一种SEM样品放置装置

摘要

本发明公开了一种SEM样品放置装置，包括样品托和检测电路；样品托包括检测PCB板和样品托主体，样品托主体固定在SEM样品台上，检测PCB板叠加固定在样品托主体上；在检测PCB板和样品托主体相同的一侧，从上到下设置有开槽，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间；在检测PCB板的上表面，分别在开槽的两侧设有第一检测区域和第二检测区域，第一检测区域和第二检测区域的轮廓与导电样品的底部轮廓相同，且覆有导电涂层，第一检测区域和第二检测区域通过PCB布线与检测电路连接；本发明提供的技术方案，能够对导电样品是否准确放置进行检测。

权利要求

1.一种SEM样品放置装置，其特征在于，包括样品托和检测电路；

所述样品托包括检测PCB板和样品托主体，所述样品托主体固定在SEM样品台上，所述检测PCB板叠加固定在所述样品托主体上；

在所述检测PCB板和所述样品托主体相同的一侧，从上到下设置有开槽，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间；

在所述检测PCB板的上表面，分别在所述开槽的两侧设有第一检测区域和第二检测区域，所述第一检测区域和所述第二检测区域的轮廓与导电样品的底部轮廓相同，且覆有导电涂层，所述第一检测区域和所述第二检测区域通过PCB布线与所述检测电路连接；

当机械手将导电样品放置在所述检测PCB板上，并且所述导电样品的底部与所述第一检测区域和所述第二检测区域同时吻合时，所述检测电路通过所述第一检测区域、所述第二检测区域和所述导电样品形成通路，以使所述检测电路发出放置准确的信号；

所述检测电路包括：第一电源、第二电源、光电耦合器、检测电阻、检测芯片；

所述第一电源与所述第二检测区域连接，所述第一检测区域与大地连接；

所述光电耦合器控制侧的输入端与所述第一电源连接，所述光电耦合器控制侧的输出端与大地连接；

所述光电耦合器被控侧的输入端通过所述检测电阻与所述第二电源连接，所述光电耦合器被控侧的输出端与大地连接；

所述检测芯片的检测引脚连接在所述检测电阻和所述光电耦合器被控侧的输入端之间。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品托还包括样品引导板，所述样品引导板叠加固定在所述检测PCB板上，所述样品引导板的中心包括用于引导导电样品穿过的引导孔；所述样品引导板对齐于所述检测PCB板的开槽位置设有相同的开槽，并将设置的开槽延伸到所述引导孔，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述引导孔边缘设有预设角度的斜面。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述检测电路还包括继电器；

所述继电器用于控制所述第一电源与所述第二检测区域之间线路的通断，并用于控制所述第一检测区域与大地之间线路的通断。

5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括报警电路和接地环；所述样品引导板为金属材质；所述样品托主体为金属材质；所述样品引导板和所述检测PCB板通过金属螺钉固定在所述样品托主体上；

所述样品托主体通过固定柱固定在SEM样品台上；

所述接地环的一端套接在所述样品托主体的一个固定柱上，另一端连接到所述报警电路的第一输入端；

所述报警电路的第二输入端连接到大地；

当所述样品引导板与SEM的极靴接触时，所述样品引导板接地，以使所述报警电路的第一输入端接地，进而使所述报警电路的第一输入端和第二输入端导通，以使所述报警电路发出报警信号。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述检测PCB板的上表面，分别在所述开槽的两侧还设有第三检测区域和第四检测区域，当导电样品正确放置时，导电样品的底部能够接触到所述第三检测区域和所述第四检测区域；

所述第三检测区域和所述第四检测区域覆有导电涂层；

所述检测PCB板的上表面除了所述第三检测区域、所述第四检测区域、所述第一检测区域和所述第二检测区域以外的其他区域也覆有导电涂层；

所述第三检测区域和所述第四检测区域均直接与所述其他区域连接；

当导电样品与SEM的极靴接触时，所述导电样品接地，以使所述报警电路的第一输入端接地，进而使所述报警电路的第一输入端和第二输入端导通，以使所述报警电路发出报警信号。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述导电涂层是铜涂层。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一检测区域和所述第二检测区域通过PCB布线连接到真空穿通航空插座，通过所述真空穿通航空插座与所述检测电路连接。

