一种超导量子电路的传输线结构

摘要

本发明公开了一种超导量子电路的传输线结构，包括：所述传输线结构包括信号传输线和一个或多个接地线，所述信号传输线和所述接地线绝缘设置；所述信号传输线由直线和环形线结构构成，所述环形线结构用于增加所述信号传输线的分布电感；或者，所述接地线设置有预设数量的孔型结构，所述孔型结构用于改变所述信号传输线和所述接地线之间的分布电容。本发明设计的传输线结构可以起到调控超导量子电路的传输线结构特征阻抗的作用，并且传输线结构尺寸大小与微纳加工过程匹配，所面临的工艺不确定性降低，在保证目标阻抗条件下提高了传输线设计的稳定性。

权利要求

1.一种超导量子电路的传输线结构，其特征在于，包括：

所述传输线结构包括信号传输线和一个或多个接地线，所述信号传输线和所述接地线绝缘设置；

所述信号传输线由直线和环形线结构构成，所述环形线结构用于增加所述信号传输线的分布电感；

或者，所述接地线设置有预设数量的孔型结构，所述孔型结构用于改变所述信号传输线和所述接地线之间的分布电容；

接地线为金属薄膜层，所述孔型结构无金属薄膜覆盖在介质层表面；

所述环形线结构在信号传输线的电信号传输方向上，所述环形线结构的结构或者其密度呈预设变化，以实现传输线结构特性阻抗在传输线长度方向均匀或者非均匀的连续变化。

2.根据权利要求1所述的超导量子电路的传输线结构，其特征在于，所述超导量子电路的传输线结构还包括介质层，所述信号传输线位于所述介质层的第一侧，所述接地线位于所述介质层与所述第一侧相对的第二侧；

所述环形线结构包括环形传输线，环形传输线的层数包括至少一层，相邻两层环形传输线填充有所述介质层，相邻两层环形传输线之间通过两者之间的介质层的通孔连接。

3.根据权利要求1或2所述的超导量子电路的传输线结构，其特征在于，所述接地线包括第一接地线和第二接地线，所述第一接地线和所述信号传输线绝缘设置，所述第二接地线和所述信号传输线绝缘设置。

4.根据权利要求1所述的超导量子电路的传输线结构，其特征在于，所述孔型结构在所述接地线所在平面的截面形状包括圆形或者多边形。

5.根据权利要求1所述的超导量子电路的传输线结构，其特征在于，所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上，所述孔型结构的结构或者密度呈预设变化，以实现传输线结构特性阻抗在传输线长度方向的均匀或者非均匀的连续变化。

6.根据权利要求5所述的超导量子电路的传输线结构，其特征在于，所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为第一尺寸，所述接地线的厚度为第二尺寸；

所述超导量子电路的传输线结构的等效阻抗满足如下关系：

其中，factor2为拟合参数，Z0为所述接地线未设置所述孔型结构时的特性阻抗，factor1为预设数量的所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度，其中，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为groundL2，孔型结构在垂直于信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为groundL1，C1为预设数量的孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度为最大排列密度时对应的分布电容，C0为所述接地线未设置所述孔型结构时的电容。

7.根据权利要求6所述的超导量子电路的传输线结构，其特征在于，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上，多个孔型结构的密度呈周期性变化。

8.根据权利要求6所述的超导量子电路的传输线结构，其特征在于，预设数量的所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度满足如下关系：factor1＝groundL2*num/L

其中，factor1为预设数量的所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度，groundL2为所述孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺寸，num为所述孔型结构的数量，L为所述信号传输线在电信号传输方向上的长度。

说明书

一种超导量子电路的传输线结构

技术领域

[0001] 本发明涉及量子技术领域，尤其涉及一种超导量子电路的传输线结构。

背景技术

[0002] 量子计算是依赖于量子力学相关规律（包括量子的叠加和纠缠等特性）运行的计算模式，其基本理论在20世纪90年代逐渐丰富。和经典计算机类似，量子计算机的基本组成单元称为量子比特，存在两个基本状态：|0>态和|1>态。不同之处在于量子比特可能存在叠加态，即|ψ>=α|0>+β|1>。量子计算机由于其潜在的强大计算能力，受到科研院所的广泛关注。目前广泛研究的量子计算体系有超导量子计算、离子阱量子计算以及光量子计算体系。基于超导电路的量子计算系统具有容易设计、可利用微纳制造技术进行集成化制备和规模化加工封装的特点。超导量子计算系统由多个不同的关键性部件构成，其核心是极低温环境中表现非线性能级结构的约瑟夫森结。

