声表面波测量装置

摘要

本申请提供一种声表面波测量装置，声表面波测量装置包括壳体；转动体，转动体可旋转地安装在壳体上，转动体包括转动筒，转动筒内设置有传感元件；其中，转动筒向远离壳体的方向延伸，且转动筒设置有绕转动体的旋转轴线螺旋布置的螺旋导槽，螺旋导槽自转动筒远离壳体的一端向靠近壳体的一端沿螺旋方向延伸。本申请通过在转动筒内安装传感元件，由于转动筒设置有绕转动体旋转轴线螺旋布置的螺旋导槽，在通过螺旋导槽将声表面波测量装置安装在对应的附属装置(例如色谱仪器)后，转动筒与附属装置形成容纳传感元件的密闭腔室，不仅便于声表面波测量装置的安装，同时可以使得传感元件不受环境温度、压力、湿度等因素的影响。

权利要求

1.一种声表面波测量装置，其特征在于，包括：

壳体；

转动体，所述转动体可旋转地安装在所述壳体上，所述转动体包括转动筒，所述转动筒内设置有传感元件；

其中，所述转动筒向远离所述壳体的方向延伸，且所述转动筒设置有绕所述转动体的旋转轴线螺旋布置的螺旋导槽，所述螺旋导槽自所述转动筒远离所述壳体的一端向靠近所述壳体的一端沿螺旋方向延伸，以通过所述转动体的旋转使所述螺旋导槽卡合对应的卡合件；

所述转动体还包括与所述转动筒同轴设置的转动环板，所述转动环板连接于所述转动筒外壁面上；

所述壳体表面设置有转动槽，所述转动环板安装于所述转动槽内；

所述转动环板设置有多个贯穿的弧形限位槽，所述多个弧形限位槽围绕所述转动体的旋转轴线环形阵列布置；

所述转动槽内安装有与所述弧形限位槽相对的转动限位柱，所述转动限位柱安装于所述弧形限位槽内。

2.如权利要求1所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述弧形限位槽对应的圆心角等于所述螺旋导槽对应的圆心角。

3.如权利要求1所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述转动环板上还连接有转动臂；

所述转动臂至少部分沿所述转动体的旋转轴线延伸。

4.如权利要求1所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述螺旋导槽包括第一螺旋子卡槽以及第二螺旋子卡槽；

所述第一螺旋子卡槽和所述第二螺旋子卡槽相对于所述转动筒的转动中心对称布置。

5.如权利要求4所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述转动筒远离所述壳体的一端具有第一缺口和第二缺口；

所述第一缺口与所述第一螺旋子卡槽连通，所述第二缺口与所述第二螺旋子卡槽连通。

6.如权利要求1所述的声表面波测量装置，其特征在于，还包括安装板，所述安装板位于所述转动筒内；

所述壳体设置有与所述转动筒相对的通孔，所述壳体内安装有电路板；

所述安装板与所述通孔同轴设置，且所述传感元件的线路穿过所述安装板并通过所述通孔伸入所述壳体内部，以使得所述传感元件与所述电路板连接。

7.如权利要求6所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述转动筒内还具有同轴设置的固定筒，所述固定筒固定安装于所述壳体上；

所述固定筒的外径大于所述通孔的直径，所述固定筒与所述通孔相对，所述安装板固定于所述固定筒内。

8.如权利要求6所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述传感元件包括声表晶片以及铂电阻；

所述声表晶片和所述铂电阻安装于半导体制冷片上，所述半导体制冷片安装于所述安装板上。

9.如权利要求7所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述固定筒的外径等于所述转动筒的内径。

10.如权利要求1所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述螺旋导槽对应的圆心角为60°至120°。

11.如权利要求1至10任一项所述的声表面波测量装置，其特征在于，所述传感元件位于所述转动体的旋转轴线处。

说明书

声表面波测量装置

技术领域

[0001] 本申请涉及质量传感器技术领域，具体涉及一种声表面波测量装置。

背景技术

[0002] 目前，声表面波传感器具有精度高、分辨率高、抗干扰能力强以及适合远距离传送的特点，广泛地应用于通信、雷达、电子对抗、广播电视等民用和军用领域中。然而，声表面
波传感器在测量过程中易受到环境温度、压力、湿度等因素的影响，因此为了消除环境温
度、压力、湿度等因素对测量结果的影响，通常采用双通道结构，其中一个测量通道用于测
量，另一个参考通道用于对环境温度、压力、湿度等因素的补偿，最终通过计算得到测量结
果，然而这种测量方式增加了测量成本以及测量时间。