9.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述报警电路包括蜂鸣器。

说明书

一种SEM样品放置装置

技术领域

[0001] 本发明涉及SEM工业领域，具体涉及一种SEM样品放置装置。

背景技术

[0002] 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope， SEM）是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在导电样品表面进行逐行扫描，电子束轰击导电样品表面产生二次电子或背散射电子，将导电样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将导电样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。

[0003] 随着技术的发展，将扫描电镜用于产线的情景越来越多，而产线为了提高效率，一般需要通过预抽室或真空互联装置用机械手将导电样品传送至SEM样品室内。SEM样品室是一个真空环境，一般真空度优于10‑3Pa，机械手需要将样品放置在样品台的接收机构上。为了保证导电样品放到了指定的位置，在SEM电子束扫描导电样品之前，系统需要检测导电样品是否放置到了指定位置。

[0004] 现有技术常用三种方法检测导电样品是否准确放置在指定位置。第一种是采用工业相机，机械手将样品放到接收位置后，通过拍照进行位置标定，然后通过一些图像算法确定样品放置到位。但是SEM样品室一般体积有限，将相机放到真空环境的样品室中，会因相机体积较大占用样品室内宝贵的空间资源，另一方面相机部件较多，会带来更多的气体吸附，给SEM真空度带来不利影响；第二种方法是在机械手前端放置传感器进行检测，例如压力传感器，但这种方法只能证明样品离开了机械手，不能有效的证明样品正确放置；第三种方法是设计样品托，并在样品托上设计光电传感器、压力传感器等传感器组合，这种方法使得样品托设计变得相对复杂。

发明内容

[0005] 有鉴于此，本发明实施方式提供了一种SEM样品放置装置，从而在不过多占用SEM样品室空间、不影响SEM样品室真空度的前提下实现了导电样品准确放置的检测。

[0006] 根据第一方面，本发明实施例一种SEM样品放置装置，包括样品托和检测电路；所述样品托包括检测PCB板和样品托主体，所述样品托主体固定在SEM样品台上，所述检测PCB板叠加固定在所述样品托主体上；在所述检测PCB板和所述样品托主体相同的一侧，从上到下设置有开槽，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间；在所述检测PCB板的上表面，分别在所述开槽的两侧设有第一检测区域和第二检测区域，所述第一检测区域和所述第二检测区域的轮廓与导电样品的底部轮廓相同，且覆有导电涂层，所述第一检测区域和所述第二检测区域通过PCB布线与所述检测电路连接；当机械手将导电样品放置在所述检测PCB板上，并且所述导电样品的底部与所述第一检测区域和所述第二检测区域同时吻合时，所述检测电路通过所述第一检测区域、所述第二检测区域和所述导电样品形成通路，以使所述检测电路发出放置准确的信号。

[0007] 可选地，所述样品托还包括样品引导板，所述样品引导板叠加固定在所述检测PCB板上，所述样品引导板的中心包括用于引导导电样品穿过的引导孔；所述样品引导板对齐于所述检测PCB板的开槽位置设有相同的开槽，并将设置的开槽延伸到所述引导孔，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间。

[0008] 可选地，所述引导孔边缘设有预设角度的斜面。

[0009] 可选地，所述检测电路包括：第一电源、第二电源、光电耦合器、检测电阻、检测芯片；所述第一电源与所述第二检测区域连接，所述第一检测区域与大地连接；所述光电耦合器控制侧的输入端与所述第一电源连接，所述光电耦合器控制侧的输出端与大地连接；所述光电耦合器被控侧的输入端通过所述检测电阻与所述第二电源连接，所述光电耦合器被控侧的输出端与大地连接；所述检测芯片的检测引脚连接在所述检测电阻和所述光电耦合器被控侧的输入端之间。

[0010] 可选地，所述检测电路还包括继电器；所述继电器用于控制所述第一电源与所述第二检测区域之间线路的通断，并用于控制所述第一检测区域与大地之间线路的通断。

[0011] 可选地，所述装置还包括报警电路和接地环；所述样品引导板为金属材质；所述样品托主体为金属材质；所述样品引导板和所述检测PCB板通过金属螺钉固定在所述样品托主体上；所述样品托主体通过固定柱固定在SEM样品台上；所述接地环的一端套接在所述样品托主体的一个固定柱上，另一端连接到所述报警电路的第一输入端；所述报警电路的第二输入端连接到大地；当所述样品引导板与SEM的极靴接触时，所述样品引导板接地，以使所述报警电路的第一输入端接地，进而使所述报警电路的第一输入端和第二输入端导通，以使所述报警电路发出报警信号。