[0003] 最近二十多年，量子计算在理论、软件、硬件及实验方面都取得不断突破。2019年谷歌宣称实现量子优越性。2021年11月，IBM发布了具有127个量子比特的处理器。为了实现非破坏性的量子态读取，探测读取腔的谐振频率，间接获取量子比特的状态。研究者针对系统中量子相干机理、器件耦合、材料作用以及信息传递等开展研究，不断向实用化的超导量子电路系统迈进。随着超导量子计算的发展，在比特数量、量子体积、电路深度等各方面有显著提高才能实现更大规模的有效计算。系统中包含越来越多的耦合结构且要进行噪声控制，这对超导量子计算系统的物理结构设计提出新要求。

[0004] 多层芯片中紧凑的、可靠的微波线路布局设计是其中一项挑战。多层芯片中传输线系统包含信号传输线和接地平面，二者之间存在一定厚度的介电材料（硅或者二氧化硅等）。分布电感和分布电容对于微波信号的有效传输有着重要作用，考虑薄膜为超导状态，特性阻抗由容抗和阻抗决定。从传输线的阻抗设计角度考虑，减小分布电容可行方式是增加信号线与地的距离，但该举措要求介电材料厚度成倍增加。工艺中实现较厚介电材料的稳定可控生长不光耗费大量制备时间且后续工艺要面临的界面平坦化处理等工序也十分具有挑战性。若在现有成熟工艺达到的厚度条件下实现合适的传输线特性阻抗，要求信号传输线的线宽减小至亚微米至数微米范围内。此举会导致微纳加工过程中该尺度范围的形状制备产生显著偏差，进而导致稳定可控的阻抗设计失效。可见，多层芯片上的传输线阻抗的可靠设计面临着工艺复杂度或工艺引入的大量不确定性。

发明内容

[0005] 本发明提供了一种超导量子电路的传输线结构，可以起到调控整个信号的特征阻抗作用，并且传输线结构尺寸大小与微纳加工过程匹配，所面临的工艺不确定性降低，在保证目标阻抗条件下提高了传输线设计的稳定性。

[0006] 第一方面，本发明提供了一种超导量子电路的传输线结构，包括：

[0007] 传输线结构包括信号传输线和一个或多个接地线，信号传输线和接地线绝缘设置；

[0008] 信号传输线由直线和环形线结构构成，环形线结构用于增加信号传输线的分布电感；

[0009] 或者，接地线设置有预设数量的孔型结构，孔型结构用于改变信号传输线和接地线之间的分布电容。

[0010] 可选的，超导量子电路的传输线结构还包括介质层，信号传输线位于介质层的第一侧，接地线位于介质层与第一侧相对的第二侧；

[0011] 环形线结构包括环形传输线，环形传输线的层数包括至少一层，相邻两层环形传输线填充有介质层，相邻两层环形传输线之间通过两者之间的介质层的通孔连接。

[0012] 可选的，接地线包括第一接地线和第二接地线，第一接地线和信号传输线绝缘设置，第二接地线和信号传输线绝缘设置。

[0013] 可选的，孔型结构在接地线所在平面的截面形状包括圆形或者多边形。

[0014] 可选的，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上，孔型结构的结构或者密度呈预设变化，以实现传输线结构特性阻抗在传输线长度方向的均匀或者非均匀的连续变化。

[0015] 可选的，环形线结构在信号传输线的电信号传输方向上，环形线结构的结构或者其密度呈预设变化，以实现传输线结构特性阻抗在传输线长度方向均匀或者非均匀的连续变化。

[0016] 可选的，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为第一尺寸，接地线的厚度为第二尺寸；

[0017] 超导量子电路的传输线结构的等效阻抗满足如下关系：

[0018]

[0019] 其中，factor2为拟合参数，Z0为接地线未设置孔型结构时的特性阻抗，factor1为预设数量的孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度，其中，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为groundL2，孔型结构在垂直于信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为groundL1，C1为预设数量的孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度为最大排列密度时对应的分布电容，C0为接地线未设置孔型结构时的电容。

[0020] 可选的，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上，多个孔型结构的密度呈周期性变化。

[0021] 可选的，预设数量的孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度满足如下关系：

[0022]

[0023] 其中，factor1为预设数量的孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度，groundL2为孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺寸，num为孔型结构的数量，L为信号传输线在电信号传输方向上的长度。

