一种带关闭按钮的腔体盖开合结构及气相沉积设备

摘要

本发明提供一种带关闭按钮的腔体盖开合结构及气相沉积设备，该腔体盖开合结构包括腔体连接模块、腔体盖固定块、助力模块及关闭按钮，其中，助力模包括自下而上依次设置的联动杆、下连接块、下锁钩、上锁钩、中连接块、弹性模块及上连接块，当关闭按钮被按下时，下锁钩脱钩于上锁钩。本发明的腔体盖开合结构整体上采用机械传动机构，不仅结构小巧，节省空间，还能够安全可靠地运行，在无电力驱动的条件下实现腔体盖的快速开启与关闭，提升了设备的运行和检修效率，使设备产能进一步提高，同时不会磨损腔体。腔体连接模块与腔体盖固定块之间的助力模块可以在开合盖的过程中提供开启闭合的力矩，使开合盖更加省力高效，操作人员可轻松的开启腔体盖。

权利要求

1.一种带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于，包括：

腔体连接模块；

腔体盖固定块，内部设有收容空间且底部漏空，所述腔体连接模块的顶部自所述腔体盖固定块的底部伸入所述收容空间内，所述腔体盖固定块与所述腔体连接模块之间通过第一活动轴活动连接以使所述腔体盖固定块能够以所述第一活动轴为转动轴在预设角度范围内转动；

助力模块，位于所述收容空间内并包括自下而上依次设置的联动杆、下连接块、下锁钩、上锁钩、中连接块、弹性模块及上连接块，其中，所述联动杆的下端通过第二活动轴与所述腔体连接模块活动连接，所述联动杆的上端通过第三活动轴与所述下连接块活动连接，所述下锁钩通过第四活动轴与所述下连接块活动连接，所述上锁钩与所述中连接块固定连接，所述弹性模块的下端与所述下连接块固定连接，所述弹性模块的上端与所述上连接块固定连接；

关闭按钮，包括按钮盖及按钮杆，所述按钮盖位于所述腔体盖固定块外部，所述按钮杆的一端与所述按钮盖连接，另一端伸入所述下连接块内，当所述关闭按钮被按下时，所述按钮杆推动所述下锁钩以使所述下锁钩以所述第四活动轴为转动轴转动预设角度而脱钩于所述上锁钩；

扭力弹簧，套设于所述第四活动轴上，所述扭力弹簧的一端与所述下连接块连接，所述扭力弹簧的另一端与所述下锁钩连接；

复位模块，与所述中连接块连接以推动所述中连接块向下运动使所述上锁钩与所述下锁钩重新连接。

2.根据权利要求1所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：所述复位模块包括蜗轮、蜗轮联动杆及棘轮扳手模块，所述蜗轮位于所述收容空间内并与所述腔体盖固定块转动连接，所述蜗轮联动杆的一端偏心连接于所述蜗轮，所述蜗轮联动杆的另一端与所述中连接块连接，所述棘轮扳手模块包括棘轮扳手及蜗杆，所述棘轮扳手位于所述腔体盖固定块外部，所述蜗杆的一端与所述棘轮扳手连接，所述蜗杆的另一端伸入所述收容空间内，当移动所述棘轮扳手使所述蜗杆与所述蜗轮啮合时，所述蜗杆可以随所述棘轮扳手的转动而带动所述蜗轮转动，所述蜗轮联动杆可以随所述蜗轮的转动而下降进而推动所述中连接块向下运动使所述上锁钩与所述下锁钩重新连接。

3.根据权利要求1所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：所述助力模块还包括至少一滑动杆，所述滑动杆的顶端与所述上连接块固定连接，所述滑动杆还贯穿所述中连接块及所述下连接块以与所述中连接块及所述下连接块滑动连接。

4.根据权利要求3所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：所述助力模块还包括缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶端与所述中连接块固定连接，所述缓冲弹簧的底端与所述下连接块固定连接。

5.根据权利要求1所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：还包括助力调节模块，所述助力调节模块与所述腔体盖固定块及所述上连接块连接以调节所述上连接块的位置进而改变所述弹性模块产生的弹力。

6.根据权利要求5所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：所述助力调节模块与所述腔体盖固定块的顶部连接，且所述助力调节模块包括螺纹丝杆及旋钮，所述螺纹丝杆贯穿所述腔体盖固定块的顶面以伸入所述收容空间内与所述上连接块连接，所述旋钮位于所述腔体盖固定块上方并套设于所述螺纹丝杆周围，所述螺纹丝杆随所述旋钮的转动作上下移动以带动所述上连接块作上下移动。