[0012] 可选地，所述检测PCB板的上表面，分别在所述开槽的两侧还设有第三检测区域和第四检测区域，当导电样品正确放置时，导电样品的底部能够接触到所述第三检测区域和所述第四检测区域；所述第三检测区域和所述第四检测区域覆有导电涂层；所述检测PCB板的上表面除了所述第三检测区域、所述第四检测区域、所述第一检测区域和所述第二检测区域以外的其他区域也覆有导电涂层；所述第三检测区域和所述第四检测区域均直接与所述其他区域连接；当导电样品与SEM的极靴接触时，所述导电样品接地，以使所述报警电路的第一输入端接地，进而使所述报警电路的第一输入端和第二输入端导通，以使所述报警电路发出报警信号。

[0013] 可选地，所述导电涂层是铜涂层。

[0014] 可选地，所述第一检测区域和所述第二检测区域通过PCB布线连接到真空穿通航空插座，通过所述真空穿通航空插座与所述检测电路连接。

[0015] 可选地，所述报警电路包括蜂鸣器。

[0016] 本申请提供的技术方案，具有如下优点：

[0017] 本申请提供的技术方案，提供了一种SEM样品放置装置，包括样品托和检测电路；样品托包括检测PCB板和样品托主体，样品托主体固定在SEM样品台上，检测PCB板叠加固定在样品托主体上；在检测PCB板和样品托主体相同的一侧，从上到下设置有开槽，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间；在检测PCB板的上表面，分别在开槽的两侧设有第一检测区域和第二检测区域，第一检测区域和第二检测区域的轮廓与导电样品的底部轮廓相同，且覆有导电涂层，第一检测区域和第二检测区域通过PCB布线与检测电路连接；
当机械手将导电样品准确放置在检测PCB板上，使导电样品的底部轮廓与第一检测区域和第二检测区域同时吻合时，检测电路通过第一检测区域、第二检测区域和导电样品形成一个完整的通路，从而使检测电路开始工作并能够发出放置准确的信号，实现了在SEM样品台上准确放置导电样品的方案。相比工业相机占用SEM样品室空间更少，不会对SEM真空度带来影响，并且装置所使用的材料容易获取、元件和电路比较简单，保证装置的实现成本较低。

附图说明

[0018] 通过参考附图会更加清楚的理解本发明的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本发明进行任何限制，在附图中：

[0019] 图1示出了本发明一个实施方式中一种SEM样品放置装置的结构示意图；

[0020] 图2示出了本发明一个实施方式中检测PCB板的结构示意图；

[0021] 图3示出了本发明一个实施方式中一种SEM样品放置装置的另一个结构示意图；

[0022] 图4示出了本发明一个实施方式中检测电路的结构示意图；

[0023] 图5示出了本发明一个实施方式中检测电路的另一个结构示意图；

[0024] 图6示出了本发明一个实施方式中接地环的结构示意图；

[0025] 图7示出了本发明一个实施方式中样品托和报警电路的连接关系示意图；

[0026] 图8示出了本发明一个实施方式中检测PCB板的另一个结构示意图；

[0027] 图9示出了本发明一个实施方式中报警电路的结构示意图；

[0028] 图中标号为：1‑检测PCB板，2‑样品托主体，3‑开槽，4‑第一检测区域，5‑第二检测区域，6‑检测电路，7‑样品引导板，8‑光电耦合器，VCC1‑第一电源，VCC2‑第二电源，R1‑检测电阻，MCU‑检测芯片，RELAY‑继电器，R2/R3‑限流电阻，9‑报警电路，10‑接地环，11‑第三检测区域，12‑第四检测区域，13‑其他区域。

