一种半导体加工设备上安装的报警装置

摘要

本发明提供一种半导体加工设备上安装的报警装置，涉及报警设备领域，包括安装部件；所述安装部件固定在设备主体的前端面上，安装部件上铰接安装有摆动部件，过最外端的安装部件接通，安装部件上安装有多组摆动部件，每组摆动部件对应不同设备主体的机位编号，警示部件内能够更换调节机位好，若某处摆动部件发生损坏，直接更换摆动部件的警示部件，让良好的摆动部件带动警示部件进行使用，摆动部件具有摆动结构，使得摆动部件显著的将警示作用提高，现有报警设备无法统一对整排或所有设备显示，造成报警后难以确定问题设备位置，普通设备上的报警装置无法从外部观测，造成无法及时发现报警设备的问题。

权利要求

1.一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于，包括：安装部件（1）；所述安装部件（1）固定在设备主体（8）的前端面上，安装部件（1）的安装板（101）呈长板状结构，安装板（101）上下边沿处设置有卡接头（102），卡接头（102）呈“T”状结构，卡接头（102）处卡接固定有固定板（103），固定板（103）上开设有四组固定槽（104），每组固定槽（104）头部均设置有圆槽，固定槽（104）处设置有倒角，固定板（103）的固定槽（104）头部处固定有四组螺栓，安装部件（1）上铰接安装有摆动部件（2），摆动部件（2）的摆动板（201）为矩形板结构，摆动板（201）铰接安装在安装板（101）的前端面，摆动板（201）设置为竖向阵列排布，摆动板（201）的外壁设置有警示面（202），警示面（202）设置为凹面结构，摆动部件（2）上滑动卡接有警示部件（3），警示部件（3）的警示板（301）上下边沿设置有导向条，警示板（301）通过导向条滑动安装在摆动板（201）上，摆动板（201）内壁与警示板（301）接触的位置设置有接触块（302），接触块（302）采用金属的导电材质，警示板（301）上设置有三组警示槽（303），警示槽（303）上能够显示指定数字，警示板（301）外端边沿处设置有凸出柱（304），安装部件（1）上设置有复位部件（5），安装部件（1）的复位部件（5）处滑动安装有连接部件（4），连接部件（4）的连接杆（401）设置为长杆结构，连接杆（401）铰接安装在摆动板（201）的背面，连接杆（401）另一端连接在连接块（402）上，连接块（402）固定在复位部件（5）上，连接部件（4）的整体设置为上下的两组，连接部件（4）末端连接在摆动部件（2）上，安装部件（1）的外边沿处固定有波动部件（7），波动部件（7）与安装部件（1）之间靠近复位部件（5）处安装有卡接部件（6）。

2.如权利要求1所述一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于：所述复位部件（5）的滑动槽（501）设置在安装板（101）的背面位置，滑动槽（501）上滑动安装有滑动块（503），滑动块（503）与连接块（402）相互固定，滑动块（503）左侧位置设置有拉簧（502）。

3.如权利要求1所述一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于：所述卡接部件（6）的固定块（601）设置在滑动槽（501）的右侧位置，固定块（601）左侧上下端安装有内卡块（602），内卡块（602）上设置有三组安装槽（603），内卡块（602）的外端位置设置有倒角，两组内卡块（602）右侧滑动安装有触动块（604），触动块（604）与内卡块（602）接触位置设置为三角块结构。

4.如权利要求3所述一种半导体加工设备上安装的报警装置，其特征在于：所述波动部件（7）的外板条（701）设置为长条状结构，外板条（701）与安装板（101）之间的卡接部件（6）处安装有动力电机（702），每组动力电机（702）上均安装有偏心块（703），偏心块（703）与触动块（604）相互平行。

说明书

一种半导体加工设备上安装的报警装置

技术领域

[0001] 本发明涉及报警设备技术领域，特别涉及一种半导体加工设备上安装的报警装置。

背景技术

[0002] 随着人们生活条件的提高，在日常生活中逐渐的依赖较多的电子设备，电子设备是由多种电子元件组成，其中关键的是由硅片光刻制成的处理器，处理器属于半导体的高科技部件，现有量产半导体高精度光刻技术，已经达到两纳米的制程工艺，让处理器带来了更加高效的性能。

[0003] 一些类似的半导体生产设备，通常直接呈阵列方式排列，生产半导体工件时处于靠内端的设备若发生报警，外部人员难以快速的察觉，造成无法及时对设备进行检修与复位等操作，影响设备的正常使用，同时设置在一处的报警装置，无法确定报警设备的位置，造成工作量加重的问题。

发明内容

[0004] 有鉴于此，本发明提供一种半导体加工设备上安装的报警装置，以解决现有报警设备无法统一对整排或所有设备显示，造成报警后难以确定问题设备位置，普通设备上的报警装置无法从外部观测，造成无法及时发现报警设备的问题。