发明内容

[0003] 本申请提供一种声表面波测量装置，旨在解决目前声表面波传感器易受到环境参数影响的技术问题。

[0004] 第一方面，本申请提供一种声表面波测量装置，包括：

[0005] 壳体；

[0006] 转动体，转动体可旋转地安装在壳体上，转动体包括转动筒，转动筒内设置有传感元件；

[0007] 其中，转动筒向远离壳体的方向延伸，且转动筒设置有绕转动体的旋转轴线螺旋布置的螺旋导槽，螺旋导槽自转动筒远离壳体的一端向靠近壳体的一端沿螺旋方向延伸，
以通过转动体的旋转使螺旋导槽卡合对应的卡合件(例如色谱仪器上的限位柱)。

[0008] 在一些实施例中，转动体还包括与转动筒同轴设置的转动环板，转动环板连接于转动筒外壁面上；

[0009] 壳体表面设置有转动槽，转动环板安装于转动槽内。

[0010] 在一些实施例中，转动环板设置有多个贯穿的弧形限位槽，多个弧形限位槽围绕转动体的旋转轴线环形阵列布置；

[0011] 转动槽内安装有与弧形限位槽相对的转动限位柱，转动限位柱安装于弧形限位槽内。

[0012] 在一些实施例中，弧形限位槽对应的圆心角等于螺旋导槽对应的圆心角。

[0013] 在一些实施例中，转动环板上还连接有转动臂；

[0014] 转动臂至少部分沿转动体的旋转轴线延伸。

[0015] 在一些实施例中，螺旋导槽包括第一螺旋子卡槽以及第二螺旋子卡槽；

[0016] 第一螺旋子卡槽和第二螺旋子卡槽相对于转动筒的转动中心对称布置。

[0017] 在一些实施例中，转动筒远离壳体的一端具有第一缺口和第二缺口；

[0018] 第一缺口与第一螺旋子卡槽连通，第二缺口与第二螺旋子卡槽连通。

[0019] 在一些实施例中，还包括安装板，安装板位于转动筒内，传感元件安装于安装板上；

[0020] 壳体设置有与转动筒相对的通孔，壳体内安装有电路板；

[0021] 安装板与通孔同轴设置，且传感元件的线路穿过安装板并通过通孔伸入壳体内部，以使得传感元件与电路板连接。

[0022] 在一些实施例中，转动筒内还具有同轴设置的固定筒；

[0023] 固定筒的外径大于通孔的直径且小于转动筒的内径，固定筒与通孔相对，安装板固定于固定筒内。

[0024] 在一些实施例中，传感元件包括声表晶片以及铂电阻，声表晶片和铂电阻安装于半导体制冷片上，半导体制冷片安装于安装板上。

[0025] 在一些实施例中，固定筒的外径等于转动筒的内径。

[0026] 在一些实施例中，螺旋导槽对应的圆心角为60°至120°。

[0027] 在一些实施例中，传感元件位于转动体的旋转轴线处。

[0028] 本申请通过在转动筒内安装传感元件，由于转动筒设置有绕转动体旋转轴线螺旋布置的螺旋导槽，在通过螺旋导槽将声表面波测量装置安装在对应的附属装置(例如色谱
仪器)后，转动筒与附属装置对接结构形成容纳传感元件的密闭腔室，不仅便于声表面波测
量装置的安装，同时可以使得传感元件不受环境温度、压力、湿度等因素的影响，相对于传
统双通道结构的测量方式，具有节省声表面波的测量成本以及测量时间的特点。

附图说明

[0029] 为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于
本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附
图。

[0030] 图1是本申请实施例中提供的声表面波测量装置的一种结构示意图；

[0031] 图2是本申请实施例中提供的壳体的一种结构示意图；

[0032] 图3是本申请实施例中提供的转动体的一种结构示意图；

[0033] 图4是本申请实施例中提供的声表面波测量装置的一种正视图；

[0034] 图5是本申请图4中A‑A处的一种断面示意图；

[0035] 图6是本申请实施例中提供的固定筒、安装板以及传感元件的一种结构示意图。

[0036] 其中，10壳体，11转动槽，12转动限位柱，13通孔，20转动体，21转动筒，211螺旋导槽，2111第一螺旋子卡槽，2112第二螺旋子卡槽，2113第一缺口，2114第二缺口，22转动环
板，221弧形限位槽，23转动臂，30传感元件，31半导体制冷片，32声表晶片，33铂电阻，40安
装板，50电路板，60固定筒。