具体实施方式

[0029] 为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

[0030] 请参阅图1和图2，在一个实施方式中，一种SEM样品放置装置，包括样品托和检测电路6；样品托包括检测PCB板1和样品托主体2，样品托主体2固定在SEM样品台上（SEM样品台为现有技术，图1中未体现），检测PCB板1叠加固定在样品托主体2上，固定方式可以是粘贴、栓接、铆接等等；在检测PCB板1和样品托主体2相同的一侧，从上到下设置有开槽3，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间；在检测PCB板1的上表面，分别在开槽3的两侧设有第一检测区域4和第二检测区域5，第一检测区域4和第二检测区域5的轮廓与导电样品的底部轮廓相同，且覆有导电涂层，第一检测区域4和第二检测区域5通过PCB布线与检测电路6连接。图1中以圆柱形的导电样品为例，导电样品底部为圆形，从而第一检测区域4和第二检测区域5为扇形区域，本发明实施例仅以此举例，不以此为限。在实际应用中，第一检测区域4和第二检测区域5的轮廓需要根据导电样品底部的实际形状进行调整，例如导电样品为正方体，则第一检测区域4和第二检测区域5应当是分布在开槽3两侧的矩形。

[0031] 通过本发明实施例提供的SEM样品放置装置，机械手将导电样品放置在检测PCB板1上，如果导电样品的位置放置准确，则导电样品的底部轮廓与第一检测区域4和第二检测区域5同时吻合，由于第一检测区域4、第二检测区域5上面覆有导电涂层，进而使检测电路6通过第一检测区域4、第二检测区域5和导电样品形成一个完整的通路，以使检测电路6能够通电开始工作，并发出放置准确的信号，通知SEM控制器进行后续的扫描工作。如果导电样品没有放置准确，则检测电路6不能通过第一检测区域4、第二检测区域5和导电样品形成一个完整的通路，从而检测电路6不能够通电开始工作，不能发出放置准确的信号，SEM控制器在机械手放置完成后，如果预设时间内接收不到放置准确的信号，则认为导电样品的位置没有放置准确，从而控制机械手重新进行放置。

[0032] 具体地，如图3所示，在一实施例中，本发明实施例提供的样品托还包括样品引导板7，样品引导板7叠加固定在检测PCB板1上，图3中以螺钉固定方式为例，还可以通过粘贴、铆接等固定方式，本实施例不做特殊限定。样品引导板7的中心包括用于引导导电样品穿过的引导孔，图3中以圆柱形的导电样品为例，样品引导孔适应导电样品的底部形状也为圆形，在实际应用中，样品引导孔的形状需要和导电样品的实际形状相适应，例如矩形、三角形等等，本发明实施例并不做特殊限定。样品引导板7对齐于检测PCB板1的开槽位置设有相同的开槽，并将设置的开槽延伸到引导孔，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间。通过本发明实施例提供的样品引导板7限定导电样品的活动空间，辅助机械手将导电样品穿过样品引导板7上的引导孔放置在检测PCB板1上，使导电样品更容易地对准检测PCB板1的第一检测区域4和第二检测区域5，并放置在检测PCB板1上，进一步提高了导电样品放置准确成功率，保证了后续SEM扫描工作的准确率。

[0033] 具体地，在本发明实施例中，还在样品引导板7的引导孔边缘设有预设角度的斜面，例如45度倾角的斜面。当机械手放置导电样品穿过引导孔时，即使引导孔的边缘和导电样品的底部边缘具有轻微不对齐的情况，导电样品也可以通过预设角度的斜面滑到引导孔的正中心，从而进一步辅助机械手更容易地将导电样品穿过引导孔放置。

[0034] 具体地，如图4所示，在本发明实施例中，检测电路6包括：第一电源VCC1、第二电源VCC2、光电耦合器8、检测电阻R1、检测芯片MCU。其中，第一电源VCC1与第二检测区域5连接，第一检测区域4与大地连接；光电耦合器8控制侧的输入端与第一电源VCC1连接，光电耦合器8控制侧的输出端与大地连接；光电耦合器8被控侧的输入端通过检测电阻R1与第二电源VCC2连接，光电耦合器8被控侧的输出端与大地连接；检测芯片MCU的检测引脚连接在检测电阻R1和光电耦合器8被控侧的输入端之间。

[0035] 具体地，若导电样品没有准确放置在第一检测区域4和第二检测区域5上面，则第一电源VCC1和大地不能连接，故第一电源VCC1输出电流到光电耦合器8控制侧的输入端，并从光电耦合器8控制侧的输出端输出电流到大地，从而点亮光电耦合器8中的发光二极管，将光电耦合器8被控侧的电路导通，使第二电源VCC2依次通过检测电阻R1和光电耦合器8的被控侧输出电流到大地，由于检测芯片MCU的检测引脚连接在检测电阻R1和光电耦合器8被控侧的输入端之间，从而检测芯片MCU检测到对地一侧的电压，得到低电平信号，表征导电样品没有准确放置。若导电样品准确放置在了第一检测区域4和第二检测区域5上面，通过第一检测区域4和第二检测区域5的导电涂层以及导电样品本身，第一电源VCC1与大地直接导通，第一电源VCC1的电流不会输出到光电耦合器8控制侧，进而光电耦合器8被控侧的电路不能导通，此时检测芯片MCU的检测引脚检测到的电压相当于第二电源VCC2的电压，得到高电平信号，表征导电样品完成了准确放置。