7.根据权利要求1所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：所述弹性模块包括弹簧。

8.根据权利要求1所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：所述腔体连接模块包括腔体固定块与锁定轴，所述锁定轴凸设于所述腔体固定块远离腔体盖的一侧，所述锁定轴远离腔体盖的一侧具有圆弧表面，所述圆弧表面设有第一啮合齿；所述腔体盖开合结构还包括锁定件，所述锁定件位于所述锁定轴远离腔体盖的一侧并与所述腔体盖固定块活动连接，所述锁定件包括位于所述收容空间内的锁定轮及位于所述收容空间外并与所述锁定轮固定连接的手柄，所述锁定轮面向所述锁定轴的一面设有与所述第一啮合齿相配合的第二啮合齿，其中，当所述锁定件处于释放状态时，所述第二啮合齿与所述第一啮合齿间隔预设距离，当所述锁定件处于锁定状态时，所述第二啮合齿与所述第一啮合齿啮合以使所述腔体盖固定块停止转动进而将腔体盖锁定到预设开合角度。

9.根据权利要求8所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其特征在于：所述锁定件还包括滑杆，所述滑杆贯穿所述手柄并可相对于与所述手柄沿靠近或远离所述腔体盖固定块的方向移动，所述腔体盖固定块的侧壁设有锁定孔，当所述锁定轮随所述手柄移动至所述第二啮合齿与所述第一啮合齿啮合时，所述滑杆正对所述锁定孔，当所述滑杆被推入所述锁定孔中，所述手柄相对于所述腔体盖固定块固定以使所述锁定件保持锁定状态。

10.一种气相沉积设备，其特征在于，包括：

沉积腔体，设有顶部开口；

腔体盖，位于所述沉积腔体上方以封闭所述顶部开口；

如权利要求1‑9任意一项所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，通过所述腔体连接模块与所述沉积腔体连接，并通过所述腔体盖固定块与所述腔体盖连接。

说明书

一种带关闭按钮的腔体盖开合结构及气相沉积设备

技术领域

[0001] 本发明属于半导体设备制造技术领域，涉及一种带关闭按钮的腔体盖开合结构及气相沉积设备。

背景技术

[0002] 在半导体设备制造领域，尤其是气相沉积设备领域，腔体的腔体盖采用合金材料加工成型，普遍都比较笨重，轻则几十斤，重则几百斤。

[0003] 现有的设备腔体开合盖结构主要有3种：

[0004] （1）机械控制竖直方向吊装开合盖，缺点是笨重，需要额外的吊装设备；

[0005] （2）纯手动合页式开合盖结构，优点是机械结构简单，组装元件成本较低，便于拆卸维护，无需电力驱动，节能，但是开合费力且不安全，操作不当可能致使腔体开口处磨损，更甚者造成人员受伤；现有的手动合页式开合盖机构占用空间较大，在一些腔体上方空间较小的地方，该种开合盖结构无法设计安装；

[0006] （3）全自动合页式开合盖驱动结构，虽然可以利用伺服电机实现自动化控制开合，但现有自动化结构比较复杂且功耗较大，使用伺服电机配合螺杆驱动的结构，长时间驱动开合会使螺杆产生磨损，影响开合盖角度准确性的同时，还不便于拆卸维护，需要强调的是，开合盖角度的准确性在半导体设备领域极其重要，微弱的偏差都会造成腔体内环境的不稳定。

[0007] 现有设备腔体开合盖结构在没有外接电驱动装置的情况下，很难实现腔体盖自动开启和自动关闭的双向自动控制；一般需要有持续的动力作用在腔体开合盖上才能实现腔体开合盖重力势能地不断上下变换，进而实现腔体开合盖的反复开启和关闭。

[0008] 因此，如何提供一种结构简单，占用空间小，材料成本低，便于组装维护，无需电力驱动，节能省力，安全可靠，操作简单，在保证开合精度的同时不会磨损腔体的腔体盖开合结构，还能实现腔体盖自动开启和自动关闭的双向自动控制，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。

[0009] 应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

发明内容

[0010] 鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种带关闭按钮的腔体盖开合结构及气相沉积设备，用于解决现有腔体盖开合结构笨重、开合费力且不安全、容易产生磨损、不便于拆卸维护、开合精度差、无法双向自动开合控制等问题。

