一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备

摘要

本发明公开了一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，包括凸角板、沉淀箱、重量增大筒、进气箱、支撑架、锥形扩散改锥形收拢增质机构和压力自调型无流失吸附机构，所述沉淀箱设于凸角板上壁，所述支撑架对称设于凸角板两侧的凸角板上壁，所述重量增大筒设于支撑架远离凸角板的一侧，所述进气箱设于重量增大筒上壁，所述锥形扩散改锥形收拢增质机构设于重量增大筒内部。本发明属于薄膜制备技术领域，具体是指一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备；本发明提供了一种能够对细小的粉末进行电合增重过滤，且可以通过自调节压力对固气进行分离的原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备。

权利要求

1.一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，包括凸角板（1）、沉淀箱（2）、重量增大筒（3）、进气箱（4）和支撑架（5），其特征在于：还包括锥形扩散改锥形收拢增质机构（6）和压力自调型无流失吸附机构（20），所述沉淀箱（2）设于凸角板（1）上壁，所述支撑架（5）对称设于凸角板（1）两侧的凸角板（1）上壁，所述重量增大筒（3）设于支撑架（5）远离凸角板（1）的一侧，所述进气箱（4）设于重量增大筒（3）上壁，所述锥形扩散改锥形收拢增质机构（6）设于重量增大筒（3）内部，所述压力自调型无流失吸附机构（20）设于沉淀箱（2）内部，所述锥形扩散改锥形收拢增质机构（6）包括扩散接触机构（7）、介质附着机构（12）和收拢结合机构（16），所述扩散接触机构（7）设于重量增大筒（3）顶部内壁，所述介质附着机构（12）设于重量增大筒（3）中部内壁，所述收拢结合机构（16）设于重量增大筒（3）底部内壁；

所述扩散接触机构（7）包括进气口（8）、进气管（9）、正锥板（10）和扩散口（11），所述进气口（8）多组设于进气箱（4）侧壁，所述进气管（9）连通设于进气箱（4）与重量增大筒（3）之间，所述正锥板（10）设于重量增大筒（3）顶部内壁，所述扩散口（11）多组设于正锥板（10）上壁；

所述介质附着机构（12）包括静电板（13）、静电发生器（14）和静电导流网（15），所述静电板（13）设于重量增大筒（3）侧壁，所述静电发生器（14）设于静电板（13）远离重量增大筒（3）的一侧，所述静电导流网（15）设于正锥板（10）下方的重量增大筒（3）内壁，所述静电发生器（14）动力端贯穿重量增大筒（3）侧壁与静电导流网（15）相连；

所述收拢结合机构（16）包括倒锥板（17）、收拢口（18）和出气管（19），所述倒锥板（17）设于静电导流网（15）下方的重量增大筒（3）内壁，所述收拢口（18）设于倒锥板（17）底壁，所述出气管（19）连通设于沉淀箱（2）与重量增大筒（3）之间。

2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，其特征在于：所述压力自调型无流失吸附机构（20）包括调压排放机构（21）和循环型吸附机构（28），所述调压排放机构（21）设于沉淀箱（2）内壁，所述循环型吸附机构（28）设于重量增大筒（3）侧壁。

3.根据权利要求2所述的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，其特征在于：所述调压排放机构（21）包括夹持块（22）、导向块（23）、导向柱（24）、压力板（25）、压力柱（26）和弹簧（27），所述夹持块（22）对称设于沉淀箱（2）两侧内壁，所述导向块（23）对称设于凸角板（1）两端上壁。

4.根据权利要求3所述的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，其特征在于：所述导向柱（24）对称设于夹持块（22）远离沉淀箱（2）内壁的一侧，所述导向柱（24）相对设置，所述压力板（25）滑动设于导向柱（24）之间，所述压力柱（26）贯穿沉淀箱（2）、夹持块（22）设于导向块（23）与压力板（25）之间，所述压力柱（26）滑动设于导向块（23）上，所述弹簧（27）设于支撑架（5）与导向柱（24）之间。

5.根据权利要求4所述的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，其特征在于：所述循环型吸附机构（28）包括植物油存储筒（29）、过滤箱（30）、过滤网（31）、油泵（32）、抽油管（33）、过滤管（34）、回油管（35）、排气口（36）和滤尘网（37），所述植物油存储筒（29）设于沉淀箱（2）底壁，所述植物油存储筒（29）为上端开口的腔体。