具体实施方式

[0037] 下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本发明保护的范围。

[0038] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，
因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解
为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、
“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多
个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

[0039] 在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为“示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为了使本领域任
何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列
出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况
下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必
要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合
本申请所公开的原理和特征的最广范围相一致。

[0040] 本申请实施例提供一种声表面波测量装置，以下进行详细说明。

[0041] 首先，参阅图1，图1示出了本申请实施例中声表面波测量装置的一种结构示意图，其中，声表面波测量装置包括：

[0042] 壳体10；

[0043] 转动体20，转动体20可旋转地安装在壳体10上，转动体20包括转动筒21，转动筒21内设置有传感元件30；

[0044] 其中，转动筒21向远离壳体10的方向延伸，且转动筒21设置有绕转动体20旋转轴线螺旋布置的螺旋导槽211，螺旋导槽211自转动筒21远离壳体10的一端向靠近壳体10的一
端沿螺旋方向延伸，以通过转动体20的旋转使螺旋导槽211卡合对应的卡合件(例如色谱仪
器上的限位柱)。

[0045] 具体的，壳体10用于为转动体20提供转动基础，同时可以在壳体10内安装电路板，以避免电路板暴露在空气中。在本申请的一些实施例中，壳体10可以在其表面设置转动槽
11，以便于转动体20在壳体10上旋转。可以理解的，还可以在壳体10表面设置转动柱，将转
动体20安装在转动柱上实现旋转。示例性的，壳体10可以采用金属或者塑料制成。

[0046] 转动体20的转动筒21可以包裹传感元件30，当与声表面波测量装置所安装的附属装置(例如色谱仪器)的卡合件(例如限位柱)卡入螺旋导槽211后，随着转动筒21的转动，卡
合件从转动筒21远离壳体10的一端向靠近壳体10的一端移动，进而声表面波测量装置靠近
该附属装置，并使得转动筒21与附属装置的表面(例如对接结构)形成围合容纳传感元件30
的密闭腔室，由此保证感元件不受环境温度、压力、湿度等因素的影响。

[0047] 在本申请的一些实施例中，转动筒21的轴线与转动体20的旋转轴线重合。在本申请的一些实施例中，传感元件30位于转动体20的旋转轴线处。在本申请的一些实施例中，螺
旋导槽211对应的圆心角为60°至120°，例如60°、70°、80°、90°、100°、110°或120°。

[0048] 传感元件30用于进行声表面波的测量，一般的，传感元件30包括声表晶片，声表晶片可以基于市场上成熟的MEMS工艺制成，同时在二氧化硅表面实现金属叉指结构的制作。
可以理解的，传感元件30还可以包括其他电子元件，例如温度传感器、铂电阻等。

[0049] 在本申请实施例中，通过在转动筒21内安装传感元件30，由于转动筒21设置有绕转动体20旋转轴线螺旋布置的螺旋导槽211，在通过螺旋导槽211将声表面波测量装置安装
在对应的附属装置(例如色谱仪器)后，转动筒21与附属装置形成容纳传感元件30的密闭腔
室，不仅便于声表面波测量装置的安装，同时可以使得传感元件30不受环境温度、压力、湿
度等因素的影响，相对于传统双通道结构的测量方式，具有节省声表面波的测量成本以及
测量时间的特点。

[0050] 在本申请的一些实施例中，参阅图2以及图3，图2示出了本申请实施例中壳体10的一种结构示意图，图3示出了本申请实施例中转动体20的一种结构示意图，其中，转动体20
还包括与转动筒21同轴设置的转动环板22，转动环板22连接于转动筒21外壁面上，壳体10
表面设置有转动槽11，转动环板22安装于转动槽11内。在转动体20转动过程中，转动环板22
在转动槽11内旋转，由于转动环板22与转动槽11的底面互相贴合，因此可以保证转动体20
旋转的可靠性，避免转动体20在转动过程中倾斜的现象。