[0005] 本发明提供了一种半导体加工设备上安装的报警装置，具体包括：安装部件；所述安装部件固定在设备主体的前端面上，安装部件的安装板呈长板状结构，安装板上下边沿处设置有卡接头，卡接头呈“T”状结构，卡接头处卡接固定有固定板，安装部件上铰接安装有摆动部件，摆动部件上滑动卡接有警示部件，安装部件上设置有复位部件，安装部件的复位部件处滑动安装有连接部件，连接部件末端连接在摆动部件上，安装部件的外边沿处固定有波动部件，波动部件与安装部件之间靠近复位部件处安装有卡接部件。

[0006] 进一步的，所述固定板上开设有四组固定槽，每组固定槽他头部均设置有圆槽，固定槽处设置有倒角，固定板的固定槽头部处固定有四组螺栓。

[0007] 进一步的，所述摆动部件的摆动板为矩形板结构，摆动板铰接安装在安装板的前端面，摆动板设置为竖向阵列排布，摆动板的外壁设置有警示面，警示面设置为凹面结构。

[0008] 进一步的，所述警示部件的警示板上下边沿设置有导向条，警示板通过导向条滑动安装在摆动板上，摆动板内壁与警示板接触的位置设置有接触块，接触块采用金属的导电材质。

[0009] 进一步的，所述警示板上设置有三组警示槽，警示槽上能够显示指定数字，警示板外端边沿处设置有凸出柱。

[0010] 进一步的，所述连接部件的连接杆设置为长杆结构，连接杆铰接安装在摆动板的背面，连接杆另一端连接在连接块上，连接块固定在复位部件上，连接部件的整体设置为上下的两组。

[0011] 进一步的，所述复位部件的滑动槽设置在安装板的背面位置，滑动槽上滑动安装有滑动块，滑动块与连接块相互固定，滑动块左侧位置设置有拉簧。

[0012] 进一步的，所述卡接部件的固定块设置在滑动槽的右侧位置，固定块左侧上下端安装有内卡块，内卡块上设置有三组安装槽，内卡块的外端位置设置有倒角，两组内卡块右侧滑动安装有触动块，触动块与内卡块接触位置设置为三角块结构。

[0013] 进一步的，所述波动部件的外板条设置为长条状结构，外板条与安装板之间的卡接部件处安装有动力电机，每组动力电机上均安装有偏心块，偏心块与触动块相互平行。

[0014] 有益效果

[0015] 一、本发明首先将整排处于深处的设备主体直接连接，通过最外端的安装部件接通，安装部件上安装有多组摆动部件，每组摆动部件对应不同设备主体的机位编号，警示部件内能够更换调节机位好，若某处摆动部件发生损坏，直接更换摆动部件的警示部件，让良好的摆动部件带动警示部件进行使用，摆动部件具有摆动结构，使得摆动部件具有更加显著的将警示作用提高。

[0016] 二、本发明将摆动板设置为铰接安装在安装板上，在将摆动板设置为竖向的阵列排布结构，让多组摆动板实现对应不同工位设备的作用，让摆动板的显示更加准确，将警示面设置为凹面结构，让警示面能够粘贴不同的反光材料，实现摆动板在展开后的警示作用。

[0017] 三、本发明将警示板上下端设置导向条，让警示板通过导向条滑动安装在摆动板上，使得能够根据不同设备主体的情况，实现对摆动板上警示板进行更换，接触块设置为金属的导电材质，让接触块在与警示板接触后，能够将电信号传递到警示板上，实现警示板的点亮，让警示板具有警示的作用，警示槽设置为三组，又让警示槽设置为数字的显示结构，让警示槽具有通过显示的数值，对应不同位置的设备主体，显示多余设备主体的报警警示作用，凸出柱整体为凸起状结构，有助于警示板在进行更换时的拉出与卡接，方便警示板通过凸出柱方便更换的作用。

[0018] 四、本发明内卡块上设置三组安装槽，让内卡块的上下波动更加稳定，实现内卡块的卡钩结构能够稳定脱离滑动块，将触动块与内卡块接触位置设置为三角块，让触动块的三角块更好的与内卡块的倒角接触，实现触动块运动对内卡块的压合，让原本卡在内卡块的滑动块脱离，实现滑动块带动连接部件开启摆动部件的效果，滑动块的左侧位置连接拉簧，让滑动块能够通过拉簧拉动，使得滑动块能够滑动向左侧移动，让滑动块带动连接部件将摆动部件开启，起到报警的作用。