6.根据权利要求5所述的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，其特征在于：所述过滤箱（30）设于重量增大筒（3）远离静电发生器（14）的一侧，所述过滤网（31）设于过滤箱（30）内壁，所述油泵（32）设于过滤箱（30）底壁，所述抽油管（33）连通设于油泵（32）动力输入端与植物油存储筒（29）之间。

7.根据权利要求6所述的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，其特征在于：所述过滤管（34）连通设于油泵（32）动力输出端与过滤箱（30）之间，所述回油管（35）连通设于过滤箱（30）与植物油存储筒（29）远离抽油管（33）的一侧之间，所述排气口（36）设于沉淀箱（2）上壁，所述滤尘网（37）设于排气口（36）内壁。

说明书

一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备

技术领域

[0001] 本发明属于薄膜制备技术领域，具体是指一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备。

背景技术

[0002] 原子层沉积设备在对粉末进行覆层作业后，反应容器内部的残余气体排出，而残余气体中往往含有粉末在覆层作业时所出现的磨损量，这些粉末磨损量较为细小，导致现
有的过滤网难以对粉末进行滤除，且细小的粉末采用孔隙较小的过滤网，在遇到粒径较大
的粉末时，极易发生堵塞现象。

发明内容

[0003] 针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本方案提供一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，针对残余气体中粒径较小的粉末难以滤除的问题，本发明通过设置
的锥拢结构，在静电导流网的介入下，使得粉末之间相互吸附，将粒径较小的粉末转化为粒径较大的粉末，便于更好的过滤，同时，通过设置的混合物单方面施压，使得固气进行分流离散，在不易蒸发液体的粘性作用下，对残余气体中含有的粉末杂质进行吸附存储，有效的避免了粉末吸附在箱体的内壁，便于更好的对固气进行分离处理，解决了现有技术难以解
决的残余气体中含有的较小颗粒会随气流一同排出处理箱的技术难题；

[0004] 本发明提供了一种能够对细小的粉末进行电合增重过滤，且可以通过自调节压力对固气进行分离的原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备。

[0005] 本方案采取的技术方案如下：本方案提出的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，包括凸角板、沉淀箱、重量增大筒、进气箱、支撑架、锥形扩散改锥形收拢增质机构和压力自调型无流失吸附机构，所述沉淀箱设于凸角板上壁，所述支撑架对称设于凸
角板两侧的凸角板上壁，所述重量增大筒设于支撑架远离凸角板的一侧，所述进气箱设于
重量增大筒上壁，所述锥形扩散改锥形收拢增质机构设于重量增大筒内部，所述压力自调
型无流失吸附机构设于沉淀箱内部，所述锥形扩散改锥形收拢增质机构包括扩散接触机
构、介质附着机构和收拢结合机构，所述扩散接触机构设于重量增大筒顶部内壁，所述介质附着机构设于重量增大筒中部内壁，所述收拢结合机构设于重量增大筒底部内壁，所述压
力自调型无流失吸附机构包括调压排放机构和循环型吸附机构，所述调压排放机构设于沉
淀箱内壁，所述循环型吸附机构设于重量增大筒侧壁。

[0006] 作为本案方案进一步的优选，所述扩散接触机构包括进气口、进气管、正锥板和扩散口，所述进气口多组设于进气箱侧壁，所述进气管连通设于进气箱与重量增大筒之间，所述正锥板设于重量增大筒顶部内壁，所述扩散口多组设于正锥板上壁；所述介质附着机构包括静电板、静电发生器和静电导流网，所述静电板设于重量增大筒侧壁，所述静电发生器设于静电板远离重量增大筒的一侧，所述静电导流网设于正锥板下方的重量增大筒内壁，
所述静电发生器动力端贯穿重量增大筒侧壁与静电导流网相连；所述收拢结合机构包括倒
锥板、收拢口和出气管，所述倒锥板设于静电导流网下方的重量增大筒内壁，所述收拢口设于倒锥板底壁，所述出气管连通设于沉淀箱与重量增大筒之间；多个设备的残余气体排放
管道连接到进气口内部，残余气体通过进气口进入到进气箱内部，进气箱内部的残余气体
通过进气管进入到重量增大筒内部，残余气体在正锥板的作用下进行扩散，扩散后的残余
气体通过扩散口下降经过静电导流网，静电发生器通过动力端使得静电导流网表面附带有
静电，在气流的作用下，残余气体在经过静电导流网时携带有静电离子，携带静电离子的残余气体下落到倒锥板上，残余气体通过收拢口进入到出气管内部，残余气体下落到倒锥板
上，倒锥板对残余气体进行聚拢，使得携带静电离子的粉末进行相互吸附，从而增大残余气体中粉末的重量，残余气体通过出气管进入到沉淀箱内部进行沉淀。