[0051] 进一步的，在本申请的一些实施例中，继续参阅图2以及图3，其中，转动环板22设置有多个贯穿的弧形限位槽221，多个弧形限位槽221围绕转动体20的旋转轴线环形阵列布
置，转动槽11内安装有与弧形限位槽221相对的转动限位柱12，转动限位柱12安装于弧形限
位槽221内。在转动体20旋转的过程中，转动环板22的弧形限位槽221受到转动限位柱12的
限制，且多个弧形限位槽221围绕转动体20的旋转轴线环形阵列布置，因此使得转动体20只
能绕其轴线转动，而不能绕随意转动进而保证了转动体20转动的可靠性。示例性的，弧形限
位槽221可以为3个，3个弧形限位槽221围绕转动体20的旋转轴线环形阵列布置，每个弧形
限位槽221内均安装了1个转动限位柱12，同时每个弧形限位槽221对应的圆心位于转动体
20的旋转轴线上。

[0052] 在本申请的一些实施例中，转动限位柱12可以为螺钉，螺钉的柱头直径大于弧形限位槽221的宽度，使得螺钉的柱头可以压住转动环板22，进而避免转动环板22脱离转动槽
11的现象。

[0053] 在本申请的一些实施例中，弧形限位槽221对应的圆心角等于螺旋导槽211对应的圆心角。随着转动环板22的转动，转动限位柱12从弧形限位槽221一端转移至弧形限位槽
221的另外一端，转动限位柱12可以限制转动体20继续旋转，并可以通过转动限位柱12与弧
形限位槽221的相对位置关系，明确螺旋导槽211是否被对应的卡合件完全卡入，进而保证
声表面波测量装置的安装可靠性。

[0054] 进一步的，参阅图1，其中，转动环板22上还连接有转动臂23，转动臂23至少部分沿转动体20的旋转轴线延伸，通过绕转动体20的旋转轴线使转动臂23旋转，即可带动转动环
板22、转动筒21进行旋转，使得转动筒21通过螺旋导槽211安装在对应的附属装置上。

[0055] 在本申请的一些实施例中，继续参阅图3，其中，螺旋导槽211包括第一螺旋子卡槽2111以及第二螺旋子卡槽2112，第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112相对于转动筒
21的转动中心对称布置。在旋转转动筒21后，第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112
分别卡入对应的卡合件，从而对转动筒21多处进行连接，进一步提升转动体20的连接可靠
性，同时，由于第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112相对于转动筒21的转动中心对
称布置，也就是说第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112的螺旋延伸方向均相同(例
如顺时针方向或逆时针方向)，可以避免第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112由于
螺旋方向相反而无法同时卡入对应卡合件的现象。

[0056] 需要说明的是，第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112可以是如图3所示由转动筒21内壁面贯穿至转动筒21外壁面的通槽，此外，第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子
卡槽2112还可以是设置在转动筒21内壁面处或者至转动筒21外壁面处的凹槽。

[0057] 进一步的，在本申请的一些实施例中，例如对于第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112可以是指由转动筒21内壁面贯穿至转动筒21外壁面的通槽的实施例，继续参阅
图3，转动筒21远离壳体10的一端具有第一缺口2113和第二缺口2114，第一缺口2113与第一
螺旋子卡槽2111连通，第二缺口2114与第二螺旋子卡槽2112连通。附属装置对应的卡合件
可以通过第一缺口2113和第二缺口2114卡入第一螺旋子卡槽2111和第二螺旋子卡槽2112
内，从而便于声表面波测量装置的安装以及拆卸。

[0058] 在本申请的一些实施例中，参阅图2、图4以及图5，图4示出了本申请实施例中声表面波测量装置的一种正视图，图5示出了本申请图4中A‑A处的一种断面示意图，声表面波测
量装置还包括安装板40，安装板40位于转动筒21内，传感元件30安装于安装板40上；壳体10
设置有与转动筒21相对的通孔13，壳体10内安装有电路板50；安装板40与通孔13同轴设置，
且传感元件30的线路穿过安装板40并通过通孔13伸入壳体10内部，以使得传感元件30与电
路板50连接。其中，安装板40可以分隔壳体10内部和壳体10外部，保证壳体10内部形成密闭
的腔室，可以通过为传感元件30提供安装基础，当传感元件30安装完成后，传感元件30位于
壳体10外，电路板50位于壳体10内，传感元件30的线路穿过安装板40并通过通孔13伸入壳
体10内部，以使得传感元件30与电路板50连接，在保证传感元件30与电路板50电连接的同
时，可以使得传感元件30安装在壳体10外并进行声表面波测量。