[0024] 本发明实施例通过设计传输线结构中的信号传输线结构，信号传输线由直线和环形线结构构成，环形线结构可以增加信号传输线的分布电感，起到调控超导量子电路的传输线结构特征阻抗的作用；或者，在传输线的接地平面层进行特定的孔型结构设计，可以改变信号传输线与接地平面层之间的分布电容，也可实现特征阻抗的改善。本发明设计的传输线结构尺寸大小可以与微纳加工过程匹配，使面临的工艺不确定性降低，在保证目标阻抗条件下提高了传输线设计的稳定性。

[0025] 应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

附图说明

[0026] 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0027] 图1是本发明实施例一提供的一种超导量子电路的传输线结构剖面图；

[0028] 图2是本发明实施例一提供的又一种超导量子电路的传输线结构剖面图；

[0029] 图3是本发明实施例一提供的一种信号传输线结构示意图；

[0030] 图4是本发明实施例一提供的一种接地平面层结构示意图；

[0031] 图5是本发明实施例一提供的又一种信号传输线结构示意图；

[0032] 图6是本发明实施例一提供的一种相邻两层环形传输线结构的剖面图；

[0033] 图7是本发明实施例一提供的一种三层信号传输线结构示意图；

[0034] 图8是本发明实施例一提供的又一种三层信号传输线结构示意图；

[0035] 图9是本发明实施例一提供的一种具有孔型结构的传输线结构俯视图；

[0036] 图10是图9中传输线结构沿剖面线AA的剖面示意图；

[0037] 图11是本发明实施例一提供的又一种具有孔型结构的传输线结构俯视图；

[0038] 图12是本发明实施例二提供的一种超导量子电路的传输线结构分析结果和有限元计算的特性阻抗对比示意图。

具体实施方式

[0039] 为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

[0040] 需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

[0041] 实施例一

[0042] 本发明实施例提供了一种超导量子电路的传输线结构，图1是本发明实施例一提供的一种超导量子电路的传输线结构剖面图，图2是本发明实施例一提供的又一种超导量子电路的传输线结构剖面图，参考图1和图2，传输线包括信号传输线10和一个或多个接地线20，信号传输线10和接地线20绝缘设置；图3是本发明实施例一提供的一种信号传输线结构示意图，参考图3，信号传输线10由直线11和环形线结构12构成，环形线结构12用于增加信号传输线的分布电感；图4是本发明实施例一提供的一种接地线结构示意图，参考图4，接地线20设置有预设数量的孔型结构21，孔型结构21用于改变信号传输线10和接地线20之间的分布电容。

[0043] 其中，信号传输线10可以用来传输信号以及改变信号线上的分布电感，通过改变信号线上的分布电感，可以起到调控超导量子电路的传输线结构特征阻抗的作用，图5是本发明实施例一提供的又一种信号传输线结构示意图，参考图5，在信号传输线上设计了多个排列的环形线结构12，各个环形线结构12依次连接，可以用于增加信号传输线10的分布电感。环形线结构12可以是矩形、圆形、三角形等结构。参考图4，接地线20设置有预设数量的孔型结构21，接地线20为金属薄膜层，即该孔型结构21区域无金属薄膜覆盖在介质层表面，孔型结构21可以设置为多个，孔型结构21在接地线20所在平面的截面形状包括圆形或者多边形，孔型结构21的截面形状可以为矩形，以圆角矩形为例，单个孔型结构21在x方向上的尺寸为groundL2，垂直于x方向上的尺寸为groundL1，孔型结构21的圆角矩形形状设计可以改变信号传输线和接地线20之间的分布电容。预设数量的孔型结构21中，多个孔型结构21之间的距离可以是均匀分布的，也可以是非均匀分布的。

[0044] 本发明实施例通过设计传输线结构中的信号传输线10结构，信号传输线10由直线11和环形线结构12构成，环形线结构12可以增加信号传输线的分布电感，起到调控超导量子电路的传输线结构特征阻抗的作用；或者，在传输线的接地线20进行特定的孔型结构21设计，可以改变信号传输线10与接地线20之间的分布电容，也可实现特征阻抗的改善。本发明设计的传输线结构尺寸大小可以与微纳加工过程匹配，使面临的工艺不确定性降低，在保证目标阻抗条件下提高了传输线设计的稳定性。

[0045] 图6是本发明实施例一提供的一种相邻两层环形传输线结构的剖面图，参考图6，可选的，超导量子电路的传输线结构还包括介质层30，信号传输线位于介质层30的第一侧，接地线20位于介质层30与第一侧相对的第二侧；环形线结构12包括环形传输线，环形传输线的层数包括至少一层，相邻两层环形传输线填充有介质层30，相邻两层环形传输线之间通过两者之间的介质层30的通孔13连接。