[0007] 优选地，所述调压排放机构包括夹持块、导向块、导向柱、压力板、压力柱和弹簧，所述夹持块对称设于沉淀箱两侧内壁，所述导向块对称设于凸角板两端上壁，所述导向柱对称设于夹持块远离沉淀箱内壁的一侧，所述导向柱相对设置，所述压力板滑动设于导向
柱之间，所述压力柱贯穿沉淀箱、夹持块设于导向块与压力板之间，所述压力柱滑动设于导向块上，所述弹簧设于支撑架与导向柱之间；所述循环型吸附机构包括植物油存储筒、过滤箱、过滤网、油泵、抽油管、过滤管、回油管、排气口和滤尘网，所述植物油存储筒设于沉淀箱底壁，所述植物油存储筒为上端开口的腔体，所述过滤箱设于重量增大筒远离静电发生器
的一侧，所述过滤网设于过滤箱内壁，所述油泵设于过滤箱底壁，所述抽油管连通设于油泵动力输入端与植物油存储筒之间，所述过滤管连通设于油泵动力输出端与过滤箱之间，所
述回油管连通设于过滤箱与植物油存储筒远离抽油管的一侧之间，所述排气口设于沉淀箱
上壁，所述滤尘网设于排气口内壁；残余气体进入到沉淀箱内部后对压力板进行施加压力，压力板受到压力后沿导向柱滑动带动压力柱对弹簧进行挤压，弹簧形变缩短，弹簧通过反
向弹力对沉淀箱内部气体进行挤压增压，沉淀箱内部气体在增压后通过排气口经过滤尘网
过滤后排出，残余气体中的粉末由于重量增大，且在对气体加压时不会改变粉末的行进方
向，粉末下沉到植物油存储筒内部，植物油存储筒内部的植物油对粉末进行吸附，在植物油不易蒸发不易挥发的特性下，避免了粉末随液体的扩散而吸附到沉淀箱内壁情况的出现，
提高残余气体中粉末的处理效率。

[0008] 具体地，所述重量增大筒侧壁设有控制器，所述控制器分别与静电发生器和油泵电性连接。

[0009] 采用上述结构本方案取得的有益效果如下：

[0010] 与现有技术相比，本方案通过设置的正反锥结构，在静电导流网的介入下，采用对残余气体进行先扩散后收拢的方式，增大残余气体中的粉末的重量，便于对气、固进行分离，降低粉末进入到空气中的几率；

[0011] 其次，采用不易挥发液体的粘性吸附能力，对重量增大的下沉粉末进行吸附，减小过滤结构的负载压力，降低过滤结构的更换频率，提高设备的作业时长，且在循环滤除机构的设置下，保证液体的吸附能力；

[0012] 再其次，通过复位相抵的作用力，增大沉淀箱内部气体的压力，避免抽风动力的介入，使得沉淀箱内部只对气体驱动而不会干扰粉末的下沉，从而实现对残余气体中粉末的清除；

[0013] 最后，在收拢结合机构与循环型吸附机构的相互配合下，实现了对残余气体中含有的粉末的吸附，有效的避免了粉末在覆层处理时，其磨损所产生的细小粉末进入到外界
空气中造成污染的问题。

附图说明

[0014] 图1为本方案的整体结构示意图；

[0015] 图2为本方案的立体图；

[0016] 图3为本方案的爆炸视图；

[0017] 图4为图3的斜视图；

[0018] 图5为本方案的主视图；

[0019] 图6为本方案的后视图；

[0020] 图7为本方案的左视图；

[0021] 图8为本方案的右视图；

[0022] 图9为图5的A‑A部分剖视图；

[0023] 图10为图5的B‑B部分剖视图；

[0024] 图11为图4的A部分放大结构示意图。

[0025] 其中，1、凸角板，2、沉淀箱，3、重量增大筒，4、进气箱，5、支撑架，6、锥形扩散改锥形收拢增质机构，7、扩散接触机构，8、进气口，9、进气管，10、正锥板，11、扩散口，12、介质附着机构，13、静电板，14、静电发生器，15、静电导流网，16、收拢结合机构，17、倒锥板，18、收拢口，19、出气管，20、压力自调型无流失吸附机构，21、调压排放机构，22、夹持块，23、导向块，24、导向柱，25、压力板，26、压力柱，27、弹簧，28、循环型吸附机构，29、植物油存储筒，30、过滤箱，31、过滤网，32、油泵，33、抽油管，34、过滤管，35、回油管，36、排气口，37、滤尘网，38、控制器。