[0059] 进一步的，在本申请的一些实施例中，参阅图1、图5以及图6，图6示出了本申请实施例中固定筒60、安装板40以及传感元件30的一种结构示意图，转动筒21内还具有同轴设
置的固定筒60；固定筒60的外径大于通孔13的直径且小于转动筒21的内径，固定筒60与通
孔13相对，安装板40固定于固定筒60内。其中，安装板40安装在固定筒60靠近壳体10的一
端，由于固定筒60的外径大于通孔13的直径且小于转动筒21的内径，且固定筒60与通孔13
相对，此时固定筒60与固定板可以堵住壳体10的通孔13，保证壳体10内部腔室的密闭性。同
时，传感元件30安装在固定板后，传感元件30位于固定筒60内部，由于固定筒60不随转动筒
21旋转，在与对应的附属装置对接后，固定筒60与附属装置对接结构可以更好的形成容纳
传感元件30的密闭腔室，有利于进一步避免传感元件30在测量过程中受到环境温度、湿度
等因素的影响。

[0060] 在本申请的一些实施例中，参阅图1、图5以及图6，传感元件30包括声表晶片32以及铂电阻33，声表晶片32和铂电阻33安装于半导体制冷片31上，半导体制冷片31安装于安
装板上。其中，声表晶片32用于测量声表面波，而半导体制冷片31用于控制声表晶片32所处
环境的温度，铂电阻33用于测量声表晶片32所处环境的温度，三者均可以通过导线与电路
板50连接。

[0061] 具体地，结合本申请转动筒21内还具有同轴设置的固定筒60的实施例，在固定筒60与对应的附属装置对接后，第一方面半导体制冷片31可以更改固定筒60内的温度，使得
声表晶片32在具体设定的温度环境工作，从而满足声表面波具体环境测量要求；第二方面，
通过半导体制冷片31改变环境温度，还可以探测声表晶片32所处环境温度与灵敏度的关
系，获得声表晶片32所处环境温度与灵敏度的关系后，可以使得声表晶片32在最佳的环境
温度工作并保持在最佳灵敏度；此外，第三方面，对于声表晶片32在历史测量过程中其表面
由高温气体液化并凝固的脏污现象，通过半导体制冷片31还可以将声表晶片32环境温度提
升至预设温度(例如150℃)，使得该附着于声表晶片32表面的脏污得以气化并消除，从而消
除声表晶片32对测量结果的影响，保证声表晶片32的测量准确性。

[0062] 进一步的，在本申请的一些实施例中，固定筒60的外径等于转动筒21的内径，在转动筒21转动过程中，转动筒21的内壁面与固定筒60的外壁面贴合，因此转动筒21可以通过
固定筒60的圆形支撑进行转动，保证转动筒21转动的可靠性。

[0063] 值得注意的是，上述关于声表面波测量装置的内容旨在清楚说明本申请的实施验证过程，本领域技术人员在本申请的指导下，还可以做出等同的修改设计，例如，设置更多
数量的螺旋导槽211。

[0064] 在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。

[0065] 上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本申请的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会
对本申请进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本申请中被建议，所以该类
修改、改进、修正仍属于本申请示范实施例的精神和范围。

[0066] 同时，本申请使用了特定词语来描述本申请的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本申请至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因
此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施
例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本申请的一个或多个实施例中
的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

[0067] 同理，应当注意的是，为了简化本申请披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本申请实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或
对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本申请对象所需要的特征比权利要求中提
及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

[0068] 一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字，应当理解的是，此类用于实施例描述的数字，在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说
明，“大约”、“近似”或“大体上”表明所述数字允许有±20％的变化。相应地，在一些实施例
中，说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值，该近似值根据个别实施例所需特点
可以发生改变。在一些实施例中，数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的
方法。尽管本申请一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值，在具体实
施例中，此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。

[0069] 针对本申请引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料，如文章、书籍、说明书、出版物、文档等，特此将其全部内容并入本申请作为参考，但与本申请内容不一
致或产生冲突的申请历史文件除外，对本申请权利要求最广范围有限制的文件(当前或之
后附加于本申请中的)也除外。需要说明的是，如果本申请附属材料中的描述、定义、和/或
术语的使用与本申请所述内容有不一致或冲突的地方，以本申请的描述、定义和/或术语的
使用为准。

[0070] 以上对本申请实施例所提供的一种声表面波测量装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理
解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体
实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的
限制。