[0036] 特别地，第一检测区域和第二检测区域通过PCB布线连接到真空穿通航空插座，通过真空穿通航空插座与检测电路连接，以进一步保护SEM样本室的真空性。

[0037] 具体地，如图5所示，在本发明实施例中，检测电路6还包括继电器RELAY和限流电阻R2/R3；其中，继电器RELAY用于控制第一电源VCC1与第二检测区域5之间线路的通断，并用于控制第一检测区域4与大地之间线路的通断。当SEM开始工作时，先将继电器RELAY闭合（为二极管D1所在线路通电），使继电器RELAY的引脚a和b连接、引脚c和d连接，当导电样品准确放置时，第一电源VCC1和大地才能相连；若继电器RELAY没有闭合，第一电源VCC1和大地在导电样品准确放置时也不能相连，从而通过继电器RELAY避免SEM不工作时产生检测电路6误导通的情况。另外，通过限流电阻R2/R3限制检测电路6内的电流大小，起到保护检测电路6的作用。

[0038] 具体地，如图6和图7所示，本发明实施例提供的SEM样品放置装置还包括报警电路9和接地环10；样品引导板7为金属材质；样品托主体2为金属材质；样品引导板7和检测PCB板1通过金属螺钉栓接在样品托主体2上；样品托主体2通过固定柱固定在SEM样品台上；接地环10的一端套接在样品托主体2的一个固定柱上，另一端连接到报警电路9的第一输入端；报警电路9的第二输入端连接到大地。

[0039] 具体地，在实际应用中，SEM样品台上放置的样品托与其他元件分开，SEM样品台具有上、下、左、右的可调节功能，如果在调节过程中样品托触碰到SEM物镜下极靴，容易出现撞坏极靴的情况。针对这一问题，本发名实施例提供的SEM样品放置装置还提供了极靴碰撞检测功能。在本实施例中，样品引导板7和样品托主体2均为金属材质，样品引导板7和检测PCB板1通过金属螺钉固定在样品托主体2上，使得样品引导板7和样品托主体2形成的样品托整体是一个能够导电的物体。

[0040] 样品托主体2包括若干固定柱，通过固定柱固定在SEM样品台上，本发明实施例通过一个接地环10套接在样品托主体2的一个固定柱上，接地环10的另一端连接到报警电路9的第一输入端，具体连接方法是：样品托的固定柱通过接地环10接到真空BNC插座的第一引脚上，真空BNC插座整体安装在SEM样品室的外壁上，真空BNC插座的第一引脚通过真空BNC插头和一个插接件连接到报警电路9的第一输入端，从而相当于样品托整体和报警电路9的第一输入端连接。此外，将报警电路9的第二输入端连接到大地，具体连接方法是：将报警电路9的第二输入端通过上述插接件和真空BNC插座的第二引脚连接，而真空BNC插座的第二引脚直接和SEM样品室的外壁连接，从而相当于报警电路9的第二输入端直接与大地连接。

[0041] 在应用场景中，需要了解的是，SEM主体涉及到的样品室、镜筒、物镜下的极靴均与大地连接。若样品引导板7没有触碰SEM物镜的极靴，相当于样品托整体悬空，则报警电路9的第一输入端悬空，报警电路9的第二输入端接地，报警电路9整体在第一输入端和第二输入端的位置处于断路状态，报警电路9不会发出报警信号。若样品引导板7触碰到SEM物镜的极靴，由于SEM物镜的极靴接地，相当于样品托整体接地，相当于报警电路9的第一输入端接地，由于报警电路9的第二输入端接地，所以报警电路9整体在第一输入端和第二输入端的位置相当于连通状态，从而报警电路9形成了一个能够工作的回路，进而发出报警信号。通过本实施例提供的方案，在样品托的样品引导板7触碰极靴时能够及时报警，使用户及时调整SEM样品台的位置，避免极靴被撞坏，保证了SEM工作过程的可靠性。