[0026] 附图用来提供对本方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本方案的实施例一起用于解释本方案，并不构成对本方案的限制。

具体实施方式

[0027] 下面将结合本方案实施例中的附图，对本方案实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本方案一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本方案中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例，都属于本方案保护的范围。

[0028] 在本方案的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本方案的限制。

[0029] 如图1‑图11所示，本方案提出的一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤设备，包括凸角板1、沉淀箱2、重量增大筒3、进气箱4、支撑架5、锥形扩散改锥形收拢增质机构
6和压力自调型无流失吸附机构20，所述沉淀箱2设于凸角板1上壁，所述支撑架5对称设于
凸角板1两侧的凸角板1上壁，所述重量增大筒3设于支撑架5远离凸角板1的一侧，所述进气箱4设于重量增大筒3上壁，所述锥形扩散改锥形收拢增质机构6设于重量增大筒3内部，所
述压力自调型无流失吸附机构20设于沉淀箱2内部，所述锥形扩散改锥形收拢增质机构6包
括扩散接触机构7、介质附着机构12和收拢结合机构16，所述扩散接触机构7设于重量增大
筒3顶部内壁，所述介质附着机构12设于重量增大筒3中部内壁，所述收拢结合机构16设于
重量增大筒3底部内壁，所述压力自调型无流失吸附机构20包括调压排放机构21和循环型
吸附机构28，所述调压排放机构21设于沉淀箱2内壁，所述循环型吸附机构28设于重量增大筒3侧壁。

[0030] 所述扩散接触机构7包括进气口8、进气管9、正锥板10和扩散口11，所述进气口8多组设于进气箱4侧壁，所述进气管9连通设于进气箱4与重量增大筒3之间，所述正锥板10设于重量增大筒3顶部内壁，所述扩散口11多组设于正锥板10上壁；所述介质附着机构12包括静电板13、静电发生器14和静电导流网15，所述静电板13设于重量增大筒3侧壁，所述静电发生器14设于静电板13远离重量增大筒3的一侧，所述静电导流网15设于正锥板10下方的
重量增大筒3内壁，所述静电发生器14动力端贯穿重量增大筒3侧壁与静电导流网15相连；
所述收拢结合机构16包括倒锥板17、收拢口18和出气管19，所述倒锥板17设于静电导流网
15下方的重量增大筒3内壁，所述收拢口18设于倒锥板17底壁，所述出气管19连通设于沉淀箱2与重量增大筒3之间；多个设备的残余气体排放管道连接到进气口8内部，残余气体通过进气口8进入到进气箱4内部，进气箱4内部的残余气体通过进气管9进入到重量增大筒3内
部，残余气体在正锥板10的作用下进行扩散，扩散后的残余气体通过扩散口11下降经过静
电导流网15，静电发生器14通过动力端使得静电导流网15表面附带有静电，在气流的作用
下，残余气体在经过静电导流网15时携带有静电离子，携带静电离子的残余气体下落到倒
锥板17上，残余气体通过收拢口18进入到出气管19内部，残余气体下落到倒锥板17上，倒锥板17对残余气体进行聚拢，使得携带静电离子的粉末进行相互吸附，从而增大残余气体中
粉末的重量，残余气体通过出气管19进入到沉淀箱2内部进行沉淀。