[0011] 为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种带关闭按钮的腔体盖开合结构，包括：

[0012] 腔体连接模块；

[0013] 腔体盖固定块，内部设有收容空间且底部漏空，所述腔体连接模块的顶部自所述腔体盖固定块的底部伸入所述收容空间内，所述腔体盖固定块与所述腔体连接模块之间通过第一活动轴活动连接以使所述腔体盖固定块能够以所述第一活动轴为转动轴在预设角度范围内转动；

[0014] 助力模块，位于所述收容空间内并包括自下而上依次设置的联动杆、下连接块、下锁钩、上锁钩、中连接块、弹性模块、上连接块，其中，所述联动杆的下端通过第二活动轴与所述腔体连接模块活动连接，所述联动杆的上端通过第三活动轴与所述下连接块活动连接，所述下锁钩通过第四活动轴与所述下连接块活动连接，所述上锁钩与所述中连接块固定连接，所述弹性模块的下端与所述下连接块固定连接，所述弹性模块的上端与所述上连接块固定连接；

[0015] 关闭按钮，包括按钮盖及按钮杆，所述按钮盖位于所述腔体盖固定块外部，所述按钮杆的一端与所述按钮盖连接，另一端伸入所述下连接块内，当所述关闭按钮被按下时，所述按钮杆推动所述下锁钩以使所述下锁钩以所述第四活动轴为转动轴转动预设角度而脱钩于所述上锁钩。

[0016] 可选地，还包括扭力弹簧，所述扭力弹簧套设于所述第四活动轴上，所述扭力弹簧的一端与所述下连接块连接，所述扭力弹簧的另一端与所述下锁钩连接。

[0017] 可选地，还包括复位模块，所述复位模块与所述中连接块连接以推动所述中连接块向下运动使所述上锁钩与所述下锁钩重新连接。

[0018] 可选地，所述复位模块包括蜗轮、蜗轮联动杆及棘轮扳手模块，所述蜗轮位于所述收容空间内并与所述腔体盖固定块转动连接，所述蜗轮联动杆的一端偏心连接于所述蜗轮，所述蜗轮联动杆的另一端与所述中连接块连接，所述棘轮扳手模块包括棘轮扳手及蜗杆，所述棘轮扳手位于所述腔体盖固定块外部，所述蜗杆的一端与所述棘轮扳手连接，所述蜗杆的另一端伸入所述收容空间内，当移动所述棘轮扳手使所述蜗杆与所述蜗轮啮合时，所述蜗杆可以随所述棘轮扳手的转动而带动所述蜗轮转动，所述蜗轮联动杆可以随所述蜗轮的转动而下降进而推动所述中连接块向下运动使所述上锁钩与所述下锁钩重新连接。

[0019] 可选地，所述助力模块还包括至少一滑动杆，所述滑动杆的顶端与所述上连接块固定连接，所述滑动杆还贯穿所述中连接块及所述下连接块以与所述中连接块及所述下连接块滑动连接。

[0020] 可选地，所述助力模块还包括缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶端与所述中连接块固定连接，所述缓冲弹簧的底端与所述下连接块固定连接。

[0021] 可选地，还包括助力调节模块，所述助力调节模块与所述腔体盖固定块及所述上连接块连接以调节所述上连接块的位置进而改变所述弹性模块产生的弹力。

[0022] 可选地，所述助力调节模块与所述腔体盖固定块的顶部连接，且所述助力调节模块包括螺纹丝杆及旋钮，所述螺纹丝杆贯穿所述腔体盖固定块的顶面以伸入所述收容空间内与所述上连接块连接，所述旋钮位于所述腔体盖固定块上方并套设于所述螺纹丝杆周围，所述螺纹丝杆随所述旋钮的转动作上下移动以带动所述上连接块作上下移动。

