透过率分布的检测方法、装置、设备及存储介质转让专利

申请号 : CN202211402876.X

文献号 : CN115452779B

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相似专利:

发明人 : 汪伟郭汝海李宣令毕海

申请人 : 季华实验室

摘要 :

本发明公开了一种透过率分布的检测方法、装置、设备及存储介质,涉及光学测量领域,该方法包括:通过光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使透射光进入探测部件;获取预设的透过率测试策略,根据透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度;基于探测部件中的探测单元获取透射光的样品透射光强信息;根据第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定待测样品的透过率分布函数。本发明采用传递式测量方法,实现了提高光衰减器件的透过率分布函数检测准确度的技术效果。

权利要求 :

1.一种透过率分布的检测方法,其特征在于,应用于透过率分布检测设备,所述透过率分布检测设备包括主控部件,以及与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件,所述透过率分布的检测方法包括以下步骤:通过所述光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使所述透射光进入4

所述探测部件,所述待测样品为多孔衍射板,衰减倍率达到10量级;

获取预设的透过率测试策略,根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度;

基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息;

根据所述第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定所述待测样品的透过率分布函数;预设的标准光强信息为使用已知透过率的标准中性滤光片测量得到的光强信息,测量方式与待测样品的测量方式相同,即使用标准中性滤光片替换所述待测样品进行测量过程;

其中,所述根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度的步骤包括:获取所述透过率测试策略中预设的入射天顶角、入射方位角、透射天顶角和透射方位角;

根据所述入射天顶角控制所述光源部件转动至第三待测角度;

根据所述入射方位角控制所述待测样品转动至第一待测角度;

根据所述透射天顶角和透射方位角控制所述探测部件转动至第二待测角度;

所述透过率分布函数的计算公式为:

,其中, 表示透射天顶

角, 表示透射方位角, 表示样品透过率, 表示样品透过光强, 表示标准中性滤光片透过光强, 表示标准中性滤光片透过率;

所述光源部件包含激光光源、单色仪和波长计,所述波长计与所述主控部件通信连接,所述透过率分布的检测方法还包括:通过所述波长计监测所述激光光源的波长变化情况;

根据所述波长变化情况对所述单色仪进行调节,以使所述激光光源的波长满足所述透过率测试策略的要求;

所述光源部件包含积分球,以及与所述积分球通信连接的光功率监测仪,所述光功率监测仪还与所述主控部件通信连接,所述透过率分布的检测方法还包括:通过所述积分球接收所述入射光,通过所述光功率监测仪监测所述入射光的功率变化情况;

根据所述功率变化情况对所述透过率分布函数进行功率校正。

2.如权利要求1所述的透过率分布的检测方法,其特征在于,所述探测单元包括积分球和光电探测器,所述基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息的步骤包括:通过所述积分球对所述透射光进行散射,以使所述透射光均匀照射至所述光电探测器;

基于所述光电探测器采集所述透射光的样品透射光强信息。

3.如权利要求1所述的透过率分布的检测方法,其特征在于,所述探测单元包括数字成像相机,所述基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息的步骤包括:通过所述数字成像相机采集所述透射光在预设成像角度范围内的透射光强信息;

对所述透射光强信息进行成像角度拟合,解析得到相同时刻光源在不同待测角度的透射光强信息。

4.一种透过率分布的检测设备,其特征在于,所述透过率分布的检测设备包括:存储器、主控部件、与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件及存储在所述存储器上并可在所述主控部件上运行的透过率分布的检测程序,所述透过率分布的检测程序配置为实现如权利要求1至3中任一项所述的透过率分布的检测方法的步骤。

5.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有透过率分布的检测程序,所述透过率分布的检测程序被处理器执行时实现如权利要求1至3中任一项所述的透过率分布的检测方法的步骤。

说明书 :

透过率分布的检测方法、装置、设备及存储介质

技术领域

[0001] 本发明涉及光学测量领域,尤其涉及一种透过率分布的检测方法、装置、设备及存储介质。

背景技术

[0002] 随着卫星定量化遥感技术的发展,基于多孔衍射板定标、基于漫透射板定标等新型定标方法被研究,这就需要对多孔板、漫透射板等光学器件进行双向透射率分布函数(BTDF,Bidirectional Transimission Distribution Function)进行测量。
[0003] 通常透过率测量装置用来测量光学透过器件的光学透过率,不能实现透过率分布测量。一般的双向反射分布函数(BRDF,Bidirectional Reflectance Distribution Function)测量装置虽然可以测量分布,但是只能测量反射分布函数,不具备透过率分布函数测量功能。
[0004] 多孔衍射板具有衰减倍率大(透过率低)的特性,用于直接观日的多孔板衰减倍率高达万级,常规测量方式对探测器的有效线性动态范围要求极高,测量准确度低。