[0031] 所述调压排放机构21包括夹持块22、导向块23、导向柱24、压力板25、压力柱26和弹簧27，所述夹持块22对称设于沉淀箱2两侧内壁，所述导向块23对称设于凸角板1两端上壁，所述导向柱24对称设于夹持块22远离沉淀箱2内壁的一侧，所述导向柱24相对设置，所述压力板25滑动设于导向柱24之间，所述压力柱26贯穿沉淀箱2、夹持块22设于导向块23与压力板25之间，所述压力柱26滑动设于导向块23上，所述弹簧27设于支撑架5与导向柱24之间；所述循环型吸附机构28包括植物油存储筒29、过滤箱30、过滤网31、油泵32、抽油管33、过滤管34、回油管35、排气口36和滤尘网37，所述植物油存储筒29设于沉淀箱2底壁，所述植物油存储筒29为上端开口的腔体，所述过滤箱30设于重量增大筒3远离静电发生器14的一
侧，所述过滤网31设于过滤箱30内壁，所述油泵32设于过滤箱30底壁，所述抽油管33连通设于油泵32动力输入端与植物油存储筒29之间，所述过滤管34连通设于油泵32动力输出端与
过滤箱30之间，所述回油管35连通设于过滤箱30与植物油存储筒29远离抽油管33的一侧之
间，所述排气口36设于沉淀箱2上壁，所述滤尘网37设于排气口36内壁；残余气体进入到沉淀箱2内部后对压力板25进行施加压力，压力板25受到压力后沿导向柱24滑动带动压力柱
26对弹簧27进行挤压，弹簧27形变缩短，弹簧27通过反向弹力对沉淀箱2内部气体进行挤压增压，沉淀箱2内部气体在增压后通过排气口36经过滤尘网37过滤后排出，残余气体中的粉末由于重量增大，且在对气体加压时不会改变粉末的行进方向，粉末下沉到植物油存储筒
29内部，植物油存储筒29内部的植物油对粉末进行吸附，在植物油不易蒸发不易挥发的特
性下，避免了粉末随液体的扩散而吸附到沉淀箱2内壁情况的出现，提高残余气体中粉末的处理效率。

[0032] 所述重量增大筒3侧壁设有控制器38，所述控制器38分别与静电发生器14和油泵32电性连接。

[0033] 具体使用时，实施例一，多个设备的残余气体排放管道连接到进气口8内部，残余气体通过进气口8进入到进气箱4内部，进气箱4内部的残余气体通过进气管9进入到重量增
大筒3内部。

[0034] 具体的，残余气体在正锥板10的作用下进行扩散，扩散后的残余气体通过扩散口11下降经过静电导流网15，控制器38控制静电发生器14启动，静电发生器14通过动力端产
生静电，静电传导到静电导流网15上，使得静电导流网15表面附带有静电，在气流的作用
下，残余气体在经过静电导流网15时携带有静电离子，携带静电离子的残余气体下落到倒
锥板17上，残余气体通过收拢口18进入到出气管19内部，残余气体下落到倒锥板17上，倒锥板17对残余气体进行聚拢，使得携带静电离子的粉末进行相互吸附，从而增大残余气体中
粉末的重量，残余气体通过出气管19进入到沉淀箱2内部进行沉淀。

[0035] 实施例二，该实施例基于上述实施例，残余气体进入到沉淀箱2内部后对压力板25进行施加压力，压力板25受到压力后沿导向柱24滑动带动压力柱26对弹簧27进行挤压，弹
簧27形变缩短，弹簧27通过反向弹力对沉淀箱2内部气体进行挤压增压，沉淀箱2内部气体
在增压后通过排气口36经过滤尘网37过滤后排出，残余气体中的粉末由于重量增大，且在
对气体加压时不会改变粉末的行进方向，粉末下沉到植物油存储筒29内部，植物油存储筒
29内部的植物油对粉末进行吸附，在植物油不易蒸发不易挥发的特性下，避免了粉末随液
体的扩散而吸附到沉淀箱2内壁情况的出现，提高残余气体中粉末的处理效率；

[0036] 为避免植物油存储筒29内部的植物油吸附能力出现饱和现象，油泵32通过抽油管33抽取植物油存储筒29内部含有粉末的植物油，植物油通过过滤管34进入到过滤箱30内
部，过滤网31对过滤箱30内部的植物油进行过滤，过滤后的植物油通过回油管35回流到植
物油存储筒29内部，从而完成对植物油的循环使用；下次使用时重复上述操作即可。

[0037] 需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存
在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要
素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

[0038] 尽管已经示出和描述了本方案的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本方案的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换
和变型，本方案的范围由所附权利要求及其等同物限定。

[0039] 以上对本方案及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本方案的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术
人员受其启示，在不脱离本方案创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相
似的结构方式及实施例，均应属于本方案的保护范围。