分子与其它分子的反应等一系列过程。要控制或利用这些物理和化学过程，就需要在实验室里研究这些过程所涉及到的原子和分子的反应机制，因此就需要精确并且高灵敏度地探测所涉及到原子和分子。而在极紫外光照射下的区域内，几乎所有的原子和分子都“无处遁形”，所以极紫外光能够解析大气化学中性团簇的精细结构，揭示大气中气溶胶的成核动力学机制。

[0003] 极紫外光源的可调偏振特性是探测物质结构和对称性质实验中最为重要的特性之一。激光脉冲的偏振特性是实验用户首要关心的问题。极紫外光源相干光源产生的激光14
处于极紫外波段且光子数密度极高（每一个激光脉冲包含超过100万亿（1×10 ）个光子），准确测量偏振性质是个难题。传统的偏振性质测量利用各向异性晶体和刻划检偏器（刻划线距远小于待测波长）组合来实现。由于极紫外波段激光在晶体内将被完全吸收，且检偏器刻划精度达不到极紫外波段，测量无法通过传统的偏振测量方案来完成。

发明内容

[0004] 针对上述问题，本发明提出一种极紫外光源原位偏振检测装置。

[0005] 为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

[0006] 一种极紫外光源原位偏振检测装置，包括偏振检测腔体、固定板、调节台、偏振测试机构和活动座；

[0007] 所述固定板、调节台和偏振测试机构均设置在偏振检测腔体内部；

[0008] 所述固定板安装在调节台上；

[0009] 所述偏振测试机构安装在固定板表面；

[0010] 所述偏振测试机构包括U型支撑架、检偏器转轴、反射镜组件和旋转台；

[0011] 所述活动座滑动安装在固定板表面；

[0012] 所述U型支撑架固定安装在活动座表面；

[0013] 所述检偏器转轴与U型支撑架转动连接；

[0014] 所述旋转台与检偏器转轴一端固定连接；

[0015] 所述反射镜组件安装在检偏器转轴的中段。

[0016] 优选地，所述偏振检测腔体两端开设有同轴设置的法兰口。

[0017] 优选地，所述偏振测试机构还包括第一位移台和第二位移台；

[0018] 所述第一位移台和第二位移台分别位于检偏器转轴两端；

[0019] 所述第一位移台一端安装有前定位荧光靶，另一端安装有前光阑孔；

[0020] 所述第二位移台一端安装有后光阑孔，另一端安装有后定位荧光靶。

[0021] 优选地，所述第一位移台和第二位移台均与固定板滑动连接，且沿检偏器转轴径向滑动设置。

[0022] 优选地，所述偏振测试机构还包括第三位移台，所述第三位移台位于第二位移台远离检偏器转轴的一侧；

[0023] 所述第三位移台一端安装有强光强探测器，另一端安装有弱光强探测器。

[0024] 优选地，所述第三位移台与固定板滑动连接，且沿检偏器转轴径向滑动设置。

[0025] 优选地，所述偏振检测腔体两端还开设有观察窗。

[0026] 优选地，所述偏振检测腔体两侧还安装有监控器，所述监控器位于观察窗外侧。

[0027] 优选地，所述检偏器转轴包括前轴、反射镜架和后轴；

[0028] 所述反射镜架两端分别与前轴和后轴固定连接；

[0029] 所述前轴和后轴均与U型支撑架转动连接，且沿轴向设置有贯通的通孔；

[0030] 所述反射镜架沿前轴的径向凸起；

[0031] 所述反射镜组件安装在反射镜架上。

[0032] 优选地，所述前轴和后轴表面均安装有同轴设置的轴承，所述轴承安装在U型支撑架上。

[0033] 优选地，所述反射镜组件包括若干第一反射镜、若干第一框架、若干第二反射镜、若干第二框架、若干调节板、若干第一调节螺钉和若干第二调节螺钉；

[0034] 所述第一反射镜安装在第一框架上，所述第一框架安装在反射镜架上，两个所述第一反射镜沿检偏器转轴的轴向对称设置，且对称面垂直于检偏器转轴的轴向；

[0035] 所述第二反射镜安装在第二框架上，两个所述第二反射镜沿检偏器转轴的轴向对称设置，且对称面垂直于检偏器转轴的轴向，所述第二框架与调节板通过第一调节螺钉和第二调节螺钉连接，所述调节板安装在反射镜架上；