[0042] 具体地，在实际应用中，导电样品可能存在比样品引导板7更高的情况，如果导电样品比较高，样品引导板7比较低，当用户移动SEM样品台时，可能出现导电样品撞坏物镜极靴却因为样品引导板7没有触碰极靴而没有报警的情况。

[0043] 针对这一问题，如图8所示，本发明实施例提出了进一步改进，在检测PCB板1的上表面，分别在开槽3的两侧还设有第三检测区域11和第四检测区域12，当导电样品正确放置时，导电样品的底部能够接触到第三检测区域11和第四检测区域12；第三检测区域11和第四检测区域12也覆有导电涂层；检测PCB板1的上表面除了第三检测区域11、第四检测区域12、第一检测区域4和第二检测区域5以外的其他区域13同样覆有导电涂层；并且，第三检测区域11和第四检测区域12均与其他区域13直接连通（需要注意的是，第一检测区域4和第二检测区域5不与检测PCB板1的其他区域13直接连通）。

[0044] 由于样品引导板7、检测PCB板1和样品托主体2叠加固定，所以检测PCB板1的其他区域13和样品引导板7接触，由于样品引导板7和样品托主体2是金属材质，并通过金属螺钉连接，故样品引导板7、检测PCB板1和样品托主体2三个元件构成的整体同样相当于一个导电的物体。当导电样品先触碰物镜极靴时，导电样品接地，由于导电样品和第三检测区域11、第四检测区域12接触，故检测PCB板1的第三检测区域11和第四检测区域12接地，第三检测区域11和第四检测区域12通过检测PCB板1的其他区域13和整个样品托连接，故样品托整体接地，从而通过接地环10使报警电路9的第一输入端接地，相当于报警电路9的第一输入端和第二输入端同时接地，报警电路9整体在第一输入端和第二输入端的位置相当于连通状态，从而报警电路9形成了一个能够工作的回路，进而发出报警信号。通过本实施例提供的方案，在导电样品高于样品引导板7使，能够对导电样品触碰极靴的情况及时报警，使用户及时调整SEM样品台的位置，避免极靴被撞坏，进一步保证了SEM工作过程的可靠性。

[0045] 具体地，如图9所示，本发明实施例提供的报警电路9是由电阻R4、电阻R5、电阻R6、三极管Q1、二极管D2、D3、D4、D5和一个蜂鸣器J3构成的蜂鸣报警电路9，以在样品托或导电样品触碰极靴时，第一输入端和第二输入端同时接地连通，报警电路9导通发出蜂鸣报警，更为明显地通知用户及时调整SEM样品台的位置。

[0046] 具体地，在本发明实施例中，检测PCB板1上的导电涂层采用铜涂层，以使检测PCB板1具有良好的导电性。

[0047] 具体地，在本发明实施例中，第一检测区域4和第二检测区域5通过PCB布线连接到真空BNC插座，通过真空BNC插座与检测电路6连接，以进一步保护SEM样品室的真空环境。

[0048] 通过上述各个组成部分的协同合作，本申请提供的技术方案，提供了一种SEM样品放置装置，包括样品托和检测电路6；样品托包括检测PCB板1和样品托主体2，样品托主体2固定在SEM样品台上，检测PCB板1叠加固定在样品托主体2上；在检测PCB板1和样品托主体2相同的一侧，从上到下设置有开槽3，用于在机械手放置导电样品时为机械手提供移动空间；在检测PCB板1的上表面，分别在开槽3的两侧设有第一检测区域4和第二检测区域5，第一检测区域4和第二检测区域5的轮廓与导电样品的底部轮廓相同，且覆有导电涂层，第一检测区域4和第二检测区域5通过PCB布线与检测电路6连接；当机械手将导电样品准确放置在检测PCB板1上，使导电样品的底部轮廓与第一检测区域4和第二检测区域5同时吻合时，检测电路6通过第一检测区域4、第二检测区域5和导电样品形成一个完整的通路，从而使检测电路6开始工作并能够发出放置准确的信号，实现了在SEM样品台上准确放置导电样品的方案。相比工业相机占用SEM样品室空间更少，不会对SEM真空度带来影响，相比机械手安装传感器的方案准确度更高，并且装置所使用的材料容易获取、元件和电路比较简单，保证装置的实现成本较低。

[0049] 虽然结合附图描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下作出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。