[0023] 可选地，所述弹性模块包括弹簧。

[0024] 可选地，所述腔体连接模块包括腔体固定块与锁定轴，所述锁定轴凸设于所述腔体固定块远离腔体盖的一侧，所述锁定轴远离腔体盖的一侧具有圆弧表面，所述圆弧表面设有第一啮合齿；所述腔体盖开合结构还包括锁定件，所述锁定件位于所述锁定轴远离腔体盖的一侧并与所述腔体盖固定块活动连接，所述锁定件包括位于所述收容空间内的锁定轮及位于所述收容空间外并与所述锁定轮固定连接的手柄，所述锁定轮面向所述锁定轴的一面设有与所述第一啮合齿相配合的第二啮合齿，其中，当所述锁定件处于释放状态时，所述第二啮合齿与所述第一啮合齿间隔预设距离，当所述锁定件处于锁定状态时，所述第二啮合齿与所述第一啮合齿啮合以使所述腔体盖固定块停止转动进而将腔体盖锁定到预设开合角度。

[0025] 可选地，所述锁定件还包括滑杆，所述滑杆贯穿所述手柄并可相对于与所述手柄沿靠近或远离所述腔体盖固定块的方向移动，所述腔体盖固定块的侧壁设有锁定孔，当所述锁定轮随所述手柄移动至所述第二啮合齿与所述第一啮合齿啮合时，所述滑杆正对所述锁定孔，当所述滑杆被推入所述锁定孔中，所述手柄相对于所述腔体盖固定块固定以使所述锁定件保持锁定状态。

[0026] 本发明还提供一种气相沉积设备，包括：

[0027] 沉积腔体，设有顶部开口；

[0028] 腔体盖，位于所述沉积腔体上方以封闭所述顶部开口；

[0029] 如上任意一项所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，通过所述腔体连接模块与所述沉积腔体连接，并通过所述腔体盖固定块与所述腔体盖连接。

[0030] 如上所述，本发明的带关闭按钮的腔体盖开合结构整体上采用机械传动机构，不仅结构小巧，节省空间，还能够安全可靠地运行，在无电力驱动的条件下实现腔体盖的快速开启与关闭，大大提升了设备的运行和检修效率，缩短了设备定期的检修时间，使设备产能进一步提高，同时不会磨损腔体。其中，腔体连接模块与腔体盖固定块之间的助力模块可以在开合盖的过程中提供开启闭合的力矩，使开合盖更加省力高效，操作人员可轻松的开启腔体盖。可选设置的助力调节模块可以根据腔体盖的具体重量调整调整助力模块的伸缩量，进而控制提供的拉伸力，增加腔体盖开合结构的通用性。可选设置的锁定件可以在腔体盖开到指定角度和位置时锁定腔体盖的位置，实现开合定位，适应角度多变的应用情况。

附图说明

[0031] 图1显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中在第一视角下的立体结构示意图。

[0032] 图2显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中在第二视角下的立体结构示意图。

[0033] 图3显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中腔体连接模块的立体结构示意图。

[0034] 图4显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中锁定轴与锁定件相互配合的立体结构示意图。

[0035] 图5显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中锁定件及其附近部件的立体结构示意图。

[0036] 图6显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中腔体盖固定块的立体结构示意图。

[0037] 图7显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中腔体盖固定块被隐藏时的立体结构示意图。

[0038] 图8显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中关闭按钮、所述下锁钩、上锁钩及中连接块的立体结构示意图。

[0039] 图9显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中下连接块、关闭按钮及下锁钩的立体结构示意图。

[0040] 图10显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中关闭按钮、下锁钩、上锁钩及中连接块的立体结构示意图。

[0041] 图11显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中腔体盖固定块被隐藏时且下锁钩与上锁钩处于脱钩状态时的立体结构示意图。

[0042] 图12显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中腔体盖固定块在另一视角下的立体结构示意图。