发明内容

[0005] 本发明的主要目的在于提供一种透过率分布的检测方法、装置、设备及存储介质,旨在解决高衰减倍率的光学器件双向透射率分布函数测量准确度低的问题。
[0006] 为实现上述目的,本发明提供一种透过率分布的检测方法,应用于透过率分布检测设备,所述透过率分布检测设备包括主控部件,以及与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件,所述透过率分布的检测方法包括以下步骤:
[0007] 通过所述光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使所述透射光进入所述探测部件;
[0008] 获取预设的透过率测试策略,根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度;
[0009] 根据所述第一待测角度控制所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度;
[0010] 基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息;
[0011] 根据所述第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定所述待测样品的透过率分布函数。
[0012] 可选地,所述根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度的步骤包括:
[0013] 获取所述透过率测试策略中预设的入射天顶角、入射方位角、透射天顶角和透射方位角;
[0014] 根据所述入射天顶角控制所述光源部件转动至第三待测角度;
[0015] 根据所述入射方位角控制所述待测样品转动至第一待测角度;
[0016] 根据所述透射天顶角和透射方位角控制所述探测部件转动至第二待测角度。
[0017] 可选地,所述待测样品置于万向转动架上,所述光源部件的位置固定,所述根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度的步骤包括:
[0018] 确定所述入射光和所述透射光所在的探测平面;
[0019] 获取所述透过率测试策略中预设的入射天顶角、入射方位角、透射天顶角和透射方位角;
[0020] 根据所述入射天顶角和入射方位角控制所述待测样品转动至第一待测角度;
[0021] 根据所述透射天顶角和透射方位角控制所述探测部件转动至第二待测角度。
[0022] 可选地,所述探测单元包括积分球和光电探测器,所述基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息的步骤包括:
[0023] 通过所述积分球对所述透射光进行散射,以使所述透射光均匀照射至所述光电探测器;
[0024] 基于所述光电探测器采集所述透射光的样品透射光强信息。
[0025] 可选地,所述探测单元包括数字成像相机,所述基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息的步骤包括:
[0026] 通过所述数字成像相机采集所述透射光在预设成像角度范围内的透射光强信息;
[0027] 对所述透射光强信息进行成像角度拟合,解析得到相同时刻光源在不同待测角度的透射光强信息。
[0028] 可选地,所述光源部件包含激光光源、单色仪和波长计,所述波长计与所述主控部件通信连接,所述透过率分布的检测方法还包括:
[0029] 通过所述波长计监测所述激光光源的波长变化情况;
[0030] 根据所述波长变化情况对所述单色仪进行调节,以使所述激光光源的波长满足所述透过率测试策略的要求。
[0031] 可选地,所述光源部件包含积分球,以及与所述积分球通信连接的光功率监测仪,所述光功率监测仪还与所述主控部件通信连接,所述透过率分布的检测方法还包括:
[0032] 通过所述积分球接收所述入射光,通过所述光功率监测仪监测所述入射光的功率变化情况;
[0033] 根据所述功率变化情况对所述透过率分布函数进行功率校正。
[0034] 此外,为实现上述目的,本发明还提供一种透过率分布的检测装置,应用于透过率分布检测设备,所述透过率分布检测设备包括主控部件,以及与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件,所述透过率分布的检测装置包括:
[0035] 光源控制模块,用于通过所述光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使所述透射光进入所述探测部件;
[0036] 设备转动模块,用于获取预设的透过率测试策略,根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度;
[0037] 探测获取模块,用于基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息;
[0038] 函数确定模块,用于根据所述第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定所述待测样品的透过率分布函数。
[0039] 此外,为实现上述目的,本发明还提供一种透过率分布的检测设备,所述透过率分布的检测设备包括:存储器、主控部件、与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件及存储在所述存储器上并可在所述主控部件上运行的透过率分布的检测程序,所述透过率分布的检测程序配置为实现如上文所述的透过率分布的检测方法的步骤。
[0040] 此外,为实现上述目的,本发明还提供一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有透过率分布的检测程序,所述透过率分布的检测程序被处理器执行时实现如上文所述的透过率分布的检测方法的步骤。
[0041] 本发明提供的透过率分布的检测方法、装置、设备及存储介质,通过光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使透射光进入探测部件,获取预设的透过率控制策略,根据透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度,基于探测部件中的探测单元获取透射光的样品透射光强信息,根据第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定所述待测样品的透过率分布函数,采用传递式测量方法,使用样品透射光强信息和标准光强信息得到待测样品透过率与标准样品透过率之间的关系,可以减轻探测部件的线性动态范围压力,减小探测部件的线性影响,提高光衰减器件的透过率分布函数检测准确度。