[0036] 所述第一调节螺钉与调节板螺纹连接，与所述第二框架抵接；

[0037] 所述调节板和第二框架均与第二调节螺钉螺纹连接。

[0038] 优选地，所述调节台为六轴的调节台。

[0039] 本发明的有益效果：

[0040] 1、本发明通过使用偏振检测腔体、固定板、调节台和偏振测试机构，能够让模拟光或极紫外光进入偏振检测真空腔体中，然后根据需要对固定板和调节台进行调节，从而调整偏振测试机构的工作状态，而偏振测试机构能够准确的测量偏振性质；

[0041] 2、本发明采用若干块反射镜的方式测量极紫外光偏振特性，其支持全波段，测量精度高，非单脉冲形式，适应性强；

[0042] 3、本发明采用两种光强探测器，分别适用于高、低强度的极紫外光，适应性强；

[0043] 4、本发明在检偏器前后都增加了光阑，可确保极紫外光能全部进入光强探测器，防止一部分极紫外光溢出，影响测量结果；

[0044] 5、本专利采用了两个定位荧光靶作为调节检偏器与极紫外光同轴的基准，调节方式直观，精度高；即使极紫外光光束的位置发生变化，也可以随时通过重新在线调试，调节检偏器与极紫外光同轴。

[0045] 本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。

附图说明

[0046] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0047] 图1示出了本发明的一种极紫外光源原位偏振检测装置的结构示意图；

[0048] 图2示出了本发明的偏振测试机构的正视图；

[0049] 图3示出了本发明的偏振测试机构的剖视结构图；

[0050] 图4示出了图3中A区域的放大视图；

[0051] 图5示出了第一调节螺钉和第二调节螺钉的位置关系图。

[0052] 图中：1、偏振检测腔体；101、法兰口；2、前定位荧光靶；3、前光阑孔；4、第一位移台；401、第二位移台；402、第三位移台；5、U型支撑架；6、检偏器转轴；601、前轴；602、反射镜架；603、后轴；7、反射镜组件；701、第一反射镜；702、第一框架；703、第二反射镜；704、第二框架；705、调节板；706、第一调节螺钉；707、第二调节螺钉；8、旋转台；9、活动座；10、后光阑孔；11、后定位荧光靶；12、强光强探测器；13、弱光强探测器；14、监控器；15、观察窗；16、固定板；17、调节台；18、轴承；19、轴承盖。

具体实施方式

[0053] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0054] 一种极紫外光源原位偏振检测装置，如图1所示，包括偏振检测腔体1、固定板16、调节台17、偏振测试机构和活动座9；其中，偏振检测腔体1两端开设有同轴设置的法兰口101，确保整个偏振检测装置工作在超高真空环境，然后固定板16、调节台17和偏振测试机构均设置在偏振检测腔体1内部；另外，固定板16安装在调节台17上，调节台17可以调节固定板16的位置，使检偏器转轴6与极紫外光同轴，偏振测试机构安装在固定板16表面。

[0055] 另外，偏振测试机构包括U型支撑架5、检偏器转轴6、反射镜组件7、旋转台8和活动座9；其中，活动座9滑动安装在固定板16表面，U型支撑架5固定安装在活动座9表面，检偏器转轴6与U型支撑架5转动连接，旋转台8与检偏器转轴6一端固定连接，反射镜组件7安装在检偏器转轴6的中段，反射镜组件7内的反射镜形成光路的反射传输通道。

[0056] 需要说明的是，U型支撑架5的作用是支撑检偏器转轴6和旋转台8，并连接活动座9，使活动座9可以带动检偏器转轴6切换；U型支撑架5两端有轴承孔，通过轴承18支撑检偏器转轴6，同时检偏器转轴6可以在轴承孔内旋转。检偏器转轴6的作用是固定反射镜组件7，然后旋转台8可以带动检偏器转轴6和反射镜组件7旋转，另外，检偏器转轴6的两端有固定轴承18用的轴颈和通光孔，轴颈和通光孔同轴，通光孔的作用是允许模拟光或极紫外光无阻碍地通过检偏器转轴6，旋转台8的作用是带动检偏器转轴6和反射镜组件7旋转；旋转台8的转轴中心有通光孔，可以允许模拟光或极紫外光无阻碍地通过旋转台8。