[0043] 图13显示为本发明的腔体盖开合结构于实施例一中腔体盖固定块与复位模块相配合时的局部立体结构示意图。

[0044] 图14显示为本发明的气相沉积设备于实施例二中的立体结构示意图。

[0045] 图15显示为本发明的气相沉积设备于实施例二中腔体盖开启且腔体盖的自重和弹性模块的拉力处于平衡状态时的立体结构示意图。

[0046] 图16显示为本发明的气相沉积设备于实施例二中通过复位模块使下锁钩与上锁钩304重新连接固定后的立体结构示意图。

[0047] 元件标号说明：1 腔体连接模块，101 腔体固定块，101a 竖直安装部，101b 水平安装部，102 锁定轴，103 第一啮合齿，2 腔体盖固定块，201 主体部，202 第一结合件，203 第二结合件，204 安装孔，205 凹槽，206 滑动槽，3 助力模块，301 联动杆，302 下连接块，3021 基座，3022 限位台阶，303 下锁钩，304 上锁钩，305 中连接块，306 弹性模块，307 上连接块，308 滑动杆，309 缓冲弹簧，4 关闭按钮，401 按钮盖，402 按钮杆，4021 第一限位件，4022 第二限位件，5 锁定件，501 锁定轮，502 手柄，503 第二啮合齿，504 滑杆，505 锁定孔，6 复位模块，601 蜗轮，602 蜗轮联动杆，603 棘轮扳手，604 蜗杆，605 齿面，606 轴承座，607 压条，608 圆孔，7 助力调节模块，701 螺纹丝杆，702 旋钮，8 第一活动轴，9 第二活动轴，10 第三活动轴，11 第四活动轴，12 扭力弹簧，13 第五活动轴，14 第六活动轴，15 沉积腔体，16 腔体盖。

具体实施方式

[0048] 以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

[0049] 请参阅图1至图16。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

[0050] 实施例一

[0051] 本实施例中提供一种带关闭按钮的腔体盖开合结构，请参阅图1及图2，显示为该腔体盖开合结构的立体结构示意图，包括腔体连接模块1、腔体盖固定块2、助力模块3及关闭按钮4。

[0052] 具体的，所述腔体盖固定块2内部设有收容空间且底部漏空，所述腔体连接模块1的顶部自所述腔体盖固定块2的底部伸入所述收容空间内，所述腔体盖固定块2与所述腔体连接模块1之间通过第一活动轴8活动连接以使所述腔体盖固定块1能够以所述第一活动轴8为转动轴在预设角度范围内转动。

[0053] 具体的，请参阅图3，显示为所述腔体连接模块1的立体结构示意图，本实施例中，所述腔体连接模块1包括腔体固定块101与锁定轴102，所述锁定轴102凸设于所述腔体固定块101远离腔体盖的一侧，所述锁定轴102远离腔体盖的一侧具有圆弧表面，所述圆弧表面设有第一啮合齿103。

[0054] 作为示例，所述腔体固定块101包括竖直安装部101a及水平安装部101b，所述水平安装部101b连接于所述竖直安装部101a底端并往远离腔体盖的方向延伸。

[0055] 需要指出的是，可以根据安装需求将所述腔体固定块101通过所述竖直安装部101a连接固定至腔体的外侧垂直边，也可以将所述腔体固定块101通过所述水平安装部
101b连接固定至腔体的上表面边缘，择一即可，安装灵活。

[0056] 作为示例，所述腔体固定块101与所述锁定轴102固定连接并一体成型。

[0057] 作为示例，请回头参阅图1，所述腔体盖开合结构还包括锁定件5，所述锁定件5位于所述锁定轴202远离腔体盖的一侧并与所述腔体盖固定块2活动连接，用于在腔体盖开合到所需位置时，将所述腔体盖固定块2锁定到所需开合位置处。

[0058] 作为示例，请参阅图4，显示为所述锁定轴102与所述锁定件5相互配合的立体结构示意图，其中，所述锁定件5包括位于所述收容空间内的锁定轮501及位于所述收容空间外并与所述锁定轮501固定连接的手柄502，所述锁定轮501面向所述锁定轴102的一面设有与所述第一啮合齿103相配合的第二啮合齿503，其中，当所述锁定件5处于释放状态时，所述第二啮合齿503与所述第一啮合齿103间隔预设距离，当所述锁定件5处于锁定状态时，所述第二啮合齿503与所述第一啮合齿103啮合以使所述腔体盖固定块2停止转动进而将腔体盖锁定到预设开合角度。

[0059] 作为示例，请参阅图5，显示为所述锁定件5及其附近部件的立体结构示意图，所述锁定件5还包括滑杆504，所述滑杆504贯穿所述手柄502并可相对于与所述手柄502沿靠近或远离所述腔体盖固定块2的方向移动，所述腔体盖固定块2的侧壁设有锁定孔505，当所述锁定轮501随所述手柄502移动至所述第二啮合齿503与所述第一啮合齿103啮合时，所述滑杆504正对所述锁定孔505，当所述滑杆504被推入所述锁定孔505中，所述手柄502相对于所述腔体盖固定块2固定以使所述锁定件5保持锁定状态。

[0060] 具体的，请参阅图6，显示为所述腔体盖固定块2的立体结构示意图，包括主体部201及用于与腔体盖连接的结合部，其中，所述主体部201围成所述收容空间且底部漏空，漏空的底部可以为所述腔体盖开合结构提供开合的活动空间。