附图说明

[0042] 图1为本发明实施例方案涉及的硬件运行环境的透过率分布检测设备的结构示意图;
[0043] 图2为本发明实施例透过率分布检测设备的结构示意图;
[0044] 图3为本发明透过率分布的检测方法第一实施例的流程示意图;
[0045] 图4为本发明透过率分布的检测方法涉及的几何关系的示意图;
[0046] 图5为本发明透过率分布的检测装置的示意图。
[0047] 本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。

具体实施方式

[0048] 应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
[0049] 参照图1,图1为本发明实施例方案涉及的硬件运行环境的透过率分布检测设备结构示意图。
[0050] 如图1所示,该透过率分布检测设备可以包括:处理器1001,例如中央处理器(Central Processing Unit,CPU),通信总线1002、用户接口1003,网络接口1004,存储器1005。其中,通信总线1002用于实现这些组件之间的连接通信。用户接口1003可以包括显示屏(Display)、输入单元比如键盘(Keyboard),可选用户接口1003还可以包括标准的有线接口、无线接口。网络接口1004可选的可以包括标准的有线接口、无线接口(如无线保真(WIreless‑FIdelity,WI‑FI)接口)。存储器1005可以是高速的随机存取存储器(Random Access Memory,RAM)存储器,也可以是稳定的非易失性存储器(Non‑Volatile Memory,NVM),例如磁盘存储器。存储器1005可选的还可以是独立于前述处理器1001的存储装置。
[0051] 本领域技术人员可以理解,图1中示出的结构并不构成对透过率分布检测设备的限定,可以包括比图示更多或更少的部件,或者组合某些部件,或者不同的部件布置。
[0052] 如图1所示,作为一种存储介质的存储器1005中可以包括操作系统、网络通信模块、用户接口模块以及透过率分布的检测程序。
[0053] 在图1所示的透过率分布检测设备中,网络接口1004主要用于与其他设备进行数据通信;用户接口1003主要用于与用户进行数据交互;本发明透过率分布检测设备中的处理器1001、存储器1005可以设置在透过率分布检测设备中,所述透过率分布检测设备通过处理器1001调用存储器1005中存储的透过率分布的检测程序,并执行本发明实施例提供的透过率分布的检测方法。
[0054] 本发明实施例提供一种透过率分布检测设备,如图2所示,透过率分布检测设备100可以包括主控部件101,以及与主控部件101通信连接的光源部件102和探测部件103。
[0055] 主控部件101可以为笔记本电脑或台式计算机等终端设备,分别与光源部件102和探测部件103通信连接,可以控制光源部件102和探测部件103中各元器件的工作。
[0056] 光源部件102可以包括光源本体1021、光路耦合系统1022、单色仪1023第一透镜1024、分光镜1025、波长计1026、第一积分球1027、光功率监测仪1028和平行光管1029,平行光管1029中可以包括平面镜10291和准直镜10292。光源本体1021可以为可调谐激光光源或普通激光光源。
[0057] 探测部件103可以包括壳体1031、第二透镜1032、挡板1033和探测单元1034,探测单元1034可以包括第二积分球和光电探测器,探测单元1034也可以为高分辨率CCD(Charge Coupled Device,电荷耦合装置)相机。
[0058] 在测量过程中,光源本体1021可以发出激光,经过光路耦合系统1022之后到达单色仪1023处,单色仪1023对从宽波段的辐射激光束中分离出测试需要波长的窄波段激光,从单色仪1023出射的激光经第一透镜1024聚焦至第一积分球1027远离激光传播方向一侧的球壁处,分光镜1025为半透半反镜,经分光镜1025反射的激光进入波长计1026,主控部件101与波长计1026通信连接可以检测出光波长,第一积分球1027通过设置于垂直入射光方向的通信接口与光功率监测仪1028通信连接,主控部件101与光功率监测仪1028通信连接可以监测光源的稳定性,激光从第一积分球1027的出射口传播至平行光管1029的入光口,经平面镜10291反射至准直镜10292处,从而平行光管出射的激光为准直光,可以近似模拟太阳光。光源部件102和探测部件103之间可以设置视场光阑104,待测样品105置于视场光阑104远离光源部件102一侧,从光源部件102出射的准直光经过视场光阑104限制后进入待测样品105,进入探测部件103,经过第二透镜1032聚焦后被探测单元1034探测。