[0019] 五、本发明将外板条设置为长条状，让外板条能够稳定的对波动部件的其他部件进行固定，将偏心块设置为与触动块相互平行，让偏心块转动时能够挤压触动块，实现波动部件对卡接部件的传动作用，实现报警的触发，波动部件的动力电机与每组波动部件报警感应器连接，实现了对应设备的报警。

附图说明

[0020] 为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍。

[0021] 下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。

[0022] 在附图中：

[0023] 图1是本发明的实施例的安装位置结构示意图；

[0024] 图2是本发明的实施例的安装板结构示意图；

[0025] 图3是本发明的实施例的摆动部件结构示意图；

[0026] 图4是本发明的实施例的安装板背面结构示意图；

[0027] 图5是本发明的实施例的波动部件结构示意图；

[0028] 图6是本发明的实施例的卡接部件安装结构示意图；

[0029] 图7是本发明的实施例的卡接部件结构示意图；

[0030] 图8是本发明的实施例的图3中A处局部放大结构示意图；

[0031] 图9是本发明的实施例的图4中B处局部放大结构示意图；

[0032] 图10是本发明的实施例的图3中C处局部放大结构示意图；

[0033] 图11是本发明的实施例的图5中D处局部放大结构示意图；

[0034] 图12是本发明的实施例的图5中E处局部放大结构示意图。

[0035] 附图标记列表

[0036] 1、安装部件；101、安装板；102、卡接头；103、固定板；104、固定槽；2、摆动部件；201、摆动板；202、警示面；3、警示部件；301、警示板；302、接触块；303、警示槽；304、凸出柱；
4、连接部件；401、连接杆；402、连接块；5、复位部件；501、滑动槽；502、拉簧；503、滑动块；6、卡接部件；601、固定块；602、内卡块；603、安装槽；604、触动块；7、波动部件；701、外板条；
702、动力电机；703、偏心块；8、设备主体。

具体实施方式

[0037] 为了使得本发明的技术方案的目的、方案和优点更加清楚，下文中将结合本发明的具体实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。除非另有说明，否则本文所使用的术语具有本领域通常的含义。附图中相同的附图标记代表相同的部件。

[0038] 实施例：请参考图1至图12所示：

[0039] 本发明提供一种半导体加工设备上安装的报警装置，包括安装部件1；安装部件1固定在设备主体8的前端面上，安装部件1的安装板101呈长板状结构，安装板101上下边沿处设置有卡接头102，将安装板101设置为长板结构，让安装板101能够铰接安装多组摆动部件2，而安装板101上下位置的卡接头102，具有方便固定板103的卡接安装，卡接头102呈“T”状结构，卡接头102处卡接固定有固定板103，将卡接头102设置为“T”状结构，让卡接头102与固定板103的卡接连接更加稳定，安装部件1上铰接安装有摆动部件2，摆动部件2上滑动卡接有警示部件3，安装部件1上设置有复位部件5，安装部件1的复位部件5处滑动安装有连接部件4，连接部件4末端连接在摆动部件2上，安装部件1的外边沿处固定有波动部件7，波动部件7与安装部件1之间靠近复位部件5处安装有卡接部件6。

[0040] 其中，固定板103上开设有四组固定槽104，每组固定槽104他头部均设置有圆槽，固定槽104处设置有倒角，将固定槽104上设置圆槽，具有方便螺栓的安装固定，而将固定槽104上设置倒角，让固定槽104上能够安装沉孔螺栓，固定板103的固定槽104头部处固定有四组螺栓，将固定板103设置为通过固定槽104位置的螺栓固定，让固定板103能够稳定的固定在设备主体8上，方便摆动板201的安装固定。

[0041] 其中，摆动部件2的摆动板201为矩形板结构，摆动板201铰接安装在安装板101的前端面，摆动板201设置为竖向阵列排布，将摆动板201设置为铰接安装在安装板101上，在将摆动板201设置为竖向的阵列排布结构，让多组摆动板201实现对应不同工位设备的作用，让摆动板201的显示更加准确，摆动板201的外壁设置有警示面202，警示面202设置为凹面结构，将警示面202设置为凹面结构，让警示面202能够粘贴不同的反光材料，实现摆动板201在展开后的警示作用。

[0042] 其中，警示部件3的警示板301上下边沿设置有导向条，警示板301通过导向条滑动安装在摆动板201上，将警示板301上下端设置导向条，让警示板301通过导向条滑动安装在摆动板201上，使得能够根据不同设备主体8的情况，实现对摆动板201上警示板301进行更换，摆动板201内壁与警示板301接触的位置设置有接触块302，接触块302采用金属的导电材质，将接触块302设置为金属的导电材质，让接触块302在与警示板301接触后，能够将电信号传递到警示板301上，实现警示板301的点亮，让警示板301具有警示的作用，警示板301上设置有三组警示槽303，警示槽303上能够显示指定数字，将警示槽303设置为三组，又让警示槽303设置为数字的显示结构，让警示槽303具有通过显示的数值，对应不同位置的设备主体8，显示多余设备主体8的报警警示作用，警示板301外端边沿处设置有凸出柱304，凸出柱304整体为凸起状结构，有助于警示板301在进行更换时的拉出与卡接，方便警示板301通过凸出柱304方便更换的作用。