[0061] 作为示例，所述主体部201面向腔体盖的一面设有侧面开口，所述结合部包括第一结合件202与第二结合件203，所述第一结合件202与所述第二结合件203分别与所述侧面开口的左右两侧缘连接。

[0062] 作为示例，所述第一结合件202与所述第二结合件203均设有多个安装孔204，所述安装孔204与紧固件相配合以将腔体盖与所述结合部紧固连接。

[0063] 需要指出的是，在其它实施例中，所述结合部也可以采用其它合适的结构设计并以其它合适的方式与腔体盖固定连接，不以本实施例为限。

[0064] 具体的，请参阅图7，显示为所述腔体盖固定块2被隐藏时所述腔体盖开合结构的立体结构示意图，其中，所述助力模块3位于所述收容空间内并包括自下而上依次设置的联动杆301、下连接块302、下锁钩303、上锁钩304、中连接块305、弹性模块306及上连接块307，其中，所述联动杆301的下端通过第二活动轴9与所述腔体连接模块1活动连接，所述联动杆301的上端通过第三活动轴10与所述下连接块302活动连接，所述下锁钩303通过第四活动轴11与所述下连接块302活动连接，所述上锁钩304与所述中连接块305固定连接，所述弹性模块306的下端与所述下连接块固定连接，所述弹性模块306的上端与所述上连接块307固定连接。

[0065] 具体的，所述弹性模块306具有伸缩弹性，可以选用弹簧或其它合适的弹性部件。通过选取不同型号的弹性模块，可获得不同的拉力力矩，以适用于不同重量的腔体盖；所述弹性模块306可为所述腔体盖开合结构提供动力，当腔体盖向上开启或向下闭合时，所述弹性模块306产生的弹力可提供腔体盖向上的拉力以抵消腔体盖本身重力所产生的阻力。

[0066] 作为示例，请参阅图8，显示为所述关闭按钮4、所述下锁钩303、所述上锁钩304及所述中连接块305的立体结构示意图，其中，所述下锁钩303与所述上锁钩304相互勾住。

[0067] 具体的，请参阅图9，显示为所述下连接块302、所述关闭按钮4及所述下锁钩303的立体结构示意图，所述关闭按钮4包括按钮盖401及按钮杆402，所述按钮盖401位于所述腔体盖固定块2外部（结合参阅图2），所述按钮杆402的一端与所述按钮盖401连接，另一端伸入所述下连接块302内。

[0068] 作为示例，所述下连接块302设有一凹槽，所述凹槽底部设有一基座3021，所述基座3021设有容许所述按钮杆402穿过的通孔，所述按钮杆402上设有间隔设置的第一限位件4021与第二限位件4022，所述基座3021位于所述第一限位件4021与所述第二限位件4022之间，且所述第一限位件4021与所述第二限位件4022之间的距离大于所述基座3021的宽度以提供所述关闭按钮4前进与后退的活动空间。

[0069] 具体的，请参阅图10，显示为所述关闭按钮4、所述下锁钩303、所述上锁钩304及所述中连接块305的立体结构示意图，当所述关闭按钮4被按下（前进）时，所述按钮杆402推动所述下锁钩303以使所述下锁钩303以所述第四活动轴11为转动轴转动预设角度而脱钩于所述上锁钩304。

[0070] 作为示例，请结合参阅图8及图9，所述第四活动轴11上套设有扭力弹簧12，所述扭力弹簧12的一端与所述下连接块302连接，所述扭力弹簧的另一端与所述下锁钩303连接。所述扭力弹簧12可以带动所述下锁钩303推动被按下的所述关闭按钮4复位（后退），或者当所述关闭按钮4被拉出后，所述扭力弹簧12可以带动所述下锁钩303扭转回原有角度。

[0071] 作为示例，所述凹槽中设有限位台阶3022（如图9所示），当所述上锁钩304下降并触碰到所述限位台阶3022，所述下锁钩303可以重新勾住所述上锁钩304。

[0072] 作为示例，请参阅图11，显示为所述腔体盖固定块2被隐藏时且所述下锁钩303与所述上锁钩304处于脱钩状态时所述腔体盖开合结构的立体结构示意图，本实施例中，所述腔体盖开合结构还包括复位模块6，所述复位模块6与所述中连接块305连接以推动所述中连接块305向下运动使所述上锁钩304与所述下锁钩303重新连接。