[0059] 本发明实施例提供了一种透过率分布的检测方法,参照图3,图3为本发明一种透过率分布的检测方法第一实施例的流程示意图。
[0060] 本实施例中,应用于透过率分布检测设备,所述透过率分布检测设备包括主控部件,以及与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件,所述透过率分布的检测方法包括:
[0061] 步骤S10,通过所述光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使所述透射光进入所述探测部件;
[0062] 光源传播路径参见上述透过率分布检测设备实施例。对于待测样品,入射光经视场光阑限制照射至待测样品一侧表面时,可能同时在被照射的一侧表面产生反射光和在未被照射的一侧表面产生透射光,透射光进入探测部件中被探测。
[0063] 步骤S20,获取预设的透过率测试策略,根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度;
[0064] 待测样品可以为多孔衍射板和漫透射板等高衰减倍率等遥感定标器件,也可以为其他光学介质。本实施例以多孔衍射版为例进行阐述。多孔衍射版具有衰减倍率可以达到4
10量级的特点。
[0065] 主控部件中可以存储预设的透过率测试策略,测试人员可以编辑或者选择透过率测试策略实现透过率分布的自动测量。透过率测试策略中可以包含待测角度范围、角度测试步长和光源波长等信息。BTDF往往需要进行一系列角度下的探测来最终得到,可以首先确定待测样品的角度位置。
[0066] BTDF测量中的几何关系可参照图4,在图4中,O表示待测样品所在位置,X‑Y‑Z表示待测样品所在空间中的坐标轴,X‑Y平面表示与待测样品表面平行的平面,BTDF可视为入射、透射光束方位角和天顶角的角度函数。
[0067] 基于上述透过率分布的检测设备,可以使用不同的角度实现方式进行测试。不同的实现方式中,主要由待测样品、光源部件和探测部件的位置姿态变换实现。以下参照图4中示出的几何关系对待测样品、光源部件和探测部件的转动角度进行阐述。
[0068] 在图4中,XOY面表示待测样品所在平面,Z向是入射面,Z’向是透射面,AO是入射光线,OB是透射光线。可以规定OX为0方位角。AO在XOY的投影为A’O(也就是AOZ构成的面和XOY面的交线),A’O与X轴夹角即为AO的(绝对)方位角,∠AOZ为AO的天顶角。同样OB’和X轴夹角为OB的(绝对)方位角,∠Z’OB为OB的天顶角。∠A’OB’称为入射透射相对方位角。
[0069] 在一些可行的实施例中,根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度的步骤可以包括:
[0070] 步骤a,获取所述透过率测试策略中预设的入射天顶角、入射方位角、透射天顶角和透射方位角;
[0071] 步骤b,根据所述入射天顶角控制所述光源部件转动至第三待测角度;
[0072] 步骤c,根据所述入射方位角控制所述待测样品转动至第一待测角度;
[0073] 步骤d,根据所述透射天顶角和透射方位角控制所述探测部件转动至第二待测角度。
[0074] 提供透过率分布检测设备在测量过程中的角度实现方式一。在角度实现方式一中,待测样品、光源部件和探测部件都可以转动,光源部件可以绕待测样品中心水平转动,探测部件可在以待测样品中心为球心,探测距离为半径的球面上移动。待测样品只绕着其法线转动(样品法线始终不变,可作为基准),法线的初始位置和平行光管轴线的初始位置重合。首先使平行光管绕样品中心在水平面内转动,使得平行光管轴线与待测样品法线夹角为预设的入射天顶角,入射天顶角即为第三待测角度,此时平行光管轴线和样品法线确定的面与样品面存在交线即入射光线在样品面的投影,待测样品绕着其法线转动,使得预设0方位与入射光投影的夹角为预设的入射方位角,也即待测样品转动至第一待测角度。至此入射光线成为预设的几何角度。探测部件搭载在三维运动台+六连杆平台上,可以直接运动到预射的透射方位角和天顶角位置,此时透射方位角和透射天顶角确定的透射光方向即为第二待测角度,并通过六连杆平台调整探测方向面向待测样品中心。从而实现入射角度和透射角度的调整。
[0075] 在一些可行的实施例中,根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度的步骤还可以包括:
[0076] 步骤e,确定所述入射光和所述透射光所在的探测平面;
[0077] 步骤f,获取所述透过率测试策略中预设的入射天顶角、入射方位角、透射天顶角和透射方位角;
[0078] 步骤g,根据所述入射天顶角和入射方位角控制所述待测样品转动至第一待测角度;
[0079] 步骤h,根据所述透射天顶角和透射方位角控制所述探测部件转动至第二待测角度。