[0046] 其中，图6中未显示信号传输线中的直线，介质层30具有一定的厚度，介质层30的介电材料可以为硅或者二氧化硅等。环形传输线可以为单层或者多层，当环形传输线为多层，介质层的介电材料为硅材料时，多层环形传输线的通孔13可以为硅通孔，通孔13可以用来连接多层环形传输线进行传输信号。图7是本发明实施例一提供的一种三层信号传输线结构示意图，图8是本发明实施例一提供的又一种三层信号传输线结构示意图，参考图7和图8，在多层信号传输线上设计了多个排列的多层环形传输线，各个环形传输线依次连接，可以用于增加信号传输线10的分布电感，调控传输线结构的特性阻抗。

[0047] 可选的，参考图2，接地线20包括第一接地线23和第二接地线22，第一接地线23和信号传输线10绝缘设置，第二接地线22和信号传输线10绝缘设置。

[0048] 其中，当传输线结构中的接地线20包括第一接地线23和第二接地线22时，第一接地线23和第二接地线22可以分别设置在信号传输线10的两侧，第一接地线23与信号传输线10之间设置第一介质层31，第二接地线22与信号传输线10之间设置第二介质层32，设置多个接地线20可以有利于屏蔽外来杂散的干扰电磁信号。

[0049] 可选的，参考图4，孔型结构21在信号传输线的电信号传输方向上，孔型结构21的结构或者密度呈预设变化，以实现传输线结构特性阻抗在传输线长度方向的均匀或者非均匀的连续变化。

[0050] 其中，信号传输线的电信号传输方向为x方向，孔型结构的结构或者密度变化用于实现超导量子电路的传输线结构的阻抗的连续变化，给定传输线结构的阻抗与孔型结构参数的相关性，根据实际需要的传输线结构阻抗随接地线长度的分布关系，分布关系可以是呈指数变化、三角函数变化以及线型增减变化中的至少一种，可以获得孔型结构的结构或者密度随着接地线长度的预设变化，预设变化可以是呈指数变化、三角函数变化以及线型增减变化中的至少一种。孔型结构21的密度均匀或者非均匀的连续变化也可以是呈指数变化、三角函数变化以及线型增减变化中的至少一种，通过设计孔型结构21的排列密度可以对阻抗所要求的传输线结构进行指导设计。

[0051] 可选的，环形线结构在信号传输线的电信号传输方向上，环形线结构的结构或者其密度呈预设变化，以实现传输线结构特性阻抗在传输线长度方向均匀或者非均匀的连续变化。

[0052] 其中，参考图5，若在信号传输线上设计了多个排列的环形线结构12，其中多个排列的环形线结构12的密度可以呈预设变化，预设变化可以是呈指数变化、三角函数变化以及线型增减变化中的至少一种。参考图7，若环形线结构12设计了多层环形传输线，多层环形传输线也可以呈预设变化，预设变化可以是呈指数变化、三角函数变化以及线型增减变化中的至少一种。

[0053] 图9是本发明实施例一提供的又一种信号传输线结构俯视图，参考图9，可选的，孔型结构21在信号传输线10的电信号传输方向上的尺寸为第一尺寸，接地线20的厚度为第二尺寸；超导量子电路的传输线结构的等效阻抗满足如下关系：

[0054]

[0055] 其中，factor2为拟合参数，Z0为接地线20未设置孔型结构21时的等效阻抗，factor1为预设数量的孔型结构21在信号传输线10的电信号传输方向上的排列密度，其中，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为groundL2，孔型结构在垂直于信号传输线的电信号传输方向上的尺寸为groundL1，C1为预设数量的孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度为最大排列密度时对应的分布电容，C0为接地线20未设置孔型结构21时的电容。

[0056] 具体的，图10是图9中传输线结构沿剖面线AA的剖面示意图，参考图9和图10，信号传输线10的电信号传输方向为x方向，接地线20的厚度的方向为y方向，C1为预设数量的孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度为最大排列密度时对应的分布电容，并且C1与孔型结构21的通孔位置、大小及密度相关，C0为图1中接地线未设置孔型结构21时的电容，处于孔型结构21附近的信号传输线10与接地线20的空间距离很大，存在的分布电容较小。通过在传输线中均匀布置这样的孔型结构21，可有效控制传输线的等效电容。同时在上述设计过程中，信号传输线10和接地线20的纵向距离保持不变，所以对工艺要求没有提高。通过公式，可确定目标阻抗所需的孔型结构密度，可以对目标阻抗所要求的结构形状进行指导设计，再进一步通过计算分析获得精确设计。