[0073] 作为示例，所述复位模块6包括蜗轮601、蜗轮联动杆602及棘轮扳手模块，所述蜗轮601位于所述收容空间内并与所述腔体盖固定块2转动连接，所述蜗轮联动杆602的一端偏心连接于所述蜗轮601，所述蜗轮联动杆602的另一端与所述中连接块305连接，所述棘轮扳手模块包括棘轮扳手603及蜗杆604，所述棘轮扳手603位于所述腔体盖固定块2外部，所述蜗杆604的一端与所述棘轮扳手603连接，所述蜗杆604的另一端伸入所述收容空间内，当移动所述棘轮扳手603使所述蜗杆604的齿面605与所述蜗轮601啮合时，所述蜗杆604可以随所述棘轮扳手603的转动而带动所述蜗轮601转动，所述蜗轮联动杆602可以随所述蜗轮601的转动而下降进而推动所述中连接块305向下运动使所述上锁钩304与所述下锁钩303重新连接。其中，所述棘轮扳手603用于为所述蜗杆604提供动力，所述蜗杆604用于带动所述蜗轮601转动。

[0074] 作为示例，请参阅图12，所述腔体盖固定块2的侧壁设有矩形凹槽205，所述凹槽205的底部设有滑动槽206，所述蜗杆604通过所述滑动槽206伸入所述收容空间内，且所述蜗杆604能够在外力作用下沿所述滑动槽206上下滑动或者说上下移动。

[0075] 作为示例，请参阅图13，所述复位模块6还包括矩形轴承座606及一对压条607，所述轴承座606嵌于所述凹槽205中，且所述轴承座606的中心设有一容许所述蜗杆604（未图示）穿过的圆孔608。

[0076] 作为示例，所述压条607与所述轴承座606之间为过盈配合，从而可以利用所述压条607与所述轴承座606的接触面之间的摩擦力，实现所述轴承座606能够在所述凹槽205内滑动到任意位置均不松动，进而所述蜗杆604也不会上下松动。例如当所述蜗杆604沿所述滑动槽206向上滑动直至所述蜗杆604的齿面605与所述蜗轮601啮合时，此时可以转动所述棘轮扳手603来带动所述蜗轮601转动，而不用担心所述轴承座606会松动而使得所述蜗杆604的齿面605脱离所述蜗轮601。

[0077] 作为示例，请回头参阅图11，所述蜗轮联动杆602的一端通过第五活动轴13偏心连接于所述蜗轮601，所述蜗轮联动杆602的另一端通过第六活动轴14与所述中连接块305转动连接。

[0078] 作为示例，所述助力模块3还包括至少一滑动杆308，所述滑动杆308的顶端与所述上连接块307固定连接，所述滑动杆308还贯穿所述中连接块305及所述下连接块302以与所述中连接块305及所述下连接块302滑动连接。所述滑动杆308用于确保所述中连接块305及所述下连接块302仅在垂直方向上运动。本实施例中，为了提高运行的稳定性，所述滑动杆308的数量优选为两个或以上。

[0079] 作为示例，所述助力模块3还包括缓冲弹簧309，所述缓冲弹簧309的顶端与所述中连接块305固定连接，所述缓冲弹簧309的底端与所述下连接块302固定连接。

[0080] 作为示例，请结合参阅图1及图11，所述腔体盖开合结构还包括助力调节模块7，所述助力调节模块7与所述腔体盖固定块2及所述上连接块307连接以调节所述上连接块307的位置进而改变所述弹性模块306产生的弹力。

[0081] 作为示例，所述助力调节模块7与所述腔体盖固定块2的顶部连接，且所述助力调节模块7包括螺纹丝杆701及旋钮702，所述螺纹丝杆701贯穿所述腔体盖固定块2的顶面以伸入所述收容空间内与所述上连接块307连接，所述旋钮702位于所述腔体盖固定块2上方并套设于所述螺纹丝杆701周围，所述螺纹丝杆701随所述旋钮702的转动作上下移动以带动所述上连接块307作上下移动，进而调节所述弹性模块306的伸缩长度以调节其提供的拉力大小。