[0080] 提供透过率分布检测设备在测量过程中的角度实现方式二。在角度实现方式二中,待测样品置于万向转动架上,可以实现待测样品的任意姿态。实际上光源部件中包含许多器件,十分繁杂,不宜转动,可以通过待测样品的多维转动配合转动探测部件实现多角度探测。探测部件仍可在以待测样品中心为球心,探测距离为半径的球面上移动。万向转动架的二维转动可以调整待测样品法线的方向,根据刚体转动矩阵,可以有无数解同时满足入射投影和透射投影的夹角满足预设的相对方位角和天顶角。在固定入射方向的情况下,添加透射方向在入射方向的同一水平面上,可得出唯一解。此时可以固定万向转动架,待测样品仅绕着此时的法线转动,使得绝对方位角达到预设值,入射天顶角和入射方位角确定的入射光方向即为第一待测角度。光源部件不需要运动,可以通过中控分度盘使得探测部件在水平面内绕样品中心转动,透射天顶角和透射方位角确定的透射光方向即为第二待测角度,极大地降低运动成本,付出的代价仅为每次转动需要进行刚体运动计算。
[0081] 步骤S30,基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息;
[0082] 入射光经待测样品透射之后进入探测部件,探测单元采集样品透射光强信息。样品透射光强信息可以为辐亮度信息或者辐照度信息。
[0083] 在一些可行的实施例中,基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息的步骤可以包括:
[0084] 步骤i,通过所述积分球对所述透射光进行散射,以使所述透射光均匀照射至所述光电探测器;
[0085] 步骤j,基于所述光电探测器采集所述透射光的样品透射光强信息。
[0086] 提供透过率分布检测设备在测量过程中的探测方式一。在探测方式一中,探测单元为积分球和光电探测器的组合,积分球收纳透射光,经过内壁匀化后被光电探测器接收。光电探测器可以设置于积分球垂直于透射光入射方向一侧,避免直接接收透射光。积分球可以消除光的角度特性和偏振特性,增强光电探测器的灵敏性,还能够实现更高精度测量。
光电探测器可以采集透射光的辐亮度信息或者辐照度信息。
[0087] 在一些可行的实施例中,基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息的步骤还可以包括:
[0088] 步骤k,通过所述数字成像相机采集所述透射光在预设成像角度范围内的透射光强信息;
[0089] 步骤l,对所述透射光强信息进行成像角度拟合,解析得到相同时刻光源在不同待测角度的透射光强信息。
[0090] 提供透过率分布检测设备在测量过程中的探测方式二。在探测方式二中,探测单元为CCD相机,每拍摄一次可以测量空间内多个探测角度,相同帧测量数据对应同一时刻的光源,可以减小光源非稳定性带来的影响。CCD相机采集的样品透射光强信息可以为辐亮度信息或者辐照度信息。CCD相机的预设成像角度范围可以测量得到,将每帧测量数据中的成像角度进行拟合,可以解析得到所需的待测角度下的透射光强信息。此种探测方式可以减少探测部件的运动,提高检测速度。
[0091] 此外,上述角度实现方式和探测方式可以进行任意组合,结合实际检测需要实现不同的检测效果。
[0092] 步骤S40,根据所述第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定所述待测样品的透过率分布函数。
[0093] 预设的标准光强信息可以为使用已知透过率的中性滤光片测量得到的光强信息。测量方式可以与待测样品的测量方式相同,即使用中性滤光片替换上述待测样品进行测量过程。通过测量加多孔板和加中性滤光片的方式得到多孔板透过率与中性滤光片透过率的关系,进而得到多孔板的透过率。
[0094] 使用的样品透过率分布计算公式可以为如下公式1。
[0095] 公式1: 。
[0096] 其中,θ透射表示透射天顶角,ϕ透射表示透射方位角。τ样品表示样品透过率,I样品表示样品透过光强,I标准表示标准中性滤光片透过光强,τ标准表示标准中性滤光片透过率。
[0097] 在本实施例中,通过光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使透射光进入探测部件,获取预设的透过率控制策略,根据透过率测试策略控制待测样品转动至第一待测角度,根据第一待测角度控制探测部件转动至第二待测角度,以及光源部件转动至第三待测角度,基于探测部件中的探测单元获取透射光的样品透射光强信息,根据第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定所述待测样品的透过率分布函数,采用传递式测量方法,使用样品透射光强信息和标准光强信息得到待测样品透过率与标准样品透过率之间的关系,可以减轻探测部件的线性动态范围压力,减小探测部件的线性影响,提高光衰减器件的透过率分布函数检测准确度。