[0057] 需要说明的是，调节台17为六轴式，可以进行六维调节，利用调节台17调试的过程中，固定板16上固定的所有设备相对位置保持不变，提高装置的稳定性和重复定位精度。

[0058] 需要说明的是，活动座9可以在固定板16上滑动，从而调节整个偏振测试机构的位置，在使用时活动座9带动U型支撑架5移动，然后U型支撑架5上的检偏器转轴6就可以沿法兰口101的径向调节位置。

[0059] 如图2和图3所示，检偏器转轴6包括前轴601、反射镜架602和后轴603，其中，反射镜架602两端分别与前轴601和后轴603固定连接，前轴601和后轴603均与U型支撑架5转动连接，且沿轴向设置有贯通的通孔，反射镜架602沿前轴601的径向凸起，反射镜组件7安装在反射镜架602上，前轴601的通孔、反射镜组件7形成的光路反射传输通道、后轴603的通孔依次衔接构成光路的传输通道，当模拟光通过法兰口101进入偏振检测腔体1内部，会进入前轴601，然后反射镜组件7可以将模拟光反射至后轴603，最后从另一端的法兰口101发射出去。

[0060] 进一步地，在图3中，前轴601和后轴603表面均安装有轴承18，轴承18安装在U型支撑架5上，而且U型支撑架5侧面安装有轴承盖19，用来挡住轴承18。

[0061] 如图4所示，反射镜组件7包括若干第一反射镜701、若干第一框架702、若干第二反射镜703、若干第二框架704、若干调节板705、若干第一调节螺钉706和若干第二调节螺钉707；其中，第一反射镜701安装在第一框架702上，第一框架702安装在反射镜架602上，两个第一反射镜701沿检偏器转轴6的轴向对称设置，且对称面垂直于检偏器转轴6的轴向；另外，第二反射镜703安装在第二框架704上，两个第二反射镜703沿检偏器转轴6的轴向对称设置，且对称面垂直于检偏器转轴6的轴向，第二框架704与调节板705通过第一调节螺钉
706和第二调节螺钉707连接，调节板705安装在反射镜架602上；另外，第一调节螺钉706与调节板705螺纹连接，与第二框架704抵接，调节板705和第二框架704均与第二调节螺钉707螺纹连接。

[0062] 需要说明的是，结合图3和图4可知，第一反射镜701和第二反射镜703的数量均为两个，其中第一反射镜701和第二反射镜703之间平行设置（也可以不平行），在运行过程中，极紫外光先穿过前轴601到达第二反射镜703，然后通过第二反射镜703反射至第一反射镜701，然后再反射至后轴603一侧的第一反射镜701，随后又被反射至后轴603一侧的第二反射镜703，最后极紫外光穿过后轴603发射出去。

[0063] 需要进一步说明的是，如图5所示，第二反射镜703的入射角是可以调节的，具体是通过第一调节螺钉706和第二调节螺钉707进行调节，其中第一调节螺钉706可以抵住第二框架704，推动第二框架704移动，使第二框架704和调节板705相互远离，第一调节螺钉706共有三个，分别位于三角形的顶点位置，调节任意一个第一调节螺钉706都可以让螺钉位置的第二框架704和调节板705的距离发生变化，而另外两螺钉位置的距离不变，由于三点确定一个平面，其中一点的距离发生变化，第二框架704的倾斜角度就会发生变化。

[0064] 由于第一调节螺钉706是抵住第二框架704的，拧紧第一调节螺钉706时，可以增大第二框架704和调节板705的距离，但是在其他螺钉都不动的情况下，拧松第一调节螺钉706时，会使第一调节螺钉706和第二框架704相互分离，无法减小第二框架704和调节板705的距离，此时需要用到第二调节螺钉707，而第二调节螺钉707可以使第二框架704和调节板705相互靠近，第二调节螺钉707一般也有三个，分别布置在三个第一调节螺钉706的附近，在拧紧第二调节螺钉707时，可以减小第二框架704和调节板705的距离，但是在其他螺钉都不动的情况下，拧松第二调节螺钉707时，第二调节螺钉707会和调节板705相互分离，无法增大第二框架704和调节板705的距离，只有两种螺钉相互配合，才能正常调节第二框架704的倾斜角度。