[0043] 其中，连接部件4的连接杆401设置为长杆结构，连接杆401铰接安装在摆动板201的背面，连接杆401另一端连接在连接块402上，将连接杆401连接在摆动板201与连接块402之间，让连接杆401稳定的实现对摆动部件2的控制作用，连接块402固定在复位部件5上，将连接块402设置在复位部件5的移动部分处，让连接块402能够跟随复位部件5进行移动，连接部件4的整体设置为上下的两组，将连接部件4的整体设置为上下的两组，既增加了连接部件4整体的传动平衡，又具有让连接部件4传递更加稳定的动力作用。

[0044] 其中，复位部件5的滑动槽501设置在安装板101的背面位置，滑动槽501上滑动安装有滑动块503，滑动块503与连接块402相互固定，滑动块503左侧位置设置有拉簧502，将滑动块503的左侧位置连接拉簧502，让滑动块503能够通过拉簧502拉动，使得滑动块503能够滑动向左侧移动，让滑动块503带动连接部件4将摆动部件2开启，起到报警的作用。

[0045] 其中，卡接部件6的固定块601设置在滑动槽501的右侧位置，固定块601左侧上下端安装有内卡块602，内卡块602上设置有三组安装槽603，将内卡块602上设置三组安装槽603，让内卡块602的上下波动更加稳定，实现内卡块602的卡钩结构能够稳定脱离滑动块
503，内卡块602的外端位置设置有倒角，两组内卡块602右侧滑动安装有触动块604，触动块
604与内卡块602接触位置设置为三角块结构，将触动块604与内卡块602接触位置设置为三角块，让触动块604的三角块更好的与内卡块602的倒角接触，实现触动块604运动对内卡块
602的压合，让原本卡在内卡块602的滑动块503脱离，实现滑动块503带动连接部件4开启摆动部件2的效果。

[0046] 其中，波动部件7的外板条701设置为长条状结构，将外板条701设置为长条状，让外板条701能够稳定的对波动部件7的其他部件进行固定，外板条701与安装板101之间的卡接部件6处安装有动力电机702，每组动力电机702上均安装有偏心块703，偏心块703与触动块604相互平行，将偏心块703设置为与触动块604相互平行，让偏心块703转动时能够挤压触动块604，实现波动部件7对卡接部件6的传动作用，实现报警的触发，波动部件7的动力电机702与每组波动部件7报警感应器连接，实现了对应设备的报警作用。

[0047] 本实施例的具体使用方式与作用：本发明中，将安装板101设置为长板结构，让安装板101能够铰接安装多组摆动部件2，而安装板101上下位置的卡接头102，具有方便固定板103的卡接安装，摆动板201设置为铰接安装在安装板101上，在将摆动板201设置为竖向的阵列排布结构，让多组摆动板201实现对应不同工位设备的作用，让摆动板201的显示更加准确，警示面202设置为凹面结构，让警示面202能够粘贴不同的反光材料，实现摆动板201在展开后的警示作用，将警示板301上下端设置导向条，让警示板301通过导向条滑动安装在摆动板201上，使得能够根据不同设备主体8的情况，实现对摆动板201上警示板301进行更换，接触块302设置为金属的导电材质，让接触块302在与警示板301接触后，能够将电信号传递到警示板301上，实现警示板301的点亮，让警示板301具有警示的作用，将警示槽
303设置为三组，又让警示槽303设置为数字的显示结构，让警示槽303具有通过显示的数值，对应不同位置的设备主体8，显示多余设备主体8的报警警示作用，凸出柱304整体为凸起状结构，有助于警示板301在进行更换时的拉出与卡接，方便警示板301通过凸出柱304方便更换的作用，将触动块604与内卡块602接触位置设置为三角块，让触动块604的三角块更好的与内卡块602的倒角接触，实现触动块604运动对内卡块602的压合，让原本卡在内卡块
602的滑动块503脱离，实现滑动块503带动连接部件4开启摆动部件2的效果，将外板条701设置为长条状，让外板条701能够稳定的对波动部件7的其他部件进行固定，将偏心块703设置为与触动块604相互平行，让偏心块703转动时能够挤压触动块604，实现波动部件7对卡接部件6的传动作用，实现报警的触发，波动部件7的动力电机702与每组波动部件7报警感应器连接，实现了对应设备的报警作用。

[0048] 以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发明的保护范围由所附的权利要求确定。