[0098] 本发明实施例还提供了一种透过率分布的检测方法,应用于透过率分布检测设备,透过率分布检测设备包括主控部件,以及与主控部件通信连接的光源部件和探测部件,光源部件包含激光光源、单色仪和波长计,波长计与主控部件通信连接,该方法包括:
[0099] 步骤m,通过所述波长计监测所述激光光源的波长变化情况;
[0100] 步骤n,根据所述波长变化情况对所述单色仪进行调节,以使所述激光光源的波长满足所述透过率测试策略的要求。
[0101] BTDF的测量在一定波长的光源情况下进行,保持波长的稳定有利于准确测量样品透射光强信息。波长计与主控部件通信连接,就可以通过主控部件监测激光在测量过程中的波长变化情况,在发现激光波长偏离测试波长超过预设的波长阈值时,可以通过单色仪调节激光波长恢复原始的测试波长,确保测试过程顺利进行。当光源部件中使用的光源本体为可调谐激光光源时,也可以直接通过光源调节激光波长。
[0102] 本发明实施例还提供了一种透过率分布的检测方法,应用于透过率分布检测设备,透过率分布检测设备包括主控部件,以及与主控部件通信连接的光源部件和探测部件,光源部件包含积分球,以及与所述积分球通信连接的光功率监测仪,光功率监测仪还与主控部件通信连接,该方法包括:
[0103] 步骤o,通过所述积分球接收所述入射光,通过所述光功率监测仪监测所述入射光的功率变化情况;
[0104] 步骤p,根据所述功率变化情况对所述透过率分布函数进行功率校正。
[0105] 光功率监测仪监测的功率变化情况可视为激光的光源稳定情况,光源的稳定与最终的测量准确度之间具有一定的关联。可以通过主控部件监测的功率变化数据对测量得到的透过率分布函数进行功率校正,减小因光源的不稳定性对测量的影响。
[0106] 本发明实施例还提供一种透过率分布的检测装置,如图5所示,应用于透过率分布检测设备,所述透过率分布检测设备包括主控部件,以及与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件,所述透过率分布的检测装置包括:
[0107] 光源控制模块201,用于通过所述光源部件发出入射光照射至待测样品处,产生透射光,以使所述透射光进入所述探测部件;
[0108] 设备转动模块202,用于获取预设的透过率测试策略,根据所述透过率测试策略分别控制所述待测样品转动至第一待测角度、所述探测部件转动至第二待测角度,以及所述光源部件转动至第三待测角度;
[0109] 探测获取模块203,用于基于所述探测部件中的探测单元获取所述透射光的样品透射光强信息;
[0110] 函数确定模块204,用于根据所述第一待测角度、第二待测角度、第三待测角度、样品透射光强信息和预设的标准光强信息确定所述待测样品的透过率分布函数。
[0111] 本发明实施例还提供一种透过率分布的检测设备,所述透过率分布的检测设备包括:存储器、主控部件、与所述主控部件通信连接的光源部件和探测部件及存储在所述存储器上并可在所述主控部件上运行的透过率分布的检测程序,所述透过率分布的检测程序配置为实现如上文所述的透过率分布的检测方法的步骤。
[0112] 本发明实施例还提供一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质上存储有透过率分布的检测程序,所述透过率分布的检测程序被处理器执行时实现如上文所述的透过率分布的检测方法的步骤。
[0113] 需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者系统不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者系统中还存在另外的相同要素。
[0114] 上述本发明实施例序号仅仅为了描述,不代表实施例的优劣。
[0115] 通过以上的实施方式的描述,本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现,当然也可以通过硬件,但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解,本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在如上所述的一个存储介质(如ROM/RAM、磁碟、光盘)中,包括若干指令用以使得一台终端设备(可以是手机,计算机,服务器,或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。
[0116] 以上仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。