[0057] 可选的，孔型结构21在信号传输线10的电信号传输方向上，多个孔型结构21的密度呈周期性变化。

[0058] 其中，当孔型结构数量较少和传输线长度相比很小时，不能达到改善阻抗的效果，当多个孔型结构21的密度呈周期性变化时，多个孔型结构21的设置可以更好的改变信号传输线与接地平面层之间的分布电容，实现特征阻抗的改善。

[0059] 可选的，参考图4，预设数量的孔型结构21在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度满足如下关系：

[0060]

[0061] 其中，factor1为预设数量的孔型结构21在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度，groundL2为孔型结构21在信号传输线10的电信号传输方向上的尺寸，num为孔型结构21的数量，L为信号传输线10在电信号传输方向上的长度。

[0062] 具体的，groundL1为孔型结构21在垂直于信号传输线的电信号传输方向上的尺寸，factor1的取值范围为0

[0063] 参考图10，接地线20未设置孔型结构21时的等效阻抗满足如下关系：

[0064]

[0065] 其中，W为信号传输线的宽度，h为信号传输线和接地线之间的垂直距离，εeff为超导量子电路的传输线结构的有效介电常数，且W/h<1。

[0066] 接地线20未设置孔型结构21时的等效阻抗满足如下关系：

[0067]

[0068] 其中，W为信号传输线的宽度，h为信号传输线和接地线之间的垂直距离，εeff为超导量子电路的传输线结构的有效介电常数，且W/h≥1。

[0069] 示例性的，当W=10μm，h=2μm，εeff=5，其等效阻抗Z0=28.8Ω。若使其等效阻抗改善，可以通过在传输线上设计多个排列的环形传输线结构，若信号传输线其内径约为100μm，此时W=100μm，各个环形结构依次连接。此结构的等效阻抗可改善为32.2Ω。

[0070] 本发明实施例中信号传输线10由直线11和环形线结构12构成，环形线结构12用于增加传输线的分布电感。同时，环形线结构12包括环形传输线，多层环形传输线通过通孔13连接，进一步增加电感。另一方面，在传输线的接地线进行特定的孔型结构21设计，可以改变信号传输线10与接地线20之间的分布电容，也可实现阻抗的改善。本发明所提供的传输线的结构尺寸大小与微纳加工过程匹配，所面临的工艺不确定性降低，在保证目标阻抗条件下提高了传输线设计稳定性；当介电层的厚度为亚微米级别可实现良好的目标阻抗设计，大大减小较厚介电材料厚度控制所面临的工艺挑战性。

[0071] 实施例二

[0072] 本实施例在上述实施例的基础上提供一种超导量子电路的传输线结构的具体示例，以微带线结构为例，预设W=10μm，h=2μm，εeff=5，其阻抗Z0=28.8Ω。通过改变接地线结构设计达到改变阻抗的目的。在传输线接地线设计孔型结构，孔型结构的基本尺寸为groundL1=30μm，groundL2=40μm，孔型结构在信号传输线的电信号传输方向上的排列密度为factor1=0.35 0.45。获得此结构的阻抗改善效果计算公式为：~

[0073]

[0074] 其中分析获得初始微带线结构C0= 278 pF/m，特性阻抗为Z0 = 24Ω。接地线设置孔型结构时的电容C1= 70 pF/m，Z1= 83Ω。设定单个孔的长度为groundL2 = 40μm，获得其密度为factor1=0.35和factor1=0.45时的Z2，并基于此拟合计算获得factor2，图12是本发明实施例二提供的一种超导量子电路的传输线结构分析结果和有限元计算的特性阻抗对比示意图，可以看出有限元计算与模型预测的趋势基本一致，因此通过有限元计算可以准确得出超导量子电路的传输线结构的特性阻抗。可以进一步通过公式可确定目标阻抗Z2所需要的结构参数特征，提高器件设计效率。

[0075] 本发明实施例提供的一种超导量子电路的传输线结构，通过接地线引入孔型结构，来调控传输线结构的特性阻抗。基于微带线的传输特性解析和衍生的微带线传输结构，辅助评估接地线具有孔型结构特征微带线的特性阻抗。上述发明过程使得传输线结构尺寸大小与微纳加工过程匹配，所面临的工艺不确定性降低，在保证目标阻抗条件下提高了传输线设计稳定性；当介质层的介电材料的厚度为亚微米级别可实现良好的目标阻抗设计，大大减小较厚介电材料厚度控制所面临的工艺挑战性；同时，本发明提供的一套该类传输线的设计流程，提高器件设计效率。

[0076] 应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发明中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本发明的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。

[0077] 上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。