[0082] 本实施例的带关闭按钮的腔体盖开合结构整体上采用机械传动机构，不仅结构小巧，节省空间，还能够安全可靠地运行，在无电力驱动的条件下实现腔体盖的快速开启与关闭，大大提升了设备的运行和检修效率，缩短了设备定期的检修时间，使设备产能进一步提高，同时不会磨损腔体。其中，腔体连接模块与腔体盖固定块之间的助力模块可以在开合盖的过程中提供开启闭合的力矩，使开合盖更加省力高效，操作人员可轻松的开启腔体盖。可选设置的助力调节模块可以根据腔体盖的具体重量调整调整助力模块的伸缩量，进而控制提供的拉伸力，增加腔体盖开合结构的通用性。可选设置的锁定件可以在腔体盖开到指定角度和位置时锁定腔体盖的位置，实现开合定位，适应角度多变的应用情况。

[0083] 实施例二

[0084] 本实施例中提供一种气相沉积设备，请参阅图14，显示为该气相沉积设备的立体结构示意图，包括沉积腔体15、腔体盖16及实施例一中所述的带关闭按钮的腔体盖开合结构，其中，所述沉积腔体15设有顶部开口；所述腔体盖16位于所述沉积腔体上方以封闭所述顶部开口；所述带关闭按钮的腔体盖开合结构通过所述腔体连接模块1与所述沉积腔体15连接，并通过所述腔体盖固定块2与所述腔体盖16连接。

[0085] 具体的，在初始状态时，所述腔体盖16闭合，所述弹性模块306处于拉伸状态（如图7所示）。

[0086] 请参阅图15，松开所述腔体盖16的锁扣（未图示），所述弹性模块306由拉伸状态回到初始状态，所述弹性模块306缩短，带动所述中连接块305、所述上锁钩304、所述下锁钩303、所述下连接块302及所述联动杆301沿着所述滑动杆308向上运动，所述联动杆301以所述第二活动轴9为旋转轴转动预设角度使所述联动杆301的顶端朝远离所述沉积腔体15的方向移动，所述腔体盖16开启，此时所述腔体盖16的自重和所述弹性模块306的拉力处于平衡状态。

[0087] 请回头参阅图10及图11，当按下所述关闭按钮4，所述下锁钩303以所述第四活动轴11为转动轴转动预设角度使所述下锁钩303的顶端朝远离所述上锁钩304的方向移动，从而使得所述下锁钩303脱钩于所述上锁钩304，此时，所述中连接块305在所述弹性模块306的拉力下向上运动，所述下锁钩303、所述下连接块302及所述联动杆301在所述腔体盖16的重力的作用下向下运动，所述腔体盖16自动关闭。此过程中，所述缓冲拉簧309被拉伸，避免所述腔体盖16关闭过快而损伤腔体，实现平滑关闭。

[0088] 经过以上机械运动，可以实现所述腔体盖16的快速自动开启关闭，无需额外的电力驱动而实现自动开启关闭，提高了使用和维修效率。

[0089] 请参阅图16，并结合图11、图12及图13，在完成开盖检修动作后，需对传动机构进行手动复位，为下一次的动作做好准备；具体的复位动作包括：先将所述棘轮扳手603向上移动，使所述蜗杆604沿所述滑动槽206向上滑动直至所述蜗杆604的齿面605与所述蜗轮601啮合；然后转动所述棘轮扳手603，带动所述蜗轮601转动，所述蜗轮601带动所述蜗轮联动杆602向下运动，从而驱动所述中连接块305向下运动，直到所述下锁钩303与所述上锁钩
304重新连接固定，复位结束。

[0090] 综上所述，本发明的带关闭按钮的腔体盖开合结构整体上采用机械传动机构，不仅结构小巧，节省空间，还能够安全可靠地运行，在无电力驱动的条件下实现腔体盖的快速开启与关闭，大大提升了设备的运行和检修效率，缩短了设备定期的检修时间，使设备产能进一步提高，同时不会磨损腔体。其中，腔体连接模块与腔体盖固定块之间的助力模块可以在开合盖的过程中提供开启闭合的力矩，使开合盖更加省力高效，操作人员可轻松的开启腔体盖。可选设置的助力调节模块可以根据腔体盖的具体重量调整调整助力模块的伸缩量，进而控制提供的拉伸力，增加腔体盖开合结构的通用性。可选设置的锁定件可以在腔体盖开到指定角度和位置时锁定腔体盖的位置，实现开合定位，适应角度多变的应用情况。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

[0091] 上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。