[0065] 需要说明的是，三个第二调节螺钉707分别布置在三个第一调节螺钉706的附近，是为了减小第二框架704和调节板705所受的弯曲应力和形变，提高装置的精度。在第二框架704和调节板705强度足够的情况下，三个第一调节螺钉706和三个第二调节螺钉707可能会均匀分布，在有空间限制或稳定性要求等情况下，也会采用数个（一个以上）第一调节螺钉706和数个（一个以上）第二调节螺钉707的布置，此时调节过程相对复杂，但调节原理与三个第一调节螺钉706和三个第二调节螺钉707的调节原理相同。

[0066] 需要说明的是，第二调节螺钉707是拧在第二框架704上的，其位置和角度会随着第二框架704的变化而变化，导致第二调节螺钉707的固定面与第二框架704的面不平行，两者变为点接触，整体的稳定性会变差。所以在第二调节螺钉707和第二框架704之间设置有一组球面垫片。一组球面垫片由两个球面垫片组成，其中一个球面垫片的一端为平面，另一端为凸球面，另一个球面垫片的一端为平面，另一端为凹球面，凸球面和凹球面的球半径相同，两个球面垫片组合使用后，组合垫片的两端面都是平面，但是在组合垫片的两端面不平行的情况下，内部也是球面接触。在第二调节螺钉707和第二框架704之间设置的一组球面垫片，可以确保在所需的角度调节范围内，第二调节螺钉707和第二框架704都是面接触，提高装置的稳定性。

[0067] 进一步地，偏振测试机构还包括第一位移台4和第二位移台401，而且第一位移台4和第二位移台401分别位于检偏器转轴6两端，第一位移台4一端安装有前定位荧光靶2，另一端安装有前光阑孔3，第二位移台401一端安装有后光阑孔10，另一端安装有后定位荧光靶11。其中，前定位荧光靶2与后定位荧光靶11的位置对应，前光阑孔3和后光阑孔10的位置对应，使用时第一位移台4和第二位移台401均与固定板16滑动连接，然后可以沿检偏器转轴6径向滑动，从而调节前定位荧光靶2、前光阑孔3、后光阑孔10和后定位荧光靶11的位置。

[0068] 需要说明的是，前定位荧光靶2和后定位荧光靶11的作用使将不可见的极紫外光变为可见的光斑，同时，利用模拟光或极紫外光形成的光斑，确定装置相对于模拟光和极紫外光的位置，前光阑孔3和后光阑孔10的作用是将极紫外光的尺寸限制在孔径内，使经过反射镜组件7的极紫外光能全部进入强光强探测器12或弱光强探测器13，防止一部分极紫外光溢出，影响测量结果。

[0069] 进一步地，第一位移台4和第二位移台401均与固定板16滑动连接，且沿检偏器转轴6径向滑动设置。

[0070] 需要说明的是，第一位移台4和第二位移台401与检偏器转轴6是相互垂直设置的，这样可以保证前光阑孔3和后光阑孔10可以移动到与检偏器转轴6同轴的位置、

[0071] 进一步地，偏振测试机构还包括第三位移台402，第三位移台402位于第二位移台401远离检偏器转轴6的一侧，第三位移台402一端安装有强光强探测器12，另一端安装有弱光强探测器13。

[0072] 需要说明的是，强光强探测器12的作用是读取较强的极紫外光的光强信号，弱光强探测器13的作用是读取较弱的极紫外光的光强信号。

[0073] 进一步地，第三位移台402与固定板16滑动连接，且沿检偏器转轴6径向滑动设置。

[0074] 需要说明的是，调节第三位移台402的位置可以改变强光强探测器12和弱光强探测器13的位置，当需要进行检测时可以将强光强探测器12或弱光强探测器13移动到与检偏器转轴6的一侧。

[0075] 需要进一步说明的是，第一位移台4、第二位移台401和第三位移台402的作用是将它上面的某一个设备切换到光路中或切换到光路外，都有三个工作位：正工作位、负工作位、空位；其中，正工作位和负工作位都放置某一功能的设备，例如在第一位移台4上正工作位上安装前光阑孔3，负工作位上安装前定位荧光靶2，在第二位移台401的正工作位上安装后光阑孔10，负工作位上安装后定位荧光靶11，在第三位移台402的正工作位安装强光强探测器12，然后在负工作位安装弱光强探测器13；空位上没有任何设备，当空位切换到光路中时，模拟光或极紫外光都可以无阻碍地通过第一位移台4、第二位移台401和第三位移台402。

