真空镀膜设备用抽真空机构及真空镀膜设备

摘要

公开一种真空镀膜设备用抽真空机构及真空镀膜设备，真空镀膜设备用抽真空机构包括：冷阱组件，包括具有沿轴向螺旋延伸的冷阱管道的冷阱主体；安装所述冷阱组件的容纳腔室；所述冷阱主体位于所述容纳腔室内；用于连通所述容纳腔室和所述真空镀膜设备的真空腔室的连通通道，所述连通通道沿所述轴向延伸，所述连通通道连通于所述容纳腔室的上游；在一垂直于所述轴向的平面上，所述冷阱主体在该平面上的垂直投影围绕在所述连通通道的垂直投影外侧；连通所述容纳腔室的泵组件。本说明书所提供的真空镀膜设备用抽真空机构及真空镀膜设备，能够节约真空腔室的空间，避免冷阱主体被污染，减小能耗损失，且不占用排气通道。