[0076] 进一步地，偏振检测腔体1两端还开设有观察窗15，偏振检测腔体1两侧还安装有监控器14，监控器14位于观察窗15外侧。

[0077] 需要说明的是，监控器14的作用是观测并记录模拟光或极紫外光的光斑中心的位置，观察窗15的作用隔绝大气和超高真空，并允许监控器14观测到偏振检测腔体1内部的设备。

[0078] 本发明的极紫外光源原位偏振检测装置有四种工作状态：检偏工作状态、检偏非工作状态、离线调试状态和在线调试状态。装置主要处于检偏工作状态和检偏非工作状态，只有在安装调试过程中才会处于离线调试状态和在线调试状态。

[0079] 下面对四种工作状态的运行过程进行说明：

[0080] 1.检偏工作状态：极紫外光从偏振检测腔体1的入光法兰口101进入腔体内部，第一位移台4带动前光阑孔3切换到正工作位，此时前光阑孔3将极紫外光的尺寸限制在孔径内；活动座9带动检偏器转轴6切换到工作位，此时检偏器转轴6与极紫外光同轴，极紫外光穿过前轴601的通孔，通过反射镜组件7，穿过后轴603的通孔和后光阑孔10，最终打在强光强探测器12或弱光强探测器13上；强光强探测器12和弱光强探测器13分别对应较强的极紫外光和较弱的极紫外光；强光强探测器12或弱光强探测器13读取到光强信号后，旋转台8带动检偏器转轴6旋转一定角度后停止，再次读取光强信号；旋转‑停止‑信号采集‑旋转，重复这个过程，直到完成所有位置的信号采集完成，检偏工作结束；之后进行数据分析，得到光束的偏振信息。

[0081] 2.检偏非工作状态：第一位移台4、第二位移台401和第三位移台402都切换到空位，活动座9带动检偏器转轴6切换到非工作位，此时偏振检测腔体1内部所有部件都不在主光路上，极紫外光从偏振检测腔体1的入光法兰口101进入腔体，并直接从偏振检测腔体1的出光法兰口101离开腔体，进入后续设备，进行其他实验。

[0082] 3.离线调试状态：将检偏器转轴6和旋转台8安装在U型支撑架5上，旋转台8的转轴与检偏器转轴6的轴端连接，旋转台8可带动检偏器转轴6绕U型支撑架5的轴承孔中心旋转，活动座9带动检偏器转轴6切换到工作位，利用前轴601和后轴603的通孔，调节模拟光与检偏器转轴6同轴，然后调节反射镜组件7，使调节模拟光依次通过第一反射镜701和第二反射镜703后，出射光与入射光同轴，出射光也就与检偏器转轴6同轴；活动座9带动检偏器转轴6切换到非工作位，同时第一位移台4切换到负工作位，模拟光在前定位荧光靶2上会形成光斑，并用对应的监控器14记录模拟光的光斑中心相对于前定位荧光靶2中心的位置，作为光斑中心的理论位置；前定位荧光靶2上光斑的位置都记录完成后，第二位移台401切换到空位，后定位荧光靶11重复光斑位置记录工作；前定位荧光靶2和后定位荧光靶11上光斑的位置都记录完成后，离线调试工作结束。

[0083] 4.在线调试状态：将这个装置安装到极紫外光光束线中，将偏振检测腔体1内的真空度抽至超高真空状态，然后第一位移台4切换到负工作位，极紫外光在前定位荧光靶2上会形成光斑，并用对应的监控器14观测极紫外光的光斑中心的位置，利用调节台17调节固定板16的位置，使极紫外光的光斑中心位于理论位置；然后第一位移台4切换到空位，第二位移台401切换到负工作位，同样用对应的监控器14观测极紫外光的光斑中心的位置；利用调节台17调节固定板16的位置，使前定位荧光靶2尽可能不动的情况下，后定位荧光靶11上极紫外光的光斑中心调节到理论位置；重复前面的工作，使某一个定位荧光靶尽可能不动的情况下，另一个定位荧光靶上极紫外光的光斑中心调节到理论位置；直到不需要调节调节台17的情况下，两个定位荧光靶上极紫外光的光斑中心都在理论位置，此时检偏器转轴6与极紫外光同轴，在线调试工作结束。

[0084] 尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。